JP4195915B2 - Pcプロジェクターを用いた任意パターン転写装置 - Google Patents
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Description
本発明は、フォトリソグラフィ用に任意のパターンを転写することができる投影露光装置に関する。
背景技術
リソグラフィ用の投影露光装置として、マスクアライナとステッパ(縮小投影露光装置)とがある。前者は、ワイドエリアのレチクルマスクパターンを一括露光する装置であり、ラインアンドスペースで0.8μm以上の精度があり、液晶などのデバイス作製に不可欠の装置となっている。また、後者のステッパは、半導体プロセス専用のもので、デバイスサイズ毎にレチクルマスクパターンを縮小結像させて露光する装置となっており、ラインアンドスペースで0.18〜0.5μm程度の精度がある。
しかしながら、前者のマスクアライナをデバイスの研究開発に用いようとすると、レチクルが非常に高価となり、またレチクルの納期が非常に長くなることから、試行錯誤的な実験を迅速に繰り返すことが困難となる。また、比較的安価なマニュアル操作型のマスクアライナでは、アライメント等がマニュアルとなるため操作に熟練を要し、実験結果等の再現性が操作の熟練の度合いに左右されることになる。
一方、後者のステッパについても、レチクルの作製について上記と同様の問題があるばかりでなく、装置が高価であること、装置の設備環境が非常にシビアであること、フルオートであり半導体プロセス以外の目的に使用することが困難であること等から、研究開発目的での使用は現実的でない。
そこで、本発明は、簡易に任意のパターンを転写することができ、しかも、小型で、安価で、操作が簡単な研究開発用の投影露光装置を提供することを目的とする。
発明の開示
上記課題を解決するため、本発明の投影露光装置は、反射型若しくは透過型の表示部を有し、この表示部に露光すべき所定の画像を表示させる表示装置と、露光の対象となる基板を支持するステージと、表示部上に表示された所定の画像をステージ上の基板の表面に投影するテレセントリックタイプの投影レンズとを備える。
上記投影露光装置では、投影レンズが表示部上に表示された所定の画像をステージ上の基板の表面に投影するので、任意の画像を基板上に簡易に転写することができる。すなわち、表示装置は、例えば液晶表示装置等で構成することができ、電気的な入力信号に応じて上記所定の画像の表示を簡易に変更することができ、しかも安価なものが市販されているので、高価で長納期のレチクルを使用する場合に比較して、研究開発段階での設計や仕様の変更が簡易となる。さらに、投影レンズとしてテレセントリックタイプのものを用いているので、光軸方向にわずかなアライメント誤差等があっても基板上の転写像の結像倍率等に与える影響が少なくなり、再現性の高いパターン転写が可能になる。
上記装置の好ましい態様では、投影レンズが、この投影レンズの倍率を変化させるズーム光学系を有し、当該ズーム光学系は、インナー駆動方式の変倍機構を有する。
この場合、投影レンズが縮小倍率を変化させるズーム光学系を有し、当該ズーム光学系は、インナー駆動方式の変倍機構を有するので、表示部上に表示された所定の画像をステージ上の基板に適宜任意の倍率で投影することができるだけでなく、変倍に際してワーキングディスタンスが変わることがないので作業性を高めることができる。
上記装置の好ましい態様では、投影レンズに設けた開口絞りの大きさを調節する絞り調節機構をさらに備える。
この場合、開口絞りの大きさを調節する絞り調節機構をさらに備えるので、表示部上に表示された所定の画像がドットマトリックスを連結した階段状の輪郭を有する場合であっても、絞り調節機構の調整次第で解像度を変更することができ、基板上に投影された投影像の輪郭を比較的滑らかなものとできる。
上記装置の好ましい態様では、表示装置に所定の画像に対応する画像データを供給して表示部に設けたドットマトリックスタイプの画素の表示状態を画像データに対応する表示状態に切り替えさせる制御コンピュータをさらに備える。
この場合、制御コンピュータを利用して表示装置に供給する画像データを簡易かつ迅速に修正・変更することができ、投影露光装置の操作性が高まる。
上記装置の好ましい態様では、表示装置は、例えば液晶表示装置等で構成することが好ましい。
発明を実施するための最良の形態
図1は、本発明の一実施形態に係るの投影露光装置の構造を概略的に説明する図である。
この投影露光装置は、露光の対象となる基板Wを支持するステージ10と、基板Wに露光すべき転写用パターンを液晶表示部である液晶パネル21に表示させる液晶表示装置20と、液晶パネル21上に表示された転写用パターンをステージ10上の基板Wの表面に投影するテレセントリックタイプの投影レンズ装置30と、投影露光装置の全体的な動作を統括制御するコンピュータ40とを備える。
ステージ10は、基板WをX−Y面内で移動させることができるとともにZ軸の方向に移動させることができる。さらに、ステージ10は、X軸やY軸の回りに回転可能となっており、基板Wのチルト角を調整できるようになっている。ステージ10上の基板WのX、Y面内での位置やZ軸方向の位置、さらに基板Wのチルト角は、アライメントユニット50から出力される計測結果に基づいて、コンピュータ40によって制御されている。
なお、アライメントユニット50は、ステージ10上のマークを読み取ったり、基板W上に検査光を照射等することによって、光学的にステージ10等の位置や傾きを検出することができる。このようなアライメントユニット50を用いることで、基板Wの投影レンズ装置30に対する自動的なアライメントが可能になり、フルオートで動作する投影露光装置とすることができる。
液晶表示装置20は、市販の液晶プロジェクタを利用したものであり、ドットマトリックス状の画素からなり任意の転写用パターンを表示する透過照明型の液晶パネル21と、液晶パネル21を駆動して各画素のオン・オフ表示を切り替える駆動回路22と、液晶パネル21を裏面から照明する露光光源装置23とを備える。ここで、液晶パネル21は、転写用パターンを表示するマスクとしての役割を有する。
投影レンズ装置30は、液晶表示装置20の液晶パネル21に表示された転写用パターンを一旦結像して中間像を形成する第1結像系31と、第1結像系31によって形成された中間像を基板W上に任意の倍率で投影する第2結像系32と、基板Wの像を観察するための観察光学系34とを備える。ここで、第2結像系32は、投影レンズ装置30の倍率を例えば3段階で変化させるテレセントリックタイプのズーム光学系であり、対物レンズ32aにインナー駆動方式の変倍機構や開口絞り調節機構を組み込んだ構造となっている。なお、レンズ制御ユニット52は、コンピュータ40からの指示に基づいて対物レンズ32aに設けた変倍機構を駆動し、投影レンズ装置30の投影倍率を調節する。また、第1結像系31と第2結像系32との間であって、第1結像系31によって液晶パネル21の中間像が形成される位置には、電磁式のシャッタ37が配置されている。このシャッタ37は、シャッタ駆動機構38によって駆動されて露光時のみ開状態となる。さらに、観察光学系34には、ファイバ35を介して照明光源装置36が接続されている。
制御用のコンピュータ40は、市販の液晶プロジェクタに付属しているパーソナルコンピュータを流用したもので、液晶表示装置20の動作を制御してマスクである液晶パネル21に所望の転写用パターンを表示させることができる。この際、パーソナルコンピュータに組み込まれたCADや画像処理ソフトを利用すれば、簡易かつ迅速に液晶パネル21上の転写用パターンを変更することができ、変更前後の転写用パターンに関する膨大なデータを統計的に管理することもできる。さらに、コンピュータ40は、液晶パネル21上の転写用パターンの表示状態に応じてレンズ制御ユニット52の動作を制御して対物レンズ32aによる縮小倍率や開口数を調節することができるようになっている。
図2は、投影レンズ装置30、液晶表示装置20等を構成する具体的な光学要素を説明する図である。露光光源装置23は、露光に必要な例えば紫外光を発生するランプ23aと、ランプ23aからの露光光を平行光にして液晶パネル21に入射させる放物面鏡23bとを備える。露光光によって裏面から照明された液晶パネル21の正面からは、転写用パターンの分布に応じて透過画素からのみ露光光が出射する。液晶パネル21の透過画素を出射した露光光は、レンズL1を経て平行光束にされ、反射鏡M1によって垂直方向に偏向され、レンズL2を経て集光される。レンズL2によって液晶パネル21の中間像が形成される位置には、電磁式のシャッタ37が配置されている。このシャッタ37を通過した露光光は、フィールドレンズであるレンズL3を経て平行光束にされ、ビームスプリッタに組み込んだダイクロイックミラーM2で反射されて垂直方向に偏向され、対物レンズ32aを経て基板W上に集光される。この結果、基板W上には、液晶パネル21上に形成された転写用パターンの縮小像等が投影される。これにより、基板W上のレジスト層を転写用パターンに応じて露光することができる。
一方、ファイバ35を介して投影レンズ装置30に供給された照明光は、ハーフミラーM3で反射され、ダイクロイックミラーM2を通過し、対物レンズ32aを経て基板Wを照明する。基板W上の各点で散乱された光は、対物レンズ32aで平行光束にされ、ダイクロイックミラーM2及びハーフミラーM3を通過し、結像レンズL5で集光されてCCDカメラ34aに入射する。これにより、露光光とは異なる波長で基板Wを観察することができる。
ここで、レンズL1とレンズL2とからなる第1結像系31は、両側テレセントリックの光学系であり、レンズL3と対物レンズ32aとからなる第2結像系32も、両側テレセントリックの光学系である。さらに、対物レンズ32aの基板W側のレンズは固定されており、ワーキングディスタンスが常に一定に維持される。また、対物レンズ32a内に設けた開口絞りVAは、第2結像系32の投影倍率に応じて自動制御されており、常に光学的な明るさ(実効F値)が一定に保たれるようになっている。
具体的な設計例では、レンズL1の焦点距離を約150mmとし、レンズL2の焦点距離を約70mmとし、レンズL3の焦点距離を約200mmとした。さらに、対物レンズ32aの焦点距離は、2mm、20mm、100mmの3段階で変更できるようにした。対物レンズ32aの焦点距離が2mmの場合、NA0.5で100倍の縮小像が形成され、対物レンズ32aの焦点距離が20mmの場合、NA0.26で10倍の縮小像が形成され、対物レンズ32aの焦点距離が100mmの場合、NA0.055で2倍の縮小像が形成される。
なお、対物レンズ32a内に設けた開口絞りVAは、解像度調節のために流用することができる。図3は、液晶パネル21に表示される転写用パターンと、基板W上に形成される投影像との関係を説明する図である。図3(a)は、液晶パネル21に表示される転写用パターンを示し、図3(b)は、基板W上に形成される投影像を示す。3(a)に示すように、転写用パターンは、液晶パネル21の縦又は横方向に延びる部分では滑らかな輪郭となるが、液晶パネル21の斜め方向に延びる部分では階段状で、でこぼこの輪郭となる。このため、対物レンズ32a内に設けた開口絞りVAの径を調節することにより、解像度を意図的に劣化させる。図3(b)は、解像度を意図的に劣化させた場合に基板W上に形成される投影像を説明する図である。この場合、液晶パネル21の斜め方向に延びる部分でも、比較的滑らかな輪郭が得られる。なお、本実施形態では、テレセントリック系である投影レンズ装置30を用いて転写用パターンを基板W上に投影しているので、開口絞りVAを制御して解像度を変更しても倍率等が変化しないという利点がある。
以下、図1及び図2に示す投影露光装置の動作について説明する。まず、シャッタ37を閉じた状態で、ステージ10上に基板Wをセットする。次に、コンピュータ40に適当な指示を入力して投影レンズ装置30に対しステージ10上の基板Wをアライメントする。次に、コンピュータ40に保存してある画像に関するパターンデータや新たに入力したパターンデータ等を用いて液晶パネル21に所望の転写用パターンを表示させる。次に、コンピュータ40に保存してある倍率データや絞りデータを用いてレンズ制御ユニット52を動作させて投影レンズ装置30による投影倍率を必要な値に設定し、解像度を適当な値に設定する。次に、コンピュータ40に保存してある露光時間に関するデータ基づいてシャッタ37を適当なタイミングで露光時間だけ開放する。これにより、露光光源装置23によって照明された液晶パネル21の転写用パターンが投影レンズ装置30を介して基板W上に投影されれる。基板W上に投影された投影像は、転写用パターンを所望の倍率に拡大又は縮小したものとなっており、さらに解像度を適当に劣化させて階段状のでこぼこの輪郭を滑らかにしたものとなっている。次に、基板Wを交換すれば、上記と同様の工程で、この基板Wを適宜露光することができる。この際、基板W上に投影される投影像は、コンピュータ40に適当な指示を入力する簡単な操作だけで基板Wごとに変更することができる。
[第2実施形態]
第2実施形態の投影露光装置は、第1実施形態の装置の変形例であるので、第1実施形態の場合と異なる部分についてのみ説明し、重複説明を省略する。
図4は、第2実施形態の投影露光装置に組み込まれる表示装置120の構造を概念的に説明する図である。この場合、図1に示す透過照明型の液晶パネル21に代えて反射型のDMD(digital micromirror device)からなる表示パネル121を用い、これに任意の転写用パターンを表示させる。
具体的に説明すると、表示パネル121は、露光光源装置23を構成するランプ23a及び放物面鏡23bからの露光光によって表面側から照明される。表示パネル121は、マトリックス状に配列され角度を適宜調整可能な多数のミラーからなり、図示を省略する駆動回路によって、入射した露光光を画素単位でレンズL1方向に反射させたり、レンズL1から外れた方向に反射させたりする切り替えが可能となっている。つまり、表示パネル121には、レンズL1の方向から観察すれば、任意の転写用パターンが表示される。この結果、図1に示す基板W上には、第1実施形態の場合と同様に、表示パネル121に形成された転写用パターンの縮小像等が投影され、基板W上のレジスト層を転写用パターンに応じて露光することができる。
以上、実施形態に即してこの発明を説明したが、この発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、アライメントユニット50は不可欠のものでなく、観察光学系34等を利用したマニュアル操作でアライメントを行うこともできる。
また、第2結像系32でズームの倍率比を大きくとると、諸収差が大きくなるため、第2結像系32を倍率比を分割した別々のズームレンズで構成することもできる。
また、縮小率が大きい等、必要な解像度が得られない場合、投影レンズ装置30を固定倍率とし、倍率の変更は、液晶パネル21に表示させる転写用パターンによって行うこともできる。
産業上の利用可能性
以上の説明から明らかなように、本発明の投影露光装置によれば、投影レンズが表示部上に表示された所定の画像をステージ上の基板の表面に投影するので、任意の画像を基板上に簡易に転写することができる。さらに、投影レンズとしてテレセントリックタイプのものを用いているので、高精度で再現性の高いパターン転写が可能になる。
本発明の投影露光装置は、簡易に任意のパターンを転写することができ、しかも、小型で、安価で、操作が簡単であり、研究開発用の投影露光装置に特に適している。
【図面の簡単な説明】
図1は、実施形態の投影露光装置の全体構造を説明する図である。
図2は、図1の装置の光学系を説明する図である。
図3(a)は、転写用パターンを示し、図3(b)は、解像度を調節した投影像を示す。
図4は、第2実施形態の投影露光装置の要部を説明するための図である。
Claims (3)
- 反射型、若しくは透過型の表示部を有し、当該表示部に露光すべき所定の画像を表示させる表示装置と、
露光の対象となる基板を支持するステージと、
前記表示部上に表示された前記所定の画像を前記ステージ上の前記基板の表面に投影するテレセントリックタイプの投影レンズと、
前記投影レンズに設けた開口絞りの大きさを調節する絞り調節機構と、
を備える投影露光装置。 - 前記投影レンズは、当該投影レンズの倍率を変化させるズーム光学系を有し、当該ズーム光学系は、インナー駆動方式の変倍機構を有することを特徴とする請求項1記載の投影露光装置。
- 前記表示装置に前記所定の画像に対応する画像データを供給して前記表示部に設けたドットマトリックスタイプの画素の表示状態を前記画像データに対応する表示状態に切り替えさせる制御コンピュータをさらに備えることを特徴とする請求項1または請求項2記載の投影露光装置。
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