JP4162409B2 - 曲面ウェハー用吸着台 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造工程のうち、特に曲面を有するウェハー(以下、このようなウェハーを通常のウェハーと区別するため曲面ウェハーという)を吸着・固定する曲面ウェハー用吸着台に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程では、棒状のシリコン単結晶がスライシングされて薄い円板状のウェハーが切り出される。このウェハーは、表面が研磨されて鏡面状に仕上げられた後、薄膜形成、リソグラフィ、エッチング、不純物導入、洗浄、熱処理等が施され、VLSI・CMOS等のチップが格子状に複数割り付けられて完成されたウェハーとなる。
【0003】
さて、上記した半導体製造工程では、ウェハーを固定して各種作業を行うため、ウェハー用吸着台が用いられる。このようなウェハー用吸着台について図を用いて簡単に説明する。図5は従来技術のウェハー用吸着台を説明する説明図であり、図5(a)はウェハー用吸着台のA−A線断面図、図5(b)は同じく平面図、図5(c)は曲面ウェハー載置時の問題点の説明図である。なお、図を判りやすくするため、図5(a)ではウェハー40を図示しているが、図5(b)では吸着台本体10のみの平面図とし、ウェハー40の図示を省略している。
【0004】
図5(a),図5(b)で示すように、ウェハー用吸着台は、吸着台本体10、吸着用凹部20、排気口30を備えている。このウェハー用吸着台の上にウェハー40が載置されることとなる。
このような構成を有するウェハー用吸着台によるウェハー40の吸着は以下のようになる。
【0005】
まず、図5(a)で示すように、吸着台本体10の上にウェハー40を配置する。ウェハー40が接触することとなる吸着台本体10の接触面は平面仕上げのうえでテフロン処理等がなされ、接触時に殆ど隙間ができないように配慮されている。
そして、排気口30と繋げられている図示しない真空ポンプにより、排気を開始する。排気が進むにつれ、ウェハー40と吸着用凹部20とにより閉じられている空間が真空に近づき、吸着台本体10の上にウェハー40を吸着して強固に固定する。ウェハー10への吸着力は、図5(b)で示すような吸着用凹部20(点描部)に加わる。この吸着用凹部20は、ウェハー40の形状(円板にオリフラ部と呼ばれる切り欠きが設けられた形状)と一致させるため略D字状に形成されている。
従来のウェハー用吸着台はこのようなものであった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ウェハー40はスライシング・表面研磨時にうけたストレス、内部応力など各種の要因のため、図5(c)で示すように湾曲した曲面ウェハー40’である場合もある。
【0007】
このような曲面ウェハー40’をウェハー用吸着台上に載置した場合、図5(c)で示すように吸着台本体10の接触面と曲面ウェハー40’とが密接しないため、吸着用凹部20と曲面ウェハー40’とは閉空間を形成できず、空気進入箇所が発生する。このような曲面ウェハー40’を吸着しようとしても、空気進入箇所から空気が入り込み、いつまでたっても真空状態に達しないため、曲面ウェハー40’の真空吸着は不可能であった。
【0008】
実際上では図5(c)で示すように極端に湾曲した曲面ウェハー40’ではなく、目視不可能な程度の湾曲に過ぎないが、このような曲面ウェハー40’でも真空吸着することができない。このように真空吸着不能の場合は以後の半導体製造工程へ進めないため、曲面ウェハー40’は不良品となり、製造歩留まりを向上できないという問題点もあった。
【0009】
また、ウェハー40の径について近年では8インチ(約20cm)のウェハーが主流であるが、製造部留まりをさらに向上させるため、例えば、12インチ(約30cm)という従来よりも大型のウェハーを取り扱えるようにしたいという要請がある。
しかしながら、ウェハー40の大型化に伴い、却って曲面ウェハー40’の発生確率が高まるおそれもあり、製造歩留まりを向上させるという目論見を達成できないというおそれもあった。
これらのような事情のため、曲面ウェハー40’であっても確実に吸着できるような曲面ウェハー40’の吸着台(以下、曲面ウェハー用吸着台という。)が希求されていた。
【0010】
本発明は上記問題点を解決するためのものであり、その目的は、簡素な機構で、曲面ウェハーを吸着する曲面ウェハー用吸着台を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の課題を解決するため、請求項1に係る発明の曲面ウェハー用吸着台によれば、
吸着台本体と、
断面略凹字状としてこの凹部を溝部とする略D字型環状体であって、環の半径方向外側から内側へ向けて下方へ傾斜するように吸着台本体に配置される弾性密着体と、
弾性密着体の溝部の底面に設けられた孔部と、
孔部に通じるように吸着台本体に設けられた排気口と、
弾性密着体の環内に位置するように吸着台本体に形成される給気口と、
を備えることを特徴とする。
【0012】
また、請求項2に係る発明の曲面ウェハー用吸着台によれば、
請求項1に記載の曲面ウェハー用吸着台において、
前記弾性密着体を環の半径方向の外側から内側へ向けて下側へ傾斜するように吸着台本体に配置するため、
略D字型環状となるように吸着台本体に形成された溝であって、内周側の溝底面が低く、かつ、外周側の溝底面が高くなるように溝底面を多段に形成した弾性密着体配置用凹部を、
備えることを特徴とする。
【0013】
また、請求項3に係る発明の曲面ウェハー用吸着台によれば、
請求項1又は請求項2に記載の曲面ウェハー用吸着台において、
前記弾性密着体は、硬度45のクロロプレンゴムを材料として形成されることを特徴とする。
【0014】
また、請求項4に係る発明の曲面ウェハー用吸着台によれば、
請求項1〜請求項3の何れか一項に記載の曲面ウェハー用吸着台において、
前記弾性密着体の溝部の底面に設けられる孔部を複数とし、
弾性密着体の配置面の裏面で吸着台本体に設けられ、前記複数の孔部と連接する集合排気用凹部と、
前記集合排気用凹部を密封するシール体と、
を備えることを特徴とする。
【0015】
また、請求項5に係る発明の曲面ウェハー用吸着台によれば、
請求項4に記載の曲面ウェハー用吸着台において、
前記シール体は、前記集合排気用凹部の開口に密着して閉塞するOリングである、
ことを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
図1は本発明の曲面ウェハー用吸着台の実施形態の構成図、図2は弾性密着体の説明図、図3は弾性密着体と弾性密着体配置用凹部の説明図、図4は曲面ウェハー用吸着台による曲面ウェハーの湾曲補正を説明する説明図である。
【0018】
本実施形態の曲面ウェハー用吸着台では、図1,図2で示すように、吸着台本体1、弾性密着体2、弾性密着体配置用凹部3、排気孔4、集合排気用凹部5、Oリング6、横孔7、栓8、排気口9、給気口10を備えている。この曲面ウェハー用吸着台には曲面ウェハー11が載置されている。
【0019】
続いて、曲面ウェハー用吸着台の個々の構成について概略説明する。
吸着台本体1は回転体形状であって、その断面が略凹字状になるように構成されている。吸着台本体1は、例えば、アルミニウム合金の機械材料を用いて切削加工される。
【0020】
この吸着台本体1の上面には弾性密着体2が配置される。この弾性密着体2は、弾性密着体配置用凹部3の溝内に配置される。
弾性密着体2は、図2で示すように略D字状環状体に形成されている。なお、これ以外にも円環状に形成した弾性密着体2を弾性密着体配置用凹部3に嵌め込んで略D字状環状体に変形しても良い。いずれにせよ図2で示すような形態で使用される。
弾性密着体2は、図1,図2,図3(b)で示すように上側には溝部2aが形成されているため断面が略凹字状となる。さらに、図1,図2,図3(b)で示すように、溝部2aの中に複数(例えば、8個)の孔部2bが形成されている。これら孔部2bは弾性密着体2の下側から上側の溝部2bまで通じている。弾性密着体2は、好ましくは、硬度45のクロロプレンゴムを材料として形成されている。
【0021】
弾性密着体配置用凹部3は、吸着台本体1に形成された略D字型環状の溝である。このような略D字型環状の弾性密着体配置用凹部3の中に略同一形状の略D字状環状体である弾性密着体2や、円環状体であるが力を加えて略D字状環状体に曲げられた状態の弾性密着体2が配置される。このような弾性密着体配置用凹部3は、図3(a)で示すように、内周側溝底面3aが低く、かつ、外周側溝底面3bが高くなるように溝底面を多段に形成している。このような構成を採用するため、弾性密着体配置用凹部3内に配置された弾性密着体2は、図3(b)で示すように、半径方向に沿って外周側から内周側へ向けて下方へ傾斜するように吸着台本体1に配置されることとなる。
【0022】
なお、内周側溝底面3aが低く、かつ、外周側溝底面3bが高くなるように溝底面を多段に形成する以外にも、例えば、弾性密着体配置用凹部3の溝底面には段差を設けないで、溝部外周側にのみ密接するような略D字状環状体(例えば略D字状に形成したワイヤーなど)を配置しても弾性密着体2は、図3(b)で示すように、半径方向に沿って外周側から内周側へ向けて下方へ傾斜するように吸着台本体1に配置されることとなる。このような構成は適宜選択されるが、吸着台本体1の切削加工時に一時に形成できるため、底面部が多段の弾性密着体配置用凹部3を採用することが好ましい。
【0023】
この弾性密着体2の複数の孔部2bの下側にはそれぞれ排気孔4が設けられている。例えば、孔部2bが8個ならば排気孔4も孔部2のほぼ下側に8個設けられる。
吸着台本体1の裏面には、図1で示すように、円環状の溝である集合排気用凹部5が設けられている。集合排気用凹部5へは前記複数の排気孔4・弾性密着体配置用凹部3を介して孔部2bと繋がっている。なお、すべての孔部2bの下側に集合排気用凹部5が位置している必要がある。
【0024】
この集合排気用凹部5の下側にはOリング6が配置されている。
Oリング6は、集合排気用凹部5との開口に配置された場合に、この開口に密着して閉塞することができる程度の線径を有している(図1参照)。
なお、このOリング6は、本発明のシール体としての一具体例であり、Oリング6以外にも、例えば、線の断面が角状の弾性リング体のようなもの、樹脂を硬化させた封止部材などとしても良い。しかしながら、取り扱いの簡単な点・コストの点からOリング6を採用することが好適である。
【0025】
集合排気用凹部5には、横孔7が連通している。この横孔7は機械加工時に図1で示す右側方向から集合排気用凹部5まで到達するようにボール盤で切り孔が設けられたものである。この横孔7は栓8により封止される。この封止に際し、横孔7に雌ねじ部を設け、雄ねじである栓8を、螺合固定するようにしても良い。
【0026】
この横孔7は排気口9と連通している。この排気口9は図示しない真空ポンプと接続されている。なお、本実施形態では排気口9は、この真空ポンプと連結しやすいようにビニールチューブを連結するコネクタをもって排気口9としているが、排気のための口であれば良く、実状に応じて適宜選択することが可能である。
【0027】
吸着台本体1の下側中央部には、さらに給気口10が設けられている。この給気口10は、吸着台本体1の上側中央部まで連通している。
このような曲面ウェハー用吸着台に曲面ウェハー11が載置されると、図1で示すように、吸着台本体1、弾性密着体2および曲面ウェハー11により閉空間12が形成される。
【0028】
続いて、このような構成を有する曲面ウェハー用吸着台による曲面ウェハーの吸着について説明する。
曲面ウェハー用吸着台に、図1で示すように、曲面ウェハー11を載置すると、図3(c)で示すように、弾性密着体2の外周側で曲面ウェハー11が接触する。この接触部において、真空吸着動作前は、多少の隙間がある場合もあるものの、曲面ウェハー11の自重により弾性密着体2とほぼ密着する。
【0029】
また、曲面ウェハー11と弾性密着体2との傾斜が一致して、例えば図3(d)で示すように、弾性密着体2の内周側および外周側で密着することもあるが、通常は真空吸着動作前では、図3(c)で示すように曲面ウェハー11の内周側では多少の隙間が空くことが多い。
【0030】
このような状態で図示しない真空ポンプを動作させて排気を開始する。空気は溝部2a、孔部2b、弾性密着体配置用凹部3、排気孔4、集合排気用凹部5、横孔7、排気口9を通じて排気される。この場合、Oリング6は、集合排気用凹部5へ吸引されるため、より確実に密着するようになる。
排気開始直後は、図3(c)で示すように、閉空間12からも空気が流入するが、排気が進むにつれて、曲面ウェハー11が下降していき、やがて図3(d)で示すように弾性密着体2の内周側および外周側で曲面ウェハー11が密着する。
【0031】
この場合、溝部2aの多段に形成された底面部(内周側溝部3a・外周側溝部3b)により弾性密着体2aは左右方向に傾斜するため、溝部2aの内周側および外周側の側面と、弾性密着体2aの側面と、が強固に密接するため(図3(d)参照)、空気が弾性密着体2と溝部2aとの接触面から漏入するおそれが低減されるため、真空状態を維持しやすくなる。
【0032】
続いて、図示しない送風ポンプを稼働させて給気口10を介して閉空間12内に空気を送り込む給気動作を行う。この場合も、図示しない真空ポンプを稼働させた状態として弾性密着体2の溝部2aを真空状態に維持して吸着動作が続けられている。
閉空間内12は加圧により膨張し、図4で示すように、曲面ウェハー11の中央部分が盛り上がるとともに外周部分は下降し、曲面ウェハー11の湾曲状態が補正される。
【0033】
以上説明した曲面ウェハー用吸着台は、上記以外にも各種の構成が可能であり、例えば、溝部2aは、孔部2b、弾性密着体配置用凹部3、排気孔4、集合排気用凹部5、横孔7を介して、排気口9と空気の経路が連接しているものとして説明したが、これ以外にも各種の経路を選択することができ、少なくとも溝部2aの孔部2bから排気口9まで経路が繋がっていれば良い。
【0034】
以上説明した曲面ウェハー用吸着台は、以下のような各種の利点がある。
(1)曲面ウェハー11を吸着できる点
弾性密着体2が半径方向に沿って外周側から内周側へ下方へ傾斜するように配置したため、弾性密着体2が曲面ウェハー11に確実に密着した状態で吸着するという従来では不可能な機能を実現することができる。
また、弾性密着体2が曲面状ウェハー11に密接しやすいため、吸着動作が速い・吸着能力が高い等の利点がある。
【0035】
(2)曲面ウェハー用吸着台の製造が容易である点
図1でも示すように、吸着台本体1は、フライス板・旋盤等で切削加工する場合に加工が容易となるような形状を採用している。例えば、図1の弾性密着体配置用凹部3・集合排気用凹部5は、図1の上下側からエンドミル・バイトを当てることで容易に切削できる。
また、弾性密着体配置用凹部3は平面上では直線部を含む略D時形状のため、底面部を斜面状に加工することは困難であるが、図3(a)のような多段に形成したため、この点でも図1の上下側からエンドミル・バイトを当てることで加工が容易にできるという利点がある。
【0036】
(3)吸着力が大きい
さらにまた、斜めに位置する弾性密着体2が図3(b),(c),(d)で示すように溝部の壁面に確実に密着するので、溝部2aから空気が確実・容易に排気され、比較的安価で排気能力が低い真空ポンプを用いても、吸着能力が十分に高く、この点でもコスト低減に寄与する。
【0037】
(4)曲面ウェハーに対して湾曲補正機能を有する点
閉空間12内を加圧して曲面ウェハー11の湾曲を補正する機能を設けたため、曲面ウェハー11をほぼ湾曲のない平面状のウェハーの補正した状態で半導体製造工程を行うことができる。この場合、各種処理を行うロボット等の位置決めを正確にすることができ、位置決め時間等の短縮とも相俟って、この点でも歩留まり向上に寄与する。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、簡素な機構で、曲面ウェハーを吸着する曲面ウェハー用吸着台を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の曲面ウェハー用吸着台の実施形態の構成図である。
【図2】弾性密着体の説明図である。
【図3】弾性密着体と弾性密着体配置用凹部の説明図である。
【図4】曲面ウェハー用吸着台による曲面ウェハーの湾曲補正を説明する説明図である。
【図5】従来技術のウェハー用吸着台を説明する説明図である。
【符号の説明】
1 吸着台本体
2 弾性密着体
2a 溝部
2b 孔部
3 弾性密着体配置用凹部
3a 外周側溝底面
3b 内周側溝底面
4 排気孔
5 集合排気用凹部
6 Oリング
7 横孔
8 栓
9 排気口
10 給気口
11 曲面ウェハー
Claims (5)
- 吸着台本体と、
断面略凹字状としてこの凹部を溝部とする略D字型環状体であって、環の半径方向外側から内側へ向けて下方へ傾斜するように吸着台本体に配置される弾性密着体と、
弾性密着体の溝部の底面に設けられた孔部と、
孔部に通じるように吸着台本体に設けられた排気口と、
弾性密着体の環内に位置するように吸着台本体に形成される給気口と、
を備えることを特徴とする曲面ウェハー用吸着台。 - 請求項1に記載の曲面ウェハー用吸着台において、
前記弾性密着体を環の半径方向の外側から内側へ向けて下側へ傾斜するように吸着台本体に配置するため、
略D字型環状となるように吸着台本体に形成された溝であって、内周側の溝底面が低く、かつ、外周側の溝底面が高くなるように溝底面を多段に形成した弾性密着体配置用凹部を、
備えることを特徴とする曲面ウェハー用吸着台。 - 請求項1又は請求項2に記載の曲面ウェハー用吸着台において、
前記弾性密着体は、硬度45のクロロプレンゴムを材料として形成されることを特徴とする曲面ウェハー用吸着台。 - 請求項1〜請求項3の何れか一項に記載の曲面ウェハー用吸着台において、
前記弾性密着体の溝部の底面に設けられる孔部を複数とし、
弾性密着体の配置面の裏面で吸着台本体に設けられ、前記複数の孔部と連接する集合排気用凹部と、
前記集合排気用凹部を密封するシール体と、
を備えることを特徴とする曲面ウェハー用吸着台。 - 請求項4に記載の曲面ウェハー用吸着台において、
前記シール体は、前記集合排気用凹部の開口に密着して閉塞するOリングである、
ことを特徴とする曲面ウェハー用吸着台。
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