JP4158714B2 - 電子部品実装済基板の製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、複数のICチップ等の電子部品を樹脂基材に埋設実装する電子部品実装済基板の製造方法および電子部品実装済基板に関する。
従来の電子部品実装済基板としては、例えば、特許文献1に記載された電子部品実装済基板があった。
図13は、従来の電子部品実装済基板であるMCM(マルチチップモジュール)の構成を示す断面図である。図14は、従来の電子部品実装済基板の製造過程を示す説明図である。
図13に示すMCMでは、バンプ312を形成した半導体素子310およびコンデンサ320を、電気的絶縁性を有する熱可塑性樹脂で形成されたシート状の熱可塑性樹脂300に埋設した構成が示されている。
ここで、熱可塑性樹脂300の厚みは、バンプ312および外部電極322を熱可塑性樹脂300の導体回路パターン形成面302に露出させる必要から、基本的に半導体素子310の厚み以上、半導体素子310の厚みとバンプ312の高さを合わせた厚み以下に設定されている。
また、従来の電子部品実装済基板の製造は、図14に示すようにバンプ312付の半導体素子310、およびコンデンサ320が載置された熱可塑性樹脂300を、熱プレス板330、332間に挟み、バンプ312付の半導体素子310およびコンデンサ320と、熱可塑性樹脂300を加熱装置340にて加熱しながら、押圧装置350にて相対的に押圧して、半導体素子310およびコンデンサ320を熱可塑性樹脂300内に押し込み埋設して行われる。
熱可塑性樹脂300への半導体素子310、コンデンサ320の上記挿入動作により、図13に示すように、バンプ312の端面312aおよびコンデンサ320の外部電極322の端面322a、つまり上記プレス動作によりバンプ312および外部電極322が熱プレス板330に接触した面を熱可塑性樹脂300の導体回路パターン形成面302に露出するように半導体素子310およびコンデンサ320が、熱可塑性樹脂300に埋設されるものである。
さらに、従来の電子部品実装済基板として、例えば、非特許文献1に記載された電子部品実装済基板がある。
その作製方法は、まず、実装基板に導体や受動素子を形成する。次に、メサ電極を形成し、ICチップ等を実装基板上に固定する。さらに、FEP(ポリフッ化エチレンプロピレン)等の樹脂を加熱プレスすることにより、ICチップを埋設している。そして、FEP樹脂をフォトエッチング法等により、ICチップやメサ電極部に対応する電極位置に接続窓を開け、上部導体を形成し導体回路パターン配線するものである。
特開2002−280744号公報 「ハイブリッドマイクロエレクトロニクス ハンドブック」社団法人 ハイブリッドマイクロエレクトロニクス協会編 51−52ページ
近年、実装密度の向上やエリアアレイ型のような狭ピッチ電極を有するICチップ等により各電極間の配線パターンが高密度化した電子部品を内蔵した電子部品実装済基板の開発が要望されている。
従来の電子部品実装済基板では、半導体素子やコンデンサ等の電子部品が単独あるいは複数個の場合でも離散的に配置されていたため、電子部品の押し込み時の熱可塑性樹脂の流動による所定位置からのズレは起こりにくかった。また、配線パターンの電極幅や電極ピッチ(例えば1.5mm程度)が広いために電子部品の位置ズレの許容幅が大きく、以下のような課題は発生していなかった。
例えば、高密度に複数の半導体素子やコンデンサ等の電子部品を同時にあるいは個別に熱可塑性樹脂中に埋設する場合、各電子部品の圧入で押しのけられた熱可塑性樹脂の流動によって、隣接するICチップやコンデンサ等が所定位置からズレる。そのため、半導体素子やコンデンサ等の電極と、その電極と接続する一括に形成される導体回路パターンの位置がズレ、確実な接続ができないという課題がある。また、熱可塑性樹脂の電子部品の押し込みによる流動は、温度、押し込み量やICチップの厚みばらつき等によって変化するため、電子部品間の距離もばらつき、予め流動量を予測して導体回路パターンを設計することも困難である。
この場合、各電子部品のズレた位置に合わせてインクジェット法等で個別に導体回路パターンを形成すれば、上記課題は解決できるが、生産時間を要するため生産性やコスト等、新たな課題が生じる。
さらに、内蔵する電子部品の高さが異なる場合、同時に熱可塑性樹脂中に圧入できない。なぜなら、各電子部品の電極を略同一平面に露出させることができないからである。それを回避するには、電子部品を個別に圧入しなければならないが、高密度に実装する場合、上述したように、最初に位置決めした電子部品が、次の電子部品の圧入時に位置ズレを起こすという課題が発生する。
また、複数の電子部品と同程度の厚みを有する熱可塑性樹脂のシートに電子部品の電極が露出するまで同時に埋設する場合、複数の電子部品の埋設によって押し出される余分な熱可塑性樹脂を収容する空間が必要である。しかし、余分な熱可塑性樹脂は、上下方向が熱プレス等で制限され、かつ熱可塑性樹脂の厚みが電子部品と同程度であるため面内方向に流動する。そのため、余分な熱可塑性樹脂の流動により電子部品が移動し、所定の位置を保つことができない。
さらに、導体等を実装基板に形成する場合、実装基板自体が、近年の装置の小型・薄型化を制限する等の課題もある。
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、複数の電子部品の突起状電極と一括形成される導体回路パターンとを位置ズレすることなく精度良く接続できる電子部品実装済基板の製造方法および電子部品実装済基板を提供することを目的とする。
上述の課題を解決するために、本発明の電子部品実装済基板の製造方法および電子部品実装済基板は、少なくとも片面に突起状電極を有する電子部品の高さ以下の厚みを有する第1の樹脂基材に、電子部品の突起状電極の少なくとも表面部が第1の樹脂基材の一方の表面に露出するように突起状電極を形成した面とは反対側の面から電子部品を押圧して圧入する工程と、電子部品を含む第1の樹脂基材上に第2の樹脂基材を形成し、第1の樹脂基材と第2の樹脂基材とで電子部品を内蔵する工程と、第1の樹脂基材の一方の表面上に電子部品の突起状電極と接続される導体回路パターンを形成する工程から電子部品実装済基板を製造するものである。これにより、電子部品の圧入時に押しのけられた第1の樹脂基材が、第1の樹脂基材の厚みと電子部品の高さとの差によって生じる空間に収容される。そして、押しのけられた第1の樹脂基材の流動による隣接電子部品への圧力が低減されるため、電子部品が所定位置に確実に配置される。それにより、電子部品の電極と導体回路パターンとの位置ズレを生じることがなく、確実に接続された電子部品実装済基板を作製できる。
また、少なくとも片面に突起状電極を有する電子部品の高さ以下の厚みを有する第1の樹脂基材に、電子部品の突起状電極の少なくとも表面部が第1の樹脂基材の一方の表面に露出するように突起状電極を形成した面とは反対側の面から電子部品を押圧して圧入する工程と、電子部品を含む第1の樹脂基材上に第2の樹脂基材を形成し、第1の樹脂基材と第2の樹脂基材とで電子部品を内蔵する工程と、第1の樹脂基材と第2の樹脂基材を貫通する導電性の接続部を形成する工程と、第1の樹脂基材の一方の表面上に電子部品の突起状電極と接続される導体回路パターンを形成し、部品内蔵基板を形成する工程と、複数の部品内蔵基板を導電性の接続部を介して電気的に接続し積層する工程から電子部品実装済基板を製造するものである。これにより、配置面積が小さく、実装密度を向上させた電子部品実装済基板を実現できる。
また、第1の樹脂基材の少なくとも電子部品が圧入される面を軟化させ、電子部品の突起状電極を第1の樹脂基材に圧入すると共に、電子部品の突起状電極の形成面を軟化した第1の樹脂基材に熱融着し位置固定した後、電子部品の突起状電極の少なくとも表面部が第1の樹脂基材の一方の表面に露出するように突起状電極を形成した面とは反対面から電子部品を押圧して圧入する工程を導入してもよい。これにより、搬送時等の振動や電子部品と熱プレス機との静電気による電子部品の位置ズレを未然に防止できる。
また、少なくとも片面に突起状電極を有する複数の電子部品を支持冶具に位置固定する工程と、電子部品の突起状電極の少なくとも表面部が樹脂基材の一方の表面に露出するように電子部品と樹脂基材を押圧して圧入する工程と、樹脂基材の一方の表面上に電子部品の突起状電極と接続される導体回路パターンを形成する工程から電子部品実装済基板を製造するものである。これにより、押しのけられた樹脂基材により隣接電子部品へ圧力が加えられても支持冶具に電子部品が予め位置固定されているため、導体回路パターンとの位置ズレが無く、確実に接続された電子部品実装済基板を作製できる。
また、電子部品の位置固定は、支持冶具に設けた窪み部に電子部品を嵌入することにより行うことができる。さらに、窪み部に吸着部を設ける構成としてもよい。これにより、窪み部のクリアランスによる電子部品の位置ズレを防止し高精度な導体回路パターンとの接続ができる。
また、電子部品の位置固定は、支持冶具に転写部材や吸着部を介して電子部品を位置固定する方法で行うこともできる。この場合、支持冶具を加工する必要がないため量産性に優れた電子部品実装済基板を作製できる。
また、導体回路パターン形成前に、電極面を確実に露出させるために、電子部品の少なくとも突起状電極上の樹脂基材を除去する工程を設けてもよい。この場合、導体回路パターンと複数の電子部品の突起状電極との接触抵抗が小さくなることにより接続の信頼性を高めることができる。
本発明の電子部品実装済基板の製造方法および電子部品実装済基板によれば、複数の電子部品の突起状電極と所定の導体回路パターンとの位置ズレを防止し、高密度の実装を高い生産性と共に低コストで実現できる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る電子部品実装済基板の断面図である。
図1において、複数の高さの同じ電子部品100が、第1の樹脂基材110と第2の樹脂基材120で埋設されている。さらに、電子部品100の突起状電極102は、第1の樹脂基材110の片面110aに露出しており、露出した突起状電極102と接続する導体回路パターン104が第1の樹脂基材110の片面110aに設けられている。ここで、電子部品100は、例えば、ベアチップ、CSP(Chip Size Package)、BGA(Ball Grid Array)やFC(Flip Chip)等からなる半導体素子、コンデンサ、抵抗等のチップ部品からなる能動素子や受動素子等である。ここで、高さの同じ電子部品100とは、ほぼ等しい高さを有することを意味する。例えば、10μm程度の差を有する電子部品100でも、バンプ等からなる突起状電極102の変形やプレス時に介在させる数10μm程度の緩衝フィルムの変形により、高さの差を吸収できる電子部品は、高さの同じ電子部品100とする。以降の実施の形態においても同様である。
以下に、第1の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法について図2を用いて説明する。
まず、図2(a)に示すように、例えば、ポリエチレンテレフタレート、塩化ビニル、ポリカーボネイト、アクリルニトリルブタジエンスチレン等の電気的絶縁性を有する熱可塑性樹脂やフェノール樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等の熱硬化性樹脂からなるシート状の第1の樹脂基材110に、複数の少なくとも片面には突起状電極102を有する高さの同じ電子部品100を相互に導体回路パターンと接続される所定の位置に載置する。なお、所定の位置とは、電子部品の突起状電極102と一括に形成される導体回路パターンとが接続される位置である。
ここで、第1の樹脂基材110の厚みは、複数の高さの同じ電子部品100を第1の樹脂基材110に圧入する時に、図2(b)に示す電子部品100により押しのけられた第1の樹脂基材112が、圧入された電子部品100の高さ以上に盛り上らない程度の体積を有する厚みである。例えば、複数の電子部品100の体積と各電子部品100間の隙間の体積が略等しい場合、第1の樹脂基材110の厚みは、電子部品100の高さの1/2程度以下の厚みとすることが好ましい。具体的には、複数の半導体素子の高さが等しく、例えば0.18mmの時、第1の樹脂基材の厚みは0.09mm程度である。
上記の理由は、図2(b)に示すように、例えば、第1の樹脂基材110に圧入された電子部品100により押しのけられた第1の樹脂基材112の体積が、空間106の体積より多い場合、押しのけられた第1の樹脂基材112の余った体積分だけ隣接する電子部品100を移動させることによって収容しなければならない。その結果、導体回路パターンが形成される所定の位置から電子部品100の位置が必然的にズレる。一方、押しのけられた第1の樹脂基材112の体積が、空間106を形成する体積より少ない場合、押しのけられた第1の樹脂基材112の体積は、すべて空間106で収容される。そのため、隣接する電子部品100の位置が移動しにくいので、導体回路パターンが形成される所定の位置と電子部品100の電極との位置ズレが起こりにくい。
ここで、突起状電極102は、半導体素子の場合、導体回路パターンと接続するためのバンプであり、チップ部品の場合、部品に形成された電極を示している。バンプは半導体の電極上にAu、Cuや半田等の電解メッキ法により形成される。なお、バンプの形成方法は、上記方法に限定されるものではなく、無電解メッキ法等で形成してもよい。
次に、図2(b)のように、例えば部品装着機等を用いて、第1の樹脂基材110の上に電子部品100の導体回路パターンと接続する突起状電極102面を対向させて載置し、熱プレス板200、210間に装着する。そして、加熱装置(図示せず)で電子部品100と第1の樹脂基材110を加熱しながら、押圧装置(図示せず)にて相対的に押圧して、電子部品100の突起状電極102が露出するまで第1の樹脂基材110に圧入する。圧入時、必要に応じて、例えば超音波振動等を加えて突起状電極102を第1の樹脂基材110の片面110aに確実に露出させることも可能である。
この時の熱プレスの条件は、例えばポリエチレンテレフタレート樹脂を用いた場合、圧力3×10Pa、温度160℃、プレス時間は1分であるが、これらの条件は、第1の樹脂基材110の材質により異なるものである。
次に、図2(c)のように、第1の樹脂基材110よりもガラス転移温度の低い熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂からなるシート状の第2の樹脂基材120を電子部品100の突起状電極102と反対側の面上に載置する。ここで、第1の樹脂基材110と第2の樹脂基材120の組み合わせは、例えば、ポリエチレンテレフタレート、塩化ビニル、ポリカーボネイト、アクリルニトリルブタジエンスチレン等の電気的絶縁性を有する各種熱可塑性樹脂やフェノール樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等の各種熱硬化性樹脂の中から、ガラス転移温度や付着強度を考慮しながら自由に選択可能である。また、第1の樹脂基材110のヤング率より第2の樹脂基材120のヤング率の大きい樹脂または第1の樹脂基材110の熱膨張係数より第2の樹脂基材120の熱膨張係数の小さい樹脂の組み合わせが好ましい。この構成により、電子部品100を圧入した時に生じる第1の樹脂基材110の反りを、第2の樹脂基材120の形成により矯正し反りの少ない電子部品実装済基板を作製できる。なお、機械的に反りを矯正しても電子部品実装済基板の破損や下記で述べる導体回路パターンの断線等が生じない範囲であれば第1の樹脂基材と第2の樹脂材料との組み合わせは特に制限されない。
次に、図2(d)のように、第2の樹脂基材120を、図2(b)と同様の方法により押圧し、電子部品100を第2の樹脂基材120で被覆する。
この時、第2の樹脂基材120のガラス転移温度が、第1の樹脂基材110のガラス転移温度より低いため、第1の樹脂基材110で一旦位置固定された電子部品100が第2の樹脂基材120の被覆時に位置ズレすることはほとんどない。
なお、図2(d)では、第2の樹脂基材120の材料を第1の樹脂基材110よりガラス転移温度の低い熱可塑性樹脂としたが、例えば、粘度20〜40Pa・sの紫外線硬化樹脂(UV硬化樹脂)を、スクリーン印刷法(メッシュ165/inch、乳剤厚み0.015mm)や型成型等により電子部品100を被覆し、紫外線で硬化させて形成することも可能である。また、例えばエポキシ変性アクリレートやポリウレタン変性アクリレート等の熱/紫外線併用樹脂を用いて形成することもできる。スクリーン印刷の場合、印刷の回数で厚みの調整ができる。この場合、少なくとも紫外線硬化性樹脂側の熱プレス板等やプレス用の冶具は、紫外線を透過させる材料、例えば石英ガラス等で構成する必要がある。
また、溶液状の第1の樹脂基材や熱硬化性樹脂等を塗布後、溶媒を加熱により除去したり、加熱硬化して第2の樹脂基材120として形成することも可能であるが、加熱温度は第1の樹脂基材110のガラス転移温度以下であることが好ましい。電子部品100を固定する第1の樹脂基材110が軟化しても電子部品100の位置がズレなければ、第1の樹脂基材110のガラス転移温度以上を有する第2の樹脂基材120で形成することも可能である。
なお、電子部品100を第2の樹脂基材120で被覆する時、電子部品100の高さと略同一平面とすることも、電子部品100を完全に埋設するために電子部品100の高さよりも厚く形成する等、信頼性等を考慮して任意に成型することができる。
最後に、図2(e)のように、第1の樹脂基材110の片面110aに露出した突起状電極102面に、Ag、Cu等の導電性ペーストを用いて、一般的にはスクリーン印刷、オフセット印刷やグラビア印刷等によって、設計した所定位置に導体回路パターン104を形成する。それにより、各電子部品100の突起状電極102と導体回路パターン104を電気的に接続する。具体的には、例えばスクリーン印刷の場合、250メッシュ/インチ、乳剤厚み10μmのマスクを介して、平均粒径5μmのAgフィラーを含有する導電性ペーストの印刷により、配線幅100μm、間隔100μmで導体厚み30μmの導体回路パターン104が形成される。
なお、導体回路パターン104の形成方法は、導電ペーストの印刷に限定されるものではなく、Cu、Ni、Al等の金属メッキや蒸着等で形成してもよい。
また、上記導体回路パターン104を形成する前に、少なくとも電子部品100の突起状電極102面側を研磨やサンドブラスト処理または湿式エッチングやプラズマエッチング等でクリーニング処理する工程を導入してもよい。それにより、例えば突起状電極102上に残る第1の樹脂基材110が除去され、電子部品100の突起状電極102と導体回路パターン104との接触抵抗等の信頼性が向上する。
以上の工程により、図1に示す電子部品実装済基板が作製される。
第1の実施の形態によれば、複数の電子部品100の第1の樹脂基材110への圧入によって生じる電子部品100で押しのけられた第1の樹脂基材112が、隣接する電子部品100間の空間106で収容されるため、電子部品100が所定位置から移動しない。従って、電子部品100の突起状電極102と所定の導体回路パターン104が位置ズレなく接続される。例えば、従来の方法では、0.8mm間隔で配置した電子部品間を樹脂基材へ圧入した場合、樹脂基材の流動により電子部品間距離が200μm程度位置ズレしていた。本発明の第1の実施の形態の方法により、電子部品間距離を最大でも50μm程度の位置ズレに抑えることができるため、バンプ間距離が200μmの狭配線ピッチの電子部品を複数個圧入しても導体回路パターン104と確実に接続することができる。
なお、第1の実施の形態により形成された電子部品実装済基板において、図3に示すように、導体回路パターン104に、別の半導体素子108、受動部品や能動部品107を実装したり受動部品を薄膜や厚膜で形成することにより、樹脂基材等に内蔵が困難な部品とのモジュール化ができるため、多機能化や高機能化を実現することもできる。また、実装後に樹脂やラミネートフィルム等でラミネートすれば、さらなる信頼性の向上を図れる。
また、第1の実施の形態では、導体回路パターン104を形成した電子部品実装済基板構成で示したが、例えば、プリント基板等の別の基板に形成した導体回路パターンと上記導体回路パターンを形成していない電子部品実装済基板を接続することもできる。この場合、樹脂基材のガラス転移温度が半田リフロー温度よりも高い時には、半田リフロー等で導体回路パターンと電子部品実装済基板が接続される。また、樹脂基材のガラス転移温度が低い時には、低融点半田やAgペースト等で導体回路パターンと電子部品実装済基板が接続される。
(第2の実施の形態)
図4は、本発明の第2の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図である。第1の実施の形態において、電子部品100の搬送時等に発生する位置ズレを予め防止する工程を付加するものである。
以下に、第2の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法について、第1の実施の形態と異なる工程を主に説明する。
まず、図4(a)に示すように、予め電気的絶縁性を有するシート状の第1の樹脂基材110の少なくとも電子部品100が圧入される表面を加熱し軟化させる。例えば、第1の樹脂基材110の軟化開始温度が110℃、融点が160℃の場合、120〜130℃程度で加熱し軟化させる。
そして、電子部品100の突起状電極102を第1の樹脂基材110の表面に部品実装機等で押圧して導体回路パターンと接続される所定の位置に挿入する。その時の実装加重は、5〜10gf×(突起状電極の数)であることが好ましい。また、それと同時に、電子部品100の突起状電極102を有する面を軟化した第1の樹脂基材110の表面と熱融着し位置固定する。つまり、電子部品100を第1の樹脂基材110に仮止めする工程を設けるものである。
そして、第1の実施の形態の図2(b)から図2(e)と同様に、図4(b)から図4(e)の工程にしたがって、電子部品実装済基板が作製される。
第2の実施の形態によれば、上記電子部品100の仮止め工程により、例えば部品実装機の振動や次工程への搬送時に発生しやすい電子部品100の所定位置からのズレを未然に防止できるため、製造の取り扱いが容易で位置精度の高い電子部品の実装を実現できる。
(第3の実施の形態)
図5は、本発明の第3の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図である。第1の実施の形態を、高さの異なる電子部品101に適用するものである。
以下に、第3の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法について、第1の実施の形態と異なる工程を主に説明する。
まず、図5(a)に示すように、電気的絶縁性を有するシート状の第1の樹脂基材110に、複数の高さの異なる少なくとも片面には突起状電極102を有する電子部品101を導体回路パターンと接続される所定の位置に載置する。
次に、図5(b)のように、第1の樹脂基材110の上に電子部品101の導体回路パターンと接続される突起状電極102を対向させて載置した状態で、高さの異なる電子部品101を均一に押圧できるように、高さを調節するための凸部または凹部214を形成した熱プレス板212、200間に装着する。そして、加熱装置(図示せず)で電子部品101と第1の樹脂基材110を加熱しながら、押圧装置(図示せず)にて相対的に押圧して、電子部品101を第1の樹脂基材110の片面110aに、電子部品101の突起状電極102が露出するまで圧入する。
以下、第1の実施の形態の図2(c)から図2(e)と同様に、図5(c)から図5(e)の工程にしたがって、電子部品実装済基板が作製される。
第3の実施の形態によれば、異なる高さを有する複数の電子部品101においても、電子部品101の突起状電極102と導体回路パターン104を位置ズレなく接続できる。
なお、本実施の形態では、熱プレス板212に電子部品101の高さ調節のために凸部または凹部214を形成したが、別の部材に形成してもよい。それにより、汎用性が向上する。
(第4の実施の形態)
図6は、本発明の第4の実施の形態に係る電子部品実装済基板の断面図である。図1と同じ構成については同じ符号を用いる。
第4の実施の形態では、第1の実施の形態で作製された電子部品実装済基板において、第1の樹脂基材110と第2の樹脂基材120を貫通する導電性の接続部130を設けて部品内蔵基板とするものである。そして、複数の部品内蔵基板を、この導電性の接続部130を介して電気的に接続し積層構造の電子部品実装済基板が作製される。導電性の接続部130は、電子部品100と同じ高さを有する金属材料や導電性の樹脂材料から構成される。そして、第1の樹脂基材110に電子部品100を載置する時に、部品内蔵基板を積層して接続する位置に導電性の接続部130が設けられる。その後、図2(b)から図2(e)と同様の製造方法で作成された複数の部品内蔵基板を導電性の接続部130の位置を合わせて積層し接着等することにより、積層構造の電子部品実装済基板を作製できる。
また、はじめに複数の電子部品100を第1の樹脂基材110と第2の樹脂基材120とで埋設後、複数の部品内蔵基板を積層して接続する位置に金型によるプレス、NCパンチャーやレーザ(CO、YAG、エキシマ)等を用いて貫通孔を形成する。そして、電子部品100の突起状電極102と接続する導体回路パターン104形成時に、貫通孔を導電性材料で導通させて導電性の接続部130としてもよい。この場合、高さの異なる電子部品101を用いた第3の実施の形態に係る電子部品実装済基板への適用が可能となる。
さらに、例えばコンデンサのように突起状電極132が上下面に形成されている部品では、突起状電極132を樹脂基材の上下面に露出させて導電性の接続部130の一部として用いることも可能である。
上記方法により、複数の部品内蔵基板が導電性の接続部130を介して積層されることによって、図6に示す積層構造の電子部品実装済基板が作製される。
第4の実施の形態によれば、複数の部品内蔵基板を積層した電子部品実装済基板により、実装面積を小さくできると共に、多機能化を実現できる。
(第5の実施の形態)
図7は、本発明の第5の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図である。図7において、図2と同じ構成については同じ符号を用いる。
まず、図7(a)に示すように、予め複数の少なくとも片面には突起状電極102を有する高さの同じ電子部品100が、少なくとも嵌入できる大きさを有する窪み部140を支持冶具150に形成する。例えば、電子部品100であるICチップのサイズが6mm□の場合、窪み部140のサイズは、クリアランスを考慮して6mm□から6.05mm□程度となる。そして、支持冶具150の窪み部140に所定の電子部品100の導体回路パターンと接続される突起状電極102の反対側の面を窪み部140と対向させて、例えば部品装着機等を用いて電子部品100を載置する。ここで、窪み部140は、最大でも電子部品100の突起状電極102が露出する程度の深さを有する。
次に、図7(b)のように、ポリエチレンテレフタレート、塩化ビニル、ポリカーボネイト、アクリルニトリルブタジエンスチレン等の電気的絶縁性を有する熱可塑性樹脂やフェノール樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等の熱硬化性樹脂からなるシート状の第1の樹脂基材110を、半導体素子やコンデンサ等の複数の電子部品100の突起状電極102面に載置する。ここで、第1の樹脂基材110の厚みは、複数の電子部品100の窪み部140から突出した高さと同程度か、それより厚い方が好ましい。また、複数の電子部品100を第1の樹脂基材110に圧入した時に、電子部品100により押しのけられた第1の樹脂基材112(図2(b)参照)が、窪み部140から突出した電子部品100を被覆できれば、窪み部140から突出した電子部品100の高さよりも第1の樹脂基材110が薄くてもよい。
次に、図7(c)のように、電子部品100の電極面上に第1の樹脂基材110を載置した状態で、熱プレス板200、210間に装着する。そして、加熱装置(図示せず)で電子部品100と第1の樹脂基材110を加熱しながら、押圧装置(図示せず)にて相対的に押圧して、電子部品100の突起状電極102が露出するまで第1の樹脂基材110を圧入する。この時の熱プレスの条件は、例えばポリエチレンテレフタレート樹脂を用いた場合、圧力3×10Pa、温度160℃、プレス時間は1分であるが、これらの条件は、第1の樹脂基材110の材質により異なるものである。
次に、図7(d)のように、支持冶具150上で第1の樹脂基材110に圧入された状態で、各電子部品100の露出した突起状電極102にAg、Cu等の導電性ペーストを用いて、一般的なスクリーン印刷、オフセット印刷やグラビア印刷等によって、導体回路パターン104を形成する。具体的には、スクリーン印刷の場合、250メッシュ/インチ、乳剤厚み10μmのマスクを介して導電性ペーストの印刷により導体厚み30μmの導体回路パターン104を形成する。
なお、導体回路パターン104の形成は、導電ペーストの印刷に限定されるものではなく、Cu、Ni、Al等の金属メッキや蒸着等で形成してもよい。
次に、図7(e)のように、支持冶具150を取り外した後、第1の樹脂基材110よりもガラス転移温度の低い熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂からなるシート状の第2の樹脂基材120を、図7(c)と同様な方法を用いて、導体回路パターン104面側から押圧する。そして、図7(f)のように、電子部品100を第2の樹脂基材120に圧入し、各電子部品100の突起状電極102の反対側の面を被覆する。この場合、電子部品100の突起状電極102の反対側の面と第2の樹脂基材120の表面が略同一平面とすることや埋没させる構成とすることも、熱プレス板200、210間の高さの調整で可能である。
なお、第1の実施の形態と同様に、第2の樹脂基材120の材料として、例えば、紫外線硬化樹脂(UV硬化樹脂)や熱/紫外線硬化樹脂等で電子部品100を被覆し、成型後、紫外線および熱で硬化させて形成することも可能である。また、溶液状の第1の樹脂基材や熱硬化性樹脂等を塗布後、溶媒を加熱により除去したり、加熱硬化して形成することも可能であるが、加熱温度は第1の樹脂基材110のガラス転移温度以下であることが好ましい。電子部品100を固定する第1の樹脂基材110が軟化しても電子部品の位置がズレなければ、第1の樹脂基材110のガラス転移温度以上を有する第2の樹脂基材120で形成することも可能である。
以上の工程を経て、図7(g)に示す電子部品実装済基板を作製できる。
なお、上記実施の形態では、図7(c)のように、支持冶具150を備えた状態で導体回路パターン104を形成する方法を述べたが、これに限らず、例えば、第2の樹脂基材120で電子部品100を被覆した後に、導体回路パターン104を形成してもよい。
第5の実施の形態によれば、支持冶具150に設けた窪み部140により、複数の電子部品100を所定位置に位置固定した状態で、第1の樹脂基材110に圧入するため、電子部品100の突起状電極102と所定の導体回路パターン104とを位置ズレすることなく確実に接続できる。
(第6の実施の形態)
図8は、本発明の第6の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図である。図8において、図7と同じ構成については同じ符号を用いる。
まず、図8(a)に示すように、予め複数の少なくとも片面には突起状電極102を有する高さの同じ電子部品100が少なくとも嵌入できる大きさを有する窪み部140を支持冶具150に形成する。そして、支持冶具150の窪み部140に所定の電子部品100を導体回路パターンと接続される突起状電極102側の面に対向させて載置する。
次に、図8(b)のように、電気的絶縁性を有するシート状の第1の樹脂基材110を、半導体素子等の複数の高さの同じ電子部品100の突起状電極102の反対側の面に載置する。
次に、図8(c)のように、電子部品100の上に第1の樹脂基材110を載置した状態で、熱プレス板200、210間に装着し、加熱装置(図示せず)で電子部品100と第1の樹脂基材110を加熱しながら、押圧装置(図示せず)にて相対的に押圧する。そして、電子部品100の突起状電極102の反対面が露出する程度か、または所定の厚みまでは埋没するように、第1の樹脂基材110に電子部品100を圧入する。
次に、図8(d)のように、支持冶具150を取り外した後、第2の樹脂基材120上に電子部品100の突起状電極102側の面を対向させて載置し、押圧する。そして、図8(e)のように、電子部品100の突起状電極102が第2の樹脂基材120の片面120aに露出するように電子部品100を圧入する。
最後に、図8(f)のように、第2の樹脂基材120の片面120aに露出した突起状電極102面に、Ag、Cu等の導電性ペーストを用いて、一般的にはスクリーン印刷、オフセット印刷やグラビア印刷等によって、設計した所定位置に導体回路パターン104を形成する。それにより、電子部品100の突起状電極102と導体回路パターン104が電気的に接続され、電子部品実装済基板を作製できる。
第6の実施の形態によれば、電子部品100の突起状電極102と所定の導体回路パターン104とを位置ズレすることなく確実に接続できる。
(第7の実施の形態)
図9は、本発明の第7の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図である。第5の実施の形態を、高さの異なる電子部品101に適用したものである。
まず、図9(a)に示すように、予め複数の少なくとも片面には突起状電極102を有する高さの異なる電子部品101が少なくとも嵌入できる大きさを有する窪み部142を支持冶具152に形成する。ここで、窪み部142は、高さの異なる電子部品101の突起状電極102面が略同一平面となり、かつ最大でもすべての電子部品101の突起状電極102が露出する程度の深さを有する。
そして、図9(b)のように、支持冶具152の窪み部142に所定の電子部品101を導体回路パターンと接続される突起状電極102の反対側の面が窪み部142と対向するようにして載置する。
次に、図9(c)のように、高さの異なる電子部品101の突起状電極102面の上に第1の樹脂基材110を載置した状態で、熱プレス板200、210間に装着し、加熱装置(図示せず)で電子部品101と第1の樹脂基材110を加熱しながら、押圧装置(図示せず)にて相対的に押圧する。そして、図9(d)のように、高さの異なる電子部品101の突起状電極102が露出するまで、第1の樹脂基材110に圧入する。
次に、図9(e)のように、支持冶具152を取り外した後、第1の樹脂基材110よりもガラス転移温度の低い熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂等からなるシート状の第2の樹脂基材120を電子部品101の突起状電極102と反対側の面上に載置する。
次に、図9(f)のように、第2の樹脂基材120を、図9(c)と同様の方法により押圧し、電子部品101を第2の樹脂基材120で被覆する。
この時、第2の樹脂基材120のガラス転移温度が、第1の樹脂基材110のガラス転移温度より低いため、第1の樹脂基材110で一旦位置固定された電子部品101が第2の樹脂基材120の被覆時に移動することはほとんどない。
なお、図9(e)では、第2の樹脂基材120の材料を第1の樹脂基材110よりガラス転移温度の低い熱可塑性樹脂としたが、例えば、紫外線硬化樹脂(UV硬化樹脂)や熱/紫外線硬化樹脂等で電子部品101を被覆し、成型後、紫外線および熱で硬化させることも可能である。この場合、少なくとも紫外線硬化性樹脂側の熱プレス板等やプレス用の冶具は、紫外線が透過できる材料、例えば石英ガラス等で構成する必要がある。
また、溶液状の第1の樹脂基材や熱硬化性樹脂等を塗布後、溶媒を加熱により除去したり、加熱硬化して第2の樹脂基材120として形成することも可能であるが、加熱温度は第1の樹脂基材110のガラス転移温度以下であることが好ましい。電子部品101を固定する第1の樹脂基材110が軟化しても電子部品101の位置がズレなければ、第1の樹脂基材110のガラス転移温度以上を有する第2の樹脂基材120で形成することも可能である。
なお、電子部品101を第2の樹脂基材120で被覆する時、電子部品101の高さと略同一平面とすることも、電子部品101を完全に埋設するために電子部品101の高さよりも厚く形成する等、必要に応じて任意に成型ができる。
最後に、図9(g)のように、第1の樹脂基材110の片面110aに露出した突起状電極102面に、Ag、Cu等の導電性ペーストを用いて、一般的にはスクリーン印刷、オフセット印刷やグラビア印刷等によって、設計した所定位置に導体回路パターン104を形成する。それにより、電子部品101の突起状電極102と導体回路パターン104が電気的に接続され、電子部品実装済基板を作製できる。
第7の実施の形態によれば、異なる高さを有する複数の電子部品101においても、電子部品101の突起状電極102と導体回路パターン104とを位置ズレすることなく確実に接続することができる。
(第8の実施の形態)
図10は、本発明の第8の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図である。図10において、図8と同じ構成については同じ符号を用いる。第6の実施の形態を、高さの異なる電子部品101に適用したものである。
まず、図10(a)に示すように、予め複数の少なくとも片面には突起状電極102を有する高さの異なる電子部品101が少なくとも嵌入できる大きさを有する窪み部140を支持冶具150に形成する。そして、支持冶具150の窪み部140に所定の電子部品101を導体回路パターンと接続される突起状電極102側の面に対向させて載置する。
次に、図10(b)のように、電気的絶縁性を有するシート状の第1の樹脂基材110を、半導体素子やコンデンサ等の複数の高さの異なる電子部品101の突起状電極102の反対側の面に載置する。
次に、図10(c)のように、電子部品101の上に第1の樹脂基材110を載置した状態で、熱プレス板200、210間に装着し、加熱装置(図示せず)で電子部品101と第1の樹脂基材110を加熱しながら、押圧装置(図示せず)にて相対的に押圧する。そして、最大の高さを有する電子部品101が露出する程度か、または所定の厚みまで埋没するように第1の樹脂基材110に圧入する。
次に、図10(d)のように、支持冶具150を取り外した後、第2の樹脂基材120上に電子部品101の突起状電極102側の面を対向させて載置し、押圧する。そして、図10(e)のように、電子部品101の突起状電極102が露出するように第2の樹脂基材120に電子部品101を圧入する。
最後に、図10(f)のように、第2の樹脂基材120の片面120aに露出した突起状電極102面に、Ag、Cu等の導電性ペーストを用いて、一般的にはスクリーン印刷、オフセット印刷やグラビア印刷等によって、設計した所定位置に導体回路パターン104を形成する。それにより、電子部品101の突起状電極102と導体回路パターン104が電気的に接続され、電子部品実装済基板を作製できる。
第8の実施の形態によれば、支持冶具150の窪み部140の深さは、異なる高さを有する複数の電子部品101に対しても、各電子部品101の高さに応じて加工する必要なく均一でよい。さらに、電子部品101の突起状電極102と所定の導体回路パターン104とを位置ズレすることなく確実に接続できる。
(第9の実施の形態)
図11は、本発明の第9の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図である。図11において、図2と同じ構成については同じ符号を用いる。
まず、図11(a)に示すように、予め複数の高さが等しく、片面には突起状電極102を有する電子部品100の導体回路パターンと接続される突起状電極102面と反対側の面を、転写部材160を介して、支持冶具170の所定の位置に固定する。例えば、転写部材160として、アクリル系材料からなる紫外線または熱硬化型粘着剤やテープ材等が用いられる。なお、転写部材160は、電子部品100を樹脂基材に埋設後、紫外線照射や熱により粘着性が低下し、支持冶具170から容易に取り外せるものが好ましい。
次に、図11(b)のように、ポリエチレンテレフタレート、塩化ビニル、ポリカーボネイト、アクリルニトリルブタジエンスチレン等の電気的絶縁性を有する熱可塑性樹脂やフェノール樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等の熱硬化性樹脂からなるシート状の樹脂基材180に、電子部品100の突起状電極102側を対向して載置し、熱プレス板200、210間に装着する。ここで、樹脂基材180の厚みは、最終的に複数の電子部品100が埋設する同程度が必要である。なお、複数の電子部品100を樹脂基材180に圧入した時に、電子部品100により押しのけられた樹脂基材182を考慮して、電子部品100を被覆できる程度の厚みを有するものであれば、埋設する電子部品100の高さよりも薄い樹脂基材180でもよい。
次に、図11(c)のように、加熱装置(図示せず)で電子部品100と樹脂基材180を加熱しながら、押圧装置(図示せず)にて相対的に押圧して、電子部品100を樹脂基材180に、電子部品100の突起状電極102が露出するまで圧入する。この時の熱プレスの条件は、例えばポリエチレンテレフタレート樹脂を用いた場合、圧力3×10Pa、温度160℃、プレス時間は1分であるが、これらの条件は、樹脂基材180の材質により異なるものである。
次に、図11(d)のように、まず、転写部材160を支持冶具170から取り外す。例えば、転写部材160が紫外線硬化型粘着材であれば、石英ガラス等からなる支持冶具170を通じて紫外線を照射して取り外すことができる。そして、支持冶具170上で樹脂基材180に埋設された状態で、各電子部品100の露出した突起状電極102にAg、Cu等の導電性ペーストを用いて、一般的にスクリーン印刷、オフセット印刷やグラビア印刷等によって、導体回路パターン104を形成する。
以上の工程を経て、図11(d)に示す、押しのけられた樹脂基材182を取り除くことにより、図11(e)に示す電子部品実装済基板を作製できる。なお、押しのけられた樹脂基材182の加工を、図11(d)の導体回路パターン104を形成する前に行っても何ら問題はない。
また、図11(d)のように、支持冶具170を外した状態で導体回路パターン104を形成する方法で述べたが、これに限らず、例えば、支持冶具170を備えた状態で、導体回路パターン104を形成することも可能である。
本発明の第9の実施の形態によれば、支持冶具170に転写部材160を介して複数の電子部品100を所定の位置に固定した状態で、樹脂基材180に埋設できるため、電子部品100の突起状電極102と所定の導体回路パターン104とを位置ズレすることなく確実に接続できる。
以下、第9の実施の形態の別の例について説明する。
図12は、第9の実施の形態の別の例に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図である。
図12(a)において、支持冶具170と転写部材160の代わりに、例えば、真空または減圧吸着法等で各電子部品100を吸着する吸着冶具190で構成したものである。ここで、吸着冶具190は、加圧装置や加熱装置の片方として兼用することもできる。
そして、複数の電子部品100の突起状電極102面の反対面側で所定の位置に吸着固定し、第9の実施の形態の図11(b)から図11(e)と同じ製造方法を用いて、図12(b)から図12(e)の工程により電子部品実装済基板を製造できる。
上記製造方法により、第9の実施の形態と同様の効果を得ると共に、さらに転写部材での貼り付けや必要に応じて除去する等の工程を省くことができ、より簡略化した方法で電子部品実装済基板を作製できる。
さらに、第5の実施の形態の窪み部内に電子部品を吸着固定する吸着部を設ける構成とすることもできる。この構成により、窪み部のクリアランスによる電子部品の位置ズレを防止し、導体回路パターンとのより高精度な位置合わせが可能である。
なお、上記で説明した第1から第9の各実施の形態において、導体回路パターンを形成する前に、樹脂基材の略同一平面上に露出した突起状電極に対して、例えば樹脂基材の残渣による、接触の不安定性を回避するために、湿式エッチングやプラズマエッチング等のクリーニング処理工程を導入してもよい。これにより、電子部品の突起状電極と導体回路パターンとの接触抵抗のばらつきを低減し、信頼性の高い電子部品実装済基板を実現できる。
さらに、上記で説明した第1から第9の各実施の形態において、複数の電子部品を同時に樹脂基材に圧入する方法を例に述べてきた。しかし、押しのけられた樹脂基材により複数の電子部品が、互いに移動しない程度に離散的に配置されている場合には、電子部品を個々に、例えば、部品装着機(チップマウンター)等で圧入してもよい。
また、多数取りで電子部品実装済基板を作製する場合、一括で作製することも、あるいはある単位数の電子部品実装済基板毎に分割して作製することも可能であり、1つの電子部品実装済基板の製造方法に限定されるものではない。
また、以上述べた各実施の形態を互いの実施の形態に用いても何ら問題はない。
本発明に係る電子部品実装済基板の製造方法および電子部品実装済基板は、半導体素子、コンデンサ、抵抗等の受動部品等、複数の電子部品で高密度化の必要な実装分野等に有用である。
本発明の第1の実施の形態に係る電子部品実装済基板の断面図 同電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図 本発明の第1の実施の形態の別の例に係る電子部品実装済基板の断面図 本発明の第2の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図 本発明の第3の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図 本発明の第4の実施の形態に係る電子部品実装済基板の断面図 本発明の第5の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図 本発明の第6の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図 本発明の第7の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図 本発明の第8の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図 本発明の第9の実施の形態に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図 本発明の第9の実施の形態の別の例に係る電子部品実装済基板の製造方法を示す説明図 従来のMCMの構成を示す断面図 従来の電子部品実装済基板の製造過程を示す説明図
符号の説明
100,101 電子部品
102,132 突起状電極
104 導体回路パターン
110 第1の樹脂基材
112 押しのけられた第1の樹脂基材
120 第2の樹脂基材
130 導電性の接続部
140,142 窪み部
150,152,170 支持冶具
160 転写部材
180 樹脂基材
182 押しのけられた樹脂基材
190 吸着冶具
200,210,212 熱プレス板
214 凸部または凹部

Claims (1)

  1. 少なくとも片面に突起状電極を有する複数の電子部品を、前記電子部品が埋没しない深さを有し、前記電子部品が嵌入される窪み部を有する支持冶具の前記窪み部に、前記電子部品を嵌入し位置固定する工程と、
    前記電子部品の前記突起状電極の少なくとも表面部が、第1の樹脂基材の一方の表面に露出するように前記電子部品と前記第1の樹脂基材を押圧して圧入し、前記電子部品を含む第1の樹脂基材上に第2の樹脂基材を形成し、第1の樹脂基材と第2の樹脂基材とで電子部品を内蔵する工程と、
    前記樹脂基材の前記一方の表面上に前記電子部品の前記突起状電極と接続される導体回路パターンを形成する工程と、
    を有することを特徴とする電子部品実装済基板の製造方法。
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