JP2009198234A - 光学系評価装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被検光学系の結像性能を高精度に評価可能な光学系評価装置を提供する。
【解決手段】光学系評価装置１は、被検光学系１０に照明光を照射する光源５と、被検光学系を通過して出射した照明光が、平面状に配列された複数の微小レンズ２１，２２，２３・・・に入射するように配設されたＭＬＡ２０と、複数の微小レンズを通過して集光された照明光を、複数の微小レンズの各々に対応した複数の受光領域３１，３２，３３・・・において点像として受光するイメージセンサー３０と、複数の受光領域において取得された画像を基に被検光学系の結像性能を演算する画像処理部４０とを備えて構成される。そして、画像処理部は、複数の受光領域における複数の微小レンズの各々の光軸位置を一致させるようにして、複数の受光領域において取得された画像を合成してスポットダイアグラムを求める。
【選択図】図１

Description

本発明は、光学系の結像性能を評価するための光学系評価装置に関する。

従来より、光学系の結像性能（光学系の有する収差）を評価するための装置としては、ＭＴＦ測定器およびピンホール顕微鏡等が知られており、また、収差量を定量的に測定する装置としては、フィゾー型干渉計およびシアリング干渉計等が知られている。これらの装置を用いることにより、光学系が有する収差または収差量が検出されて結像性能の評価を行うことが可能となる。また、上記のような実測された結果を基に評価を行う方法以外にも、複数の光線を光学系に入射させてどの位置に結像するかを幾何光学的にシミュレーション（光線追跡）し、入射した光線ごとの点像（スポット）を平面上に示して、スポットダイアグラムを作成することにより行う方法が知られている（例えば特許文献１を参照）。

この得られたスポットダイアグラムの、各点像の径（拡がり具合）および点像の分布等を考察することにより、光学系の有する収差が検出されて結像性能の評価を行うことが可能となる。そのため、スポットダイアグラムは、光学系の有する収差を検出して評価するための簡易な方法であり、また、その光学系の収差が回折限界よりも大きいときには有用となる。
特開平５−３４５２１号公報

しかし、スポットダイアグラムによる方法は、例えばコンピュータ等の演算処理装置を用いてシミュレーションによって行われるため、実際に光学系に入射した光線の結像位置とは異なっていることもあり、光学系の結像性能を厳密に評価することはできなかった。

以上のような課題に鑑みて、本発明では光学系の結像性能を高精度に評価可能な光学系評価装置を提供することを目的とする。

本発明を例示する態様に従えば、被検光学系に照明光を照射する照明光学系と、前記被検光学系を通過して出射した前記照明光が、平面状に配列された複数の微小レンズに入射するように配設されたレンズアレイと、前記複数の微小レンズを通過して集光された前記照明光を、前記複数の微小レンズの各々に対応した複数の受光領域において点像として受光する撮像部と、前記複数の受光領域において取得された画像を基に前記被検光学系の結像性能を演算する演算処理部とを備え、前記演算処理部は、前記複数の受光領域における前記複数の微小レンズの各々の光軸位置を一致させるようにして、前記複数の受光領域において取得された前記画像を合成して点像分布を算出することを特徴とする光学系評価装置が提供される。

本発明によれば、光学系の結像性能を高精度に評価可能な光学系評価装置を提供することができる。

以下に、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、説明の便宜上、図１から図３に示す矢印方向を左右、前後および上下と定義して説明する。

図１に、第１の実施形態に係る光学系評価装置１を示しており、この光学系評価装置１は、光源５、Ｍｉｃｒｏ Ｌｅｎｓ Ａｒｒａｙ（以下において、ＭＬＡと称す）２０、イメージセンサー３０および画像処理部４０を主体に構成され、波面計測に用いられるＳｈａｃｋ−Ｈａｒｔｍａｎｎの原理を利用した構成となっている。なお、図１において、評価対象である光学系（被検光学系）１０の一例としての凸レンズを、光源５とＭＬＡ２０との間に配置させている。

光源５は、照明光を発光する光源であり、被検光学系１０に照明光を照射して入射させる。ＭＬＡ２０は、前後および上下方向に延びて平面状に形成されるとともに、その表面には複数の微小レンズ（ｌｅｎｓｌｅｔ）２１，２２，２３・・・が、前後および上下方向に規則的に配列されて構成されている。イメージセンサー３０は、前後および上下方向に延びて平面状に形成された受光面（図示せず）において微小レンズ２１，２２，２３・・・の各々によって結像された２次元像（２次元の画像データ）を検出可能となっている。また、イメージセンサー３０の受光面には、複数の微小レンズ２１，２２，２３・・・の各々に対応した複数の受光領域が形成されている。画像処理部４０は、イメージセンサー３０において検出された２次元像を入力し、その入力された２次元像を基に被検光学系１０のスポットダイアグラムを作成するように構成されており、このスポットダイアグラムの作成方法の詳細については後述する。

以上、光学系評価装置１の各構成部材について説明したが、以下に、光源５から発光された照明光の進み方について説明する。まず、被検光学系１０の焦点面に配置された光源５から発光された照明光は、被検光学系１０に照射されて入射する。そして、被検光学系１０を通過した照明光は、ほぼ平行光となるとともに被検光学系１０の大きさに比例した波面１１となって出射し、ＭＬＡ２０の複数の微小レンズ２１，２２，２３・・・に入射する。このとき波面１１は、被検光学系１０の有する波面収差によって、例えば照明光の進行方向（右方）に凸となって湾曲している。

複数の微小レンズ２１，２２，２３・・・は波面１１よりも小さく形成されており、波面１１が複数の微小領域に切り出されて、複数の微小レンズに入射するとともに、この切り出された微小領域は隣接する微小領域と連続している。各微小レンズに入射した波面１１の微小領域（を形成する照明光）は、各微小レンズによって集光されて、イメージセンサー３０の受光面上の各微小レンズに対応した受光領域において受光されるようになっている。なお、光学系評価装置１は、波面１１を微小領域に分割して複数の微小レンズに入射させ、複数の微小レンズごとに像を検出する点において、Ｓｈａｃｋ−Ｈａｒｔｍａｎｎの原理を利用した構成となっている。

以上、照明光の進み方について説明したが、以下において、光学系評価装置１を用いて被検光学系１０のスポットダイアグラムを作成する方法について、図５に示すフローチャートを参照しながら説明する。

ステップ１において、上述のように光源５から発光された照明光は、被検光学系１０を通過して波面１１を形成し、その波面１１が複数の微小領域に切り出されて、複数の微小レンズ２１，２２，２３・・・に入射して集光され、イメージセンサー３０の受光面上の各受光領域において受光される。そして、各微小レンズに入射した照明光は、その微小レンズに対応した受光領域において結像するとともに点像として撮像され、図２（ａ）に示す画像３０ａが得られる。

ステップ２に進み、上記ステップ１において得られた点像を含んだ画像３０ａが、イメージセンサー３０から画像処理部４０に出力される。図２（ａ）に示す画像３０ａは、撮像された画像の一部を示しており、撮像された画像にはＭＬＡ２０を構成する微小レンズの数に相当する点像が結像している。図２（ａ）において、前後および上下に延びた点線によって区切られた略正方形で且つ互いに同一形状となった領域は、上述したイメージセンサー３０の受光面上の受光領域を示している。例えば、波面１１における切り出された微小領域１１ａ，１１ｂ，１１ｃ（図１の２点鎖線で囲んだ部分）の照明光が、微小レンズ２１，２２，２３によって集光されて、受光領域３１，３２，３３において点像５１，５２，５３として結像している。

画像処理部４０は、画像３０ａが入力されると、各点像５１，５２，５３・・・の中心を算出する。点像５１，５２，５３・・・は、一般的に微小レンズ２１，２２，２３・・・の回折像となっているため中心部分が最も明るく、その周囲には同心円輪状となった暗い部分と明るい部分とが交互に、マイクロメートル（μｍ）オーダーの一定間隔を有して規則的に並んでいる。そのため、上記一定間隔を読み取ることにより、点像５１，５２，５３・・・の中心である中心点５１ａ，５２ａ，５３ａ・・・が正確に算出可能である。同様にして、すべての点像の中心点を算出することにより、図２（ｂ）に示すような、各受光領域内に各中心点がプロットされた中心点画像３０ｂが得られる。

被検光学系１０の光軸１０ａと、微小レンズ２３の光軸とは一致しており、また、受光領域３１，３２，３３の中心位置と、各受光領域における微小レンズ２１，２２，２３の光軸２１ａ，２２ａ，１０ａの光軸位置２１ｂ，２２ｂ，１０ｂとは一致している。このとき、例えば微小領域１１ａの傾斜は、中心点５１ａが受光領域３１において光軸位置２１ｂからずれた位置に検出されることによって示されている。また、中心点５３ａは受光領域３３において光軸位置１０ｂと同じ位置に示されており、微小領域１１ｃは傾斜を有していない（波面収差が無い）ことを意味している。

ステップ３に進み、画像処理部４０は中心点画像３０ｂを基に、受光領域３１および受光領域３２を、光軸位置２１ｂと２２ｂとを一致させるようにして重ねて合成する。さらに、受光領域３１および受光領域３２を重ねて得られた画像に、光軸位置２１ｂ（２２ｂ）と１０ｂを一致させるようにして、受光領域３３を重ねて合成する。こうして得られた画像には、中心点５１ａ，５２ａ，５３ａが、合成前の受光領域における位置関係を保った状態で示されている。

ステップ４に進み、上記ステップ３と同様にして、図２（ｂ）に示す他の受光領域を重ねて、１つの画像として表示することにより、図２（ｃ）に示すような被検光学系１０のスポットダイアグラム３０ｃ（の一部）が得られる。そして、ＭＬＡ２０を構成する全ての微小レンズの受光領域を、同様にして重ねて表示することにより、図３に示すような被検光学系１０全体のスポットダイアグラム３０ｄが得られる。図３に示す基準線３Ａ，３Ｂの交点が、被検光学系１０の光軸位置１０ｂを示しており、被検光学系１０の収差が少ないほど、基準線３Ａ，３Ｂの交点（光軸位置１０ｂ）の近くに各点像の各中心点が集まって表示される。よって、各中心点の分布および拡がり方等を詳細に分析することにより、被検光学系１０の有する収差の種類および収差の大きさ等が検出されて結像性能の評価が可能となり、このフローは終了する。

第１の実施形態に係る光学系評価装置１の効果について簡潔にまとめると、第１に、光学系評価装置１は、Ｓｈａｃｋ−Ｈａｒｔｍａｎｎの原理を利用して、波面１１を微小領域に分割して複数の微小レンズに入射させて、微小レンズごとの点像を含んだ画像を求め、その画像を基に各微小レンズに対応した受光領域同士を重ね合わせて合成することにより、被検光学系１０のスポットダイアグラムを作成する構成となっている。この構成から、Ｓｈａｃｋ−Ｈａｒｔｍａｎｎの原理を利用して、実際に測定して検出された点像を含む画像を基にしてスポットダイアグラムを作成するため、被検光学系１０の有する収差を忠実に反映させたスポットダイアグラムを得ることができ、よって、被検光学系１０の結像性能を高精度に評価可能となる。第２に、イメージセンサー３０の各受光領域は、それぞれ略正方形で且つ同一形状に形成されている。この構成から、画像処理部４０において、受光領域同士を重ねる演算処理が簡易となって処理時間（スポットダイアグラムの作成時間）を短縮できる。

以下に、第２の実施形態に係る光学系評価装置２について説明する。光学系評価装置２は、上述の第１の実施形態に係る光学系評価装置１とほぼ同一構成となっており、光学系評価装置１と異なる部分を中心に説明する。なお、同一番号を付した構成部材は、上述の第１の実施形態において説明したとおりである。

図１に、第２の実施形態に係る光学系評価装置２を示しており、光学系評価装置２は、光源５、ＭＬＡ２０、イメージセンサー３０および画像処理部４１を主体に構成されている。画像処理部４１は、内部に光強度判断部（図示せず）を有するとともに、無収差となった被検光学系を通過した照明光を、イメージセンサー３０において受光したときの点像の最大光強度データ（図示せず）を予め記憶している。また、被検光学系１０の光学設計値および光学系評価装置２の調整誤差等から想定される収差を用いて、形状が崩れた（円形とはなっていない）点像パターンを算出（再現）することは容易であり、収差と点像パターンとを対応させたデータテーブル（図示せず）が予め作成されて、画像処理部４１に記憶されている。さらに、画像処理部４１は、イメージセンサー３０において検出された２次元像が入力され、その２次元像を基に被検光学系１０のスポットダイアグラムを作成するように構成されており、そのスポットダイアグラムの作成方法の詳細については後述する。

以上、光学系評価装置２の構成部材について説明したが、以下において、光学系評価装置２を用いて被検光学系１０のスポットダイアグラムを作成する方法について、図６に示すフローチャートを参照しながら説明する。

ステップ１１において、上述したステップ１と同様に、各微小レンズに入射した照明光は、その微小レンズに対応した受光領域において結像するとともに、点像として撮像された画像が得られる。

ステップ１２に進み、上記ステップ１１において得られた点像を含む画像が、イメージセンサー３０から画像処理部４１に出力される。画像処理部４１は上記画像を入力し、光強度判断部が各点像の光強度を検出するとともに、予め記憶された最大光強度データと検出された光強度とを比較する。例えば、検出された光強度が最大光強度データの８０％以上であると判断された場合には、ステップ１３に進み、８０％未満であると判断された場合にはステップ１６に進む。

ここで、ステップ１３に進む場合は、被検光学系１０の収差が比較的小さく、各点像は円形のドット状（点）となって撮像されており、ステップ１６に進む場合は、被検光学系１０の収差が比較的大きく、各点像は大きく広がるとともに形状が崩れて円形とはなっていない。よって、ステップ１２においては、各点像から直接中心点が算出できるか否かの判定を行っており、直接中心点が算出できる（光強度が最大光強度データの８０％以上）と判断された場合はステップ１３に進み、直接中心点が算出できない（光強度が最大光強度データの８０％未満）と判断された場合はステップ１６に進むようになっている。

ステップ１６に進み、この場合上述したように各点像の形状は崩れており、図４に、色毎に点像の径が異なることによって点像の形状が崩れている状態の一例を示している。図４において縦軸が光強度、横軸が点像の径、４Ｒは赤色光、４Ｇが緑色光、４Ｂは青色光を示しており、また、赤色光の点像が最も径が大きく青色光の点像が最も径が小さくなっているとともに、色毎に点像の光強度のピーク位置およびピーク強度が異なっていることが見て取れる。また、４Ｗは白色光を示しており、４Ｗは４Ｒ、４Ｇおよび４Ｂを組み合わせることにより発色可能であり、図４から分かるように、４Ｗは点像の光強度のピーク位置を中心とした規則的な光強度分布とはなっていない。

画像処理部４１は、入力された画像に含まれる点像と予め記憶されたデータテーブルとを用いて、点像とデータテーブルとの相関値を算出し、算出された相関値から最も相関関係の取れたデータテーブルを選択することによって、色毎の点像の径および色毎の点像の光強度のピーク位置を算出する。上記のようにして、点像とデータテーブルとを比較し、算出された色毎の点像の径および光強度のピーク位置を基に、受光領域内のどの位置に点像の中心点があるのかを検出可能となり、ステップ１３に進む。

ステップ１３に進み、上述したステップ２と同様にして、画像処理部４１はすべての点像の中心点を算出することにより、受光領域内に中心点がプロットされた中心点画像が得られる。

ステップ１４に進み、上述したステップ３と同様にして、画像処理部４１は、中心点画像を基に受光領域同士を重ねる。

ステップ１５に進み、上述したステップ４と同様にして、ＭＬＡ２０を構成する全ての微小レンズの受光領域を重ねて表示することにより、被検光学系１０全体のスポットダイアグラムが得られる。そして、中心点の分布および拡がり方等を詳細に分析することにより、被検光学系１０の有する収差の種類および収差の大きさ等が検出されて、被検光学系１０の結像性能の評価が可能となり、このフローは終了する。

第２の実施形態に係る光学系評価装置２の効果について簡潔にまとめると、画像処理部４１の内部には、最大光強度データが予め記憶されており、光強度判断部が検出された点像の光強度と最大光強度データとを比較することによって、点像から直接中心点が算出可能か否かの判断を行う。そして、点像から直接中心点が算出できないと判断されると、画像処理部４１は、点像と予め記憶されたデータテーブルとを比較して相関値を算出し、算出された相関値から最も相関関係の取れたデータテーブルを選択することによって、色毎の点像の径および色毎の点像の光強度のピーク位置を算出する構成となっている。上記構成より、被検光学系１０の収差が大きく各点像の形状が崩れている場合においても、被検光学系１０の有する収差を忠実に反映させたスポットダイアグラムを得ることができ、よって、被検光学系１０の結像性能を高精度に評価可能となる。

以下に、上述の実施例１または実施例２の構成を用いて、微小レンズ内（例えば微小レンズ２３内）に平面波と見なせない湾曲した波面が入射した場合におけるスポットダイアグラムを得る手法を、第３の実施形態として図７を参照しながら説明する。上述の実施例１において、上記のような湾曲した波面が入射したことは、例えば点像の径に閾値を設けておき、撮像された点像の径を閾値と比較することにより、判定される。上述の実施例２において、上記のような湾曲した波面が入射したことは、例えばデータテーブルに記憶された点像の形状情報と撮像された点像の形状との相関値に閾値を設けておくことにより、判定される。微小レンズ２３内に平面波と見なせない湾曲した波面が入射した場合には、イメージセンサー３０の受光領域３３において、その波面の湾曲度合いに応じて拡がった点像が撮像される。

このとき、上述の実施例１または実施例２と同様にして、画像処理部４０または画像処理部４１において、微小レンズ２３に対応する受光領域３３において点像６３の中心点６３ａを求める。そして、点像６３の中心点６３ａと受光領域３３における光軸位置１０ｂとのズレ量ｒｉ（ｐｉ）を、（Δｘｉ，Δｙｉ）として求める。次に、微小レンズ２３内に平面波と見なせる波面が入射した場合の点像６４と点像６３との形状を比較し、点像の径方向への拡がり量Δｒｉ（ｐｉ）を、点像６３の径（ｐｉ）と平面波と見なせる波面の点像６４の径（ｒ）との差を求める。このようにして拡がり量Δｒｉ（ｐｉ）を求めることにより、点像６３の拡がり量が正確かつ簡易に得られ、後述するように、この拡がり量を反映させた点像の表示が可能となる。そして、中心点６３ａからズレ量ｒｉ（ｐｉ）の方向における拡がり量Δｒｉ（ｐｉ）だけ離れた位置に、スポットダイアグラム作成用の点像６３ｂを表示させる。他の各受光領域に平面波と見なせない波面が入射した場合も同様にして、各点像のズレ量ｒｉの方向における拡がり量Δｒｉだけ離れた位置にスポットダイアグラム作成用の点像を表示させ、これらの点像画像を合成してスポットダイアグラムを作成する。

収差量が大きく微小レンズ２３の径の微小領域に分割しても、収差を含んで平面波と見なせない湾曲した波面が入射する場合、もし仮に、個々の点像の中心点（の位置）のみを収差情報としてスポットダイアグラムに表示させると、この湾曲の原因となった収差を無視することになり、被検光学系１０の光学性能を実際よりも良いように表示することになる。そこで、上述のように、収差による点像の拡がり量を点像の位置に反映させた点像（例えば点像６３ｂ）を用いてスポットダイアグラムを作成することにより、被検光学系１０の光学性能をより正確に表現可能となる。

上述の実施例１、実施例２および実施例３において、収差を含まない平面波を、各微小レンズ２１，２２，２３・・・に入射させた際にできる各点像の中心点（基準点）を予め計測しておき、その中心点を重ね合わせてスポットダイアグラムを作成ことも可能である。この場合、各微小レンズの各光軸位置と上記各中心点とが一致していれば、どちらか一方の重ね合わせやすい方を選択して重ね合わせの基準として用いることができ、スポットダイアグラムの作成が容易となる。

また、各光軸位置と上記各中心点とが一致している場合において、半径が１の単位円上の複素関数であって、極座標の引数（ｒ，θ）を有するＺｅｒｎｉｋｅ多項式を用いて、収差量を分解して解析する。このとき、チルト成分を表したｒ・ｃｏｓθと表されるＺｅｒｎｉｋｅ係数のＺ２項、およびｒ・ｓｉｎθと表されるＺｅｒｎｉｋｅ係数のＺ３項が表現されているスポットダイアグラムを得ることができる。少なくとも、微小レンズ２１，２２，２３・・・の配列ピッチと、各受光領域３１，３２，３３・・・のピッチとが正確に分かっている場合は、各受光領域３１，３２，３３・・・上の座標を、微小レンズ２１，２２，２３・・・の配列ピッチで区切って重ねることにより、上記Ｚ２項およびＺ３項以外は表現可能である。

上述の第１の実施例において、点像５１，５２，５３・・・の中心である中心点５１ａ，５２ａ，５３ａ・・・の算出方法は、回折像の周囲を形成する同心円輪状部分の間隔を読み取る方法に限定されず、例えば光強度が最も高くなったピーク位置を求めて算出しても良い。

上述の第２の実施例において、画像処理部４１の光強度判断部は、検出された光強度が最大光強度データの８０％以上であるか否かを判断する構成となっているが、この構成に限定されない。

ステップ１３において点像の中心点が算出可能となっていれば良く、例えば検出された光強度が最大光強度データの７０％以上であるか否かによって判断する構成でも良い。

上述の第２の実施例において、波面１１における各色の波面収差が極端に大きい場合、例えば１０λ（１０波長）を遥かに超えるような場合、ステップ１６において、色毎の点像の径および色毎の点像の光強度のピーク位置を正確に算出することは困難であり、作成されたスポットダイアグラムに誤差が生じることとなる。このような場合、用いた被検光学系１０が調整途中であることが多く、そのため概して精度が要求されない。一方で、精度が要求されるのは、十分に調整が行われて完成された被検光学系１０を用いた場合であり、この場合に大きな収差が検出されるということは、そのような光学設計がなされたためである。そのため、この場合には上記光学設計による設計値を用いて点像の中心点を算出して、スポットダイアグラムを作成可能である。つまり、光学系評価装置２は、色毎に極端に大きな波面収差が生じるような被検光学系１０を用いた場合においても、結像性能の評価に支障をきたすことなくスポットダイアグラムを高精度に作成可能である。

上述の実施例において、被検光学系１０として凸レンズを用いているが、この構成に限定されず、被検光学系１０としての凹レンズを補助レンズとともに用いることにより、凹レンズのスポットダイアグラムを作成することが可能となる。

第１の実施形態に係る光学系評価装置の構成を示す概念図である。 スポットダイアグラムの作成手順を示す説明図である。 第１の実施形態に係る光学系評価装置によって得られたスポットダイアグラムの一例である。 色毎に点像の径および光強度を示したグラフである。 第１の実施形態に係る光学系評価装置によって、スポットダイアグラムを作成する手順を示したフローチャートである。 第２の実施形態に係る光学系評価装置によって、スポットダイアグラムを作成する手順を示したフローチャートである。 平面波と見なせない湾曲した波面が微小レンズに入射した場合における、スポットダイアグラムの作成方法を示した説明図である。

符号の説明

１ 光学系評価装置 ５ 光源（照明光学系）
１０ 被検光学系 ２０ ＭＬＡ（レンズアレイ）
２１ 微小レンズ ３０ イメージセンサー（撮像部）
３１ 受光領域 ４０ 画像処理部（演算処理部）

Claims (4)

1. 被検光学系に照明光を照射する照明光学系と、
   前記被検光学系を通過して出射した前記照明光が、平面状に配列された複数の微小レンズに入射するように配設されたレンズアレイと、
   前記複数の微小レンズを通過して集光された前記照明光を、前記複数の微小レンズの各々に対応した複数の受光領域において点像として受光する撮像部と、
   前記複数の受光領域において取得された画像を基に前記被検光学系の結像性能を演算する演算処理部とを備え、
   前記演算処理部は、前記複数の受光領域における前記複数の微小レンズの各々の光軸位置を一致させるようにして、前記複数の受光領域において取得された前記画像を合成して点像分布を算出することを特徴とする光学系評価装置。
2. 前記撮像部は、前記被検光学系を通過して出射した前記照明光に含まれる前記被検光学系の収差を、前記画像における前記照明光の前記点像位置に反映させて受光し、
   前記演算処理部は、前記被検光学系の収差が反映された前記画像を合成することを特徴とする請求項１に記載の光学系評価装置。
3. 前記演算処理部は、比較用光強度データおよび光強度判断部を有するとともに前記点像の光強度を検出するように構成され、
   前記光強度判断部は、前記比較用光強度データと前記光強度とを比較し、
   前記演算処理部は、前記光強度判断部の比較結果に応じて前記点像分布を算出することを特徴とする請求項１または２に記載の光学系評価装置。
4. 前記演算処理部は、前記撮像部において受光された点像の径に基づいて補正された前記点像位置を用いて前記点像分布を算出することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の光学系評価装置。

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