JP4148434B2

JP4148434B2 - 半導体装置の製法

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Publication number: JP4148434B2
Application number: JP30414899A
Authority: JP
Inventors: 誠桑村
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 1999-02-09
Filing date: 1999-10-26
Publication date: 2008-09-10
Anticipated expiration: 2019-10-26
Also published as: JP2000299333A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップサイズパッケージ（ＣＳＰ）等の小型パッケージにおける半導体装置の製法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、リードフレームのダイパッド上に半導体チップをセットした後、トランスファー成形で樹脂封止することにより半導体装置を製造する方法や、ドーターボードに一旦半導体チップを装着した後、上記ボードとチップとの隙間を樹脂封止することにより、いわゆるフリップチップパッケージである半導体装置を製造する方法が、一般的な製法として用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記半導体装置の製法では、成形用金型や赤外線リフロー（ＩＲリフロー）装置等の設備に対して多額の投資を必要とし、しかも、半導体チップの設計に合わせたリードフレームや基板の作製と供給が必要となり、サイズ等の変更の度に煩雑な作業を必要としていた。また、１個のパッケージを製造するのに多くの工程と時間が必要であった。
【０００４】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、サイズ変更等に対しても問題なく対応でき、煩雑な工程を経由することなく短時間で半導体装置を製造することのできる半導体装置の製法の提供をその目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の半導体装置の製法は、複数の突起状電極部が形成されたウェハの、突起状電極部形成面に、下記の特性（イ）〜（ハ）を備えた封止用樹脂シートを載置する工程と、加熱下で、上記ウェハと、下記（Ａ）からなる封止用樹脂シートを貼り合わせて少なくとも上記突起状電極部の頭頂部が露呈した状態となるよう上記封止用樹脂シートからなる樹脂層をウェハに積層形成する工程と、上記樹脂層が積層形成されたウェハを所定の大きさに切断する工程とを備えたという構成をとる。
（イ）温度１００℃での粘度が１〜１０００Ｐａ・ｓ。
（ロ）２０℃での引張弾性率が０．５〜５０００ＭＰａ。
（ハ）２０℃での引張伸び５〜３００％。
（Ａ）下記の（ａ）〜（ｃ）成分を含有し、上記（ｃ）成分の含有割合がエポキシ樹脂組成物（Ａ）全体の９０重量％以下に設定されたエポキシ樹脂組成物。
（ａ）エポキシ樹脂。
（ｂ）硬化剤。
（ｃ）下記一般式（４）の多面体形状を有する複合化金属水酸化物を含む最大粒径が１００μｍ以下に設定された無機質充填剤。
【化２】

【０００６】
すなわち、本発明は、複数の突起状電極部が形成されたウェハを準備し、このウェハの突起状電極部形成面に、上記特性を備えた封止用樹脂シートを載置する。ついで、加熱下で、上記ウェハと封止用樹脂シートを貼り合わせてウェハに上記封止用樹脂シートからなる樹脂層を積層形成する。そして、全体に上記樹脂層が積層形成されたウェハを所定の大きさに切断することにより半導体装置を製造するという方法である。このように、まず、ウェハ全体に封止用樹脂シートからなる樹脂層を積層形成した後、ウェハを所定の大きさに切断するため、個々に作製するという従来の製法に比べて煩雑な工程を経由することなく短時間で製造することができる。
【０００７】
そして、上記封止用樹脂シートが、前記特性（イ）〜（ハ）を備えるため、常温で巻回状のフィルムテープとして上記シートを取り扱うことが可能となる。また、封止用樹脂シートを複数の突起状電極部が形成されたウェハに貼り合わせる際、上記電極部を変形させることなくウェハ面に張り合わせることができる。
【０００８】
また、上記離型シートの片面に封止用樹脂シートが積層されたものを用いた場合、上記シートを巻回状としたフィルムテープとして取り扱うことが可能となる。また、上記封止用樹脂シートをウェハにラミネートした後に、仮に電極部表面に封止用樹脂シートの樹脂が付着し残存したとしても、上記離型シートを剥離し除去することにより取り除くことが可能となる。
【０００９】
さらに、上記封止用樹脂シートの形成材料として、前述のエポキシ樹脂組成物（Ａ）を用いる場合、接着性が良好で、また最大粒径を１００μｍ以下とすることにより、安定した電気導通特性を得ることができる。また無機質充填剤が９０重量％を超えるものは粘度が高いものとなり、ウェハへの貼り合わせにおいて接着不良等の不具合が生じる。
【００１０】
そして、上記封止用樹脂シートからなる樹脂層の硬化体が、前記特性（ニ）および（ホ）の少なくとも一方を備える場合、例えば温度サイクルテスト評価後の電気導通特性において安定した導通特性の確保が可能となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
つぎに、本発明を実施の形態に基づいて詳しく説明する。
本発明の半導体装置の製法により得られる半導体装置は、図１に示すように、複数の突起状電極部２が形成されたウェハ１の片面に、樹脂層３が積層形成されている。そして、この樹脂層３が積層形成されたウェハ１を所定の大きさに切断することにより所望の半導体装置が得られる。なお、本発明において、ウェハとは、その表面に上記突起状電極部２以外に電極層が設けられた薄板の半導体をいう。
【００１２】
なお、上記複数の突起状電極部２の材質としては、特に限定するものではないが、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、クロム、錫、鉛、半田およびこれらの合金があげられる。また、上記突起状電極部２の形状としては、特に限定するものではないが電極部表面が凸形状となっていることが好ましい。
【００１３】
また、上記ウェハ１の材質としては、特に限定するものではなく従来から用いられている、例えば、ＧａＡｓウェハ、Ｓｉウェハ等があげられる。
【００１４】
上記半導体装置の製法において用いられる、樹脂層３の形成材料となる封止用樹脂シートとしては、特に限定するものではなく、各種の化合物からなるシートがあげられる。
【００１５】
上記封止用樹脂シート形成材料としては、熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂を用いることが可能であり、その一例として、エポキシ樹脂組成物をあげることができる。
【００１６】
上記エポキシ樹脂組成物は、エポキシ樹脂（ａ成分）と、硬化剤（ｂ成分）と、無機質充填剤（ｃ成分）とを用いて得られるものであり、常温で固体を示す。なお、上記常温とは２０℃である。
【００１７】
上記エポキシ樹脂（ａ成分）としては、常温で固体を示すものであれば特に限定するものではなく従来公知のもの、例えば、ビフェニル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等が用いられ、さらには溶融時に濡れ性が良好な低粘度のものを用いることが好ましい。特に好ましくは、濡れ性が良くなるという観点から、具体的に、下記の一般式（１），式（２），式（３）で表される構造のエポキシ樹脂があげられる。これらは単独でもしくは２種以上併せて用いられる。また、低粘度化や濡れ性改良の目的で、上記エポキシ樹脂に常温で液状のエポキシ樹脂を一部併用しても差し支えない。
【００１８】
【化３】

【００１９】
【化４】

【００２０】
【化５】

【００２１】
上記式（１）〜（３）で表される構造のエポキシ樹脂において、特にエポキシ当量１５０〜２３０ｇ／ｅｑで、融点６０〜１６０℃のものを用いることが好ましい。
【００２２】
上記エポキシ樹脂（ａ成分）とともに用いられる硬化剤（ｂ成分）としては、特に限定するものではなく通常用いられている各種硬化剤、例えば、フェノール系硬化剤としての各種フェノール樹脂やメチルヘキサヒドロ無水フタル酸等の酸無水物系硬化剤があげられ、なかでもフェノール樹脂が好適に用いられる。上記フェノール樹脂としては、フェノールノボラック等が用いられ、特に低粘度のものを用いることが好ましい。なかでも、水酸基当量が８０〜１２０ｇ／ｅｑで、軟化点が８０℃以下のものを用いることが好ましい。より好ましくは、水酸基当量９０〜１１０ｇ／ｅｑで、軟化点５０〜７０℃である。特に好ましくは水酸基当量１００〜１１０ｇ／ｅｑで、軟化点５５〜６５℃である。
【００２３】
上記エポキシ樹脂（ａ成分）と硬化剤（ｂ成分）の配合割合は、硬化剤としてフェノール樹脂を用いた場合、エポキシ樹脂中のエポキシ基１当量に対してフェノール樹脂中の水酸基当量を０．５〜１．６の範囲に設定することが好ましい。より好ましくは０．８〜１．２の範囲に設定することである。
【００２４】
上記ａ成分およびｂ成分とともに用いられる無機質充填剤（ｃ成分）としては、従来から用いられている各種無機質充填剤、例えば、シリカ粉末、炭酸カルシウム、チタン白等があげられる。なかでも、球状シリカ粉末、破砕状シリカ粉末が好ましく用いられ、特に球状溶融シリカ粉末を用いることが好ましい。そして、上記無機質充填剤（ｃ成分）としては、最大粒径が１００μｍ以下のものを用いることが好ましい。特に好ましくは最大粒径が５０μｍ以下である。すなわち、最大粒径が１００μｍを超えると、安定した電気導通特性が得ることが困難となる。また、上記最大粒径とともに、平均粒径が０．２〜１０μｍのものを用いることが好ましい。
【００２５】
上記無機質充填剤（ｃ成分）の含有割合は、エポキシ樹脂組成物全体の９０重量％以下の範囲に設定する。より好ましくは２０〜９０重量％であり、特に好ましくは５５〜７５重量％である。すなわち、無機質充填剤（ｃ成分）の含有量が２０重量％未満では、樹脂層の特性、特に硬化物の線膨張係数が大きくなり、このため、半導体素子と上記係数との差が大きくなって、樹脂層や半導体素子にクラック等の欠陥を発生させるおそれがある。また、９０重量％を超えると、樹脂自体が非常に高粘度となり、ウェハとの貼り合わせで濡れ不足による接着不良等が発生する傾向がみられるからである。
【００２６】
本発明に用いられるエポキシ樹脂組成物には、上記ａ〜ｃ成分以外に、必要に応じて、シリコーン化合物（側鎖エチレングライコールタイプジメチルシロキサン等），アクリロニトリル−ブタジエンゴム等の低応力化剤、難燃剤、ポリエチレン系ワックス、カルナバワックス等のワックス、各種シランカップリング剤（γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等）等のカップリング剤等を適宜に配合してもよい。
【００２７】
上記難燃剤としては、ブロム化エポキシ樹脂等があげられ、これに三酸化二アンチモン等の難燃助剤等が用いられる。
【００２８】
さらに、本願発明には、下記の一般式（４）で表される多面体形状の複合化金属水酸化物が用いられる。この複合化金属水酸化物は、結晶形状が多面体形状を有するものであり、従来の六角板形状を有するもの、あるいは、鱗片状等のように、いわゆる厚みの薄い平板形状の結晶形状を有するものではなく、縦、横とともに厚み方向（ｃ軸方向）への結晶成長が大きい、例えば、板状結晶のものが厚み方向（ｃ軸方向）に結晶成長してより立体的かつ球状に近似させた粒状の結晶形状、例えば、略１２面体、略８面体、略４面体等の形状を有する複合化金属水酸化物をいう。
【００２９】
【化６】

【００３０】
上記一般式（４）で表される複合化金属水酸化物に関して、式（４）中の金属元素を示すＭとしては、Ａｌ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ｓｎ，Ｚｎ，Ｃｕ，Ｆｅ，Ｔｉ等があげられる。
【００３１】
また、上記一般式（４）で表される複合化金属水酸化物中のもう一つの金属元素を示すＱとしては、例えば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ｚｎ等があげられ、単独でもしくは２種以上併せて選択される。
【００３２】
このような結晶形状が多面体形状を有する複合化金属水酸化物は、例えば、複合化金属水酸化物の製造工程における各種条件等を制御することにより、縦，横とともに厚み方向（ｃ軸方向）への結晶成長が大きい、所望の多面体形状、例えば、略１２面体、略８面体、略４面体等の形状を有する複合化金属水酸化物を得ることができ、通常、これらの混合物からなる。
【００３３】
上記多面体形状を有する複合化金属水酸化物の具体的な代表例としては、酸化マグネシウム・酸化ニッケルの水和物、酸化マグネシウム・酸化亜鉛の水和物、酸化マグネシウム・酸化銅の水和物等があげられる。
【００３４】
また、上記多面体形状を有する複合化金属水酸化物のアスペクト比は、通常１〜８、好ましくは１〜７、特に好ましくは１〜４である。ここでいうアスペクト比とは、複合化金属水酸化物の長径と短径との比で表したものである。すなわち、アスペクト比が８を超えると、この複合化金属水酸化物を含有するエポキシ樹脂組成物が溶融したときの粘度低下に対する効果が乏しくなる。
【００３５】
本発明に用いられる上記エポキシ樹脂組成物は、例えばつぎのようにして得られる。すなわち、上記樹脂成分であるａ成分およびｂ成分を混合溶融し、この溶融状態の樹脂成分中に上記ｃ成分および必要に応じて他の添加剤を配合し混合する。この後、反応性調整のための触媒を加えて均一系とした後、パレット上に受入れし、これを冷却後、例えば、プレス圧延してシート状化することにより得られる。
【００３６】
上記反応性調整のために配合される触媒としては、特に限定するものではなく従来から硬化促進剤として用いられるものがあげられる。例えば、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、２−メチルイミダゾール、１，８−ジアザビシクロ（５，４，０）ウンデセン−７等があげられる。
【００３７】
上記各成分の混合およびシートの作製方法については上記方法に限定するものではなく、例えば、上記混合においては、２軸ロール、３軸ロール等を用いることも可能である。また、上記シートの作製方法についても、ロール圧延によるシート化、あるいは溶媒を混合したものを塗工してシート化する方法も可能である。また、上記エポキシ樹脂組成物の供給形態において、テープ状の形態をとることにより、いわゆる、リール・トゥ・リールによる大量生産形式の適用が可能となる。
【００３８】
上記エポキシ樹脂組成物からなる封止用樹脂シートとしては、その一例として、タック性を備えたシート状のエポキシ樹脂組成物を用いることが好ましい。また、上記封止用樹脂シートの大きさとしては、載置されるウェハの大きさ（面積）により適宜に設定される。また、上記封止用樹脂シートの厚みおよび重量は、ウェハに形成された突起状電極部の大きさにより適宜に設定される。例えば、封止用樹脂シートの厚みは、通常、１０〜２００μｍ、好ましくは１０〜１００μｍ程度である。
【００３９】
そして、上記タック性を備えたシート状エポキシ樹脂組成物を得るには、例えば、エポキシ樹脂組成物中にアクリロニトリル−ブタジエン系共重合体等のゴム成分を添加しておくことにより達成される。上記アクリロニトリル−ブタジエン系共重合体としては、アクリロニトリル共重合体（ＮＢＲ）の含有量が１００重量％である場合のみならず、このＮＢＲに他の共重合成分が含有される場合も含む広義での共重合体をいう。上記他の共重合成分としては、例えば、水添アクリロニトリル−ブタジエンゴム、アクリル酸、アクリル酸エステル、スチレン、メタクリル酸等があげられる。なかても、金属、プラスチックへの接着性に優れる、アクリル酸、メタクリル酸が好適である。すなわち、アクリロニトリル−ブタジエン−メタクリル酸共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−アクリル酸共重合体が好適に用いられる。また、上記ＮＢＲにおけるアクリロニトリルの結合量は特に１０〜５０重量％のものが好ましく、なかでも１５〜４０重量％のものが特に好適である。
【００４０】
上記封止用樹脂シートとしては、下記の特性（イ）〜（ハ）を備えている必要がある。
【００４１】
（イ）温度１００℃での粘度が１〜１０００Ｐａ・ｓ。
（ロ）２０℃での引張弾性率が０．５〜５０００ＭＰａ。
（ハ）２０℃での引張伸び５〜３００％。
【００４２】
上記特性（イ）〜（ハ）において特に好ましくはつぎのとおりである。
（イ）温度１００℃での粘度が５〜５００Ｐａ・ｓ。
（ロ）２０℃での引張弾性率が５０〜３０００ＭＰａ。
（ハ）２０℃での引張伸び２０〜２００％。
【００４３】
なお、上記特性（イ）の粘度はつぎのようにして測定される。すなわち、上記封止用樹脂シートを２ｇ精秤し、打錠にてタブレット状に成形した。そして、これを高化式フローテスターのポット内に入れ、１４．７１５ＭＰａ（１５０ｋｇｆ／１００ｍｍ²）の荷重をかけて測定した（温度１００℃）。溶融したエポキシ樹脂組成物がダイスの穴（直径１．０ｍｍ×１０ｍｍ）を通過して押し出されるときのピストンの移動速度からサンプルの溶融粘度を求めた。
【００４４】
そして、上記２０℃での引張弾性率〔特性（ロ）〕および２０℃での引張伸び〔特性（ハ）〕はつぎのようにして測定される。すなわち、ＪＩＳＫ６９００に準じ、万能引張試験機（オートグラフ、島津製作所社製）を用いて測定した。
【００４５】
すなわち、封止用樹脂シートが、上記特性（イ）〜（ハ）を備えることによって、常温で巻回状にしたフィルムテープとして取り扱うことが出来るとともに、上記シートを複数の突起状電極部が形成されたウェハに貼り合わせた際に、上記電極部を変形させることなく貼り合わせることが可能となる。
【００４６】
つぎに、本発明の半導体装置の製法について図面にもとづき順を追って説明する。
【００４７】
すなわち、まず、図２に示すように、複数の突起状電極部（電極バンプ）２が形成されたウェハ１を準備する。ついで、図３に示すように、このウェハ１の突起状電極部（電極バンプ）２形成面に、封止用樹脂シート４を載置し、続いて加熱ロール７にて上記ウェハ１と封止用樹脂シート４とを貼り合わせることにより、封止用樹脂シート４からなる樹脂層３をウェハ１面に積層形成する（図１参照）。なお、図１においては、上記ウェハ１の突起状電極部２の頭頂部が露出した状態となっているが、必ずしも突起状電極部２の頭頂部が露出した状態に限定するものではなく、突起状電極部２の表面が露出状態になっていればよい。つぎに、図４に示すように、上記樹脂層３が積層形成されたウェハ１を所定の大きさに切断することにより所望の半導体装置５を製造することができる。
【００４８】
上記ウェハ１と封止用樹脂シート４とを貼り合わせる際に用いられる加熱ロール７としては、例えば、ゴムロール等の弾性を有するロールが用いられる。さらには、封止用樹脂シート４との離型性を考慮して、少なくともロール表面がシリコーンゴム等の離型性を有する弾性体材料で形成されたロールを用いることが好ましい。あるいは、封止用樹脂シート４側に離型シートを積層した状態でラミネートすることが好ましい。さらに、上記ロールには、その表面に付着した封止用樹脂シート４の残存物等を除去するために、クリーニングブレードを設けてもよい。
【００４９】
また、上記半導体装置の製造方法において、上記封止用樹脂シート４を加熱する際の加熱温度としては、貼り合わせ時のウェハ１への濡れ性（接着性）とともにボイドが入り難い条件等を考慮して４０〜１６０℃の範囲に設定することが好ましく、特に好ましくは６０〜１２０℃である。そして、加熱方法としては、上記加熱ロール７に限定するものではなく、これ以外に赤外線リフロー炉、乾燥機、温風機、熱板等を用いた加熱方法があげられる。
【００５０】
さらに、上記ウェハ１と封止用樹脂シート４とを貼り合わせる際には、上記加熱とともに加圧することが好ましく、その加圧条件としては、突起状電極部２の個数、電極部２の形状、ウェハ１の面積等によって適宜に設定されるが、具体的には１９．６２×１０⁴〜２９４．３×１０⁴Ｐａ（２〜３０ｋｇｆ／ｃｍ²）の範囲に設定される。
【００５１】
上記封止用樹脂シート４としては、単層からなるシートであってもよいし、２層以上の多層構造からなるシートであってもよい。さらに、シート基材となるものに樹脂層３形成材料を含有させたものであってもよい。すなわち、樹脂層３を形成することのできる樹脂部分が少なくともそのシート構造に含まれていればよい。また、封止用樹脂シート４として、合成樹脂製の封止用樹脂シートの片面に離型シートが積層された２層構造のシートがあげられる。上記離型シートが積層された封止用樹脂シート４を用いる場合、図５に示すように、ウェハ１と離型シート６が積層された封止用樹脂シート４とを貼り合わせ樹脂層３を形成した後、離型シート６のみを封止用樹脂シート４から剥離除去するよう使用される。この離型シート６が積層された封止用樹脂シート４の使用においては、上記ウェハ１と封止用樹脂シート４とを貼り合わせた際、ウェハ１表面以外の突起状電極部２表面にも、封止用樹脂シート４からなる樹脂層３の一部分（突起状電極部２に対応する部分）が積層されるが、これは上記離型シート６表面に転写させる。そして、この離型シート６表面に転写させたまま離型シート６の剥離とともに突起状電極部２表面から樹脂層３の一部分が除去されるため、突起状電極部２の頭頂部がより一層明確に露出するという作用を奏するようになる。
【００５２】
上記離型シート６としては、特に限定するものではなく従来公知の各種シートが用いられるが、例えば、ポリエチレン、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリメチルペンテンやフッ素樹脂フィルム等があげられる。
【００５３】
上記のようにして得られる半導体装置のウェハ１面に積層形成された樹脂層３としては、最終的に硬化反応により硬化体となっている。なお、その硬化反応、例えば、加熱硬化に際しては、上記封止用樹脂シート４からなる樹脂層３をウェハ１面に積層形成した後、所定の大きさに切断する前に樹脂層３を加熱硬化してもよいし、切断前の樹脂層３をＢステージ状（半硬化状）に形成し、切断後に樹脂層３を加熱硬化してＣステージ状（完全硬化状）に形成してもよい。
【００５４】
そして、上記樹脂層３の特性としては、その樹脂層３の硬化体が下記の特性（ニ）および（ホ）の少なくとも一方を備えていることが好ましい。
（ニ）線膨張係数１０〜１００ｐｐｍ。
（ホ）引張弾性率３００〜１５０００ＭＰａ。
【００５５】
上記特性（ニ）〜（ホ）において特に好ましくは、それぞれつぎの範囲である。
（ニ）線膨張係数１０〜５０ｐｐｍ。
（ホ）引張弾性率５００〜１００００ＭＰａ。
【００５６】
なお、上記特性（ニ）の線膨張係数、４０〜８０℃の間における平均線膨張係数はつぎのようにして測定される。すなわち、上記４０〜８０℃の温度設定は、半導体装置に用いられる封止材料のガラス転移温度（Ｔｇ）以下の領域となっており、測定対象となる硬化物（大きさ：厚み８０μｍ×横４ｍｍ×縦３０ｍｍ）の両端を所定距離間隔（１５ｍｍ）をあけてチャッキングし、引張方向に一定荷重〔１９．６２×１０^-3Ｎ（２ｇ）〕を加えたまま、５℃／分の速さで昇温させた際の長さの変化を熱機械分析装置（ＴＭＡ／ＳＳ１１０、セイコー社製）を用いて測定される。そして、上記４０〜８０℃における平均線膨張係数とは、〔８０℃におけるチャッキング距離間隔（ｍｍ）−４０℃におけるチャッキング距離間隔（ｍｍ）〕を、〔初期チャッキング距離間隔（１５ｍｍ）×（８０℃−４０℃）〕で除した値である。
【００５７】
また、上記特性（ホ）の引張弾性率は、先の特性（ロ）の引張弾性率と同様の方法にて測定される。
【００５８】
すなわち、上記樹脂層３の硬化体において、線膨張係数が１００ｐｐｍを超える場合や引張弾性率が３００〜１５０００ＭＰａの範囲外では、温度サイクルテスト後において導通不良が発生するという不具合が生じる傾向がみられるからである。このように、上記樹脂層３の硬化体が、上記特性（ニ）および（ホ）の少なくとも一方を備えることによって、例えば温度サイクルテスト評価後においても安定した導通特性が得られる。
【００５９】
さらに、上記樹脂層３が積層形成されたウェハ１を所定の大きさに切断する方法としては、特に限定するものではなく従来公知の方法、例えば、ダイヤモンド・スクライバ法、レーザ・スクライバ法、ブレード・ダイシング法等があげられる。
【００６０】
つぎに、本発明を実施例に基づいて詳しく説明する。
【００６１】
〔ウェハの準備〕
片面に電極層が形成され、かつ、１ｃｍ²当たり３００個の突起状電極部（半田製電極バンプ：直径１００μｍ×高さ８０μｍ）が３００μｍピッチの等間隔に形成されたウェハ（直径１００ｍｍ）を準備した。
【００６２】
〔封止用樹脂シートの作製〕
所定のメチルエチルケトン溶媒中に、下記に示すエポキシ樹脂組成物を構成する各成分を投入し、さらにメチルエチルケトンに溶解させたアクリロニトリル−ブタジエン系共重合体を加え混合溶解させ、この混合溶液を離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム（厚み７５μｍ）上に塗布した。ついで、上記混合溶液を塗布したポリエチレンテレフタレートフィルムを１２０℃で乾燥させ、溶媒であるメチルエチルケトンを除去することにより、上記ポリエチレンテレフタレートフィルム上に厚み７０μｍの封止用樹脂シートを作製した。なお、得られた封止用樹脂シートは、温度１００℃での粘度が５２６Ｐａ・ｓ、引張弾性率（２０℃）が１２１２ＭＰａ、引張伸び（２０℃）が１８２％であった（各特性の測定方法は先に記載）。
【００６３】
〔エポキシ樹脂組成物構成成分と配合量〕
前記一般式（１）で表されるエポキシ樹脂１５重量部
フェノールノボラック樹脂（水酸基当量１０５）８．３重量部
アクリロニトリル−ブタジエン系共重合体
（アクリロニトリル−ブタジエン−メタクリル酸共重合体：アクリロニトリル結合量２７重量％）５．９重量部
溶融シリカ（最大粒径２４μｍ）４５重量部
トリフェニルホスフィン０．５重量部
【００６４】
【実施例１】
図３に示すように、上記突起状電極部２が形成されたウェハ１の突起状電極部２形成面に、上記封止用樹脂シート４を載置し、続いて加熱ロール７にて上記ウェハ１と封止用樹脂シート４とを貼り合わせた〔温度９０℃×９８．１×１０⁴Ｐａ（１０ｋｇｆ／１００ｍｍ²）加圧〕。このロールラミネート方式により、封止用樹脂シート４からなる樹脂層３をウェハ１面に積層形成した（図１参照）。つぎに、１５０℃×３０分のキュアー条件により、上記樹脂層３を硬化した。このときの硬化体（樹脂層３）の線膨張係数は４０ｐｐｍ、引張弾性率は５０７０ＭＰａであった（各特性の測定方法は先に記載）。硬化した後、ウェハ１から残りのセパレーターである離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム（図示せず）を剥がすことにより、電極部２上に付着していた樹脂も除去され、電極部２が露出した、樹脂層３形成済みのウェハを作製した。ついで、図４に示すように、上記硬化した樹脂層３が積層形成されたウェハ１を、ダイシングにより所定の大きさ（１０ｍｍ×１０ｍｍ）に切断することにより複数個の半導体装置５を製造した。
【００６５】
【実施例２】
封止用樹脂シートの形成材料を下記に示すエポキシ樹脂組成物の構成成分に変えた。それ以外は実施例１と同様にして複数個の半導体装置５を製造した。なお、得られた封止用樹脂シートは、温度１００℃での粘度が４１６Ｐａ・ｓ、引張弾性率（２０℃）が９０９ＭＰａ、引張伸び（２０℃）が２１０％であった（各特性の測定方法は先に記載）。また、上記エポキシ樹脂組成物からなる封止用樹脂シートからなる樹脂層の硬化体の線膨張係数は４２ｐｐｍ、引張弾性率は４６８０ＭＰａであった（各特性の測定方法は先に記載）。
【００６６】
〔エポキシ樹脂組成物構成成分と配合量〕
前記一般式（３）で表されるエポキシ樹脂１５重量部
フェノールノボラック樹脂（水酸基当量１０５）８．３重量部
アクリロニトリル−ブタジエン系共重合体
（アクリロニトリル−ブタジエン−メタクリル酸共重合体：アクリロニトリル結合量２７重量％）５．９重量部
溶融シリカ（最大粒径２４μｍ）４５重量部
トリフェニルホスフィン０．５重量部
【００６７】
上記のようにして製造した半導体装置について、製造初期段階、および、耐熱衝撃テスト（ＴＳＴ）後の導通テストを下記に示す方法に従ってそれぞれ行った。その結果、導通不良となったもの（３０００個中）をカウントした（１パッケージ３００個×１０パッケージ＝３０００個中の導通不良を確認）。その結果を後記の表１に示す。
【００６８】
〔導通テスト〕
（１）導通テストの測定方法
所定のソケットにパッケージングされたＣＳＰをセットし、導通不良のチェックを行った。
【００６９】
（２）耐熱衝撃テスト（ＴＳＴ）条件
上記パッケージングされたＣＳＰを用いて、−５５℃／５分〜１２５℃／５分の５００サイクルのテストに供した後、上記と同様に導通テストを行った。
【００７０】
【表１】

【００７１】
上記表１の結果から、実施例１，２は、初期段階での導通テストおよびＴＳＴ後の導通テストとも、導通不良が全く確認されず、良好なパッケージが得られたことがわかる。
【００７２】
上記実施例１で用いた封止用樹脂シートにおいて、剥離シート（離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム）を積層していない単層シート（エポキシ樹脂組成物製シート）を用いた。それ以外は実施例１と同様にして半導体装置を製造した。この半導体装置に関して、上記と同様、初期段階での導通テストおよびＴＳＴ後の導通テストを行ったが、両導通テストとも導通不良が確認されず、良好なパッケージが得られた。
【００７３】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、複数の突起状電極部が形成されたウェハを準備し、このウェハの突起状電極部形成面に、前記特性（イ）〜（ハ）を備え、かつ前記（Ａ）のエポキシ樹組成物からなる封止用樹脂シートを載置する。ついで、加熱下で、上記ウェハと封止用樹脂シートを貼り合わせて、少なくとも突起状電極部の頭頂部が露呈した状態となるようウェハに上記封止用樹脂シートからなる樹脂層を積層形成する。そして、全体に上記樹脂層が積層形成されたウェハを所定の大きさに切断することにより半導体装置を製造するものである。このように、まず、ウェハ全体に封止用樹脂シートからなる樹脂層を積層形成した後、ウェハを所定の大きさに切断するため、チップ個々に作製するという従来の製法に比べて煩雑な工程を経由することなく短時間で製造することができる。
【００７４】
そして、上記封止用樹脂シートが、前記特性（イ）〜（ハ）を備えるため、常温で巻回状のフィルムテープとして上記シートを取り扱うことが可能となる。また、封止用樹脂シートを複数の突起状電極部が形成されたウェハに貼り合わせる際、上記電極部を変形させることなくウェハ面に張り合わせることができる。
【００７５】
また、上記離型シートの片面に封止用樹脂シートが積層されたものを用いることにより、上記シートを巻回状としたフィルムテープとして取り扱うことが可能となる。また、上記封止用樹脂シートをウェハにラミネートした後に、仮に電極部表面にシートの樹脂が残ったとしても、上記離型シートを剥離し除去する際に取り除くことが可能となる。
【００７６】
さらに、上記封止用樹脂シートの形成材料として、前述のエポキシ樹脂組成物（Ａ）を用いることにより、樹脂の低粘度化によるウェハへの濡れ性（接着性）が向上するとともに、線膨張係数を下げるための無機質充填剤量をより多く含有させることが可能となる。
【００７７】
そして、上記封止用樹脂シートからなる樹脂層の硬化体が、前記特性（ニ）および（ホ）の少なくとも一方を備える場合、例えば温度サイクルテスト評価後の電気導通特性において安定した導通特性を有することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の半導体装置の製法により得られる半導体装置（切断前）の一例を示す模式図である。
【図２】本発明の半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【図３】本発明の半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【図４】本発明の半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【図５】離型シートが封止用樹脂シートの片面に積層されたものを用いて得られた半導体装置（切断前）の一例を示す模式図である。
【符号の説明】
１ウェハ
２突起状電極部
３樹脂層
４封止用樹脂シート
５半導体装置
６離型シート

Claims

複数の突起状電極部が形成されたウェハの、突起状電極部形成面に、下記の特性（イ）〜（ハ）を備えた封止用樹脂シートを載置する工程と、加熱下で、上記ウェハと、下記（Ａ）からなる封止用樹脂シートを貼り合わせて少なくとも上記突起状電極部の頭頂部が露呈した状態となるよう上記封止用樹脂シートからなる樹脂層をウェハに積層形成する工程と、上記樹脂層が積層形成されたウェハを所定の大きさに切断する工程とを備えたことを特徴とする半導体装置の製法。
（イ）温度１００℃での粘度が１〜１０００Ｐａ・ｓ。
（ロ）２０℃での引張弾性率が０．５〜５０００ＭＰａ。
（ハ）２０℃での引張伸び５〜３００％。
（Ａ）下記の（ａ）〜（ｃ）成分を含有し、上記（ｃ）成分の含有割合がエポキシ樹脂組成物（Ａ）全体の９０重量％以下に設定されたエポキシ樹脂組成物。
（ａ）エポキシ樹脂。
（ｂ）硬化剤。
（ｃ）下記一般式（４）の多面体形状を有する複合化金属水酸化物を含む最大粒径が１００μｍ以下に設定された無機質充填剤。
離型シートが上記封止用樹脂シートの片面に積層されている請求項１記載の半導体装置の製法。
上記樹脂層の硬化体が、下記の特性（ニ）および（ホ）の少なくとも一方を備えている請求項１または２記載の半導体装置の製法。
（ニ）線膨張係数１０〜１００ｐｐｍ。
（ホ）引張弾性率３００〜１５０００ＭＰａ。