JP4137474B2 - 自己テスト回路及び半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、BIST(Built In Self Test)による自己テスト機能と自己冗長機能を備えた半導体記憶装置に関するものである。
【0002】
近年、半導体装置の試験工程では、ウェハ上に形成されたチップに対しダイシングに先立ってウェハ状態で動作試験が行われる。また、近年の半導体装置ではその動作速度の高速化あるいは大容量化がますます進み、外部試験装置の性能が半導体装置に追随できないという問題点がある。そこで、BOST(Built Out Self Test)と呼ばれるテストチップ、あるいは各チップ内にあらかじめ形成される自己テスト回路であるBIST(Built In Self Test)を外部試験装置との間に介在させて、外部試験装置の性能を補いながら、動作試験が行われている。また、近年の半導体記憶装置では、上記のような自己テスト機能を備えながら、その動作試験時に不良セルを含んだメモリブロックを検出したとき、当該メモリブロックへのアクセスを冗長メモリブロックに切換える自己冗長回路を備えたものがある。そして、自己テスト機能と自己冗長機能とを併せ持つ半導体記憶装置を簡単な構成で実現することが必要となっている。
【0003】
【従来の技術】
BISTによる自己テスト機能と、自己冗長機能とを併せ持つ半導体記憶装置として、従来次に示すものが開示されている。
【0004】
特開平11−238393号に記載されたメモリ装置では、BISTによる動作試験を行って、不良セルを検出したとき、その不良セルのアドレスをチップ内に搭載されたレジスタに格納する。
【0005】
そして、通常動作時に不良セルへのアクセスが発生すると、レジスタの格納内容に基づいて、その不良セルへのアクセスが冗長セルに切換えられる。また、チップ内に自己冗長機能を備えたものとして、特開平3−116497号、特開2000−311497号、特許第3006303号、特開平9−311824号等が開示されている。
【0006】
特開2000−30483号には、動作試験時に不良セルを検出したとき、チップ外部のデータ変換処理装置に不良セルのアドレスデータを出力し、そのデータ変換処理装置で冗長アドレスデータを算出し、その冗長アドレスデータに基づいて冗長動作を行う構成が開示されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
チップ内に自己冗長機能を搭載する構成では、BIST回路以外に、故障情報を格納する記憶手段、不良アドレス発生回路、アドレス変換回路、あるいはレジスタ等をチップ内に搭載する必要がある。
【0008】
このため、チップ面積が大型化するとともに、自己冗長機能を実現する回路とその他の回路とのインターフェースが複雑となるという問題点がある。
チップ外部に不良セルのアドレスデータを出力し、そのアドレスデータに基づいて冗長アドレスデータを生成することにより自己冗長動作を行う構成では、チップ外部にデータ変換処理装置を必要とするため、コストが上昇するという問題点がある。
【0009】
この発明の目的は、自己テスト機能と自己冗長機能とを併せ持つ半導体記憶装置を簡単な構成で提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
自己テスト回路に設けた比較回路で、メモリブロックの書き込みデータと、読み出しデータとを比較し、前記比較回路の比較結果に基づいて当該メモリセルアレイの良否判定を判定回路で行う。前記比較回路と判定回路との間に介在される自己冗長信号生成部は、前記比較結果を前記判定回路に転送するとともに、該比較結果に基づく前記メモリブロックの不良情報を1回の動作試験毎に自己冗長信号としてラッチして、冗長回路に出力する。
【0011】
また、前記自己冗長信号生成部は、通常メモリブロック及び冗長メモリブロックにそれぞれ対応して設けられ、前記比較結果をラッチして前記自己冗長信号として出力するラッチ回路と、前記ラッチ回路が不良情報をラッチしたとき、当該ラッチ回路への比較結果の入力を他のラッチ回路にシフトして、自己冗長信号として維持する切換回路とから構成される。
【0012】
また、前記自己冗長信号生成部は、前記通常メモリブロック及び冗長メモリブロックに対応して設けられる比較回路と、前記比較回路にそれぞれ対応して設けられ、前記比較結果をラッチして前記自己冗長信号として出力するラッチ回路と、前記ラッチ回路が不良情報をラッチしたとき、そのラッチデータに基づく自己冗長信号で選択されたメモリブロックに対応するラッチ回路のラッチデータを比較データとして前記判定回路に出力する切換回路とから構成される。
【0013】
【発明の実施の形態】
(第一の実施の形態)
以下、この発明を具体化した半導体記憶装置の第一の実施の形態を図面に従って説明する。
【0014】
図1はASICチップを示し、複数のメモリマクロ1a,1bと、パワーオンリセット回路2が搭載される。
前記各メモリマクロ1a,1bには、BIST回路(自己テスト回路)3と、メモリセルアレイ4とがそれぞれ形成される。そして、電源の投入に基づいて、前記パワーオンリセット回路2からリセット信号RSが出力され、BIST回路3ではそのリセット信号RSをトリガとしてメモリセルアレイ4の動作試験を開始する。
【0015】
図2に示すように、前記BIST回路3はクロック発生回路5と、パターン発生部6と、データ比較部7と、判定回路8とから構成される。
前記クロック発生回路5は、動作試験を行うためのクロック信号を生成して、前記パターン発生部6に出力する。
【0016】
前記パターン発生部6は、コマンド発生回路9と、アドレス発生回路10と、データ発生回路11とから構成される。コマンド発生回路9は、動作試験を行うためのコマンド信号CMDを生成して、前記メモリセルアレイ4に出力する。
【0017】
前記アドレス発生回路10は、動作試験を行うためのアドレスADを生成して、メモリセルアレイ4に出力する。前記データ発生回路11は、動作試験を行うための書き込みデータTDを生成して、前記メモリセルアレイ4及び前記データ比較部7に出力する。
【0018】
前記データ比較部7は、前記メモリセルアレイ4から出力される読み出しデータRDB,QDBと前記書き込みデータTDとを比較し、その比較結果をラッチしたラッチデータLCPをメモリセルアレイ4に出力する。
【0019】
前記メモリセルアレイ4は、図3に示すように、N+1個の通常IOメモリブロックB(0)〜B(N)と、n+1個の冗長IOメモリブロックJ(0)〜J(n)と、IO冗長回路12とを備える。通常、冗長IOメモリブロックJ(0)〜J(n)の数は、IOメモリブロックB(0)〜B(N)の数より少ない。
【0020】
前記IO冗長回路12は、前記データ比較部7のラッチデータLCPの入力に基づいて、IOメモリブロックB(0)〜B(N)と、冗長IOメモリブロックJ(0)〜J(n)の中からN+1個のメモリブロックを選択する。そして、前記パターン発生部6から出力されるコマンド信号CMD、アドレス信号AD及び書き込みデータTDを選択中のメモリブロックにのみ出力する。
【0021】
また、IO冗長回路12は選択中のメモリブロックから読み出された読み出しデータRDBを前記データ比較部7に出力する。なお、読み出しデータQDBはIOメモリブロックB(0)〜B(N)及び冗長IOメモリブロックJ(0)〜J(n)からIO冗長回路12を介することなく直接データ比較部7に出力されるデータである。
【0022】
前記データ比較部7の構成を図4に従って説明する。
IOメモリブロックB(0)〜B(N)及び冗長IOメモリブロックJ(0)〜J(n)の中から選択されたN+1個のメモリブロックから読み出された読み出しデータRDB(0)〜RDB(N)は、それぞれ比較回路13に入力される。
【0023】
また、前記比較回路13には選択されたN+1個のメモリブロックに書き込まれる書き込みデータTD(0)〜(N)が期待値データとして入力される。
そして、各比較回路13は読み出しデータRDB(0)〜RDB(N)と、期待値データTD(0)〜TD(N)とを比較して、その比較結果SG0〜SGNを第一の切換回路14に出力する。
【0024】
前記第一の切換回路14には、前記IOメモリブロックB(0)〜B(N)と等しい数のラッチ回路LB(0)〜LB(N)と、冗長IOメモリブロックJ(0)〜J(n)と等しい数のラッチ回路LJ(0)〜LJ(n)が接続される。
【0025】
そして、第一の切換回路14は前記ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LJ(0)〜LJ(n)に出力信号CP(0)〜CP(N),CP(J0)〜CP(Jn)を出力し、その出力信号のうちのいずれかのN+1個は、前記比較回路13の比較結果SG0〜SGNが出力される。
【0026】
前記ラッチ回路LB(0)〜LB(N)は、そのラッチデータLCP(0)〜LCP(N)を前記メモリセルアレイ4のIO冗長回路12及び第二の切換回路15に出力するとともに、前記第一の切換回路14に出力する。
【0027】
また、前記ラッチ回路LJ(0)〜LJ(n)は、そのラッチデータLCP(J0)〜(JN)を前記メモリセルアレイ4のIO冗長回路12及び第二の切換回路15に出力するとともに、前記第一の切換回路14に出力する。
【0028】
前記第二の切換回路15は、前記比較結果SG0〜SGNが第一の切換回路14を介して入力されているラッチ回路のラッチデータを取り込んで、比較データCPD(0)〜CPD(N)として出力する。
【0029】
前記比較回路13及び第一の切換回路14の具体的構成を図5に従って説明する。図5に示す第一の切換回路14は、メモリセルアレイ4において、1つの冗長IOメモリブロックが形成される場合に対応する。
【0030】
前記比較回路13は、ENOR回路で構成される。そして、読み出しデータRDB(0)〜RDB(N)と、対応する期待値データTD(0)〜TD(N)とがともにHレベルあるいはともにLレベルとなって一致する場合には、Hレベルの比較結果SG0〜SGNを出力する。
【0031】
また、読み出しデータRDB(0)〜RDB(N)と、対応する期待値データTD(0)〜TD(N)とが一致しない場合には、Lレベルの比較結果SG0〜SGNを出力する。
【0032】
前記第一の切換回路14は、前記比較結果SG0がNチャネルMOSトランジスタで構成される転送トランジスタ16及び2段のインバータ回路17a,17bを介して出力信号CP0として出力される。
【0033】
前記転送トランジスタ16のゲートには、前記ラッチ回路LB(0)のラッチデータLCP(0)がインバータ回路18a,18bを介して入力される。従って、ラッチデータLCP(0)がHレベルとなると、転送トランジスタ16がオンされて、比較結果SG0と同相の出力信号CP0が出力される。
【0034】
前記インバータ回路17aの出力信号は、NAND回路19に入力され、そのNAND回路19にはパワーオンリセット回路2から出力されるリセット信号RSが入力される。NAND回路19の出力信号は、インバータ回路17aに入力される。
【0035】
前記リセット信号RSは、電源投入時に所定時間に限りLレベルとなるパルス信号である。従って、電源投入時にはインバータ回路17aとNAND回路19とがラッチ回路として動作して、出力信号CP0がHレベルにラッチされる。
【0036】
前記比較結果SG1は、転送トランジスタ20及びインバータ回路21a,21bを介して出力信号CP1として出力される。また、インバータ回路21aの出力信号はNAND回路22に入力され、そのNAND回路22には前記リセット信号RSが入力され、NAND回路22の出力信号はインバータ回路21aに入力される。従って、電源投入時にはインバータ回路21aとNAND回路22とがラッチ回路として動作して、出力信号CP1がHレベルにラッチされる。
【0037】
前記インバータ回路18aの出力信号は、インバータ回路23を介してNAND回路24に入力される。前記NAND回路24にはラッチデータLCP(1)が入力され、そのNAND回路24の出力信号がインバータ回路25を介して転送トランジスタ20のゲートに入力される。
【0038】
また、前記比較結果SG0は、転送トランジスタ26を介して前記インバータ回路21aに入力される。比較結果SG2〜SGNも、比較結果SG1と同様な回路に入力される。
【0039】
このように構成された第一の切換回路14では、ラッチデータLCP(0)〜LCP(N)がすべてHレベルであれば、転送トランジスタ16,20等がオンされる。
【0040】
すると、比較結果SG0が出力信号CP0として出力されるというように、比較結果SG0〜SGNが出力信号CP0〜CPNとして出力される。
また、例えばラッチデータLCP(0)がLレベルとなると、転送トランジスタ16,20がオフされ、転送トランジスタ26がオンされる。すると、比較結果SG0は転送トランジスタ26を介してインバータ回路21aに入力される。従って、比較結果SG0が出力信号CP1として出力されることになる。
【0041】
同様に、比較結果SG1は出力信号CP2として出力され、比較結果SG2は出力信号CP3として出力され、比較結果SGNは出力信号CP(J0)として出力される。
【0042】
このような動作により、比較結果SG0〜SGNは、対応する出力端子を一つずつシフトして、出力信号CP1〜CP(J0)として出力される。
図6は、前記ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LJ(0)〜LJ(n)の具体的構成を示す。同図においては、前記メモリセルアレイ4において一つの冗長IOメモリブロックJ(0)を備えた場合のラッチ回路を示す。そして、前記第一の切換回路14はこのラッチ回路LB(0)〜LB(N),LJ(0)に対応するように、比較結果SG0〜SGNより一つ多い出力信号CP0〜CPN,CPJ0を出力する構成となっている。
【0043】
前記ラッチ回路LB(0)の構成を説明すると、前記第一の切換回路14の出力信号CP0は、NAND回路27に入力され、そのNAND回路27の出力信号はNAND回路28に入力され、そのNAND回路28の出力信号が前記NAND回路27に入力される。また、前記NAND回路28には前記リセット信号RSが入力される。
【0044】
前記NAND回路27の出力信号はNAND回路29に入力され、そのNAND回路29にはBIST終了信号BEが入力される。BIST終了信号BEは、前記BIST回路3による1回の動作試験、すなわち全メモリブロックB(0)〜B(N),J(0)〜J(n)の全メモリセルに対する書き込み動作及び読み出し動作が終了する毎にHレベルとなるパルス信号である。
【0045】
従って、NAND回路27の出力信号がLレベルであればNAND回路29の出力信号は、BIST終了信号BEに関わらずHレベルとなる。また、NAND回路27の出力信号がHレベルであれば、NAND回路29の出力信号はBIST終了信号BEの入力に基づいてLレベルとなる。
【0046】
前記NAND回路29の出力信号は、インバータ回路30を介してNOR回路31に入力される。前記NOR回路31の出力信号は、ラッチデータLCP(0)として出力されるとともに、NOR回路32に入力される。また、NOR回路32には前記リセット信号RSがインバータ回路33を介して入力される。前記NOR回路32の出力信号は前記NOR回路31に入力される。
【0047】
このようなラッチ回路LB(0)では、電源投入に基づいて、リセット信号RSが所定時間Lレベルとなると、NAND回路28の出力信号はHレベルとなる。このとき、第一の切換回路14の出力信号CP0はHレベルにリセットされているので、NAND回路27の出力信号はLレベルとなる。
【0048】
すると、NAND回路29の出力信号はHレベルとなり、インバータ回路30の出力信号はLレベルとなる。また、NOR回路32の出力信号は、リセット信号RSに基づいてLレベルとなっている。
【0049】
従って、リセット信号RSの入力に基づいて、ラッチデータLCP(0)はHレベルにリセットされる。
この状態で、入力信号CP0がHレベルに維持されていれば、ラッチデータLCP(0)はHレベルに維持される。
【0050】
また、入力信号CP0がLレベルとなると、NAND回路27の出力信号がHレベルとなる。このとき、リセット信号RSはHレベルに復帰しているので、NAND回路28の出力信号はLレベルとなり、NAND回路27の出力信号はHレベルにラッチされる。このNAND回路27のラッチ信号は、その後、入力信号CP0がHレベルに復帰しても、Hレベルに維持される。
【0051】
そして、BIST終了信号BEがHレベルとなると、NAND回路29の出力信号がLレベルとなり、インバータ回路30の出力信号がHレベルとなる。
すると、NOR回路31の出力信号はLレベルとなる。このとき、リセット信号RSはHレベルであり、インバータ回路33の出力信号はLレベルであることから、NOR回路32の出力信号はHレベルとなり、ラッチデータLCP(0)はLレベルにラッチされる。従って、Lレベルの入力信号CP0が入力されると、ラッチデータLCP(0)がLレベルとなる。
【0052】
ラッチ回路LB(1)〜LB(N),LJ(0)の構成は、ラッチ回路LB(0)と同様である。
前記ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LJ(0)のラッチデータLCP(0)〜LCP(N),LCP(J0)が入力される前記第二の切換回路15の具体的構成を図7に従って説明する。
【0053】
ラッチデータLCP(0)は、転送トランジスタ34を介して比較データCPD(0)として出力される。また、ラッチデータLCP(0)はインバータ回路35,36を介して前記転送トランジスタ34のゲートに入力される。
【0054】
ラッチデータLCP(1)は、転送トランジスタ37を介して比較データCPD(0)として出力され、転送トランジスタ38を介して比較データCPD(1)として出力される。前記転送トランジスタ37のゲートには、前記インバータ回路35の出力信号が入力される。
【0055】
また、ラッチデータLCP(1)はNAND回路39に入力され、そのNAND回路39には前記インバータ回路35の出力信号がインバータ回路40を介して入力される。
【0056】
前記NAND回路39の出力信号は、インバータ回路41を介して前記転送トランジスタ38のゲートに入力される。また、ラッチデータLCP(2)は転送トランジスタ42を介して比較データCPD(1)として出力され、前記転送トランジスタ42のゲートには前記NAND回路39の出力信号が入力される。
【0057】
このようにして、各ラッチデータLCP(1)〜LCP(N)はそれぞれ同様な切換回路に入力される。また、ラッチデータLCP(J0)は、転送トランジスタ43を介して比較データCPD(N)として出力される。
【0058】
このような構成により、ラッチデータLCP(0)〜LCP(N)がすべてHレベルとなると、各ラッチデータLCP(0)〜LCP(N)が比較データCPD(0)〜CPD(N)として出力される。
【0059】
また、例えばラッチデータLCP(0)のみがLレベルとなると、転送トランジスタ34がオフされるとともに、転送トランジスタ37がオンされて、ラッチデータLCP(1)が比較データCPD(0)として出力される。
【0060】
また、転送トランジスタ38がオフされるとともに、転送トランジスタ42がオンされて、ラッチデータLCP(2)が比較データCPD(1)として出力される。
【0061】
このようにして、各ラッチデータが一つずつシフトして出力され、ラッチデータLCP(n)が比較データCPD(n−1)として出力される。また、ラッチデータLCP(J0)が比較データCPD(N)として出力される。
【0062】
例えばラッチデータLCP(1)のみがLレベルとなると、ラッチデータLCP(0)は比較データCPD(0)として出力され、ラッチデータLCP(2)〜LCP(N)が一つずつシフトされて、比較データCPD(1)〜CPD(N-1)として出力される。
【0063】
また、ラッチデータLCP(J0)が比較データCPD(N)として出力される。
前記比較データCPD(0)〜CPD(N)は、前記判定回路8に出力される。前記判定回路8は、図8に示すように、カウンター回路44を備え、BIST回路3により当該各メモリセルアレイ4の1回の動作試験が終了するたびに、「1」カウントアップする。
【0064】
そして、冗長IOメモリブロックJ(0)〜J(n)の数より「1」多い「n+2」回の動作試験を行った後に、比較データCPD(0)〜CPD(N)がすべて「1」でない場合には、当該メモリセルアレイ4が不良であることを判定した判定結果Jを出力する。
【0065】
次に、上記のように構成されたメモリマクロ1a,1bの動作を説明する。
図10に示すように、電源の投入後、各メモリマクロ1a,1bではBIST回路3による1回目の動作試験が開始される(ステップ1)。
【0066】
このとき、電源の投入に基づいて、データ比較部7の第一の切換回路14では、リセット信号RSにより各出力信号CP0〜CPN,CPJ0〜CPJnがHレベルにリセットされる。
【0067】
また、リセット信号RSにより、各ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LJ(0)〜LJ(n)がHレベルにリセットされる。そして、第二の切換回路15から出力される比較データCPD(0)〜CPD(N)はHレベルにリセットされる。
【0068】
このようなリセット動作に続いて、動作試験が開始されると、各IOメモリブロックB(0)〜B(N)の各記憶セルに対し、BIST回路3によりデータの書き込み動作が行われ、次いで書き込まれたデータの読み出し動作が行われる。
【0069】
そして、各IOメモリブロックB(0)〜B(N)から読み出された読み出しデータRDB(0)〜RDB(N)がBIST回路3の比較回路13で期待値TD(0)〜TD(N)と順次比較され、その比較結果SG0〜SGNが第一の切換回路14に順次出力される。
【0070】
第一の切換回路14では、ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LJ(0)〜LJ(n)のラッチデータLCP(0)〜LCP(N),LCP(J0)〜(Jn)がHレベルであることから、入力信号SG0〜SGNが出力信号CP0〜CPNとして順次出力される。
【0071】
ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LJ(0)〜LJ(n)では、入力信号CP0〜CPNがHレベルであれば、電源投入時にリセットされた状態に維持される。
【0072】
入力信号CP0〜CPNのうち、例えば入力信号CP1がLレベルとなると、その入力信号CP1が入力されるNAND回路27の出力信号がHレベルにラッチされる。このとき、出力信号LCP(1)はHレベルに維持されている。
【0073】
このようにして、1回目の動作試験が終了した後、BIST終了信号BEがHレベルに立ち上がると、ラッチデータLCP(1)のみがLレベルにラッチされ(図9においてはFail)、第二の切換回路15から出力される比較データCPD(0)〜CPD(N)のうちCPD(1)のみがLレベルとなる。
【0074】
ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LJ(0)〜LJ(n)のラッチデータLCP(0)〜LCP(N),LCP(J0)〜(Jn)は、IO冗長回路12及び第一の切換回路14に入力される。
【0075】
IO冗長回路12では、ラッチデータLCP(0)〜LCP(N),LCP(J0)〜(Jn)に基づいて冗長動作を行う(ステップ2)。上記のように、ラッチデータLCP(1)のみがLレベルであると、IO冗長回路12では、対応するIOメモリブロック(B1)へのアクセスを冗長IOメモリブロック(J0)に切換える。
【0076】
ステップ2において、ラッチデータLCP(0)〜LCP(N),LCP(J0)〜(Jn)がすべてHレベルであれば、冗長動作は行われない。
次いで、判定回路8内のカウンタ回路44のカウント値がオーバーフローしていなければ、すなわち冗長IOメモリブロックの数n+1に対し、カウント値がn+2を越えていなければ、ステップ1に復帰して、2回目の動作試験が行われる(ステップ2,3)。
【0077】
このとき、ラッチデータLCP(1)により第一の切換回路14では、図9に示すように、比較回路13の出力信号SG0は出力信号CP0として出力される。しかし、比較回路13の出力信号SG1〜SGNは一つずつシフトされてラッチ回路LB(2)〜LJ(0)に入力される。そして、ラッチ回路LB(1)のラッチデータLCP(1)はLレベルに維持される。
【0078】
また、第二の切換回路15では、ラッチデータLCP(0)は比較データCPD(0)として出力される。そして、ラッチデータLCP(2)〜LCP(J0)が一つずつシフトされて、比較データCPD(1)〜CPD(N)として出力される。
【0079】
また、新たに比較結果SG0〜SGNのいずれかがLレベルとなると、2回目の動作試験の終了とともに、対応するラッチデータがLレベルにラッチされ、IO冗長回路12において新たな冗長動作が行われる。
【0080】
このような動作試験がn+2回行われた後、判定回路8で比較データCPD(0)〜CPD(N)がすべてHレベルであるか否か、すなわち当該メモリセルアレイが正常に動作しているか否かを判定する(ステップ4)。
【0081】
比較データCPD(0)〜CPD(N)がすべてHレベルであれば、冗長動作により選択されたメモリブロックが正常に動作している良品と判定され、通常動作に移行する(ステップ5)。
【0082】
また、比較データCPD(0)〜CPD(N)のいずれかがLレベルである場合には、冗長動作に関わらず選択されたメモリブロックのいずれかが正常に動作していない不良品と判定される(ステップ6)。
【0083】
上記のように構成されたBIST回路3では、次に示す作用効果を得ることができる。
(1)BIST回路3での動作試験による不良IOメモリブロックの検出動作と並行して、不良IOメモリブロックを冗長IOメモリブロックに冗長する自己冗長動作を行うことができる。
(2)不良IOメモリブロックが検出されたとき、その不良情報をラッチ回路でラッチしながら、複数回の動作試験を繰り返し行うことができる。
(3)動作試験は、冗長IOメモリブロックの数n+1に対し、n+2回まで行い、その結果、比較データCPD(0)〜CPD(N)がすべてHレベルとなれば、良品として判定することができる。また、n+2回の動作試験の後、比較データCPD(0)〜CPD(N)のいずれかがLレベルとなったとき、不良品と判定することができる。
(4)データ比較部7では、不良となったIOメモリブロックに対応するラッチ回路で不良情報をラッチすることができる。また、その不良情報に基づいて、メモリセルアレイ4内のIO冗長回路12で自己冗長動作を行うことができる。
(5)データ比較部7では、ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LJ(0)〜LJ(n)の前後に設けた第一及び第二の切換回路14,15により、不良情報をラッチしたラッチ回路以外のラッチ回路で比較結果を転送して、比較データCPD(0)〜CPD(N)として判定回路8に出力することができる。
(6)第一及び第二の切換回路14,15では、IOメモリブロックに対応するラッチ回路で不良情報をラッチしたとき、次の回の動作試験では、不良情報をラッチしたラッチ回路を回避するように、一つずつシフトしたラッチ回路を介して比較結果を転送することができる。
(7)前記ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LJ(0)〜LJ(n)は、1回の動作試験が終了する毎に入力されるBIST終了信号BEに基づいて、不良情報をラッチすることができる。
(8)不良IOメモリブロックの検出動作と並行して、自己冗長動作を行うためのデータ比較部7を論理回路及び転送トランジスタのみで簡便に構成することができる。
(9)BIST回路3以外に、故障情報を格納する記憶手段、不良アドレス発生回路、アドレス変換回路、あるいはレジスタ等をチップ内に搭載する必要がない。このため、チップ面積の大型化を防止することができる。
(10)チップ外部に冗長アドレスデータを生成するためのデータ変換処理装置を必要としない。
【0084】
(第二の実施の形態)
前記第一の実施の形態のBIST回路3では、冗長IOメモリブロック(J0)〜(Jn)の冗長系統数n+1に対し、必ずn+2回の動作試験を行った後に、当該メモリセルアレイ4の良否を判定した。この実施の形態では、1回の動作試験を行う毎に良否判定を行い、良品と判定された場合には、直ちに通常動作に移行する機能をBIST回路3に備えるものである。
【0085】
このような機能を備えたBIST回路3の動作を図11に従って説明する。
電源の投入後、各メモリマクロ1a,1bではBIST回路3による1回目の動作試験が開始される(ステップ11)。動作試験時のBIST回路3の動作は、第一の実施の形態と同様である。
【0086】
次いで、1回目の動作試験による比較データCPD(0)〜(N)に基づく判定回路8の判定結果Jに基づいて、当該メモリセルアレイの良否判定を行う(ステップ12)。
【0087】
そして、比較データCPD(0)〜(N)がすべてHレベルであって、判定結果Jが良品であれば、通常動作に移行する(ステップ17)。
ステップ12において、比較結果が不良であれば、比較データCPD(0)〜(N)のうち、Lレベルとなった比較データの数、すなわち不良セルが存在するIOメモリブロックの数と冗長IOメモリブロックの数とを比較する(ステップ13)。
【0088】
不良セルが存在するIOメモリブロックの数が、冗長IOメモリブロックの数を越えていれば、直ちに不良品と判定して、動作試験を終了する(ステップ16)。
【0089】
不良セルが存在するIOメモリブロックの数が、冗長IOメモリブロックの数を越えていなければ、ステップ14において、カウンタ回路44のカウント値が(n+2)を越えているか否かを判定する。
【0090】
カウント値が(n+2)を越えていない場合には、ラッチ回路のラッチデータLCP(0)〜LCP(N),LCP(J0)〜LCP(Jn)に基づいて、IO冗長回路12により冗長動作を行う(ステップ15)。そして、ステップ11に移行して、上記動作を繰り返す。
【0091】
また、ステップ14において、カウント値が(n+2)を越えている場合には、不良と判定してステップ16に移行する。
上記のように動作するBIST回路3では、前記実施の形態で得られた作用効果に加えて、次に示す作用効果を得ることができる。
(1)動作試験の結果、良品と判定された場合には、冗長系統数n+1に対し(n+2)回の動作試験を行う前に、動作試験を終了することができる。従って、良品に対する動作試験時間の短縮を図ることができる。
(第三の実施の形態)
図12は、第三の実施の形態を示す。この実施の形態は、第一の実施の形態のデータ比較部7の構成を一部変更したものである。第一の実施の形態と同一構成部分は同一符号を付して説明する。
【0092】
比較回路13は、前記実施の形態と同様に構成され、その比較結果SG0〜SGN,SGJ0〜SGJnは第一のバイパス回路45を介して前記ラッチ回路LB(0)〜LB(N)にそれぞれ入力される。なお、各比較回路13に入力される読み出しデータRDB(0)〜RDB(N)は各メモリブロックからIO冗長回路12を経ることなく入力されるデータである。
【0093】
比較回路46は、前記冗長IOメモリブロック(J0)〜(Jn)と同数設けられ、各冗長IOメモリブロック(J0)〜(Jn)の読み出しデータQDB(J0)〜(Jn)と、期待値データTD(J0)〜(Jn)が入力される。
【0094】
前記読み出しデータQDB(J0)〜(Jn)は、図3に示すように、IO冗長回路12を経ることなく入力される。
期待値データTD(J0)〜(Jn)は、動作試験時に各冗長IOメモリブロック(J0)〜(Jn)に書き込まれる書き込みデータと等しいデータである。なお、この実施の形態では、動作試験時に各IOメモリブロック(B0)〜(BN)及び各冗長IOメモリブロック(J0)〜(Jn)に対してデータの書き込み動作及び読み出し動作が行われる。
【0095】
前記比較回路46の比較結果SG(J0)〜SG(Jn)は、前記第一のバイパス回路45を介して前記ラッチ回路LB(J0)〜LB(Jn)にそれぞれ入力される。
【0096】
前記ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LB(J0)〜LB(Jn)は前記第一の実施の形態と同様に構成される。
前記各ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LB(J0)〜LB(Jn)のラッチデータLCP(0)〜LCP(N),LCP(J0)〜LCP(Jn)は、第一の実施の形態と同様に構成された第二の切換回路15に出力されるとともに、前記IO冗長回路12に出力される。
【0097】
前記第二の切換回路15の出力信号は、第二のバイパス回路47を介して、比較データCPD(0)〜CPD(N),CPD(J0)〜CPD(Jn)として出力される。また、第二のバイパス回路47には前記比較回路13,46の比較結果SG0〜SGN,SGJ0〜SGJnが入力される。
【0098】
図14は、前記比較回路13,46及び第一のバイパス回路45の具体的構成を示し、図15はラッチ回路LB(0)〜LB(N),LB(J0)の構成を示す。ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LB(J0)は、入力信号がCPB(0)〜CPB(N),CPB(J0)となる点を除いて第一の実施の形態と同様である。
【0099】
また、図14、図15に示す構成は、前記第一の実施の形態と同様に、1つの冗長IOメモリブロックを備えた場合に対応するものである。
前記比較回路46は、比較回路13と同様にENOR回路で構成される。第一のバイパス回路45は、各比較回路13,46の比較結果SG0〜SGN,SGJ0がそれぞれNOR回路48に入力され、そのNOR回路48の出力信号がインバータ回路49に入力される。
【0100】
前記NOR回路48にはバイパス信号BPが入力される。前記バイパス信号BPは、1回目の動作試験時にはLレベルに維持され、2回目の動作試験時にHレベルとなる信号である。そして、各インバータ回路49から出力信号CPB(0)〜CPB(N),CPB(J0)がラッチ回路LB(0)〜LB(N),LB(J0)にそれぞれ出力される。
【0101】
従って、バイパス信号BPがLレベルであれば、各比較回路13,46の比較結果SG0〜SGN,SGJ0がラッチ回路LB(0)〜LB(N),LB(J0)にそのまま出力される。
【0102】
また、バイパス信号BPがHレベルとなれば、各ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LB(J0)の入力信号はすべてHレベルとなる。従って、2回目の動作試験では1回目の動作試験時のラッチデータLCP(0)〜LCP(N),LCP(J0)が維持される。
【0103】
図16に示す第二の切換回路15は、第一の実施の形態と同様である。第二のバイパス回路47は、第二の切換回路15から出力される各ラッチデータLCP(0)〜LCP(N),LCP(J0)について、それぞれ同様な回路で構成される。そこで、ラッチデータLCP(0)若しくは同LCP(1)が入力される回路について説明する。
【0104】
第二の切換回路15の出力信号は、NAND回路50に入力され、そのNAND回路50には前記バイパス信号BPがインバータ回路51を介して入力される。
【0105】
NAND回路52には前記比較結果SG0が入力され、そのNAND回路52には前記バイパス信号BPが入力される。そして、NAND回路50,52の出力信号がNAND回路53に入力され、そのNAND回路53から比較データCPD(0)が出力される。
【0106】
このような構成により、バイパス信号BPがLレベルであれば、NAND回路50の出力信号がHレベルに固定されるため、第二の切換回路15の出力信号がそのまま比較データCPD(0)として出力される。また、バイパス信号BPがHレベルであれば、NAND回路50の出力信号がHレベルに固定されるため、比較結果SG0が比較データCPD(0)として出力される。
【0107】
従って、バイパス信号BPがHレベルであれば、ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LB(J0)及び第二の切換回路15を経ることなく、第二のバイパス回路47にバイパスされて、比較データCPD(0)〜CPD(N)として出力される。
【0108】
図13に示す判定回路54は、第一の実施の形態の判定回路8からカウンタ回路44を省略した構成である。
次に、上記のように構成されたメモリマクロの動作を図17に従って説明する。
【0109】
電源の投入後、各メモリマクロ1a,1bではBIST回路3による1回目の動作試験が開始される(ステップ21)。このとき、各IOメモリブロック(B0)〜(BN)及び各冗長IOメモリブロック(J0)〜(Jn)に対してデータの書き込み動作及び読み出し動作が行われる。
【0110】
そして、各IOメモリブロック(B0)〜(BN)及び各冗長IOメモリブロック(J0)〜(Jn)から読み出された読み出しデータが比較回路13,46で比較され、その比較結果SG0〜SGN,SGJ0〜SGJnが第一のバイパス回路45に出力される。
【0111】
第一のバイパス回路45にはLレベルのバイパス信号BPが入力されているので、比較結果CPB(0)〜CPB(N),CPB(J0)〜CPB(Jn)がラッチ回路LB(0)〜LB(N),LB(J0)〜LB(Jn)に入力される。
【0112】
ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LB(J0)〜LB(Jn)の各ラッチデータLCP(0)〜LCP(N),LCP(J0)〜LCP(Jn)は、リセット信号RSによりすべてHレベルにリセットされている。また、第二のバイパス回路47にはLレベルのバイパス信号BPが入力されている。
【0113】
従って、第二のバイパス回路47から出力される比較データCPD(0)〜CPD(N),CPD(J0)〜CPD(Jn-1)はすべてHレベルとなる。
次いで、1回目の動作試験が終了して、BIST終了信号BEがHレベルとなると、比較結果SG0〜SGN,SGJ0〜SGJnがラッチ回路LB(0)〜LB(N),LB(J0)〜LB(Jn)に取り込まれてラッチされる。
【0114】
ラッチ回路LB(0)〜LB(N),LB(J0)〜LB(Jn)のラッチデータLCP(0)〜LCP(N),LCP(J0)〜LCP(Jn)は、第二の切換回路15に出力される。また、ラッチデータLCP(0)〜LCP(N),LCP(J0)〜LCP(Jn)は、IO冗長回路12に出力される。
【0115】
第二の切換回路15では、LレベルのラッチデータLCPを比較データCPDとして出力しないようにシフト動作を行い、第二のバイパス回路47を介して比較データCPD(0)〜CPD(N)として出力する。
【0116】
次いで、比較データCPD(0)〜CPD(N)が判定回路54に入力されて、判定動作が行われる(ステップ22)。すなわち、第二の切換回路15によるシフト動作により、比較データCPD(0)〜CPD(N)がすべてHレベルであれば、判定回路54は良品を示す判定結果Jを出力する。
【0117】
次いで、ラッチデータLCP(0)〜LCP(N),LCP(J0)〜LCP(Jn)に基づいて、IO冗長回路12で冗長動作を行い(ステップ23)、通常動作に移行する(ステップ24)。
【0118】
ステップ22において、比較データCPD(0)〜CPD(N)がすべてHレベルとならない場合、すなわち不良となったIOメモリブロックの数が冗長IOメモリブロックの数より多い場合、判定回路54は不良と判定して動作を終了する(ステップ25)。
【0119】
上記のような動作では、動作試験を1回のみ行い、冗長可能な範囲であれば良品と判定して通常動作に移行する。従って、不良となったIOメモリブロックを冗長IOメモリブロックに冗長した後の動作試験は行っていない。
【0120】
そこで、新たな冗長経路についての動作試験を行う場合には、上記のような1回目の動作試験の終了後に、バイパス信号BPをHレベルとした状態で2回目の動作試験を行う。
【0121】
すると、各比較回路13には、冗長後のN+1個のメモリブロックからの読み出しデータが順次入力され、その比較結果SG0〜SGNが第二のバイパス回路47に入力される。
【0122】
すると、比較結果SG0〜SGNが第二のバイパス回路45から比較データCPD(0)〜CPD(N)として出力される。この比較データCPD(0)〜CPD(N)がすべてHレベルであるか否かを判定回路54で判定することにより、冗長後の良否判定が可能となる。
【0123】
上記各実施の形態は、次に示すように変更することもできる。
・BIST回路3は、パワーオンリセット信号RSの他に、BIST制御信号をBIST回路3に入力して、動作試験を開始するようにしてもよい。
・上記のようなBIST回路3による冗長動作をともなう動作試験時を行った後、BIST制御信号による動作試験を行うとき、新たな冗長動作を行わず、すでに設定された冗長結果を保持した状態で動作試験を行うようにする。すなわち、第三の実施の形態でバイパス信号BPを入力してラッチ回路及び第二の切換回路をバイパスした状態とすれば、冗長結果を保持した状態で動作試験を行うことができる。このような動作試験を出荷試験時の電圧マージン試験に用いることができる。
・上記のようなASICチップの実使用時に、BIST制御信号に基づいて動作試験を行うことにより、実使用時に新たに発生した不良に対し、冗長動作を行うこともできる。
(付記1)書き込みデータと、読み出しデータとを比較する比較回路と、
前記比較回路の比較結果に基づいて当該メモリセルアレイの良否判定を行う判定回路と、
前記比較回路と判定回路との間に介在されて、前記比較結果を前記判定回路に転送するとともに、該比較結果に基づく不良情報を1回の動作試験毎に自己冗長信号としてラッチして出力する自己冗長信号生成部と
を備えたことを特徴とする自己テスト回路。
(付記2)前記自己冗長信号生成部は、
前記比較結果をラッチして前記自己冗長信号として出力するラッチ回路と、
前記ラッチ回路が不良情報をラッチしたとき、当該ラッチ回路への比較結果の入力を他のラッチ回路にシフトして、自己冗長信号として維持する切換回路と
から構成したことを特徴とする付記1記載の自己テスト回路。
(付記3)前記自己冗長信号生成部は、
通常メモリブロック及び冗長メモリブロックに対応して設けられる比較回路と、
前記比較回路にそれぞれ対応して設けられ、前記比較結果をラッチして前記自己冗長信号として出力するラッチ回路と、
前記ラッチ回路が不良情報をラッチしたとき、そのラッチデータに基づく自己冗長信号で選択されたメモリブロックに対応するラッチ回路のラッチデータを比較データとして前記判定回路に出力する切換回路と
から構成したことを特徴とする付記1記載の自己テスト回路。
(付記4)通常メモリブロック及び冗長メモリブロックを備えたメモリセルアレイと、
前記各メモリブロックに対して、書き込み動作または読み出し動作とを試験する自己テスト回路と、
前記動作試験の試験結果により生成された冗長信号に基づいて、不良メモリブロックを前記冗長メモリブロックに冗長する冗長回路とを備えた半導体記憶装置であって、
前記自己テスト回路には、前記メモリブロックの書き込みデータと、読み出しデータとを比較する比較回路と、
前記比較回路の比較結果に基づいて当該メモリセルアレイの良否判定を行う判定回路と、
前記比較結果を前記判定回路に転送するとともに、前記冗長回路に出力する自己冗長信号生成部と
を備えたことを特徴とする半導体記憶装置。
(付記5)前記自己冗長信号生成部は、
前記通常メモリブロック及び冗長メモリブロックにそれぞれ対応して設けられ、前記比較結果をラッチして前記自己冗長信号として出力するラッチ回路と、
前記ラッチ回路が不良情報をラッチしたとき、当該ラッチ回路への比較結果の入力を他のラッチ回路にシフトして、自己冗長信号として維持する切換回路と
から構成したことを特徴とする付記4記載の半導体記憶装置。
(付記6)前記冗長回路により選択されるメモリブロックの数に対応して前記比較回路を設け、前記比較回路と前記ラッチ回路との間に第一の切換回路を設け、前記ラッチ回路と前記判定回路との間に第二の切換回路を設け、前記第一の切換回路は、前記ラッチ回路のラッチデータに基づいて、前記不良情報をラッチしたラッチ回路以外のラッチ回路に前記比較結果を出力し、前記第二の切換回路は、前記ラッチデータに基づいて、前記第一の切換回路から前記比較結果が入力されたラッチ回路のラッチデータを比較データとして前記判定回路に出力することを特徴とする付記5記載の半導体記憶装置。
(付記7)前記判定回路には、前記動作試験の回数をカウントするカウンタ回路を備え、前記自己テスト回路は、前記冗長メモリブロックの数を1超える回数まで動作試験を繰り返した後、前記判定回路で前記比較データを判定することを特徴とする付記6記載の半導体記憶装置。
(付記8)前記自己テスト回路は、1回の動作試験を行う毎に前記比較データを前記判定回路で判定し、不良情報を検出しないとき、動作試験を終了することを特徴とする付記6または7記載の半導体記憶装置。
(付記9)前記判定回路は、不良メモリブロック数が冗長メモリブロック数を越えたとき、動作試験を終了することを特徴とする付記8記載の半導体記憶装置。
(付記10)前記自己冗長信号生成部は、
前記通常メモリブロック及び冗長メモリブロックに対応して設けられる比較回路と、
前記比較回路にそれぞれ対応して設けられ、前記比較結果をラッチして前記自己冗長信号として出力するラッチ回路と、
前記ラッチ回路が不良情報をラッチしたとき、そのラッチデータに基づく自己冗長信号で選択されたメモリブロックに対応するラッチ回路のラッチデータを比較データとして前記判定回路に出力する切換回路と
から構成したことを特徴とする付記4記載の半導体記憶装置。
(付記11)前記ラッチ回路は、1回の動作試験が終了する毎に入力される終了信号に基づいて前記不良情報をラッチすることを特徴とする請求項4乃至10のいずれかに記載の半導体記憶装置。
(付記12)前記第一の切換回路は、不良情報をラッチしたラッチ回路のラッチデータに基づいて、当該ラッチ回路以降に入力される比較結果を一つずつシフトしたラッチ回路に入力し、前記第二の切換回路は、前記ラッチデータに基づいて、前記第一の切換回路が比較結果を入力するラッチ回路のラッチデータを前記比較データとして出力することを特徴とする付記6記載の半導体記憶装置。
(付記13)前記比較回路と前記ラッチ回路の間に第一のバイパス回路を設け、前記切換回路と前記判定回路との間に第二のバイパス回路を設け、2回目の動作試験時に前記第一及び第二のバイパス回路に入力されるバイパス信号に基づいて、前記比較結果を比較データとして出力可能としたことを特徴とする付記10記載の半導体記憶装置。
【0124】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明は、自己テスト機能と自己冗長機能とを併せ持つ半導体記憶装置を簡単な構成で提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 ASICチップを示すブロック図である。
【図2】 BIST回路を示すブロック図である。
【図3】 メモリセルアレイを示すブロック図である。
【図4】 第一の実施の形態のデータ比較部を示すブロック図である。
【図5】 比較回路及び第一の切換回路を示す回路図である。
【図6】 ラッチ回路を示す回路図である。
【図7】 第二の切換回路を示す回路図である。
【図8】 判定回路を示すブロック図である。
【図9】 データ比較部の動作を示す説明図である。
【図10】 第一の実施の形態の動作を示すフローチャート図である。
【図11】 第二の実施の形態の動作を示すフローチャート図である。
【図12】 第三の実施の形態のデータ比較部を示すブロック図である。
【図13】 第三の実施の形態の判定回路を示すブロック図である。
【図14】 比較回路及び第一のバイパス回路を示す回路図である。
【図15】 ラッチ回路を示す回路図である。
【図16】 第二の切換回路及び第二のバイパス回路を示す回路図である。
【図17】 第三の実施の形態の動作を示すフローチャート図である。
【符号の説明】
3 自己テスト回路(BIST回路)
8,54 判定回路
12 冗長回路(IO冗長回路)
13,46 比較回路
14 自己冗長信号生成部(第一の切換回路)
15 自己冗長信号生成部(第二の切換回路)
LB0〜LJn 自己冗長信号生成部(ラッチ回路)
B(0)〜B(N) 通常メモリブロック
J(0)〜J(n) 冗長メモリブロック
Claims (6)
- 通常メモリブロック及び冗長メモリブロックを備えたメモリセルアレイと、
前記各メモリブロックに対して、書き込み動作または読み出し動作とを試験する自己テスト回路と、
動作試験の試験結果により生成された冗長信号に基づいて、不良メモリブロックを前記冗長メモリブロックに冗長する冗長回路と
を備えた半導体記憶装置であって、
前記自己テスト回路には、
前記メモリブロックの書き込みデータと、読み出しデータとを比較する比較回路と、
前記比較回路の比較結果に基づいて当該メモリセルアレイの良否判定を行う判定回路と、
前記比較結果を前記判定回路に転送するとともに、前記冗長回路に出力する自己冗長信号生成部とを備え、
前記自己冗長信号生成部は、
前記通常メモリブロック及び冗長メモリブロックにそれぞれ対応して設けられ、前記比較結果をラッチして前記自己冗長信号として出力するラッチ回路と、
前記ラッチ回路が不良情報をラッチしたとき、当該ラッチ回路への比較結果の入力を他のラッチ回路にシフトして、自己冗長信号として維持する切換回路と
から構成される
ことを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記比較回路は、前記冗長回路により選択されるメモリブロックの数に対応して設けられ、
前記切換回路は、
前記比較回路と前記ラッチ回路との間に第一の切換回路と、
前記ラッチ回路と前記判定回路との間に第二の切換回路と
からなり、
前記第一の切換回路は、前記ラッチ回路のラッチデータに基づいて、前記不良情報をラッチしたラッチ回路以外のラッチ回路に前記比較結果を出力し、
前記第二の切換回路は、前記ラッチデータに基づいて、前記第一の切換回路から前記比較結果が入力されたラッチ回路のラッチデータを比較データとして前記判定回路に出力すること
を特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記判定回路は、前記動作試験の回数をカウントするカウンタ回路を備え、
前記自己テスト回路は、前記冗長メモリブロックの数を1超える回数まで動作試験を繰り返した後、前記判定回路で前記比較データを判定する
ことを特徴とする請求項1又は2記載の半導体記憶装置。 - 前記自己テスト回路は、1回の動作試験を行う毎に前記比較データを前記判定回路で判定し、不良情報を検出しないとき、動作試験を終了すること
を特徴とする請求項3記載の半導体記憶装置。 - 前記第一の切換回路は、不良情報をラッチしたラッチ回路のラッチデータに基づいて、当該ラッチ回路以降に入力される比較結果を一つずつシフトしたラッチ回路に入力し、
前記第二の切換回路は、前記ラッチデータに基づいて、前記第一の切換回路が比較結果を入力するラッチ回路のラッチデータを前記比較データとして出力することを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。 - 通常メモリブロック及び冗長メモリブロックを備えたメモリセルアレイと、
前記各メモリブロックに対して、書き込み動作または読み出し動作とを試験する自己テスト回路と、
動作試験の試験結果により生成された冗長信号に基づいて、不良メモリブロックを前記冗長メモリブロックに冗長する冗長回路と
を備えた半導体記憶装置であって、
前記自己テスト回路には、
前記メモリブロックの書き込みデータと、読み出しデータとを比較する比較回路と、
前記比較回路の比較結果に基づいて当該メモリセルアレイの良否判定を行う判定回路と、
前記比較結果を前記判定回路に転送するとともに、前記冗長回路に出力する自己冗長信号生成部とを備え、
前記比較回路は、前記通常メモリブロック及び冗長メモリブロックに対応して設けられ、
前記自己冗長信号生成部は、
前記比較回路にそれぞれ対応して設けられ、前記比較結果をラッチして前記自己冗長信号として出力するラッチ回路と、
前記ラッチ回路が不良情報をラッチしたとき、そのラッチデータに基づく自己冗長信号で選択されたメモリブロックに対応するラッチ回路のラッチデータを比較データとして前記判定回路に出力する切換回路と
から構成される
ことを特徴とする半導体記憶装置。
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