JP4132298B2 - 重ね合わせ検査マークを備える半導体装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、重ね合わせ検査マークに関し、特に、半導体装置の製造工程におけるリソグラフィ工程の重ね合わせ精度を測定するために用いる重ね合わせ検査マークに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体装置の製造工程における２つのリソグラフィ工程間の重ね合わせ精度を測定する方法として、各リソグラフィ工程において本番パターンと同一のマスクを用いて同時に重ね合わせ検査マークのパターンを形成し、重ね合わせ検査マークのパターンの重ね合わせ精度により、本番パターンの重ね合わせ精度を測定する方法が用いられている。以下、図１０〜図１５を用いて従来の重ね合わせ検査マークを説明する。
【０００３】
従来の重ね合わせ検査マークは、図１０に示すように、本番パターン１０１を形成する回路領域１１１の横に配置されたスクライブライン領域１１２に配置されている。また、図１１に示すように、１層目の本番パターン１０５ａと１層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０５ｂとは、スクライブライン領域１１２の溝１１０により段差を隔てて設けられている。また、２層目の本番パターン１０１は、１層目の本番パターン１０５ａの上に設けられ、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２は、１層目の重ね合せ検査マークのパターン１０５ｂの上に、２層目の本番パターン１０１と平行な部分を有するように４角形の４辺をライン状にして設けられている。
【０００４】
上記のような重ね合わせ検査マークにおいては、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２の幅は、２層目の本番パターン１０１の幅と無関係に形成されているため、パターン形成時の、収差による位置ずれ量が相違する。そのため、マスクパターンにおけるそれぞれの相対的位置と異なる相対的位置関係を有して２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２と２層目の本番パターン１０１とが形成される現象が生じる。以下、この現象について説明する。
【０００５】
通常、マスクを通過した光は、マスクの開口を通過した後は、それぞれの開口の大きさにあわせて所定の回折角を有して進行する。そのため、マスクにより形成されたパターンのそれぞれは、透過光の回折角分だけずれて形成されるという現象、すなわち、収差による位置ずれ現象が生じる。
【０００６】
そのため、マスクに形成された開口パターンを通過する光が、太いラインを通過する場合と細いラインを通過する場合とで回折角が異なることにより、本番パターンの太さと重ね合わせ検査マークのパターンの太さとに相違があれば、重ね合わせ検査マークのパターンと本番パターンとの収差による位置ずれ量にも相違が生じる。この収差による位置ずれ量の相違により、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとはそれぞれの重ね合わせのずれ量に差が生じる。これが収差による位置ずれ量の相違による影響である。
【０００７】
そこで、この収差による位置ずれ量の相違による影響を防止するため、図１２および図１３に示すような、ライン状の本番パターンの幅とライン状の重ね合わせ検査マークのパターンの幅とを同じにする重ね合わせ検査マークのパターンが用いられている。この場合、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２の幅は、２層目の本番パターン１０１の幅と同一の幅に形成されているため、それぞれの収差による位置ずれ量が同一になり、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２と２層目の本番パターン１０１とが、マスクに形成された開口パターンと相対的に同じ間隔を有して形成される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記図１２および図１３に示したような場合において、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２が形成されている１層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０５ｂの表面の高さと、２層目の本番パターン１０１が形成されている１層目の本番パターン１０５ａの表面の高さとが同一に形成されていたため、焦点深度の問題を考慮する必要がなかった。
【０００９】
しかしながら、図１４および図１５に示すように、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２が形成されている１層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０５ｂの表面の高さと、２層目の本番パターン１０１が形成されている１層目の重ね合せ検査マークのパターン１０５ａの表面の高さとが異なって形成されている場合、その高さの差を補うだけの焦点深度が確保できない、すなわち、焦点が合わず、精確に２層目の重ね合せ検査マークのパターン１０２が形成できないという問題が生じる。
【００１０】
通常の設計では、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２が形成されている１層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０５ｂの表面の高さと、２層目の本番パターン１０１が形成されている１層目の本番パターン１０５ａの表面の高さとの差は、最大でも上下それぞれ０．６μｍ程度である。そのため、焦点深度を１．２μｍ程度より大きく確保できるようにすれば、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２が形成されている１層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０５ｂの表面の高さと、２層目の本番パターン１０１が形成されている１層目の本番パターン１０５ａの表面の高さとの差がある場合にも、焦点が合った状態でパターン形成を行うことができる。
【００１１】
この焦点深度を大きくする方法として、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２の幅を、２層目の本番パターン１０１の幅より大きくすることが考えられる。この方法によれば、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２を形成するためのマスクの開口幅を、２層目の本番パターン１０１を形成するためのマスクの開口幅より大きくすることにより、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２を形成するためのマスクの開口を通過する光の回折角を小さくする。これにより、光の基板面に対して入射する角度がより垂直に近づき、焦点深度が大きくなる。
【００１２】
しかしながら、焦点深度を大きく確保するために、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２の幅を、２層目の本番パターン１０１の幅より大きくし過ぎると、上記収差による位置ずれ量の相違による影響が大きくなる。そのため、収差に起因する位置ずれ量の相違によるパターン形成時の形成誤差がある場合にも、重ね合せ検査測定時に、重ね合せ検査測定における許容測定誤差の範囲内で重ね合せ検査測定が行え、かつ、重ね合わせ検査マーク形成時に、焦点深度が十分確保できる状態で重ね合わせ検査マークのパターンが形成できるように、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２の幅を、２層目の本番パターン１０１の幅より大きくしなければならない。
【００１３】
ここで、重ね合わせのずれ量の許容測定誤差について説明する。通常、0. 2μｍ〜１．０μｍ程度のライン状の本番パターンの場合、重ね合わせのずれ量の許容測定誤差の規格数値は６０ｎｍである。すなわち、全ての測定誤差を合わせて、６０ｎｍ以下にしなければならない。この測定誤差を生じさせるものとしては、露光装置に起因する測定誤差、ウェハに起因する測定誤差および光の収差に起因する位置ずれ量の相違によるパターン形成時の形成誤差が考えられる。この許容測定誤差６０ｎｍのうち、露光装置（ステッパ）のオフセット、回転および倍率に起因する測定誤差は２５ｎｍ程度であり、ウェハ成分に起因する測定誤差は、３０ｎｍ程度である。したがって、収差による位置ずれ量の相違によるパターン形成時の形成誤差は、５ｎｍ以下に押さえなければならない。
【００１４】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとが段差を有して形成される場合にも、許容測定誤差内で重ね合わせ測定が行える重ね合わせ検査マークを有する半導体装置を提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の本発明の重ね合わせ検査マークを備える半導体装置は、半導体装置の同一のリソグラフィ工程において形成される、重ね合わせ検査マークと本番パターンを備える半導体装置であって、本番パターンは、パターンの転写時に、収差に起因して、本番パターンの幅に基づいて第１位置ずれ量の位置ずれを生じるパターンを含み、重ね合わせ検査マークは、パターンの転写時に、収差に起因して、重ね合わせ検査マークの幅に基づいて第２位置ずれ量の位置ずれを生じるパターンを含み、重ね合わせ検査マークの幅および本番パターンの幅は、第１位置ずれ量と第２位置ずれ量との差が許容値以下になるように設定され、重ね合わせ検査マークの幅は、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンの高さが異なる場合に、焦点深度が確保されるように、本番パターンの幅よりも大きく設定されており、本番パターンの幅と重ね合わせ検査マークの幅との差は、０．０８５μｍ以上０．１μｍ以下である。
【００１６】
このような構造にすることにより、パターン転写時の収差に起因する、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとの位置ずれ量の相違を所定の値以下にすることができる。また、本番パターンと重ね合せ検査マークのパターンとの基板上の高低差を見込んだ焦点深度を確保することができる。そのため、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとが段差を有して形成される場合においても、重ね合わせ検査マーク形成時に、焦点深度を十分に確保した状態で重ね合わせ検査マークが形成できるため、精確な重ね合わせ検査マークが形成できる。また、収差による位置ずれ量の相違が許容形成誤差の範囲内で、重ね合せ検査マークを形成できるため、重ね合せ検査測定時に、許容測定誤差の範囲内で、重ね合わせ検査測定をすることができる。
【００１７】
請求項２に記載の本発明の重ね合せ検査マークを備える半導体装置は、請求項１に記載の重ね合せ検査マークを備える半導体装置において、本番パターンが、０．２μｍ〜１．０μｍの範囲の幅を有するライン状である。
【００１８】
通常、ラインサイズごとに収差による位置ずれ量は固有の値を示し、ライン状の重ね合せ検査マークのパターンの幅と、ライン状の本番パターンの幅とが決まれば、それぞれのパターンの収差による位置ずれ量の差が決まる。そこで、上記のように、ライン状の重ね合せ検査マークのパターンの幅と、ライン状の本番パターンの幅とが０．１μｍ以下の差であるような数値範囲に設定することにより、ライン状の本番パターンの幅が０．２μｍ〜１．０μｍの範囲で、ラインサイズと収差による位置ずれ量との関係から、収差による位置ずれ量の相違を許容形成誤差（５ｎｍ）以下にすることができる。
【００１９】
また、ラインサイズごとに焦点深度は固有の値を示し、ラインサイズが大きくなるにしたがって焦点深度は大きくなる。そこで、上記のように、ライン状の重ね合せ検査マークのパターンの幅を、ライン状の本番パターンの幅より０．０８５μｍ以上大きくなるように設定することにより、ラインサイズと焦点深度との関係から、本番パターンの表面と重ね合わせ検査マークのパターンの表面との間に段差（最大でも上下に０．０６μｍずつ）がある場合にも、焦点深度（１．２μｍ）を十分に確保することが可能となる。
【００２０】
請求項３に記載の本発明の重ね合わせ検査マークを備える半導体装置は、請求項１に記載の重ね合せ検査マークを備える半導体装置において、本番パターンは、開口幅が０．３μｍ〜１．０μｍの範囲の開口幅を有するホール状であり、重ね合せ検査マークのパターンは、ホール状の本番パターンの開口幅より０．１μｍ以下の範囲で大きい開口幅を有するホール状である。
【００２１】
通常、ホールサイズごとに収差による位置ずれ量は固有の値を示し、ホール状の重ね合せ検査マークのパターンの開口幅と、ホール状の本番パターンの開口幅とが決まれば、それぞれのパターンの収差による位置ずれ量の差が決まる。そこで、上記のように、ホール状の重ね合わせ検査マークの開口幅とホール状の本番パターンの開口幅との差を０．１μｍ以下の数値範囲に設定することにより、ホール状の本番パターンの開口幅が０．３μｍ〜１．０μｍの範囲で、ホールサイズと収差の位置ずれ量との関係から、収差による位置ずれ量の相違を許容形成誤差（５ｎｍ）以下にすることができる。
【００２２】
また、ホールサイズごとに焦点深度は固有の値を示し、ホールサイズが大きくなるにしたがって焦点深度は大きくなる。そこで、上記のように、ホール状の重ね合せ検査マークのパターンの開口幅をホール状の本番パターンの開口幅より大きく設定することにより、ホールサイズと焦点深度との関係から、ホール状の本番パターンの表面と重ね合わせ検査マークのパターンの表面との間に段差（最大でも上下に０．０６μｍずつ）がある場合にも、焦点深度（１．２μｍ）が十分にとれるようにすることが可能となる。
【００２３】
なお、開口幅とは、ホールパターンが円形の場合は、円の直径であり、ホールパターンが四角形の場合は、１辺の長さである。
【００２４】
前述の許容値は５ｎｍ以下であることが望ましい。また、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとは、１.２μｍ以下の高さの差を有していることが望ましい。
【００２５】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１の重ね合わせ検査マークを図１〜図５を用いて説明する。本実施の形態の重ね合わせ検査マークは、図１および図２に示すように、半導体基板５上の、ライン状の本番パターン１を形成する回路領域１１の横に配置されたスクライブライン領域１２に、４角形の４辺をライン状にして配置されている。
【００２６】
また、１層目の本番パターン５ａと１層目の重ね合わせ検査マークのパターン５ｂとは、スクライブライン領域１２の溝１０により段差を隔てて設けられている。また、２層目の本番パターン１は、１層目の本番パターン５ａの上に設けられ、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２は、１層目の重ね合せ検査マークのパターン５ｂの上に設けられている。
【００２７】
この２層目の本番パターン１の幅は０．２μｍ、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の幅は０．２９μｍであり、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の幅は、２層目の本番パターン１の幅よりも０．０９μｍだけ大きくなっている。また、２層目の本番パターン１が設けられている１層目のパターン５ａの表面と、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２が設けられている１層目の重ね合わせ検査マークのパターン５ｂの表面とは、その高さが０．６μｍだけ異なっている。
【００２８】
この場合、図３に示している、収差による位置ずれ量とラインサイズとの関係から分かるように、２層目の本番パターン１と２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２とは、パターン転写後における収差による位置ずれ量が、それぞれ約１５ｎｍおよび約１１ｎｍであり、その差は、約４ｎｍである。したがって、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の幅を、２層目の本番パターン１の幅よりも０．０９μｍだけ大きくすることにより、収差によるずれ量の相違を許容形成誤差（５ｎｍ）以下にできることが分かる。
【００２９】
このとき、一般に、図３に示すように、２層目の本番パターン１の幅が０．２〜１．０μｍの範囲でどうのような値をとっても、２層目の本番パターン１の幅と、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の幅との差が、０．１μｍ以下である場合は、収差によるずれ量の相違が許容形成誤差（５ｎｍ）以下となる。
【００３０】
また、図４に示すように、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の幅は０．２９μｍであるため、焦点深度は１．３μｍ程度となる。その結果、２層目の本番パターン１が設けられている１層目の本番パターン５ａの表面と、重ね合わせ検査マークの２層目のパターン２が設けられている１層目の重ね合わせ検査マークのパターン５ｂの表面とは、その高さが０．６μｍだけ異なっていても、必要な焦点深度（１．２μｍ）を確保することが可能となるため、パターン転写時に、それぞれのパターンは、精確に形成される。
【００３１】
このとき、通常、必要とされる焦点深度（１．２μｍ）を確保することが可能となる、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の幅は、図４に示すように、０．２８５μｍ以上である。
【００３２】
したがって、重ね合わせ検査マークと本番パターンとの関係を上記のような数値範囲にすることにより、２層目の本番パターンが０．２μｍ〜１．０μｍの範囲である場合に、２層目の本番パターン１と重ね合せ検査マーク２との幅の差を０．１μｍ以下にすれば、重ね合わせ検査マークと本番パターンとを形成するときの、収差による位置ずれ量の相違を許容形成誤差（５ｎｍ）以下にすることができる。また、２層目の重ね合せ検査マーク２の幅を、２層目の本番パターン１よりも０．０８５μｍ以上大きくすれば、焦点深度（１．２μｍ）を確保することが可能となる。その結果、重ね合せ検査マークと本番パターンとが通常の段差（最大でも上下０．６μｍずつ）を有していても、焦点深度を確保することが可能となるとともに、パターン転写後に収差による位置ずれ量の相違を生じても、許容できる範囲の形成誤差の範囲の重ね合わせ検査マークとなる。
【００３３】
なお、図５に示すように、複数の２層目のライン状の本番パターン１の太さがそれぞれ異なる場合は、それぞれの２層目のライン状の本番パターン１のうち最も厳しい精度が要求される２層目のライン状の本番パターン１の幅に対して０．０８５μｍ〜０．１μｍの範囲で、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の幅を大きくすれば、他のライン状の本番パターンについても、許容できる範囲の測定誤差で、重ね合わせ測定をすることができる。
【００３４】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２の重ね合せ検査マークを図６〜図９を用いて説明する。本実施の形態の重ね合せ検査マークは、図６および図７に示すように、実施の形態１のライン状の重ね合せ検査マークを、ホール状の本番パターンに合わせて、所定の間隔を有するホール状の重ね合わせ検査マークで形成した場合である。この２層目の本番パターン１の径は０．３μｍ、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の径は０．３５μｍであり、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の径は、２層目の本番パターン１の径よりも０．０５μｍだけ大きくなっている。
【００３５】
この場合、図８に示している、収差による位置ずれ量とホールサイズとの関係から分かるように、２層目の本番パターン１と２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２とは、パターン転写時の収差による位置ずれ量が、それぞれ約１０ｎｍおよび約６ｎｍであり、その差は、約４ｎｍである。したがって、収差による位置ずれ量の相違は、許容形成誤差（５ｎｍ）以下となる。その結果、収差による位置ずれ量の相違は、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の開口幅が、２層目の本番パターン１の幅よりも０．０５μｍだけ大きくなっていても、許容形成誤差の範囲となる。
【００３６】
このとき、一般に、収差による位置ずれ量の差が５ｎｍ以下となるのは、図８に示すように、２層目の本番パターン１の開口幅が０．３〜１．０μｍの範囲でどうのような値をとっても、２層目の本番パターン１の開口幅と、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の開口幅との差が、０．１μｍ以下である場合に成り立つ。
【００３７】
また、図９に示すように、重ね合わせ検査マークの２層目のパターン２の径は０．３５μｍであるため、焦点深度は１．６μｍ程度となる。このとき、必要となる焦点深度（１．２μｍ）とることが可能となる、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の径は、０．２８５μｍ以上である。
【００３８】
したがって、２層目の重ね合せ検査マークのパターン２の径を、２層目の本番パターン１の径より０．１μｍ以下の範囲で大きくすれば、重ね合せ検査マークと本番パターンとを形成した後の収差によるずれ量の相違を許容形成誤差（５ｎｍ）以下にすることができる。
【００３９】
また、ホール状のパターンの焦点深度（１．２μｍ）を確保するためには、ホール状のパターンの径が０．２８５μｍ以上あればよいため、２層目の重ね合せ検査マークのパターン２の径を、２層目の本番パターン１の径（０．３μｍ）より大きくすれば、必要焦点深度（１．２μｍ）を確保することが可能となる。その結果、通常の段差（０．６μｍ）を有していても、焦点深度を確保することが可能な状態で重ね検査マークのパターンを形成でき、また、重ね合わせ検査マークの形成誤差を、収差による位置ずれ量の相違が生じた場合にも、許容形成誤差の範囲となる。
【００４０】
また、複数のホール状のパターンの径の大きさがそれぞれ異なる場合は、それぞれのホール状のパターンのうち最も厳しい精度が要求されるホール状のパターンに対して０．１μｍ以下の範囲で重ね合わせ検査マークの幅を大きくすれば、他のホール状のパターンについても、許容できる範囲の重ね合せ測定誤差となる、重ね合わせ検査マークを形成することができる。
【００４１】
なお、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００４２】
【発明の効果】
請求項１に記載の本発明の重ね合わせ検査マークを備える半導体装置によれば、収差に起因する、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとのパターン転写時の位置ずれ量の相違を所定の値以下に抑制することができる。また、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとが段差を有して設けられる場合にも焦点深度を確保することができる。
【００４３】
請求項２に記載の本発明の重ね合わせ検査マークを備える半導体装置によれば、０．２μｍ〜１．０μｍの幅のラインパターンに応じて形成される重ね合わせ検査マークにおいて、収差による位置ずれ量の相違を許容形成誤差（５ｎｍ）以下にすることができ、かつ、本番パターンと重ね合わせ検査マークとに段差を有して形成される場合にも、焦点深度（１．２μｍ）が十分に確保される。
【００４４】
請求項３に記載の本発明の重ね合わせ検査マークを備える半導体装置によれば、０．３μｍ〜１．０μｍの開口幅のホールパターンに応じて形成されるホールパターンの重ね合わせ検査マークにおいて、収差による位置ずれ量の相違を許容形成誤差（５ｎｍ）以下にすることができ、かつ、本番パターンと重ね合わせ検査マークとが段差を有して形成される場合にも、焦点深度（１．２μｍ）が十分に確保される。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施の形態１の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとを示す平面図である。
【図２】 実施の形態１の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとを示す断面図である。
【図３】 収差による位置ずれ量とラインサイズとの関係を示すグラフを表す図である。
【図４】 焦点深度とラインサイズとの関係を示すグラフを表す図である。
【図５】 実施の形態１の他の例の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとを示す平面図である。
【図６】 実施の形態２の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとを示す平面図である。
【図７】 実施の形態２の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとを示す断面図である。
【図８】 収差による位置ずれ量の相違とホールサイズとの関係を示すグラフを表す図である。
【図９】 焦点深度とホールサイズとの関係を示すグラフを表す図である。
【図１０】 従来の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとのライン幅が異なる場合を示す平面図である。
【図１１】 従来の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとのライン幅が異なる場合を示す断面図である。
【図１２】 従来の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとのライン幅が同一の場合を示す平面図である。
【図１３】 従来の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとのライン幅が同一の場合を示す断面図である。
【図１４】 従来の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとが、同一の幅で、形成された位置の高さが異なる場合を示す平面図である。
【図１５】 従来の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとが、同一の幅で、形成された位置の高さが異なる場合を示す断面図である。
【符号の説明】
１ ２層目の本番パターン、２ ２層目の重ね合わせ検査マークのパターン、５ 半導体基板、５ａ １層目の本番パターン、５ｂ １層目の重ね合わせ検査マークのパターン、１０ 溝。
【発明の属する技術分野】
本発明は、重ね合わせ検査マークに関し、特に、半導体装置の製造工程におけるリソグラフィ工程の重ね合わせ精度を測定するために用いる重ね合わせ検査マークに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体装置の製造工程における２つのリソグラフィ工程間の重ね合わせ精度を測定する方法として、各リソグラフィ工程において本番パターンと同一のマスクを用いて同時に重ね合わせ検査マークのパターンを形成し、重ね合わせ検査マークのパターンの重ね合わせ精度により、本番パターンの重ね合わせ精度を測定する方法が用いられている。以下、図１０〜図１５を用いて従来の重ね合わせ検査マークを説明する。
【０００３】
従来の重ね合わせ検査マークは、図１０に示すように、本番パターン１０１を形成する回路領域１１１の横に配置されたスクライブライン領域１１２に配置されている。また、図１１に示すように、１層目の本番パターン１０５ａと１層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０５ｂとは、スクライブライン領域１１２の溝１１０により段差を隔てて設けられている。また、２層目の本番パターン１０１は、１層目の本番パターン１０５ａの上に設けられ、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２は、１層目の重ね合せ検査マークのパターン１０５ｂの上に、２層目の本番パターン１０１と平行な部分を有するように４角形の４辺をライン状にして設けられている。
【０００４】
上記のような重ね合わせ検査マークにおいては、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２の幅は、２層目の本番パターン１０１の幅と無関係に形成されているため、パターン形成時の、収差による位置ずれ量が相違する。そのため、マスクパターンにおけるそれぞれの相対的位置と異なる相対的位置関係を有して２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２と２層目の本番パターン１０１とが形成される現象が生じる。以下、この現象について説明する。
【０００５】
通常、マスクを通過した光は、マスクの開口を通過した後は、それぞれの開口の大きさにあわせて所定の回折角を有して進行する。そのため、マスクにより形成されたパターンのそれぞれは、透過光の回折角分だけずれて形成されるという現象、すなわち、収差による位置ずれ現象が生じる。
【０００６】
そのため、マスクに形成された開口パターンを通過する光が、太いラインを通過する場合と細いラインを通過する場合とで回折角が異なることにより、本番パターンの太さと重ね合わせ検査マークのパターンの太さとに相違があれば、重ね合わせ検査マークのパターンと本番パターンとの収差による位置ずれ量にも相違が生じる。この収差による位置ずれ量の相違により、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとはそれぞれの重ね合わせのずれ量に差が生じる。これが収差による位置ずれ量の相違による影響である。
【０００７】
そこで、この収差による位置ずれ量の相違による影響を防止するため、図１２および図１３に示すような、ライン状の本番パターンの幅とライン状の重ね合わせ検査マークのパターンの幅とを同じにする重ね合わせ検査マークのパターンが用いられている。この場合、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２の幅は、２層目の本番パターン１０１の幅と同一の幅に形成されているため、それぞれの収差による位置ずれ量が同一になり、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２と２層目の本番パターン１０１とが、マスクに形成された開口パターンと相対的に同じ間隔を有して形成される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記図１２および図１３に示したような場合において、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２が形成されている１層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０５ｂの表面の高さと、２層目の本番パターン１０１が形成されている１層目の本番パターン１０５ａの表面の高さとが同一に形成されていたため、焦点深度の問題を考慮する必要がなかった。
【０００９】
しかしながら、図１４および図１５に示すように、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２が形成されている１層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０５ｂの表面の高さと、２層目の本番パターン１０１が形成されている１層目の重ね合せ検査マークのパターン１０５ａの表面の高さとが異なって形成されている場合、その高さの差を補うだけの焦点深度が確保できない、すなわち、焦点が合わず、精確に２層目の重ね合せ検査マークのパターン１０２が形成できないという問題が生じる。
【００１０】
通常の設計では、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２が形成されている１層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０５ｂの表面の高さと、２層目の本番パターン１０１が形成されている１層目の本番パターン１０５ａの表面の高さとの差は、最大でも上下それぞれ０．６μｍ程度である。そのため、焦点深度を１．２μｍ程度より大きく確保できるようにすれば、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２が形成されている１層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０５ｂの表面の高さと、２層目の本番パターン１０１が形成されている１層目の本番パターン１０５ａの表面の高さとの差がある場合にも、焦点が合った状態でパターン形成を行うことができる。
【００１１】
この焦点深度を大きくする方法として、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２の幅を、２層目の本番パターン１０１の幅より大きくすることが考えられる。この方法によれば、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２を形成するためのマスクの開口幅を、２層目の本番パターン１０１を形成するためのマスクの開口幅より大きくすることにより、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２を形成するためのマスクの開口を通過する光の回折角を小さくする。これにより、光の基板面に対して入射する角度がより垂直に近づき、焦点深度が大きくなる。
【００１２】
しかしながら、焦点深度を大きく確保するために、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２の幅を、２層目の本番パターン１０１の幅より大きくし過ぎると、上記収差による位置ずれ量の相違による影響が大きくなる。そのため、収差に起因する位置ずれ量の相違によるパターン形成時の形成誤差がある場合にも、重ね合せ検査測定時に、重ね合せ検査測定における許容測定誤差の範囲内で重ね合せ検査測定が行え、かつ、重ね合わせ検査マーク形成時に、焦点深度が十分確保できる状態で重ね合わせ検査マークのパターンが形成できるように、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン１０２の幅を、２層目の本番パターン１０１の幅より大きくしなければならない。
【００１３】
ここで、重ね合わせのずれ量の許容測定誤差について説明する。通常、0. 2μｍ〜１．０μｍ程度のライン状の本番パターンの場合、重ね合わせのずれ量の許容測定誤差の規格数値は６０ｎｍである。すなわち、全ての測定誤差を合わせて、６０ｎｍ以下にしなければならない。この測定誤差を生じさせるものとしては、露光装置に起因する測定誤差、ウェハに起因する測定誤差および光の収差に起因する位置ずれ量の相違によるパターン形成時の形成誤差が考えられる。この許容測定誤差６０ｎｍのうち、露光装置（ステッパ）のオフセット、回転および倍率に起因する測定誤差は２５ｎｍ程度であり、ウェハ成分に起因する測定誤差は、３０ｎｍ程度である。したがって、収差による位置ずれ量の相違によるパターン形成時の形成誤差は、５ｎｍ以下に押さえなければならない。
【００１４】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとが段差を有して形成される場合にも、許容測定誤差内で重ね合わせ測定が行える重ね合わせ検査マークを有する半導体装置を提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の本発明の重ね合わせ検査マークを備える半導体装置は、半導体装置の同一のリソグラフィ工程において形成される、重ね合わせ検査マークと本番パターンを備える半導体装置であって、本番パターンは、パターンの転写時に、収差に起因して、本番パターンの幅に基づいて第１位置ずれ量の位置ずれを生じるパターンを含み、重ね合わせ検査マークは、パターンの転写時に、収差に起因して、重ね合わせ検査マークの幅に基づいて第２位置ずれ量の位置ずれを生じるパターンを含み、重ね合わせ検査マークの幅および本番パターンの幅は、第１位置ずれ量と第２位置ずれ量との差が許容値以下になるように設定され、重ね合わせ検査マークの幅は、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンの高さが異なる場合に、焦点深度が確保されるように、本番パターンの幅よりも大きく設定されており、本番パターンの幅と重ね合わせ検査マークの幅との差は、０．０８５μｍ以上０．１μｍ以下である。
【００１６】
このような構造にすることにより、パターン転写時の収差に起因する、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとの位置ずれ量の相違を所定の値以下にすることができる。また、本番パターンと重ね合せ検査マークのパターンとの基板上の高低差を見込んだ焦点深度を確保することができる。そのため、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとが段差を有して形成される場合においても、重ね合わせ検査マーク形成時に、焦点深度を十分に確保した状態で重ね合わせ検査マークが形成できるため、精確な重ね合わせ検査マークが形成できる。また、収差による位置ずれ量の相違が許容形成誤差の範囲内で、重ね合せ検査マークを形成できるため、重ね合せ検査測定時に、許容測定誤差の範囲内で、重ね合わせ検査測定をすることができる。
【００１７】
請求項２に記載の本発明の重ね合せ検査マークを備える半導体装置は、請求項１に記載の重ね合せ検査マークを備える半導体装置において、本番パターンが、０．２μｍ〜１．０μｍの範囲の幅を有するライン状である。
【００１８】
通常、ラインサイズごとに収差による位置ずれ量は固有の値を示し、ライン状の重ね合せ検査マークのパターンの幅と、ライン状の本番パターンの幅とが決まれば、それぞれのパターンの収差による位置ずれ量の差が決まる。そこで、上記のように、ライン状の重ね合せ検査マークのパターンの幅と、ライン状の本番パターンの幅とが０．１μｍ以下の差であるような数値範囲に設定することにより、ライン状の本番パターンの幅が０．２μｍ〜１．０μｍの範囲で、ラインサイズと収差による位置ずれ量との関係から、収差による位置ずれ量の相違を許容形成誤差（５ｎｍ）以下にすることができる。
【００１９】
また、ラインサイズごとに焦点深度は固有の値を示し、ラインサイズが大きくなるにしたがって焦点深度は大きくなる。そこで、上記のように、ライン状の重ね合せ検査マークのパターンの幅を、ライン状の本番パターンの幅より０．０８５μｍ以上大きくなるように設定することにより、ラインサイズと焦点深度との関係から、本番パターンの表面と重ね合わせ検査マークのパターンの表面との間に段差（最大でも上下に０．０６μｍずつ）がある場合にも、焦点深度（１．２μｍ）を十分に確保することが可能となる。
【００２０】
請求項３に記載の本発明の重ね合わせ検査マークを備える半導体装置は、請求項１に記載の重ね合せ検査マークを備える半導体装置において、本番パターンは、開口幅が０．３μｍ〜１．０μｍの範囲の開口幅を有するホール状であり、重ね合せ検査マークのパターンは、ホール状の本番パターンの開口幅より０．１μｍ以下の範囲で大きい開口幅を有するホール状である。
【００２１】
通常、ホールサイズごとに収差による位置ずれ量は固有の値を示し、ホール状の重ね合せ検査マークのパターンの開口幅と、ホール状の本番パターンの開口幅とが決まれば、それぞれのパターンの収差による位置ずれ量の差が決まる。そこで、上記のように、ホール状の重ね合わせ検査マークの開口幅とホール状の本番パターンの開口幅との差を０．１μｍ以下の数値範囲に設定することにより、ホール状の本番パターンの開口幅が０．３μｍ〜１．０μｍの範囲で、ホールサイズと収差の位置ずれ量との関係から、収差による位置ずれ量の相違を許容形成誤差（５ｎｍ）以下にすることができる。
【００２２】
また、ホールサイズごとに焦点深度は固有の値を示し、ホールサイズが大きくなるにしたがって焦点深度は大きくなる。そこで、上記のように、ホール状の重ね合せ検査マークのパターンの開口幅をホール状の本番パターンの開口幅より大きく設定することにより、ホールサイズと焦点深度との関係から、ホール状の本番パターンの表面と重ね合わせ検査マークのパターンの表面との間に段差（最大でも上下に０．０６μｍずつ）がある場合にも、焦点深度（１．２μｍ）が十分にとれるようにすることが可能となる。
【００２３】
なお、開口幅とは、ホールパターンが円形の場合は、円の直径であり、ホールパターンが四角形の場合は、１辺の長さである。
【００２４】
前述の許容値は５ｎｍ以下であることが望ましい。また、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとは、１.２μｍ以下の高さの差を有していることが望ましい。
【００２５】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１の重ね合わせ検査マークを図１〜図５を用いて説明する。本実施の形態の重ね合わせ検査マークは、図１および図２に示すように、半導体基板５上の、ライン状の本番パターン１を形成する回路領域１１の横に配置されたスクライブライン領域１２に、４角形の４辺をライン状にして配置されている。
【００２６】
また、１層目の本番パターン５ａと１層目の重ね合わせ検査マークのパターン５ｂとは、スクライブライン領域１２の溝１０により段差を隔てて設けられている。また、２層目の本番パターン１は、１層目の本番パターン５ａの上に設けられ、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２は、１層目の重ね合せ検査マークのパターン５ｂの上に設けられている。
【００２７】
この２層目の本番パターン１の幅は０．２μｍ、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の幅は０．２９μｍであり、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の幅は、２層目の本番パターン１の幅よりも０．０９μｍだけ大きくなっている。また、２層目の本番パターン１が設けられている１層目のパターン５ａの表面と、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２が設けられている１層目の重ね合わせ検査マークのパターン５ｂの表面とは、その高さが０．６μｍだけ異なっている。
【００２８】
この場合、図３に示している、収差による位置ずれ量とラインサイズとの関係から分かるように、２層目の本番パターン１と２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２とは、パターン転写後における収差による位置ずれ量が、それぞれ約１５ｎｍおよび約１１ｎｍであり、その差は、約４ｎｍである。したがって、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の幅を、２層目の本番パターン１の幅よりも０．０９μｍだけ大きくすることにより、収差によるずれ量の相違を許容形成誤差（５ｎｍ）以下にできることが分かる。
【００２９】
このとき、一般に、図３に示すように、２層目の本番パターン１の幅が０．２〜１．０μｍの範囲でどうのような値をとっても、２層目の本番パターン１の幅と、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の幅との差が、０．１μｍ以下である場合は、収差によるずれ量の相違が許容形成誤差（５ｎｍ）以下となる。
【００３０】
また、図４に示すように、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の幅は０．２９μｍであるため、焦点深度は１．３μｍ程度となる。その結果、２層目の本番パターン１が設けられている１層目の本番パターン５ａの表面と、重ね合わせ検査マークの２層目のパターン２が設けられている１層目の重ね合わせ検査マークのパターン５ｂの表面とは、その高さが０．６μｍだけ異なっていても、必要な焦点深度（１．２μｍ）を確保することが可能となるため、パターン転写時に、それぞれのパターンは、精確に形成される。
【００３１】
このとき、通常、必要とされる焦点深度（１．２μｍ）を確保することが可能となる、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の幅は、図４に示すように、０．２８５μｍ以上である。
【００３２】
したがって、重ね合わせ検査マークと本番パターンとの関係を上記のような数値範囲にすることにより、２層目の本番パターンが０．２μｍ〜１．０μｍの範囲である場合に、２層目の本番パターン１と重ね合せ検査マーク２との幅の差を０．１μｍ以下にすれば、重ね合わせ検査マークと本番パターンとを形成するときの、収差による位置ずれ量の相違を許容形成誤差（５ｎｍ）以下にすることができる。また、２層目の重ね合せ検査マーク２の幅を、２層目の本番パターン１よりも０．０８５μｍ以上大きくすれば、焦点深度（１．２μｍ）を確保することが可能となる。その結果、重ね合せ検査マークと本番パターンとが通常の段差（最大でも上下０．６μｍずつ）を有していても、焦点深度を確保することが可能となるとともに、パターン転写後に収差による位置ずれ量の相違を生じても、許容できる範囲の形成誤差の範囲の重ね合わせ検査マークとなる。
【００３３】
なお、図５に示すように、複数の２層目のライン状の本番パターン１の太さがそれぞれ異なる場合は、それぞれの２層目のライン状の本番パターン１のうち最も厳しい精度が要求される２層目のライン状の本番パターン１の幅に対して０．０８５μｍ〜０．１μｍの範囲で、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の幅を大きくすれば、他のライン状の本番パターンについても、許容できる範囲の測定誤差で、重ね合わせ測定をすることができる。
【００３４】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２の重ね合せ検査マークを図６〜図９を用いて説明する。本実施の形態の重ね合せ検査マークは、図６および図７に示すように、実施の形態１のライン状の重ね合せ検査マークを、ホール状の本番パターンに合わせて、所定の間隔を有するホール状の重ね合わせ検査マークで形成した場合である。この２層目の本番パターン１の径は０．３μｍ、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の径は０．３５μｍであり、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の径は、２層目の本番パターン１の径よりも０．０５μｍだけ大きくなっている。
【００３５】
この場合、図８に示している、収差による位置ずれ量とホールサイズとの関係から分かるように、２層目の本番パターン１と２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２とは、パターン転写時の収差による位置ずれ量が、それぞれ約１０ｎｍおよび約６ｎｍであり、その差は、約４ｎｍである。したがって、収差による位置ずれ量の相違は、許容形成誤差（５ｎｍ）以下となる。その結果、収差による位置ずれ量の相違は、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の開口幅が、２層目の本番パターン１の幅よりも０．０５μｍだけ大きくなっていても、許容形成誤差の範囲となる。
【００３６】
このとき、一般に、収差による位置ずれ量の差が５ｎｍ以下となるのは、図８に示すように、２層目の本番パターン１の開口幅が０．３〜１．０μｍの範囲でどうのような値をとっても、２層目の本番パターン１の開口幅と、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の開口幅との差が、０．１μｍ以下である場合に成り立つ。
【００３７】
また、図９に示すように、重ね合わせ検査マークの２層目のパターン２の径は０．３５μｍであるため、焦点深度は１．６μｍ程度となる。このとき、必要となる焦点深度（１．２μｍ）とることが可能となる、２層目の重ね合わせ検査マークのパターン２の径は、０．２８５μｍ以上である。
【００３８】
したがって、２層目の重ね合せ検査マークのパターン２の径を、２層目の本番パターン１の径より０．１μｍ以下の範囲で大きくすれば、重ね合せ検査マークと本番パターンとを形成した後の収差によるずれ量の相違を許容形成誤差（５ｎｍ）以下にすることができる。
【００３９】
また、ホール状のパターンの焦点深度（１．２μｍ）を確保するためには、ホール状のパターンの径が０．２８５μｍ以上あればよいため、２層目の重ね合せ検査マークのパターン２の径を、２層目の本番パターン１の径（０．３μｍ）より大きくすれば、必要焦点深度（１．２μｍ）を確保することが可能となる。その結果、通常の段差（０．６μｍ）を有していても、焦点深度を確保することが可能な状態で重ね検査マークのパターンを形成でき、また、重ね合わせ検査マークの形成誤差を、収差による位置ずれ量の相違が生じた場合にも、許容形成誤差の範囲となる。
【００４０】
また、複数のホール状のパターンの径の大きさがそれぞれ異なる場合は、それぞれのホール状のパターンのうち最も厳しい精度が要求されるホール状のパターンに対して０．１μｍ以下の範囲で重ね合わせ検査マークの幅を大きくすれば、他のホール状のパターンについても、許容できる範囲の重ね合せ測定誤差となる、重ね合わせ検査マークを形成することができる。
【００４１】
なお、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００４２】
【発明の効果】
請求項１に記載の本発明の重ね合わせ検査マークを備える半導体装置によれば、収差に起因する、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとのパターン転写時の位置ずれ量の相違を所定の値以下に抑制することができる。また、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとが段差を有して設けられる場合にも焦点深度を確保することができる。
【００４３】
請求項２に記載の本発明の重ね合わせ検査マークを備える半導体装置によれば、０．２μｍ〜１．０μｍの幅のラインパターンに応じて形成される重ね合わせ検査マークにおいて、収差による位置ずれ量の相違を許容形成誤差（５ｎｍ）以下にすることができ、かつ、本番パターンと重ね合わせ検査マークとに段差を有して形成される場合にも、焦点深度（１．２μｍ）が十分に確保される。
【００４４】
請求項３に記載の本発明の重ね合わせ検査マークを備える半導体装置によれば、０．３μｍ〜１．０μｍの開口幅のホールパターンに応じて形成されるホールパターンの重ね合わせ検査マークにおいて、収差による位置ずれ量の相違を許容形成誤差（５ｎｍ）以下にすることができ、かつ、本番パターンと重ね合わせ検査マークとが段差を有して形成される場合にも、焦点深度（１．２μｍ）が十分に確保される。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施の形態１の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとを示す平面図である。
【図２】 実施の形態１の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとを示す断面図である。
【図３】 収差による位置ずれ量とラインサイズとの関係を示すグラフを表す図である。
【図４】 焦点深度とラインサイズとの関係を示すグラフを表す図である。
【図５】 実施の形態１の他の例の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとを示す平面図である。
【図６】 実施の形態２の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとを示す平面図である。
【図７】 実施の形態２の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとを示す断面図である。
【図８】 収差による位置ずれ量の相違とホールサイズとの関係を示すグラフを表す図である。
【図９】 焦点深度とホールサイズとの関係を示すグラフを表す図である。
【図１０】 従来の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとのライン幅が異なる場合を示す平面図である。
【図１１】 従来の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとのライン幅が異なる場合を示す断面図である。
【図１２】 従来の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとのライン幅が同一の場合を示す平面図である。
【図１３】 従来の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとのライン幅が同一の場合を示す断面図である。
【図１４】 従来の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとが、同一の幅で、形成された位置の高さが異なる場合を示す平面図である。
【図１５】 従来の、本番パターンと重ね合わせ検査マークのパターンとが、同一の幅で、形成された位置の高さが異なる場合を示す断面図である。
【符号の説明】
１ ２層目の本番パターン、２ ２層目の重ね合わせ検査マークのパターン、５ 半導体基板、５ａ １層目の本番パターン、５ｂ １層目の重ね合わせ検査マークのパターン、１０ 溝。
Claims (5)
- 半導体装置の同一のリソグラフィ工程において形成される、重ね合わせ検査マークと本番パターンを備える半導体装置であって、
前記本番パターンは、パターンの転写時に、収差に起因して、前記本番パターンの幅に基づいて第１位置ずれ量の位置ずれを生じるパターンを含み、
前記重ね合わせ検査マークは、パターンの転写時に、収差に起因して、前記重ね合わせ検査マークの幅に基づいて第２位置ずれ量の位置ずれを生じるパターンを含み、
前記重ね合わせ検査マークの幅および前記本番パターンの幅は、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量との差が許容値以下になるように設定され、
前記重ね合わせ検査マークの幅は、
前記本番パターンと前記重ね合わせ検査マークのパターンの高さが異なる場合に、焦点深度が確保されるように、前記本番パターンの幅よりも大きく設定されており、前記本番パターンの幅と前記重ね合わせ検査マークの幅との差は、０．０８５μｍ以上０．１μｍ以下である、重ね合わせ検査マークを備える半導体装置。 - 前記本番パターンが、０．２μｍ〜１．０μｍの範囲の幅を有するライン状である、請求項１に記載の重ね合わせ検査マークを備える半導体装置。
- 前記本番パターンが、０．３μｍ〜１．０μｍの範囲の開口幅を有するホール状であり、
前記重ね合せ検査マークのパターンが、前記ホール状の本番パターンの開口幅より０．１μｍ以下の範囲で大きい開口幅を有するホール状である、請求項１に記載の重ね合わせ検査マークを備える半導体装置。 - 前記許容値が５ｎｍ以下である、請求項１に記載の重ね合わせ検査マークを備える半導体装置。
- 前記本番パターンと前記重ね合わせ検査マークのパターンとは、１.２μｍ以下の高さの差を有している、請求項１に記載の重ね合わせ検査マークを備える半導体装置。
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