JP4185575B2 - エピタキシャル結晶化プロセス - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的に薄膜トランジスタに関し、更に詳細には、ポリシリコンフィルムを製造する典型的な方法に比べて低い温度で高品質のポリシリコンフィルムを製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
多結晶シリコン(ポリシリコン)薄膜トランジスタ(TFTs)は、アモルファスシリコン(a−Si)と比較すると性能が優れているため、広範囲のエレクトロニクスアプリケーションにとって重要である。現在、表面粗さが低く絶縁基体(例えば、酸化物、石英、ガラス)構造の完成度が高い高品質のポリシリコンフィルムを得る好ましい方法は、アモルファス相を蒸着し、次に熱アニーリングする方法である。結晶化プロセスは、普通550℃〜600℃で2時間以上アニーリングするか又は約800℃の高温で急速に(1秒より短い)熱アニーリングすることが要求される。結晶化に必要な "熱の量”が比較的大きいこととガラス基体の領域が広いことは両立せず、その理由はガラス基体は反り及び縮みの問題のために600℃より高い温度で長時間さらされることに耐えられないためである。
【0003】
絶縁基体上のa−Siフィルムの結晶化は2つのプロセスによって制限される。これらの2つの制限プロセスは、粒子の核形成と粒子成長である。核形成は粒子成長が起こる前に行われなければならない。核形成は主にa−Siと基体との間のより低いインターフェースで行われる。一度核形成が行われると、粒子成長は核形成された側から横方向(インターフェースに平行な方向)と垂直方向(インタフェースに垂直な方向)の両方向で行われる。高性能のTFTアプリケーションに適したポリシリコンフィルムは典型的には100nmより薄い厚さであるが平均的な粒子のサイズは100nmより大きいため、垂直方向の粒子成長よりもむしろ横方向の粒子成長が結晶化プロセスの制限ステップである。
【0004】
絶縁基体上に高品質ポリシリコンフィルムを得る新しい方法が提案される。この方法では、結晶化は隣接する多結晶フィルムからエピタキシャル成長することによって起こる。このようにして、成長は粒子の核形成率及び横方向の粒子成長率ではなく垂直(固相)結晶化率のみによって制限される。この結晶化方法によってプロセススループットがかなり改善されアニーリング温度が減少する。これらの改善点は、古い方法が有する、長いアニーリング時間又は高いアニーリング温度による反り及び縮みの問題を緩和する。
【0005】
従って、本発明の主な目的は従来のアニーリングプロセスよりも低温及び短い時間を必要とするポリシリコンフィルムの結晶化方法を提供することである。
【0006】
本発明の更なる利点は以下の記述を読み進めることによって明白になるであろう。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明に従って手短に述べると、a−Siフィルムの結晶化を "促進する”ポリシリコンゲルマニウム(poly-Si1-xGex ;ここで、xは0より大きいが1以下の数である)キャッピングフィルムを使用した新しい結晶化方法が提供される。キャッピングフィルムが配置されると、結晶化は通常の方法よりも低温且つ短時間で行われる。結晶化が起こった後、ポリシリコンゲルマニウムキャッピングフィルムは簡単に且つ選択的に除去され得る。
【0008】
本発明の請求項1の態様では、エピタキシャル結晶化プロセスであって、a)上面及び下面を有する基体を提供し、b)基体の上面にアモルファスシリコンから成る層を蒸着し、c)アモルファスシリコン層の上にポリシリコンゲルマニウム(poly−Si1-xGex;ここで、xは0より大きいが1以下の数である)から成るキャッピングシード層を蒸着し、d)加熱しつつキセノンアークランプシステムによりアニーリングしてアモルファスシリコン層を結晶化し、e)キャッピングシード層を除去する、ことを含む。
【0011】
【発明の実施の形態】
a−Siフィルムの結晶化を "促進する”ポリシリコンゲルマニウム(poly-Si1-xGex )キャッピングフィルムを使用したこの新しい方法の可能性及び利点を示す最初の研究が実行された。結晶化のような物理的な現象は、SiよりもSi1-x Gex の方がより低い温度で行われるため、Si1-x Gex はa−Siの蒸着及び結晶化に典型的に使用される温度、即ち、約550℃であるが250℃〜600℃の範囲である温度で多結晶状態で蒸着される。
【0012】
ウエハ10の二つのセット(それぞれ5つの石英ウエハ及び6つのシリコンウエハから成る)は図1に示されるように準備され、ウエハ10の1つのセットは実験的な対照例を確立するために使用された。対照例では、a−Si14はキャップされなかった。ウェハ10の3つのセット全ては最初に絶縁層としてSiO2 12でコーティングされ、アニーリングされた。SiO2 12はおよそ700nmの厚さであったが、(石英又はガラス基体に対して)0〜1000nmの範囲の厚みが使用された。その後、a−Si14及びキャッピングシード層16は、図2に示されるように、従来の低圧化学蒸着(LPCVD)システムで蒸着された。ウエハ10の各セットに使用されたa−Si14の蒸着条件は同一であった。温度は約550℃に保たれ、約100ミリトールの圧力で約1時間蒸着された。これらの条件によって約86nmの厚さのa−Si14フィルムが得られることがわかった。
【0013】
実験的なウエハ10の第1セットに対しては、Geソースガス(GeH4)は約5分間オンになりその直後にSiソースガス(SiH4)によるa−Si14の蒸着ステップが行われ、キャッピングシード層16としてpoly-Si0.4Ge0.6 のキャッピング層を蒸着する。実験的なウエハ10の第2セットに対しては、Siソースガス(SiH4 )はa−Si14の蒸着ステップの直後にオフになり、Geソースガス(GeH4)が5分間オンになってポリゲルマニウム(poly-Ge)のキャッピングシード層16を蒸着する。
【0014】
所与の蒸着温度に対するSi1-x Gex の蒸着速度はシリコンの蒸着速度よりも速く、ゲルマニウムの量に伴って速くなることに注目されたい。したがって、poly-Si1-xGex のキャッピング層は、非常に短い時間で蒸着され得る。poly-Si0.4Ge0.6 のキャッピングシードフィルム16及び本発明の中のpoly-Ge フィルムの厚みは100nmを越える。キャッピングシードフィルム16の厚みは5〜500nmの範囲内であることが好ましい。
【0015】
結晶粒界18と核形成サイト20はキャッピングシード層16内に見られる。結晶粒界18と核形成サイト20の配置は典型的な蒸着結晶構造であるか又は典型的なアニーリング技術で形成された結晶構造のいずれかである。a−Si14とキャッピングシード層16の境界付近では結晶粒界18はランダムに現れ、これは、結晶は多くの核形成サイト20を伴うキャッピングシード層14でスタートすることを示す。キャッピングシード層16がa−Si14から上方へ成長すると結晶粒界18はより整然と配列し、核形成サイト20はなくなる。従って、核形成サイト20と結晶粒界18の結晶を分析することによって、結晶構造のどこで結晶成長が始まりどの方向に結晶が成長するのかが特定される。
【0016】
これらの実験はpoly-Si0.4Ge0.6 又は多結晶ゲルマニウムのいずれかから成るキャッピングシード層16を蒸着することによって行われたが、他の代替物もキャッピングシード層16として利用できる。キャッピングシード層16は結晶形態よりもむしろアモルファスで蒸着される。ゲルマニウム及びシリコンとゲルマニウムの化合物はシリコンよりも低い温度でアニーリングしたり結晶化したりするため、キャッピングシード層16をアモルファス状態で蒸着し、キャッピングシード層16の結晶化はアニーリング及び結晶化処理ステップの一部として最初に行われることが可能である。キャッピングシード層16が結晶化すると、a−Si14もこれらの実験のと同じ方法で結晶化する。
【0017】
キャッピングシード層の別のバリエーションは、キャッピングシード層16にわたって濃度を有するSi1-x Gex のアモルファス層又は結晶層を蒸着することである。これはシリコンとキャッピング層との間の格子のミスマッチを改善するために行われる。シリコンとゲルマニウムとの間の格子のミスマッチは約4%である。効率的なエピタキシャル成長を促進するためには、格子のミスマッチは約2%より下に維持されなければならない。したがって、グレーディッドキャッピングシード層16におけるゲルマニウムの含有量はa−Si14とキャッピングシード層16との間の境界面で最低であって高品質のシリコンフィルムのエピタキシャル成長を促進する。キャッピングシード層16の別の部分におけるゲルマニウムの含有量は高く、低いアニーリング温度で急速な結晶化を促進する。
【0018】
新しい方法で得られる結晶化温度の減少の程度をほぼ決定するために、結晶化実験は予熱ステップを伴った非常に高速の熱処理(VRTP)キセノンアークランプシステムで最初に実行された。poly-Si1-XGeX のキャッピングシード層16はa−Si14よりもより効率的にアークランプ電力を吸収することがわかったため、より低い予熱温度及び/又はより低いランプ電力が使用され得る。Si1-X GeX によるより効率的なランプエネルギーの吸収によって、キャッピングシード層16はより速く加熱されエピタキシャル成長を促進する。例えば、キャップされていないa−Si12のサンプルを650℃に加熱するためには、445℃の加熱温度及び14kWのランプ電力が要求され、対照的に多結晶ゲルマニウムのキャッピングシード層16を有するa−Si12のサンプルを加熱するためには353℃及び11kWが要求される。従って、VRTP結晶化プロセスに対してはpoly-Si1-XGeX キャッピングシード層16の付加の利点は電力消費が減少することである。
【0019】
図3に示されるように、サンプルの3つのセット全てからのクォーツウエハ10は非常に速い(2秒の)熱アニーリングを受けた。サンプルの対照的なセットに対しては、アニーリング温度は647℃〜660℃の範囲であり、実験サンプルの第1セットに対しては625℃〜650℃の範囲であり、実験サンプルの第2セットに対しては570℃〜654℃の範囲であった。
【0020】
これらのオーバーラップする温度範囲は、同じ温度でアニーリングされたキャップされたSiフィルムとキャップされていないSiフィルムの比較ができるように選択された。キャップされていないa−Siフィルムは結晶化に645℃よりも高いアニーリング温度を必要とした。Si0.4Ge0.6のキャッピングシード層16を有するa−Si14は結晶化に約620℃を必要とした。結晶化は色とa−Si14フィルムの透明度の変化によって表される。poly-Ge のキャッピングシード層16を有するa−Si14のフィルムは570℃で結晶化することがわかった。これらの結果は、結晶化温度は多結晶キャッピングシード層16を使用することによって低下し得ることを証明する。市販の広域ガラス基体の歪み点は約630℃であるため、この方法によって高スループット、ガラスコンバーチブル結晶化プロセスが実現される。
【0021】
結晶化時間と結晶化温度の関係は、従来のプロセスがそうであったようにキャッピング層の結晶化プロセスに対して変化することが予想される。従来のプロセスでは、結晶化時間と結晶化温度との間にはほぼ逆対数関数の関係がある。たとえば、温度を100℃減らすためには結晶化のために必要とされる時間を約10倍に増やさなければならない。これは正確な計算でなく単なる概算である。また、結晶化時間と結晶化温度とのおおよその関係は本明細書中で述べられた新しい結晶化プロセスにも適用されることが予想される。
【0022】
例えば、実行された実験では、poly-Ge のキャッピングシード層16を有するa−Si14のフィルムは570℃で2秒間のアニーリングプロセスで結晶化することがわかったため、従来のプロセスからの時間と温度の関係を適用するとpoly-Ge のキャッピングシード層16を有するa−Si14フィルムは470℃で20秒間のアニーリングプロセスで結晶化する。或いは、結晶化時間は670℃で2秒間のアニーリングプロセスの1/10に短縮される。
【0023】
同様に、Si0.4Ge0.6のキャッピングシード層16を有するa−Si14が2秒間の結晶化プロセスに約620℃を必要とする場合、結晶化のためには520℃で20秒間のプロセスで十分である。或いは、結晶化時間は720℃で2秒間のアニーリングプロセスの1/10に短縮される。
【0024】
サンプルが図3に示されたように結晶化された後、poly-Si0.4Ge0.6 又はpoly-Ge のキャッピングシード層16は図4に示されるように標準的な "511”浴(H2 O:H2 O2 :NH4 OH=5:1:1の浴であり、標準的な "RCA”洗浄プロセスで使用される)内でそれぞれ二つの実験サンプルから取られた二つのウエハ上でエッチングされる。キャッピングシード層16を完全に除去するには数分のエッチング時間で十分だとわかった。poly-Si0.4Ge0.6 から成るポリシリコンフィルム14の厚みは約80nmと測定され、一方ポリゲルマニウムから成るキャッピングシード層16を有するポリシリコンフィルム14の厚みは84nmと測定された。これらの結果は最小のゲルマニウム拡散は結晶化プロセス中に起こり、poly-Si1-xGex は単純なウェットエッチングプロセスよって選択的に除去されることができることを表す。ゲルマニウム拡散によって得られるSi1-x Gex から成る中間層は "511" 浴でエッチングされるため、ゲルマニウム拡散は残っているポリシリコン14の厚さが減少することによって示される。
【0025】
645℃でアニーリングされた一つのウエハは、X線回折(XRD)分析のためにサンプルの各セットから取り出された。ピークは、各SiフィルムのXRDスペクトルで観察された。しかし、ピークの強度はフィルムが薄いために比較的弱かった。poly-Ge から成るキャッピングシード層16を有するサンプルとその対照サンプルは両方ともSiの{111}平面空間に対応する一つのピークだけを示した。対照的に、Poly-Si0.4Ge0.6 でキャップされたサンプルはSiの{111}及び{220}平面空間に対応する二つのピークを示した。
【0026】
650℃でアニーリングされた第1実験サンプルから取り出され、Poly-Si0.4Ge0.6 から成るキャッピング層を持たない別のウエハは、更なるXRD分析のために用いられた。このサンプルは下層のSiフィルム及びキャッピングPoly-Si0.4Ge0.6 フィルムの{111}及び{220}平面空間に対応する四つのピークを示した。
【0027】
実験サンプル第2セットから取り出され646℃でアニーリングされ、poly-Ge から成るキャッピングシード層16を持たないウエハは更なるXRD分析のために用いられた。このサンプルは下層のSiフィルム及びキャッピングGeフィルムの{111}平面空間に対応する二つのピークを示した。
【0028】
これらの結果は、キャッピングシードフィルム16のテクスチャ又は好ましいオリエンテーションは下層のシリコンフィルム14に複製されるか又はシリコンフィルム14の結晶化はキャッピングシード層16からエピタキシャルに起こることを表している。
【0029】
また、キャッピングシード層16の中の結晶粒界18及び核形成サイト20は結晶粒界22として結晶化シリコン24に複製され、結晶化はa−Si14とキャッピングシード層16との境界で開始し、結晶成長は境界から離れる方向に進むことに注目されたい。上記のプロセスが従来通りのアニーリング及び結晶化プロセスで行われたとするとこれはa−Si14の結晶化とは明らかに異なる。従来通りのプロセスでは、SiO2 12とa−Si14との間のインタフェース付近に各形成サイトがあり、結晶成長はSiO2 12とa−Si14の境界から離れるように起こる。a−Si14とキャッピングシード層16の境界付近の核形成サイトのない特徴的なパターンは、a−Si14の結晶化はキャッピングシード層16からエピタキシャルに起こることを示す。
【0030】
poly-Si0.4Ge0.6 から成るキャッピングシードフィルム16を有するサンプルは、走査プローブ顕微鏡の原子間力顕微鏡検査(AFM)によって分析された。二乗平均(rms)表面粗さは16Åと測定され、平均粒子サイズは150nmと推定された。対照的に、従来の(キャップされていない)炉で結晶化したSiフィルムのrms粗さは20Å以上であり、VRTPで結晶化したSiフィルムの平均粒子サイズは典型的には50nmより小さい。これらの結果は、エピタキシャル結晶化方法は比較的滑らかな表面を有するポリシリコンフィルム14及び高性能のトップゲート薄膜トランジスタ(TFT)を得るために必須の適当なサイズの粒子を提供することができることを示す。粗さは有効なキャリヤ移動度を低下させて電気ストレスによる劣化を改良するので、滑らかな表面及び大きな粒子サイズは重要である。この実施の形態で開示されたキャッピング及び結晶化プロセスによって形成された薄膜シリコンで製造されたトップゲート薄膜トランジスタのパフォーマンスは、表面粗さが減少し粒子サイズが大きくなった薄膜シリコンの優れた特性によって、従来のプロセスで形成された薄膜シリコンで形成されたトップゲート薄膜トランジスターのパフォーマンスよりも優れていることが予想される。
【0031】
複雑なプロセスを追加したり時間を更にかけなくても開示されたプロセスによって利点が得られることが実験によって示された。Si1-x Gex から成るキャッピングシード層16はa−Si14の直後に反応系内(in-situ)で蒸着されるため、キャッピングシード層16としてpoly-Si1-xGex を使用したEC方法の実施によって複雑なプロセス又は時間の追加が最小になる。poly-Si 14がアニーリングステップで結晶化すると、図3に示されるように、キャッピングシード層16は、市販されている湿式洗浄浴で除去される。キャッピングシード層16の除去によって薄膜トランジスタを製造するために使用される薄膜ポリシリコンの洗浄層が残るため、キャッピングシード層16の除去は重要である。不純物又は薄膜ポリシリコンの他の層は、薄膜ポリシリコン層内で製造された薄膜トランジスタのパフォーマンスを劣化する。
【0032】
【発明の効果】
第1に、a−Si14フィルムの結晶化に必要とされる "熱の量”は、ポリSi1-x Gex フィルムから成るキャッピングシード層16及びエピタキシャル結晶化(EC)方法を使用することによって、かなり低下する。 "熱の量”を低下させることによって、ガラス基体との適応性が得られ処理スループットが向上する。
【0033】
第2に、ECプロセスは表面粗さが低く適当な粒子サイズを有するpoly-Si 14フィルムを製造する。
【0034】
第3に、キャッピングフィルムは反応系内で蒸着し結晶化アニーリングは従来通りの炉又はRTPシステムで実行されるため、EC方法で得られたポリシリコンフィルムの厚み及び構造の均一性は優れている。ECプロセスでは、結晶化は半ランダムな粒子の核形成及び次の粒子成長よりもむしろエピタキシャル成長で行われる。従って、ECプロセスはポリシリコン14のテクスチャを制御し最適化する手段を提供する。poly-Si1-xGex キャッピングシード層16を用いることによって、キャッピングシード層16及び下層のシリコンフィルム14の好ましい粒子オリエンテーションはゲルマニウム含有量を変化させることによって調節される。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はアモルファスシリコンフィルムの蒸着後の基体の断面図を示す。
【図2】図2は多結晶シードフィルムの蒸着の後の図1の基体を示す。
【図3】図3は結晶化アニーリングの処理ステップの後の図2の基体を示す。
【図4】図4は多結晶シードフィルムの除去の後の図3の基体を示す。
【符号の説明】
10 ウエハ
12 SiO2
14 アモルファスシリコン
16 キャッピングシード層
18 結晶粒界
20 核形成サイト
Claims (1)
- エピタキシャル結晶化プロセスであって、
a)上面及び下面を有する基体を提供し、b)基体の上面にアモルファスシリコンから成る層を蒸着し、c)アモルファスシリコン層の上にポリシリコンゲルマニウム(poly−Si1-xGex;ここで、xは0より大きいが1以下の数である)から成るキャッピングシード層を蒸着し、d)加熱しつつキセノンアークランプシステムによりアニーリングしてアモルファスシリコン層を結晶化し、e)キャッピングシード層を除去する、エピタキシャル結晶化プロセス。
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