JP4175137B2 - 円筒状被検査体の気密検査装置 - Google Patents

円筒状被検査体の気密検査装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、円筒状被検査体の気密検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
円筒状被検査体の気密検査装置としては、円筒状被検査体と気密検査装置との間に、シール部材によって挟み込まれた気密状態のリーク検査室を形成し、円筒状被検査体の内部に検査用流体を圧入し、リーク検査室に連通するリークテスタを用いて、円筒状被検査体の気密検査を行なうものがある(特許文献1)。特許文献1の開示による気密検査装置は、円筒状被検査体の外周に配設されたシール部材と、このシール部材を軸方向に押さえ込むための気密検査装置の継手構造とからなる。このシール部材を軸方向に押さえ込むことで、円筒状被検査体の外周に密接する。このシール部材331の形状は、図3に示すように、略角形である。継手構造は、シール部材を軸方向に押さえる側の第1ブロック311と、この第1ブロックに対向して配置され、シール部材を挟み込む第2ブロック312とから構成されている。
【0003】
【特許文献1】
特開平11―118658号公報
【0004】
【特許文献2】
特開平7―113487号公報
【0005】
【特許文献3】
特開昭56―37532号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献1の開示による従来技術では、図3に示すように、円筒状被検査体7側だけでなく、反対側も変形するため、円筒状被検査体7側に圧縮変形する力F3が小さい。すなわち、円筒状被検査体の外周に密接する押圧力つまりシール力が比較的弱い。
【0007】
これに対して、シール部材の形状として、挟み込まれて押し込み力を受ける両端面が、押さえ方向に対してそれぞれ傾斜しているものがある(特許文献2、特許文献3)。これらの公報開示の従来技術では、図4に示すように、円筒状被検査体7側へのシール力力F3のみが大となり、十分にシールすることができない。
【0008】
気密検査の精度向上を図りたい場合、これらの従来技術では、検査用流体の流体圧の高圧化、あるいはリーク検出のための流体としてHeガスまたはHe混合空気を用いることは難しい。
【0009】
本発明は、このような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、検査のための流体が高圧でもシール力の向上が図れる円筒状被検査体の気密検査装置を提供することにある。
【0010】
また、別の目的は、検査のための流体が高圧でもシール力の向上が図れるとともに、気密検査の精度向上が可能な円筒状被検査体の気密検査装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1によると、円筒状被検査体の内部へ流体を圧入するための加圧口を有する第1ブロックと、円筒状被検査体が挿入される第2ブロックと、第1ブロックと第2ブロックの間に挟み込まれて円筒状被検査体が挿入されるシール部材を備え、
シール部材のうち、第1ブロック側の面と第2ブロック側の面の一方を、円筒状被検査体の径方向において円筒状被検査体の外周側に近づくほど円筒状被検査体の軸方向における幅が拡がるテーパとし、他方を押さえ方向に略直交する方向に延びる平坦な面とし、かつ、円筒状被検査体の外周側のシール部材の断面形状は、略半円形に形成さているとともに、
シール部材と円筒状被検査体の外周側との間は、シール部材が第1ブロックと第2ブロックの間に挟み込まれて圧縮変形することにより面接触することで、円筒状被検査体、第1ブロック、および第2ブロックで区画される流体通路が閉塞されている。
【0012】
これにより、テーパ面へ加わる押さえ力によってシール部材の流体通路側への変形を大きく、つまり押圧力を大きくするとともに、平坦な面にて押さえ力を受けることができ、第1ブロック、第2ブロックへのシール力も良好に得られる。
【0013】
本発明の請求項2によると、シール部材は、第1ブロックおよび第2ブロックのうちシール部材を押さえる一方の部材側の面をテーパとし、一方の部材とでシール部材を挟み込む他方の部材側の面を平坦とすることが好ましい。
【0014】
これにより、第1ブロックおよび第2ブロックに挟み込まれて押さえ力を受けるシール部材の両面のうち、押さえ力が加えられる面をテーパとし、その反力を受ける面を平坦とするので、シール部材の据わりが良く、結果として、安定したシール力が得られる。
【0015】
本発明の請求項3によると、流体通路の下流側には、被検査部を覆うリーク検査室を備えている。
【0016】
これにより、流体通路の下流側に、円筒状被検査体の被検査部の漏れ状態を検査するリーク検査室を設けることができる。
【0017】
本発明の請求項4によると、リーク検査室は、流体通路を閉塞するための第2のシール部材を前記第2ブロックとで挟み込む第3のブロックから形成されている。
【0018】
これにより、第1ブロックを介して円筒状被検査体に圧入される流体は、上記シール部材によって、上記流体通路へ流出することがないか極僅かであるとともに、上記シール部材の下流側に設けられた第2のシール部材によって、リーク検査室へ漏れ出ることを確実に阻止される。したがって、検査の精度向上が図れる。
【0019】
なお、第2のシール部材の形状としては、上記シール部材の形状に限らず、角形、Oリング等のいずれでもよい。
【0020】
本発明の請求項5によると、流体通路において、シール部材としての第1のシール部材によって閉塞される部位と、第2のシール部材によって閉塞される部位との間に、流体回収通路が設けられている。
【0021】
これにより、上記シール部材と第2のシール部材とで区画された流体通路の内部に、万が一上記シール部材を経由して流体が僅かに漏れ出たとしても、流体を回収する流体回収通路が設けられているので、その流体が蓄積して流体圧が上昇することを防止することが可能である。
【0022】
本発明の請求項6によると、流体は気体であって、付着性を有する。
【0023】
これにより、流体として、付着性を有するHeガスまたはHe混合空気等を用いる場合、付着し易いHeが、流体通路を通じて流体通路の下流側にあるリーク検査室へ移動することを防止することが可能である。
また、本発明の請求項7によると、流体通路において、圧縮変形前のシール部材と円筒状被検査体の外周側との間は、隙間がないか僅かに隙間が生じている。
また、本発明の請求項8によると、第1ブロックと第2ブロックの間に挟み込まれて圧縮変形するシール部材において、第1ブロックと第2ブロックの間で挟み込む量が設定されている。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の円筒体被検査体の気密検査装置を、具体化した実施形態を図面に従って説明する。図1は、本実施形態の円筒状被検査体の気密検査装置の構成を示す断面図である。図2は、図1中のシール部材周りを示す模式的断面図であって、図2(a)は気密検査装置に円筒状被検査体を組み込んだセット状態、図2(a)はセット状態の気密検査装置の第1ブロックに押さえ荷重を加えた印加状態を示す断面図である。
【0025】
図1に示すように、円筒状被検査体の気密検査装置1は、片側閉塞形状の円筒状被検査体7の内部71へ流体を圧入するための加圧口110を有する第1ブロック11と、円筒状被検査体7の被検査部70を挿入する第2ブロック12と、円筒状被検査体7、第1ブロック11、および第2ブロック12で区画される流体通路δ(図2(b)参照)を、第1ブロック11と第2ブロック12の間に挟み込まれて押圧するシール部材としての第1シール材31と、その流体通路δの下流にあるリーク検査室2とを備えている。
【0026】
流体は、円筒状被検査体7の被検査部71の気密状態を検査するための流体であって、液体に限らず、空気あるいはHeガス等の気体であってもよい。以下、本実施形態で説明する流体は、Heガスとして説明する。なお、被検査部71の気密状態を判断するために、被検査部71における流体の漏れ状態を検出する手段として、気体を用いる場合は、液体に比べてリーク検出に優れており、とくにHeガスは僅かな漏れを検出でき、リーク検出のための媒体として良好である。
【0027】
円筒状被検査体7は、図1に示すように、パイプ等の略円筒部材72と、弁部73を構成する弁ボディ73aとをレーザ溶接等により接合されたものである。この弁部73は、気密検査時には、弁ボディ73a内に移動可能に収容されるニードル73bが、弁ボディ73aに着座することで、閉塞状態にある。被検査部70として、略円筒部材72と弁ボディ73aの接合部が、その部位からの漏れ状態の検査対象となる。なお、円筒状被検査体7は、略円筒部材72、弁ボディ73aの別部材を接合した接合部を被検査部70として気密検査されるものに限らず、略円筒状体の両端部のうち一方端部側が閉塞状態にあり、他方端部から内部71へ流体を流入させて内部71を加圧することで被検査部70から漏れ状態を検査をするものであれば、一体成形品であってもよい。
【0028】
第1ブロック11は、第2ブロック12の開口部120に設けた第1シール材31を押さえる押さえ部5を有している。第2ブロック12における開口部120は、第1シール材31を押さえ部5とともに挟み込込むことで、押さえ部5による押さえ力に対する反力を、第1シール材31に加える。
【0029】
ここで、第1シール材31の形状は、図2(a)に示すように、環状体であって、押さえ部31側の面31aが、押さえ方向に対して傾斜するテーパとなる。一方、第2ブロック12側の面31bが、押さえ方向に略直交する方向に延びる平坦な面に形成されている。円筒状被検査体7の外周側の第1シール材の形状は、略半円形である。一方、この略半円形の面31cの反対面31dは、上記平坦な面31bに対して略直角となる平坦な面である。
【0030】
押さえ部5は、押さえ部31側の面31aに略平行なテーパ面5aが形成されている。第2ブロック12の開口部120は、第2ブロック12側の面31b、反対面31dに、それぞれ沿うように、略直角な段差が形成されている。
【0031】
図2(a)の押さえ力を印加する前の状態において、押さえ部5の押さえ力によって、第1シール材31を押さえ部5と第2ブロック12とで挟み込む量(以下、圧縮代)P分だけ、押さえ部5と第2ブロックに隙間が設けられている。図2(a)のセット状態において、略半円形の面31cと円筒状被検査体7の外周の間には、隙間がないか僅かに隙間が生じている。この隙間は、上記流体通路δの一部を構成している。
【0032】
次に、押さえ部5によって第1シール材31に押さえ力F1を印加すると、図2(b)に示すように、第1シール材31は、略半円形の面31cおよび反対面31dが、それぞれ、円筒状被検査体7の外周、開口部120の段差31d側へ圧縮変形される。このとき、押さえ部31側の面31aのテーパに加わる押さえ力F1によって、第1シール材31は円筒状被検査体7の外周側へ大きく圧縮変形される。上記流体通路δ側に変形し、流体通路δを流れる流体を閉塞するように、流体通路δを押圧する。一方、押さえ力F1による反力F2を、第2ブロック12側の面31bの平坦な面で受けられる。その結果、従来の角形のシール部材(図3参照)に比べて、円筒状被検査体7の外周側への押圧力F3を大きくすることができるとともに、従来の押さえ力によって押さえ込まれるシール部材の両面がそれぞれ傾斜しているもの(図4参照)に比べて、押さえ部5および第2ブロック12への押圧力F1、F2を確保でき、従来のシール力が弱い状態を改善できる。これにより、従来技術のシール部材(図3、図4参照)に比べて、円筒状被検査体7の外周側への押圧力F3を大きく、つまり検査用流体としてのHeに対するシール力の向上が図れる。
【0033】
さらに、押さえ部5による押さえ力が第1シール材31に印加されたとき、略半円形の面31cは、圧縮変形によって、円筒状被検査体7の外周と隙間がなくなり、密接する。つまり、流体通路δが閉塞される。これにより、Heガスが内部71に圧入されることで流体通路δにもHeガスが流入されるが、Heガスが圧入される前に上記流体通路δが押さえ力によって閉塞されているので、リーク検査室2へHeガスが漏れ出ることを阻止することが可能である。
【0034】
リーク検査室2は、図1に示すように、被検査部70を覆う第3ブロック13によって形成されている。第3ブロック13の上部は、第2ブロック12との間に、第2のシール部材としての第2シール材32を挟み込むでいる。第2シール材32は、第1シール材31から流体通路δの下流側に配設されており、押さえ力等によって圧縮変形されることで流体通路δを閉塞する。これにより、第1ブロック11を介して円筒状被検査体7に圧入される流体は、第1シール材31によって流体通路δへ流出することがないか極僅かであるとともに、第2シール材32によってリーク検査室2へ漏れ出ることを確実に阻止される。したがって、検査の精度向上が図れる。
【0035】
なお、第2シール材32の形状としては、図1に示す第1シール材31の形状に限らず、角形、Oリング等のいずれでもよい。第2シール材32がOリングの場合、流体の圧力を利用して圧縮変形することで、円筒状被検査体7の外周と密接する。その流体圧が加わる毎に第2シール材32が変形するため、その変形状態によっては、第2シール材32の変形による移動によって気密漏れが発生してしまう場合がある。なお、Oリングの場合には、流体圧が加えられる前に、押さえ力等によって第2シール材32を圧縮変形させておくことが好ましい。以下、本実施形態では、第2シール材32は、第1シール材31の形状と同様、一方の面31aをテーパ、他方の面を押さえ方向に略直交する方向に延びる平坦な面32bとする。
【0036】
さらに、本実施形態では、第2ブロック12は、第1シール材31と第2シール材32によって閉塞される流体通路δ内に開口する流体回収通路12fが設けられている。これにより、第1シール材31と第2シール材32とで区画された流体通路δの内部に、万が一第1シール材31を経由して流体が僅かに漏れ出たとしても、流体を回収する流体回収通路12fが設けられているので、その流体が蓄積して流体圧が上昇することを防止することが可能である。第2シール材32に加わる流体圧を比較的低く押さえることができるので、第2シール材32は、流体に高耐圧を有する形状等を備えたシール部材を用いることなく、Oリング等の安価なシール部材でも使用可能である。
【0037】
さらになお、円筒状被検査体7の形状として、被検査部70側に外周に突出するフランジ部71fを有する場合、第3ブロック13とともにフランジ部71fを収容する第4ブロック14および第5ブロック15を備える。第4ブロック14および第5ブロック15は、それぞれ第3ブロック13、フランジ部71fとの間に、第3シール材33、34が配設され、リーク検査室2を気密に保持する。なお、本実施形態では、第3ブロック13、第4ブロック14、および第5ブロック15を別部材として構成したが、一体化された部材であってもそれらの部材によってリーク検査室2が形成されているものであればいずれでもよい。
【0038】
さらになお、本実施形態では、リーク検査室2に漏れ出た流体を検出する検出装置として、従来の空気を検出可能なリークテスタに代えて、HeガスまたはHe混合空気を検出可能なリークディテクタ17を用いる。これにより、比較的僅かな漏れであってもリーク検出が精度よく行なえる。さらに、従来の漏れ検出に比べて、僅かな検出時間内で漏れ有無の検査を行なうことが可能ある。その結果、円筒状被検査体7を気密検査する時間の短縮化が図れる。
【0039】
さらになお、本実施形態では、円筒状被検査体7を気密検査する度に、高圧のHeガスが注入される加圧口110等の加圧室は、Heガスは付着性を有する気体であるため、掃気される。さらに、気密検査中には、流体回収通路12fから万が一漏れたHeガスを掃気するように、負圧が印加されている。これにより、円筒状被検査体7を気密検査する度に、例えば円筒状被検査体7を第1ブロック11、第2ブロック12、第3ブロック13に挿入する場合、挿入動作に伴ってシール部材(詳しくは、第1シール材31の略半円形の面31c、第1シール材32の略半円形の面32c)に付着することを防止する。したがって、第1シール材31等に付着したHeガスした微量なHeガスによってリークディテクタ17の誤検出を引き起こす現象を防止することが可能である。
【0040】
さらになお、本実施形態では、Heガスを、加圧口110から約12MPa程度の流体圧にて注入する。
【0041】
以上説明した本実施形態では、第1シール材31の形状として、第1ブロック11(詳しくは押さえ部5)側の面31aをテーパとし、第2ブロック12側の面31bを平坦としたが、逆であってもよい。第1ブロック11側の面と第2ブロック12側の面の一方をテーパとし、他方を押さえ方向に略直交する方向に延びる平坦な面とする第1シール材31であれば、テーパ面に加わる押さえ力またはその反力によって第1シール材31を円筒被検査体7の外周側へ大きく圧縮変形できるとともに、平坦な面にて反力または押さえ力を受けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の円筒状被検査体の気密検査装置の構成を示す断面図である。
【図2】図1中のシール部材周りを示す模式的断面図であって、図2(a)は気密検査装置に円筒状被検査体を組み込んだセット状態、図2(b)はセット状態の気密検査装置の第1ブロックに押さえ荷重を加えた印加状態を示す断面図である。
【図3】従来の円筒状被検査体の気密検査装置に係わるシール部材周りの構造を示す模式的断面図である。
【図4】比較例の円筒状検査体の気密検査装置に係わるシール部材周りの構造を示す模式的断面図である。
【符号の説明】
1 円筒状被検査体の気密検査装置
11 第1ブロック
110 加圧口
12 第2ブロック
12f 流体回収通路
120 開口部
13 第3ブロック
17 リークディテクタ
2 リーク検査室
31 第1シール材(シール部材)
32 第2シール材(第2シール部材)
5 押さえ部
7 円筒状被検査体
70 被検査部
71 内部

Claims (8)

  1. 円筒状被検査体の内部へ流体を圧入するための加圧口を有する第1ブロックと、前記円筒状被検査体が挿入される第2ブロックと、前記第1ブロックと前記第2ブロックの間に挟み込まれて前記円筒状被検査体が挿入されるシール部材を備え、
    前記シール部材のうち、前記第1ブロック側の面と前記第2ブロック側の面の一方を、前記円筒状被検査体の径方向において前記円筒状被検査体の外周側に近づくほど前記円筒状被検査体の軸方向における幅が拡がるテーパとし、他方を押さえ方向に略直交する方向に延びる平坦な面とし、
    かつ、前記円筒状被検査体の外周側の前記シール部材の断面形状は、略半円形に形成さているとともに、
    前記シール部材と前記円筒状被検査体の外周側との間は、前記シール部材が前記第1ブロックと前記第2ブロックの間に挟み込まれて圧縮変形することにより面接触することで、前記円筒状被検査体、前記第1ブロック、および前記第2ブロックで区画される流体通路が閉塞されていることを特徴とする円筒状被検査体の気密検査装置。
  2. 前記シール部材は、前記第1ブロックおよび前記第2ブロックのうち前記シール部材を押さえる一方の部材側の面をテーパとし、前記一方の部材とで前記シール部材を挟み込む他方の部材側の面を平坦としたことを特徴とする請求項1に記載の円筒状被検査体の気密検査装置。
  3. 前記流体通路の下流側には、前記被検査部を覆うリーク検査室を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の円筒状被検査体の気密検査装置。
  4. 前記リーク検査室は、前記流体通路を閉塞するための第2のシール部材を前記第2ブロックとで挟み込む第3のブロックから形成されていることを特徴とする請求項3に記載の円筒状被検査体の気密検査装置。
  5. 前記流体通路において、
    前記シール部材としての第1のシール部材によって閉塞される部位と、前記第2のシール部材によって閉塞される部位との間に、流体回収通路が設けられていることを特徴とする請求項4に記載の円筒状被検査体の気密検査装置。
  6. 前記流体は気体であって、付着性を有することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の円筒状被検査体の気密検査装置。
  7. 前記流体通路において、
    前記圧縮変形前のシール部材と前記円筒状被検査体の外周側との間は、隙間がないか僅かに隙間が生じていることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の円筒状被検査体の気密検査装置。
  8. 前記第1ブロックと前記第2ブロックの間に挟み込まれて圧縮変形する前記シール部材において、
    前記第1ブロックと前記第2ブロックの間で挟み込む量が設定されていることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の円筒状被検査体の気密検査装置。
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