JP5955375B2 - 光学デバイス - Google Patents
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Claims (13)
- a.物体フィールド(5)を像フィールド(10)に結像する結像光学ユニット(9)と、
b.レチクル走査方向(21)に変位させることができるレチクルホルダ(8)により、前記結像光学ユニット(9)の物体平面(6)の領域に配置した、構造化されたマスク(7)と、
c.基板走査方向(22)に変位させることができる基板ホルダ(13)により、前記結像光学ユニット(9)の像平面(11)の領域に配置したセンサ装置(25)と、
を備え、
d.前記マスク(7)は、前記センサ装置(25)に結像する少なくとも1つの測定構造(27;33)を有し、
e.前記センサ装置(25)は、複数のセンサ素子(29)を有する少なくとも2つのセンサ列(28)を備え、
f.前記センサ列(28)は、個別の、互いに離間されたコンポーネントとして構成され、
g.前記センサ装置(25)は、前記基板ホルダ(13)に配置した基板(12)を露光するために前記基板ホルダ(13)を変位させる間に、前記結像光学ユニット(9)を
検査し得るように構成されている、光学デバイス。 - 請求項1に記載のデバイスにおいて、少なくとも2つのセンサ列(28)は、互いに垂直に配置されていることを特徴とするデバイス。
- 請求項1又は2に記載のデバイスにおいて、前記センサ装置(25)は、少なくとも1つの干渉装置(30;37)を備えることを特徴とするデバイス。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載のデバイスにおいて、前記センサ素子(29)は、少なくとも1kHzのクロック周波数を有することを特徴とするデバイス。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のデバイスにおいて、前記測定構造(27;33)は、少なくとも2つの回折方向を有する回折構造を備えていることを特徴とするデバイス。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のデバイスにおいて、前記測定構造(27;33)は、複数のチャネルが前記結像光学ユニット(9)のチャネル分解検査用に形成されるように構成されていることを特徴とするデバイス。
- 請求項6に記載のデバイスにおいて、複数のセンサ素子(29)を有する少なくとも1つのセンサ列(28)を備えた前記センサ装置(25)の特定の領域を、前記チャネルのそれぞれに関連付けたことを特徴とするデバイス。
- 結像光学ユニット(9)を検査する方法であって、
物体フィールド(5)を像フィールド(10)に結像する少なくとも1つの光学素子(24i)を有する、結像光学ユニット(9)を設けるステップと、
感光性コーティングを有する基板(12)を設けるステップと、
被結像構造(26、27;33)を有するマスク(7)を設けるステップと、
複数のセンサ素子(29)を有する少なくとも2つのセンサ列(28)を備えた、センサ装置(25)を設けるステップと、
レチクル走査方向(21)に変位させることができるレチクルホルダ(8)により、前記マスク(7)を前記結像光学ユニット(9)の物体平面(5)に配置するステップと、
基板走査方向(22)に変位させることができる基板ホルダ(13)により、前記基板(12)を前記結像光学ユニット(9)の像平面(11)に配置するステップと、
前記基板ホルダ(13)により、前記センサ装置(25)を前記像平面(11)の領域に配置するステップと、
前記結像光学ユニット(9)により、前記被結像構造(26、27;33)の少なくとも第1部分(26)を前記基板(12)に結像するステップと、
前記結像光学ユニット(9)により、前記マスク(7)の前記被結像構造(26、27;33)の第2部分(27;33)を前記センサ装置(25)に結像するステップと、
を含み、
前記センサ列(28)は、個別の、互いに離間されたコンポーネントとして構成され、
前記被結像構造(26、27;33)の前記第1部分(26)及び前記第2部分(27;33)を結像する目的で、前記基板ホルダ(13)を一定の走査速度(Vscan)で前記基板走査方向に変位させる、方法。 - 請求項8に記載の方法において、前記走査速度(Vscan)は少なくとも100mm/秒であることを特徴とする方法。
- 請求項8又は9に記載の方法において、前記被結像構造(26、27;33)を結像する目的で、前記レチクルホルダ(8)及び前記基板ホルダ(13)を、同期させた状態で変位させることを特徴とする方法。
- 請求項8〜10のいずれか1項に記載の方法において、前記物体フィールド(5)を前記像フィールド(10)に結像するのに用いる放射(14)をビームに分割することを特徴とする方法。
- 投影露光装置(1)であって、
照明系(2)と、
請求項1〜7のいずれか1項に記載のデバイスと
を備えた投影露光装置。 - 微細構造又はナノ構造コンポーネントを製造する方法であって、
マスク(7)を設けるステップと、
感光性コーティングを有するウェハ(12)を設けるステップと、
センサ装置(25)を設けるステップと、
請求項12に記載の投影露光装置(1)を用いて、前記マスク(7)の少なくとも一部を前記ウェハ(12)に投影するステップと、
請求項12に記載の前記投影露光装置(1)を用いて、前記マスク(7)の少なくとも一部を前記センサ装置(25)に投影するステップと、
前記ウェハ(12)上の前記感光性コーティングを現像するステップと、
を含む方法。
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