JP4196805B2 - 酸化インジウム系ターゲットおよびその製造方法 - Google Patents
酸化インジウム系ターゲットおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4196805B2 JP4196805B2 JP2003363923A JP2003363923A JP4196805B2 JP 4196805 B2 JP4196805 B2 JP 4196805B2 JP 2003363923 A JP2003363923 A JP 2003363923A JP 2003363923 A JP2003363923 A JP 2003363923A JP 4196805 B2 JP4196805 B2 JP 4196805B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface area
- density
- powder
- specific surface
- indium oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
平均粒径が0.5μmであり比表面積が10m2/gの酸化インジウム粉末に、平均粒径が3μmであり比表面積が7m2/gの酸化スズを全体に対し3質量%となるように添加して混合粉末とし、該混合粉末にバインダーとしてポリビニルアルコールを全体に対し2質量%となるように添加し、ボールミルにて湿式で粉砕および混合処理を20時間施した。これにより、混合粉末は最大粒径が1.0μm程度まで微細化された均質な状態を得た。得られたスラリーを、スプレードライヤーにて乾燥および整粒し、粒度を150μm以下に調整したものを、造粒粉とした。
平均粒径が0.5μmであり比表面積が10m2 /gの酸化インジウム粉末に、平均粒径が3μmであり比表面積が7m2 /gの酸化スズを3質量%、平均粒径が0.6μmであり比表面積が15m2 /gの酸化セリウムを10質量%、および平均粒径が0.3μmであり比表面積が50m2 /gの酸化チタン粉末を0.5質量%となるように添加して混合粉末とし、該混合粉末にバインダーとしてポリビニルアルコールを2質量%となるように添加し、ボールミルにて湿式で粉砕および混合処理を20時間施した。これにより、混合粉末は最大粒径が1.5μm程度まで微細化された均質な状態を得た。得られたスラリーを、スプレードライヤーにて乾燥および整粒し、粒度を150μm以下に調整したものを、造粒粉とした。
原料の添加量および焼結温度を表1に示したように変えた以外は、実施例2と同様の方法にて、焼結体を得た。焼結密度および割れ状況の結果を、表1に示す。
スパッタリングでは、実施例2で得られた焼結体を、バッキングプレートに接合後、スパッタ投入電力3W/cm2 でDCによる連続スパッタを行い、成膜速度の使用初期と末期とで測定したところ、成膜速度は使用初期に対して使用末期で90%以上であった。また、使用後のターゲットの表面を観察したが、ノジュールの生成は認められず、異常放電の痕跡も観測されなかった。
Claims (2)
- 比表面積が5〜15m2/gの酸化インジウム粉末に、比表面積が5〜15m2/gの酸化スズ粉末を2〜8質量%、比表面積が5〜25m2/gの酸化セリウム粉末を5〜20質量%、および比表面積が5〜60m2/gの酸化チタンを1質量%以下となるように添加して混合粉末とし、該混合粉末を微粉化して、造粒およびCIP成形を施した後、酸素雰囲気中または大気雰囲気中で、1300℃を超え1450℃以下の温度で焼結を行うことを特徴とする、酸化インジウム系ターゲットの製造方法。
- 請求項1に記載の製造方法により製造され、焼結密度が7.0g/cm3以上であることを特徴とする、酸化インジウム系ターゲット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003363923A JP4196805B2 (ja) | 2003-10-23 | 2003-10-23 | 酸化インジウム系ターゲットおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003363923A JP4196805B2 (ja) | 2003-10-23 | 2003-10-23 | 酸化インジウム系ターゲットおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005126766A JP2005126766A (ja) | 2005-05-19 |
JP4196805B2 true JP4196805B2 (ja) | 2008-12-17 |
Family
ID=34643064
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003363923A Expired - Fee Related JP4196805B2 (ja) | 2003-10-23 | 2003-10-23 | 酸化インジウム系ターゲットおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4196805B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007072755A1 (ja) * | 2005-12-19 | 2007-06-28 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Ito焼結体原料混合粉末 |
JP5205696B2 (ja) * | 2006-02-24 | 2013-06-05 | 住友金属鉱山株式会社 | 酸化ガリウム系焼結体およびその製造方法 |
JP2007290875A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-08 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 酸化チタン系焼結体およびその製造方法 |
JP6043487B2 (ja) * | 2012-01-31 | 2016-12-14 | 株式会社フジクラ | 超電導薄膜作製用ターゲットの製造方法と酸化物超電導線材の製造方法 |
JP5971201B2 (ja) * | 2013-06-17 | 2016-08-17 | 住友金属鉱山株式会社 | In−Ce−O系スパッタリングターゲットとその製造方法 |
JP6291593B2 (ja) * | 2014-11-07 | 2018-03-14 | Jx金属株式会社 | Itoスパッタリングターゲット及びその製造方法並びにito透明導電膜の製造方法 |
CN114620996A (zh) * | 2022-02-23 | 2022-06-14 | 洛阳晶联光电材料有限责任公司 | 一种高效太阳能电池用旋转陶瓷靶材 |
CN116375463A (zh) * | 2023-04-17 | 2023-07-04 | 湘潭大学 | 一种氧化铟锡铈靶材及其制备方法和应用 |
-
2003
- 2003-10-23 JP JP2003363923A patent/JP4196805B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005126766A (ja) | 2005-05-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102322184B1 (ko) | 산화인듐-산화아연계 (izo) 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법 | |
KR101274279B1 (ko) | 산화인듐 소결체, 산화인듐 투명 도전막 및 그 투명 도전막의 제조 방법 | |
KR20100027247A (ko) | 스퍼터링 타겟, 투명 전도막 및 이들의 제조방법 | |
JPH10158827A (ja) | Ito焼結体およびitoスパッタリングターゲット | |
JP4758697B2 (ja) | Izoスパッタリングターゲットの製造方法 | |
JP4196805B2 (ja) | 酸化インジウム系ターゲットおよびその製造方法 | |
CN104710163A (zh) | Izo溅射靶的制造方法 | |
JP4734936B2 (ja) | Ito造粒粉末及びito焼結体並びにその製造方法 | |
JP4813182B2 (ja) | Itoスパッタリングターゲット | |
TWI707967B (zh) | 透明導電膜用濺鍍靶 | |
KR20100002984A (ko) | 산화아연계 스퍼터링 타겟, 그 제조 방법 및 그를 이용하여제조된 산화아연계 박막 | |
JP4733930B2 (ja) | 複合酸化物焼結体の製造方法及びその焼結体からなるスパッタリングターゲット | |
JP2014043598A (ja) | InZnO系スパッタリングターゲットの製造方法 | |
JP4120351B2 (ja) | 高濃度酸化スズitoターゲットとその製造方法 | |
WO2011061916A1 (ja) | Ito焼結体の製造方法及びitoスパッタリングターゲットの製造方法 | |
JP6637948B2 (ja) | Izoターゲット及びその製造方法 | |
JP4706268B2 (ja) | Ito造粒粉末及びito焼結体並びにその製造方法 | |
JP4755453B2 (ja) | Izoスパッタリングターゲットの製造方法 | |
JPH08246139A (ja) | 酸化物焼結体 | |
TWI710650B (zh) | 透明導電膜用濺鍍靶 | |
JP2003002749A (ja) | 酸化インジウム粉末およびitoスパッタリングターゲットの製造方法 | |
JP2001073123A (ja) | Itoターゲットおよびその製造方法 | |
JP4665526B2 (ja) | 酸化インジウムを含有するスパッタリングターゲットの製造方法 | |
JPH02141459A (ja) | インジウム‐スズ酸化物焼結体の製造法 | |
KR101302680B1 (ko) | 산화인듐주석 타겟 및 그 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051101 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080422 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080618 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080729 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080730 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080909 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080922 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111010 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4196805 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111010 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121010 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131010 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |