JP4186084B2 - インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 - Google Patents
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Description
かかる本発明では、駆動時に圧電体能動部の端部が振動板から引っ張り応力を受けることがなく、応力集中が低減される。また、圧力発生室と周壁の境界部分に対向する領域近傍での破壊が抑制され、また、圧電体非能動部を介して下電極を圧力発生室へ導くことができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図2は、平面図およびその1つの圧力発生室の長手方向における断面構造を示す図である。
実施形態2に係るインクジェット式記録ヘッドの要部平面を図13に示す。本実施形態の基本的構成は実施形態1と同一であるが、圧電体能動部320の長手方向の端部の短辺320a、320bと、これらに対向する圧力発生室12の周壁の短辺12a、12bとの間のクリアランスΔyを所定の範囲になるように設定したものである。
以上、本発明の各実施形態を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
Claims (9)
- ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を構成する振動板を介して下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記圧電素子の前記下電極と前記圧電体層及び前記上電極とが積層された圧電体能動部の長手方向の少なくとも一方の端部が前記圧力発生室に対向する領域の端部より内側にあり、前記圧電体能動部の端部の外側には、前記下電極と前記圧電素子から連続する前記圧電体層とが積層された圧電体非能動部が前記振動板上に設けられていると共に、
前記圧電素子の駆動時に、前記圧電体能動部の長手方向の前記一方の端部近傍に対向する領域の前記振動板が前記圧力発生室の端部から長手方向内側に亘って前記圧電素子側に凸になった状態から前記圧電素子非形成面側に凸に変形しており、且つ前記圧電体能動部の長手方向の端部は、当該振動板の曲がりの曲率中心が前記圧電素子形成面側にある凸領域に位置していることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。 - 前記圧電体非能動部は、前記圧力発生室の周壁まで延設されていることを特徴とする請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記圧電体能動部の端部近傍に対向する領域の前記振動板は、前記圧電素子の駆動時に前記圧電素子非形成面側に凸になり、非駆動時には前記圧電素子形成面側に凸になることを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記圧電体能動部の端部近傍に対向する領域の前記振動板の前記圧電体層側の表面近傍には、前記圧電素子の駆動時に圧縮方向の応力がかかることを特徴とする請求項3に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記圧電体能動部の端部とは、前記圧力発生室に対向する領域内に設けられた前記圧電体層の端部であり、且つ当該圧電体層の端部には前記下電極及び前記上電極が存在することを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記圧電体能動部の端部は、前記圧電体層及び前記上電極が前記圧力発生室に対向する領域内にパターニングされた端部であることを特徴とする請求項5に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記圧電体能動部の上面には絶縁体層が形成され、前記上電極とリード電極との接続部であるコンタクト部が前記絶縁体層に形成されたコンタクトホール内に形成されていることを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記圧力発生室がシリコン単結晶基板に異方性エッチングにより形成され、前記振動板及び前記圧電素子の各層が成膜及びリソグラフィ法により形成されたものであることを特徴とする請求項1〜7の何れか一項に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 請求項1〜8の何れか一項に記載のインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置。
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