JP4104382B2 - 被検査基板の位置固定機構 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インサーキットテスタなどの基板検査装置を用いて平面形状が略正方形を呈する被検査基板をそのサイズの別に対応させながら検査する際に好適な被検査基板の位置固定機構に関する技術である。
【０００２】
【従来の技術】
図２は、インサーキットテスタなどの基板検査装置を用いて平面形状が略正方形を呈する被検査基板をそのサイズの別に対応させながら検査する際に従来から用いられている被検査基板の位置固定機構の一例を示す説明図であり、その（ａ）は平面図を、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線矢視方向での縦断面図をそれぞれ示す。
【０００３】
同図によれば、被検査基板の位置固定機構１は、略中央領域に方形を呈する空間部３が開設された基台部２と、空間部３の一角側に設けられたガイド溝部５を介してその対角線方向での進退を自在に配設された基板保持手段６とで構成されている。
【０００４】
この場合、基板保持手段６は、進退制御が自在に配設されたエアシリンダ７と、該エアシリンダ７の先端部に付設されて被検査基板Ｂのコーナー部Ｃと当接しながらこれを下支えする支持爪部８とを備えて形成されている。
【０００５】
このため、空間部３の周縁部に設けられている基板載置部４を介して載置される被検査基板Ｂは、そのコーナー部Ｃに支持爪部８が押し当てられて移動させられ、図２（ａ）に示すようにその不動位置にて定置させることができ、その状態で図２（ｂ）に示すように例えば剣山状となって配設されている複数本のコンタクトプローブＰを上下方向から被測定箇所に接触させることができるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来手法による場合、被検査基板Ｂは、進退する基板保持手段６によりコーナー部Ｃが保持されるものであることから、その進退ストロークの程度如何によりサイズを異にする被検査基板Ｂに柔軟に対応することができなくなる不都合があった。
【０００７】
また、上記従来手法による場合、被検査基板Ｂは、常に基板保持手段６とは反対側に位置する方向へと押し付けられて定置されることから、個々の被検査基板Ｂの中心位置もサイズが異なるごとに位置ずれを起こし、そのたびに位置調整するための段取りが別に必要になる不具合もあった。
【０００８】
本発明は、従来手法にみられた上記課題に鑑み、平面形状が略正方形を呈する被検査基板をそのサイズの別に柔軟に対応させ、かつ、その中心位置を常に一定にして定置することができる被検査基板の位置固定機構を提供することに目的がある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、適宜領域に略方形を呈する空間部が開設された基台部と、前記空間部にあって少なくともいずれか一方の対向二隅が位置する計２ヶ所に各別に配設されて該空間部内に配置された平面形状が略正方形を呈する被検査基板の前記対向二隅と対面する位置にあるコーナー部を各別に保持する各基板保持手段とで構成され、これらの各基板保持手段は、被検査基板の前記コーナー部と当接しながら支持する支持爪部をその先端部に備えて前記空間部の対角線方向での進退を自在に配設される可動支持部と、該可動支持部の進退方向での一側縁側に付設されたワイヤー固定部とを少なくとも備え、前記基台部の空間部の前記対向二隅近傍に位置する前記被検査基板の非載置面のそれぞれには、対応関係にある前記ワイヤー固定部の前端方向に前端側プーリーが、同後端方向に共用プーリーが、前記可動支持部の後方に後端側プーリーがそれぞれ回転自在に軸支された状態で各基板保持手段の別に配設され、各基板保持手段の別に用意される各ワイヤーは、それぞれの一端部が対応する位置関係にあるワイヤー固定部の前端側に、それぞれの他端部が前記前端側プーリーと前記共用プーリーと前記後端側プーリーとを含む経由プーリーを介して前記可動支持部の進退方向での他側縁側に位置して隣り合う他の基板保持手段のワイヤー固定部の後端側にそれぞれ連結され、各ワイヤーに前記他端部方向への強制引張力を付勢することにより、常態において各可動支持部が相互に最接近する位置関係のもとで個々の基板保持手段に対し連動しての同時前進力を付与したことに構成上の特徴がある。
【００１０】
この場合、各ワイヤーの前記他端部方向への強制引張力は、該他端部寄りに位置する引張りバネの基端部を前記基台部側に固定し、同先端部をワイヤーの前記一端部寄りに連結固定することで付勢させるのが好ましい。また、個々の基板保持手段のうちのひとつは、ワイヤーの前記他端部方向への強制引張力により付勢される前進力に抗しての後退制御を自在とした自動駆動手段と連結させておくことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明に係る被検査基板の位置固定機構の一例についての概要を示す平面図であり、図２に示す従来例と同様にインサーキットテスタなどの基板検査装置を用いて平面形状が略正方形を呈する被検査基板Ｂをそのサイズの別に対応させながら検査する際に用いられる。
【００１２】
すなわち、その全体は、中央領域を含む適宜領域に正方形を含む略方形を呈する空間部１２が開設された基台部１１と、空間部１２の各対向二隅が位置する計４カ所に各別に配設されて該空間部１２内に配置された平面形状が略正方形を呈する被検査基板Ｂの各コーナー部Ｃを各別に保持する各基板保持手段２１とで構成されている。
【００１３】
このうち、各基板保持手段２１は、被検査基板Ｂのコーナー部Ｃと当接しながら下支えする支持爪部２４をその先端部に備えて空間部１２の各対角線方向での進退を自在に配設される可動支持部２２と、該可動支持部２２の進退方向での一側縁２２ａ側に付設されたワイヤー固定部２５とを少なくとも備えて形成されている。
【００１４】
これをさらに詳しく説明すれば、各基板保持手段２１を構成している可動支持部２２のそれぞれは、基台部１１上に固定配置されているガイド部２３にその長さ方向に沿っての進退を自在に支持されている。
【００１５】
また、可動支持部２２の先端部に付設される適宜の絶縁材からなる支持爪部２４は、被検査基板Ｂのコーナー部Ｃを下支えする突片部２４ａと、該突片部２４ａの奥端方向にてコーナー部Ｃの外端面と当接する略９０度の内角を有する当接支持部２４ｂとで形成されている。
【００１６】
さらに、ワイヤー固定部２５は、可動支持部２２の一側縁２２ａ側に相互を離間させて対に突設した前端支腕部２６と後端支腕部２７とで形成されている。なお、これら前端支腕部２６と後端支腕部２７とには、一側縁２２ａの長さ方向に沿わせたワイヤーガイド溝２６ａ，２７ａがそれぞれ設けられている。
【００１７】
一方、基台部１１の空間部１２の各対向二隅近傍に位置する計４ヶ所の被検査基板Ｂの非載置面のそれぞれには、対応関係にあるワイヤー固定部２５の前端支腕部２６の近傍位置に前端側プーリー１３が、ワイヤー固定部２５の後端支腕部２７の後方位置に共用プーリー１４が、可動支持部２２を支持するガイド部２３の後端近傍位置に後端側プーリー１５がそれぞれ回転自在に軸支された状態で基板保持手段２１の別に配設されている。
【００１８】
しかも、基板保持手段２１の別に用意される各ワイヤー３１は、その一端部３２が対応する位置関係にあるワイヤー固定部２５の前端側に位置する前端支腕部２６に、その他端部３３が可動支持部２２の進退方向での他側縁２２ｂ側に位置して隣り合う他の基板保持手段２１のワイヤー固定部２５の後端側に位置する後端支腕部２７にそれぞれ連結されている。つまり、各ワイヤー３１は、隣り合う一方の基板保持手段２１の側にその一端部３２が、他方の基板保持手段２１の側にその他端部３３がそれぞれ連結された配置関係で架け渡されることになる。
【００１９】
これを図に即してより詳しく説明すれば、それぞれのワイヤー３１は、その一端部３２が一端側掛止体４１としての鋼球４２に連結されており、該鋼球４２を対応するワイヤー固定部２５の前端支腕部２６と後端支腕部２７との間の空隙部２５ａに配置させた上でワイヤーガイド溝２６ａを介してまず引き出される。
【００２０】
鋼球４２を前端支腕部２６に掛止させた状態のもとで引き出されたワイヤー３１は、近傍位置にある前端側プーリー１３と共用プーリー１４と後端側プーリー１５と、他方の基板保持手段２１側に位置する共用プーリー１４とを経由させることによりさらに引き出される。
【００２１】
このように他方の基板保持手段２１側に位置する共用プーリー１４を経由させたワイヤー３１は、近傍に位置するワイヤー固定部２５の後端支腕部２７のワイヤーガイド溝２７ａに案内させてその他端部３３を前端支腕部２８との間の空隙部２５ａに配置した上で他端側掛止体４３としての鋼球４４に連結して後端支腕部２７に掛止させる。
【００２２】
これにより、隣り合う一方の基板保持手段２１の側にその一端部３２が、他方の基板保持手段２１の側にその他端部３３がそれぞれ連結された配置関係でそれぞれのワイヤー３１が各別に架け渡されることになる。なお、この場合における各基板保持手段２１は、それぞれの可動支持部２２が備える支持爪部２４が相互に最も接近させた位置関係のもとでワイヤー３１が各別に架け渡される。
【００２３】
しかも、このような配置関係で架け渡された各ワイヤー３１は、一方の基板保持手段２１の近傍に位置する後端側プーリー１５と他方の基板保持手段２１の近傍に位置する共用プーリー１４との間の適宜の部位に配置された引張りバネ３５を備えている。
【００２４】
この場合、それぞれの引張りバネ３５は、対応するワイヤー３１を挿通させた状態で配置され、該ワイヤー３１の他端部３３寄りに位置する基端部３６が備えるフック片３６ａを基台部側１１に突設された掛止ピン１７に掛止させて固定され、該ワイヤー３１の一端部３２寄りに位置する先端部３７内にワイヤー３１を挿通させてこれに一体固着させた掛止体４６としての鋼球４７が抜脱困難に抱持されてワイヤー３１の側に連結されている。
【００２５】
このため、不使用時における各基板保持手段２１は、引張りバネ３５によりその他端部３３方向への強制引張力が付勢されている各ワイヤー３１を介することにより、相互に連動する関係となって常に同時前進力、つまり、それぞれの可動支持部２２が備える支持爪部２４が相互に最接近した位置関係を維持しながら静止することになる。
【００２６】
また、個々の基板保持手段２１のうちのひとつは、ワイヤー３１の他端部３３方向への強制引張力により付勢される前進力に抗して制御された強制後退をさせることができる図示しない自動駆動手段と連結させておくのが望ましい。
【００２７】
具体的には、例えば図１において左側上方に位置する基板保持手段２１を構成している可動支持部２２の他側縁２２ｂ側に基台部１１上に固定配置されているガイド部３０に案内される翼片部２８を設け、該翼片部２８に突設した駆動ピン２９にアクチュエータなどからなる図示しない自動駆動手段を連結しておくことができる。こうすることにより、各支持爪部２４は、連動して相互の距離を自動的により離間させることができ、したがって、サイズの大きな被測定基板Ｂにも柔軟に対応させてやることができる。
【００２８】
次に、本発明の作用・効果を説明すれば、その不使用時には、各基板保持手段２１は、それぞれの可動支持部２２が備える支持爪部２４が相互に最接近した位置関係のもとで静止させておくことができる。
【００２９】
略正方形の平面形状を呈する被測定基板Ｂを測定する際には、そのサイズに適合させるように例えば図示しない自動駆動手段を駆動させることにより、ひとつの基板保持手段２１の可動支持部２２に対し、ワイヤー３１を介して付勢されている前進力に抗する力を与えて強制的に後退させることができる。
【００３０】
このようにして可動支持部２２が強制的に後退させられるとワイヤー固定部２５も同時に後退するので、その前端支腕部２６とその近傍に位置する前端側プーリー１３との間に位置するワイヤー３１の長さはそれだけ長くなる。
【００３１】
つまり、この場合におけるワイヤー３１は、その一端部３２方向に向かって強制的に引っ張られることになり、それに伴って引張りバネ３５も引っ張られて伸張する。
【００３２】
このように駆動源側のワイヤー３１が一端部３２方向に向かって強制的に引っ張られると、その他端部３３は、他端掛止体４３である鋼球４４を介して掛止された隣り合う他方の基板保持手段２１の可動支持部２２を引っ張り、これを同じストロークで後退させる。
【００３３】
このように隣り合う基板保持手段２１，２１相互は、共通のワイヤー３１を介して連動される結果、各可動支持部２２は、同じストロークのもとでそのすべてを同時に後退させることができる。
【００３４】
かくして、それぞれの可動支持部２２が備える支持爪部２４を今回測定分の被測定基板Ｂのサイズに適合する位置にまで後退させた後は、個々の支持爪部２４の突片部２４ａ上に被測定基板Ｂのコーナー部Ｃを載置させた上で、自動駆動手段の駆動を解除する。
【００３５】
自動駆動手段の駆動を解除することにより、ワイヤー３１を介して付勢されている前進力も回復してそれぞれの可動支持部２２を自動的に前進させ、個々の支持爪部２４の当接支持部２４ｂが対応するコーナー部Ｃと当接するに至り、被測定基板Ｂが確実に位置固定されることになる。
【００３６】
このようにして位置固定された被測定基板Ｂに対しては、図２（ｂ）と同様にしてプロービングされ、その電気的な特性の測定検査が円滑に行われることになる。なお、検査を終えた被測定基板Ｂは、同様な手順を踏むことによりこれを取り出すことができる。
【００３７】
以上は、本発明の実施形態を図示例に即して説明したものであり、本発明の技術的範囲をなんら制限するものではない。例えば、ワイヤー固定部２５へのワイヤー３１の連結も図示例以外の適宜の固着手段により行うことができる。 また、引張りバネ３５の配置構造も、図示例に限定されることなく、要はワイヤー３１の他端部３３方向への強制引張力を付与し得るものであれば適宜採用することができる。さらに、どれかひとつの基板保持手段２１を強制的に動かす駆動力も、機械力以外に人力によって付与することができるようにしてもよい。
【００３８】
また、図示例によれば、基板保持手段２１は、基台部１１の空間部１２の各対向二隅が位置する計４カ所に各別に配設されているが、必要により基台部１１の空間部１２のいずれか一方の対向二隅が位置する計２ヶ所に各別に配設するものであってもよい。その場合、各ワイヤー３１は、前端側プーリー１３と共用プーリー１４と後端側プーリー１５とのほか、図示しない他の経由プーリーも適宜増設されて、一方の基板保持手段側と他方の基板保持手段との間に架け渡されることになる。
【００３９】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、進退する各基板保持手段により対応するコーナー部を各別に保持して被検査基板を確実に定置することができるので、サイズを異にする被検査基板であっても柔軟に対応させながら位置固定して測定作業を遂行させることができる。
【００４０】
また、定置される被検査基板は、サイズを異にしても常にその中心位置は一定となって位置固定させることができるので、測定に先立つ位置調整のための段取りを不要にして作業効率を高めてやることができる。
【００４１】
さらに、各基板保持手段は、ワイヤーを介して連動する関係にあるので、どれかひとつを強制的に動かすことによりそのすべてを同じストロークのもとで移動させることができ、駆動システムの簡素化に伴う全体コストの低減化にも有効に寄与させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る被検査基板の位置固定機構の一例についての概要を示す平面図。
【図２】 従来からある被検査基板の位置固定機構の一例を示す説明図であり、その（ａ）は平面図を、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線矢視方向での縦断面図をそれぞれ示す。
【符号の説明】
１１ 基台部
１２ 空間部
１３ 前端側プーリー
１４ 共用プーリー
１５ 後端側プーリー
１７ 掛止ピン
２１ 基板保持手段
２２ 可動支持部
２２ａ 一側縁
２２ｂ 他側縁
２３ ガイド部
２４ 支持爪部
２４ａ 突片部
２４ｂ 当接支持部
２５ ワイヤー固定部
２５ａ 空隙部
２６ 前端支腕部
２６ａ ワイヤーガイド溝
２７ 後端支腕部
２７ａ ワイヤーガイド溝
２８ 翼片部
２９ 駆動ピン
３０ ガイド部
３１ ワイヤー
３２ 一端部
３３ 他端部
３５ 引張りバネ
３６ 基端部
３６ａ フック片
３７ 先端部
４１ 一端側掛止体
４３ 鋼球
４３ 他端側掛止体
４４ 鋼球
４６ 掛止体
４７ 鋼球
Ｂ 被検査基板
Ｃ コーナー部
【発明の属する技術分野】
本発明は、インサーキットテスタなどの基板検査装置を用いて平面形状が略正方形を呈する被検査基板をそのサイズの別に対応させながら検査する際に好適な被検査基板の位置固定機構に関する技術である。
【０００２】
【従来の技術】
図２は、インサーキットテスタなどの基板検査装置を用いて平面形状が略正方形を呈する被検査基板をそのサイズの別に対応させながら検査する際に従来から用いられている被検査基板の位置固定機構の一例を示す説明図であり、その（ａ）は平面図を、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線矢視方向での縦断面図をそれぞれ示す。
【０００３】
同図によれば、被検査基板の位置固定機構１は、略中央領域に方形を呈する空間部３が開設された基台部２と、空間部３の一角側に設けられたガイド溝部５を介してその対角線方向での進退を自在に配設された基板保持手段６とで構成されている。
【０００４】
この場合、基板保持手段６は、進退制御が自在に配設されたエアシリンダ７と、該エアシリンダ７の先端部に付設されて被検査基板Ｂのコーナー部Ｃと当接しながらこれを下支えする支持爪部８とを備えて形成されている。
【０００５】
このため、空間部３の周縁部に設けられている基板載置部４を介して載置される被検査基板Ｂは、そのコーナー部Ｃに支持爪部８が押し当てられて移動させられ、図２（ａ）に示すようにその不動位置にて定置させることができ、その状態で図２（ｂ）に示すように例えば剣山状となって配設されている複数本のコンタクトプローブＰを上下方向から被測定箇所に接触させることができるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来手法による場合、被検査基板Ｂは、進退する基板保持手段６によりコーナー部Ｃが保持されるものであることから、その進退ストロークの程度如何によりサイズを異にする被検査基板Ｂに柔軟に対応することができなくなる不都合があった。
【０００７】
また、上記従来手法による場合、被検査基板Ｂは、常に基板保持手段６とは反対側に位置する方向へと押し付けられて定置されることから、個々の被検査基板Ｂの中心位置もサイズが異なるごとに位置ずれを起こし、そのたびに位置調整するための段取りが別に必要になる不具合もあった。
【０００８】
本発明は、従来手法にみられた上記課題に鑑み、平面形状が略正方形を呈する被検査基板をそのサイズの別に柔軟に対応させ、かつ、その中心位置を常に一定にして定置することができる被検査基板の位置固定機構を提供することに目的がある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、適宜領域に略方形を呈する空間部が開設された基台部と、前記空間部にあって少なくともいずれか一方の対向二隅が位置する計２ヶ所に各別に配設されて該空間部内に配置された平面形状が略正方形を呈する被検査基板の前記対向二隅と対面する位置にあるコーナー部を各別に保持する各基板保持手段とで構成され、これらの各基板保持手段は、被検査基板の前記コーナー部と当接しながら支持する支持爪部をその先端部に備えて前記空間部の対角線方向での進退を自在に配設される可動支持部と、該可動支持部の進退方向での一側縁側に付設されたワイヤー固定部とを少なくとも備え、前記基台部の空間部の前記対向二隅近傍に位置する前記被検査基板の非載置面のそれぞれには、対応関係にある前記ワイヤー固定部の前端方向に前端側プーリーが、同後端方向に共用プーリーが、前記可動支持部の後方に後端側プーリーがそれぞれ回転自在に軸支された状態で各基板保持手段の別に配設され、各基板保持手段の別に用意される各ワイヤーは、それぞれの一端部が対応する位置関係にあるワイヤー固定部の前端側に、それぞれの他端部が前記前端側プーリーと前記共用プーリーと前記後端側プーリーとを含む経由プーリーを介して前記可動支持部の進退方向での他側縁側に位置して隣り合う他の基板保持手段のワイヤー固定部の後端側にそれぞれ連結され、各ワイヤーに前記他端部方向への強制引張力を付勢することにより、常態において各可動支持部が相互に最接近する位置関係のもとで個々の基板保持手段に対し連動しての同時前進力を付与したことに構成上の特徴がある。
【００１０】
この場合、各ワイヤーの前記他端部方向への強制引張力は、該他端部寄りに位置する引張りバネの基端部を前記基台部側に固定し、同先端部をワイヤーの前記一端部寄りに連結固定することで付勢させるのが好ましい。また、個々の基板保持手段のうちのひとつは、ワイヤーの前記他端部方向への強制引張力により付勢される前進力に抗しての後退制御を自在とした自動駆動手段と連結させておくことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明に係る被検査基板の位置固定機構の一例についての概要を示す平面図であり、図２に示す従来例と同様にインサーキットテスタなどの基板検査装置を用いて平面形状が略正方形を呈する被検査基板Ｂをそのサイズの別に対応させながら検査する際に用いられる。
【００１２】
すなわち、その全体は、中央領域を含む適宜領域に正方形を含む略方形を呈する空間部１２が開設された基台部１１と、空間部１２の各対向二隅が位置する計４カ所に各別に配設されて該空間部１２内に配置された平面形状が略正方形を呈する被検査基板Ｂの各コーナー部Ｃを各別に保持する各基板保持手段２１とで構成されている。
【００１３】
このうち、各基板保持手段２１は、被検査基板Ｂのコーナー部Ｃと当接しながら下支えする支持爪部２４をその先端部に備えて空間部１２の各対角線方向での進退を自在に配設される可動支持部２２と、該可動支持部２２の進退方向での一側縁２２ａ側に付設されたワイヤー固定部２５とを少なくとも備えて形成されている。
【００１４】
これをさらに詳しく説明すれば、各基板保持手段２１を構成している可動支持部２２のそれぞれは、基台部１１上に固定配置されているガイド部２３にその長さ方向に沿っての進退を自在に支持されている。
【００１５】
また、可動支持部２２の先端部に付設される適宜の絶縁材からなる支持爪部２４は、被検査基板Ｂのコーナー部Ｃを下支えする突片部２４ａと、該突片部２４ａの奥端方向にてコーナー部Ｃの外端面と当接する略９０度の内角を有する当接支持部２４ｂとで形成されている。
【００１６】
さらに、ワイヤー固定部２５は、可動支持部２２の一側縁２２ａ側に相互を離間させて対に突設した前端支腕部２６と後端支腕部２７とで形成されている。なお、これら前端支腕部２６と後端支腕部２７とには、一側縁２２ａの長さ方向に沿わせたワイヤーガイド溝２６ａ，２７ａがそれぞれ設けられている。
【００１７】
一方、基台部１１の空間部１２の各対向二隅近傍に位置する計４ヶ所の被検査基板Ｂの非載置面のそれぞれには、対応関係にあるワイヤー固定部２５の前端支腕部２６の近傍位置に前端側プーリー１３が、ワイヤー固定部２５の後端支腕部２７の後方位置に共用プーリー１４が、可動支持部２２を支持するガイド部２３の後端近傍位置に後端側プーリー１５がそれぞれ回転自在に軸支された状態で基板保持手段２１の別に配設されている。
【００１８】
しかも、基板保持手段２１の別に用意される各ワイヤー３１は、その一端部３２が対応する位置関係にあるワイヤー固定部２５の前端側に位置する前端支腕部２６に、その他端部３３が可動支持部２２の進退方向での他側縁２２ｂ側に位置して隣り合う他の基板保持手段２１のワイヤー固定部２５の後端側に位置する後端支腕部２７にそれぞれ連結されている。つまり、各ワイヤー３１は、隣り合う一方の基板保持手段２１の側にその一端部３２が、他方の基板保持手段２１の側にその他端部３３がそれぞれ連結された配置関係で架け渡されることになる。
【００１９】
これを図に即してより詳しく説明すれば、それぞれのワイヤー３１は、その一端部３２が一端側掛止体４１としての鋼球４２に連結されており、該鋼球４２を対応するワイヤー固定部２５の前端支腕部２６と後端支腕部２７との間の空隙部２５ａに配置させた上でワイヤーガイド溝２６ａを介してまず引き出される。
【００２０】
鋼球４２を前端支腕部２６に掛止させた状態のもとで引き出されたワイヤー３１は、近傍位置にある前端側プーリー１３と共用プーリー１４と後端側プーリー１５と、他方の基板保持手段２１側に位置する共用プーリー１４とを経由させることによりさらに引き出される。
【００２１】
このように他方の基板保持手段２１側に位置する共用プーリー１４を経由させたワイヤー３１は、近傍に位置するワイヤー固定部２５の後端支腕部２７のワイヤーガイド溝２７ａに案内させてその他端部３３を前端支腕部２８との間の空隙部２５ａに配置した上で他端側掛止体４３としての鋼球４４に連結して後端支腕部２７に掛止させる。
【００２２】
これにより、隣り合う一方の基板保持手段２１の側にその一端部３２が、他方の基板保持手段２１の側にその他端部３３がそれぞれ連結された配置関係でそれぞれのワイヤー３１が各別に架け渡されることになる。なお、この場合における各基板保持手段２１は、それぞれの可動支持部２２が備える支持爪部２４が相互に最も接近させた位置関係のもとでワイヤー３１が各別に架け渡される。
【００２３】
しかも、このような配置関係で架け渡された各ワイヤー３１は、一方の基板保持手段２１の近傍に位置する後端側プーリー１５と他方の基板保持手段２１の近傍に位置する共用プーリー１４との間の適宜の部位に配置された引張りバネ３５を備えている。
【００２４】
この場合、それぞれの引張りバネ３５は、対応するワイヤー３１を挿通させた状態で配置され、該ワイヤー３１の他端部３３寄りに位置する基端部３６が備えるフック片３６ａを基台部側１１に突設された掛止ピン１７に掛止させて固定され、該ワイヤー３１の一端部３２寄りに位置する先端部３７内にワイヤー３１を挿通させてこれに一体固着させた掛止体４６としての鋼球４７が抜脱困難に抱持されてワイヤー３１の側に連結されている。
【００２５】
このため、不使用時における各基板保持手段２１は、引張りバネ３５によりその他端部３３方向への強制引張力が付勢されている各ワイヤー３１を介することにより、相互に連動する関係となって常に同時前進力、つまり、それぞれの可動支持部２２が備える支持爪部２４が相互に最接近した位置関係を維持しながら静止することになる。
【００２６】
また、個々の基板保持手段２１のうちのひとつは、ワイヤー３１の他端部３３方向への強制引張力により付勢される前進力に抗して制御された強制後退をさせることができる図示しない自動駆動手段と連結させておくのが望ましい。
【００２７】
具体的には、例えば図１において左側上方に位置する基板保持手段２１を構成している可動支持部２２の他側縁２２ｂ側に基台部１１上に固定配置されているガイド部３０に案内される翼片部２８を設け、該翼片部２８に突設した駆動ピン２９にアクチュエータなどからなる図示しない自動駆動手段を連結しておくことができる。こうすることにより、各支持爪部２４は、連動して相互の距離を自動的により離間させることができ、したがって、サイズの大きな被測定基板Ｂにも柔軟に対応させてやることができる。
【００２８】
次に、本発明の作用・効果を説明すれば、その不使用時には、各基板保持手段２１は、それぞれの可動支持部２２が備える支持爪部２４が相互に最接近した位置関係のもとで静止させておくことができる。
【００２９】
略正方形の平面形状を呈する被測定基板Ｂを測定する際には、そのサイズに適合させるように例えば図示しない自動駆動手段を駆動させることにより、ひとつの基板保持手段２１の可動支持部２２に対し、ワイヤー３１を介して付勢されている前進力に抗する力を与えて強制的に後退させることができる。
【００３０】
このようにして可動支持部２２が強制的に後退させられるとワイヤー固定部２５も同時に後退するので、その前端支腕部２６とその近傍に位置する前端側プーリー１３との間に位置するワイヤー３１の長さはそれだけ長くなる。
【００３１】
つまり、この場合におけるワイヤー３１は、その一端部３２方向に向かって強制的に引っ張られることになり、それに伴って引張りバネ３５も引っ張られて伸張する。
【００３２】
このように駆動源側のワイヤー３１が一端部３２方向に向かって強制的に引っ張られると、その他端部３３は、他端掛止体４３である鋼球４４を介して掛止された隣り合う他方の基板保持手段２１の可動支持部２２を引っ張り、これを同じストロークで後退させる。
【００３３】
このように隣り合う基板保持手段２１，２１相互は、共通のワイヤー３１を介して連動される結果、各可動支持部２２は、同じストロークのもとでそのすべてを同時に後退させることができる。
【００３４】
かくして、それぞれの可動支持部２２が備える支持爪部２４を今回測定分の被測定基板Ｂのサイズに適合する位置にまで後退させた後は、個々の支持爪部２４の突片部２４ａ上に被測定基板Ｂのコーナー部Ｃを載置させた上で、自動駆動手段の駆動を解除する。
【００３５】
自動駆動手段の駆動を解除することにより、ワイヤー３１を介して付勢されている前進力も回復してそれぞれの可動支持部２２を自動的に前進させ、個々の支持爪部２４の当接支持部２４ｂが対応するコーナー部Ｃと当接するに至り、被測定基板Ｂが確実に位置固定されることになる。
【００３６】
このようにして位置固定された被測定基板Ｂに対しては、図２（ｂ）と同様にしてプロービングされ、その電気的な特性の測定検査が円滑に行われることになる。なお、検査を終えた被測定基板Ｂは、同様な手順を踏むことによりこれを取り出すことができる。
【００３７】
以上は、本発明の実施形態を図示例に即して説明したものであり、本発明の技術的範囲をなんら制限するものではない。例えば、ワイヤー固定部２５へのワイヤー３１の連結も図示例以外の適宜の固着手段により行うことができる。 また、引張りバネ３５の配置構造も、図示例に限定されることなく、要はワイヤー３１の他端部３３方向への強制引張力を付与し得るものであれば適宜採用することができる。さらに、どれかひとつの基板保持手段２１を強制的に動かす駆動力も、機械力以外に人力によって付与することができるようにしてもよい。
【００３８】
また、図示例によれば、基板保持手段２１は、基台部１１の空間部１２の各対向二隅が位置する計４カ所に各別に配設されているが、必要により基台部１１の空間部１２のいずれか一方の対向二隅が位置する計２ヶ所に各別に配設するものであってもよい。その場合、各ワイヤー３１は、前端側プーリー１３と共用プーリー１４と後端側プーリー１５とのほか、図示しない他の経由プーリーも適宜増設されて、一方の基板保持手段側と他方の基板保持手段との間に架け渡されることになる。
【００３９】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、進退する各基板保持手段により対応するコーナー部を各別に保持して被検査基板を確実に定置することができるので、サイズを異にする被検査基板であっても柔軟に対応させながら位置固定して測定作業を遂行させることができる。
【００４０】
また、定置される被検査基板は、サイズを異にしても常にその中心位置は一定となって位置固定させることができるので、測定に先立つ位置調整のための段取りを不要にして作業効率を高めてやることができる。
【００４１】
さらに、各基板保持手段は、ワイヤーを介して連動する関係にあるので、どれかひとつを強制的に動かすことによりそのすべてを同じストロークのもとで移動させることができ、駆動システムの簡素化に伴う全体コストの低減化にも有効に寄与させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る被検査基板の位置固定機構の一例についての概要を示す平面図。
【図２】 従来からある被検査基板の位置固定機構の一例を示す説明図であり、その（ａ）は平面図を、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線矢視方向での縦断面図をそれぞれ示す。
【符号の説明】
１１ 基台部
１２ 空間部
１３ 前端側プーリー
１４ 共用プーリー
１５ 後端側プーリー
１７ 掛止ピン
２１ 基板保持手段
２２ 可動支持部
２２ａ 一側縁
２２ｂ 他側縁
２３ ガイド部
２４ 支持爪部
２４ａ 突片部
２４ｂ 当接支持部
２５ ワイヤー固定部
２５ａ 空隙部
２６ 前端支腕部
２６ａ ワイヤーガイド溝
２７ 後端支腕部
２７ａ ワイヤーガイド溝
２８ 翼片部
２９ 駆動ピン
３０ ガイド部
３１ ワイヤー
３２ 一端部
３３ 他端部
３５ 引張りバネ
３６ 基端部
３６ａ フック片
３７ 先端部
４１ 一端側掛止体
４３ 鋼球
４３ 他端側掛止体
４４ 鋼球
４６ 掛止体
４７ 鋼球
Ｂ 被検査基板
Ｃ コーナー部
Claims (3)
- 適宜領域に略方形を呈する空間部が開設された基台部と、前記空間部にあって少なくともいずれか一方の対向二隅が位置する計２ヶ所に各別に配設されて該空間部内に配置された平面形状が略正方形を呈する被検査基板の前記対向二隅と対面する位置にあるコーナー部を各別に保持する各基板保持手段とで構成され、
これらの各基板保持手段は、被検査基板の前記コーナー部と当接しながら支持する支持爪部をその先端部に備えて前記空間部の対角線方向での進退を自在に配設される可動支持部と、該可動支持部の進退方向での一側縁側に付設されたワイヤー固定部とを少なくとも備え、
前記基台部の空間部の前記対向二隅近傍に位置する前記被検査基板の非載置面のそれぞれには、対応関係にある前記ワイヤー固定部の前端方向に前端側プーリーが、同後端方向に共用プーリーが、前記可動支持部の後方に後端側プーリーがそれぞれ回転自在に軸支された状態で各基板保持手段の別に配設され、
各基板保持手段の別に用意される各ワイヤーは、それぞれの一端部が対応する位置関係にあるワイヤー固定部の前端側に、それぞれの他端部が前記前端側プーリーと前記共用プーリーと前記後端側プーリーとを含む経由プーリーを介して前記可動支持部の進退方向での他側縁側に位置して隣り合う他の基板保持手段のワイヤー固定部の後端側にそれぞれ連結され、
各ワイヤーに前記他端部方向への強制引張力を付勢することにより、常態において各可動支持部が相互に最接近する位置関係のもとで個々の基板保持手段に対し連動しての同時前進力を付与したことを特徴とする被検査基板の位置固定機構。 - 各ワイヤーの前記他端部方向への強制引張力は、該他端部寄りに位置する引張りバネの基端部を前記基台部側に固定し、同先端部をワイヤーの前記一端部寄りに連結固定することで付勢させた請求項１に記載の被検査基板の位置固定機構。
- 前記基板保持手段のうちのひとつは、ワイヤーの前記他端部方向への強制引張力により付勢される前進力に抗しての後退制御を自在とした自動駆動手段と連結させた請求項１または２に記載の被検査基板の位置固定機構。
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