JP4104627B2 - プラズマ発生電極及びプラズマ発生装置、並びに排気ガス浄化装置 - Google Patents
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Description
[図2]図2は、本発明(第一の発明)のプラズマ発生電極の一の実施の形態における、一方の電極を構成するセラミック体と導電膜との一例を模式的に示す平面図である。
[図3]図3は、本発明(第一の発明)のプラズマ発生電極の他の実施の形態を模式的に示す斜視図である。
[図4]図4は、本発明(第一の発明)のプラズマ発生電極の一の実施の形態における、一方の電極を構成するセラミック体と導電膜との他の例を模式的に示す平面図である。
[図5]図5は、本発明(第一の発明)のプラズマ発生電極の一の実施の形態における、一方の電極を構成するセラミック体と導電膜との他の例を模式的に示す平面図である。
[図6]図6は、本発明(第一の発明)のプラズマ発生電極の一の実施の形態における、一方の電極を構成するセラミック体と導電膜との他の例を模式的に示す平面図である。
[図7]図7は、本発明(第一の発明)のプラズマ発生電極の一の実施の形態における、一方の電極を構成するセラミック体と導電膜との他の例を模式的に示す平面図である。
[図8]図8は、本発明(第一の発明)のプラズマ発生電極の一の実施の形態における、一方の電極を構成するセラミック体と導電膜との他の例を模式的に示す平面図である。
[図9]図9は、本発明(第二の発明)のプラズマ発生電極の一の実施の形態を模式的に示す斜視図である。
[図10]図10は、本発明(第二の発明)のプラズマ発生電極の一の実施の形態における、一方の電極を構成するセラミック体と導電膜との一例を模式的に示す平面図である。
[図11(a)]図11(a)は、本発明(第三の発明)のプラズマ発生装置の一の実施の形態を被処理流体の流れ方向を含む平面で切断した断面図である。
[図11(b)]図11(b)は、図11(a)のA−A線における断面図である。
[図12]図12は、本発明(第四の発明)の排気ガス浄化装置の一の実施の形態を模式的に示す説明図である。
各電極を構成する導電膜が、第一の導電膜しか形成されていない電極を用いた以外は、実施例1のプラズマ発生装置と同様に構成されたプラズマ発生装置に、パルス数が100回/秒となるように8kVのパルス電流を通電して同様の測定を行った。測定結果を表1に示す。
各電極を構成する導電膜が、第二の導電膜しか形成されていない電極を用いた以外は、実施例1のプラズマ発生装置と同様に構成されたプラズマ発生装置に、パルス数が1000回/秒となるように4kVのパルス電流を通電して同様の測定を行った。測定結果を表1に示す。
比較例1のプラズマ発生装置の下流側に実施例4に用いた触媒と同様の触媒を配置して排気ガス浄化装置を製造し、そのNOx浄化性能を評価した。プラズマ発生条件及びガス条件は、比較例1と同じである。
Claims (8)
- 対向配置された少なくとも一対の電極を備え、これらの間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極であって、
前記一対の電極のうちの少なくとも一方が、誘電体となる板状のセラミック体と、前記セラミック体の内部に互いに重なることなく配設された、その膜厚方向に貫通した前記膜厚方向に垂直な方向の平面で切断した断面の形状が一部に円弧を含む形状の貫通孔が所定の配列パターンとなるように複数形成された、複数の導電膜とを有し、少なくとも一の前記導電膜に形成された前記貫通孔の配列パターンが、他の前記導電膜に形成された前記貫通孔の配列パターンとは異なるように構成され、前記一対の電極間に電圧を印加することにより、前記導電膜の異なる前記貫通孔の配列パターンによって、異なる状態のプラズマを同時に発生させることが可能なプラズマ発生電極。 - 対向配置された少なくとも一対の電極を備え、これらの間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極であって、
前記一対の電極のうちの少なくとも一方が、誘電体となる板状のセラミック体と、前記セラミック体の内部に配設された、その膜厚方向に貫通した前記膜厚方向に垂直な方向の平面で切断した断面の形状が一部に円弧を含む形状の貫通孔が二以上の異なる配列パターンとなるように複数形成された、少なくとも一の導電膜とを有し、前記一対の電極間に電圧を印加することにより、前記導電膜の異なる前記貫通孔の配列パターンによって、異なる状態のプラズマを同時に発生させることが可能なプラズマ発生電極。 - 前記貫通孔の前記膜厚方向に垂直な方向の平面で切断した断面の形状が円形である請求項1又は2に記載のプラズマ発生電極。
- 少なくとも一の前記導電膜が、他の前記導電膜とは異なる金属を主成分とするものである請求項1〜3のいずれかに記載のプラズマ発生電極。
- 前記導電膜の主成分が、タングステン、モリブデン、マンガン、クロム、チタン、ジルコニウム、ニッケル、鉄、銀、銅、白金、及びパラジウムからなる群から選ばれる少なくとも一種の金属である請求項1〜4のいずれかに記載のプラズマ発生電極。
- 前記導電膜が、前記セラミック体にスクリーン印刷、カレンダーロール、スプレー、化学蒸着、又は物理蒸着されて配設されたものである請求項1〜5のいずれかに記載のプラズマ発生電極。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のプラズマ発生電極を備えたプラズマ発生装置。
- 請求項7に記載のプラズマ発生装置と、触媒とを備え、前記プラズマ発生装置と前記触媒とが、内燃機関の排気系の内部に配設された排気ガス浄化装置。
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