JP5450975B2 - 測定装置および測定方法 - Google Patents
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Description
本発明の他の側面としての測定方法は、光源からの光を、ピンホールを介して被検光学系に照射し、前記被検光学系を透過した光の波面を回折格子により分割し、前記回折格子によって分割された複数の波面を集光光学系により重ね合わせるように集光し、前記複数の波面を重ね合わせることにより形成されるタルボ像を撮像素子により撮像し、前記撮像素子による撮像結果から前記被検光学系を透過した光の波面を算出する測定方法であって、前記集光光学系と前記撮像素子を前記集光光学系の光軸に沿って移動させる移動手段を用いて、前記回折格子と前記撮像素子の撮像面が前記集光光学系によって共役となる位置に前記集光光学系と前記撮像素子を配置したときの前記撮像素子による撮像結果から第1の波面を算出するステップと、前記タルボ像が形成される面と前記撮像素子の撮像面が前記集光光学系によって共役となる位置に前記移動手段を用いて前記集光光学系と前記撮像素子を配置したときの前記撮像素子による撮像結果から第2の波面を算出するステップと、前記第2の波面から前記第1の波面を引くことによって前記被検光学系の波面を算出するステップと、を有することを特徴とする。
2 ピンホールマスク
2a ピンホール
3、11、13 移動手段
4 計算機
10 波面センサー部
12 回折格子
14 瞳結像光学系(集光光学系)
16 撮像素子
Claims (5)
- 光源からの光を、ピンホールを介して被検光学系に照射することによって、前記被検光学系を透過した光の波面を測定する測定装置であって、
前記被検光学系を透過した光の波面を分割する回折格子と、
前記回折格子によって分割された複数の波面を重ね合わせるように集光する集光光学系と、
前記複数の波面を重ね合わせることにより形成されるタルボ像を撮像する撮像素子と、
前記撮像素子による撮像結果から前記被検光学系を透過した光の波面を算出する計算機と、
前記集光光学系と前記撮像素子を前記集光光学系の光軸に沿って移動させる移動手段とを有し、
前記計算機は、前記回折格子と前記撮像素子の撮像面が前記集光光学系によって共役となる位置に前記移動手段を用いて前記集光光学系と前記撮像素子を配置したときの前記撮像素子による撮像結果から第1の波面を算出し、前記タルボ像が形成される面と前記撮像素子の撮像面が前記集光光学系によって共役となる位置に前記移動手段を用いて前記集光光学系と前記撮像素子を配置したときの前記撮像素子による撮像結果から第2の波面を算出し、前記第2の波面から前記第1の波面を引くことによって前記被検光学系の波面を算出することを特徴とする測定装置。 - 前記移動手段は、前記集光光学系と前記撮像素子の位置関係を維持した状態で前記集光光学系と前記撮像素子を移動させることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 前記回折格子は2次元回折格子であることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 前記集光光学系はズームレンズを有することを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 光源からの光を、ピンホールを介して被検光学系に照射し、前記被検光学系を透過した光の波面を回折格子により分割し、前記回折格子によって分割された複数の波面を集光光学系により重ね合わせるように集光し、前記複数の波面を重ね合わせることにより形成されるタルボ像を撮像素子により撮像し、前記撮像素子による撮像結果から前記被検光学系を透過した光の波面を算出する測定方法であって、
前記集光光学系と前記撮像素子を前記集光光学系の光軸に沿って移動させる移動手段を用いて、前記回折格子と前記撮像素子の撮像面が前記集光光学系によって共役となる位置に前記集光光学系と前記撮像素子を配置したときの前記撮像素子による撮像結果から第1の波面を算出するステップと、
前記タルボ像が形成される面と前記撮像素子の撮像面が前記集光光学系によって共役となる位置に前記移動手段を用いて前記集光光学系と前記撮像素子を配置したときの前記撮像素子による撮像結果から第2の波面を算出するステップと、
前記第2の波面から前記第1の波面を引くことによって前記被検光学系の波面を算出するステップと、
を有することを特徴とする測定方法。
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