KR101974788B1 - 번인 테스트 장치 - Google Patents

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KR101974788B1 KR1020180116723A KR20180116723A KR101974788B1 KR 101974788 B1 KR101974788 B1 KR 101974788B1 KR 1020180116723 A KR1020180116723 A KR 1020180116723A KR 20180116723 A KR20180116723 A KR 20180116723A KR 101974788 B1 KR101974788 B1 KR 101974788B1
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Abstract

본 발명은 다수개의 반도체 칩이 탑재된 테스트보드를 손쉽게 결합하거나 빼낼 수 있도록 된 새로운 구조의 번인 테스트 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 번인 테스트 장치는 상기 테스트보드(20)의 전단부에는 상하면을 관통하는 관통공(23)이 형성되고, 상기 테스트보드(20)를 이송하여 상기 테스트챔버(11)로 공급하거나 테스트챔버(11)에 고정된 테스트보드(20)를 배출하는 이송트레이(A)와, 전후방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 테스트챔버(11)의 전방 양측에 위치되도록 상기 본체(10)의 전면 하단에 구비되며 측방향이송수단(51)에 의해 측방향으로 슬라이드되어 상기 이송트레이(A)가 상기 테스트챔버(11)의 전방에 위치되도록 위치조절하는 정렬바(50)가 더 구비되어, 작업자가 상기 이송트레이(A)를 밀어 본체(10)의 전방으로 이동하면, 상기 위치조절바(50)가 이송트레이(A)의 위치를 정해진 위치로 정렬하고, 상기 이송트레이(A)가 복수개의 테스트보드(20)를 자동으로 본체(10)의 테스트챔버(11)로 공급하고, 테스트가 완료되면, 자동으로 테스트보드(20)를 인출하여 이송트레이(A)로 이동시킴으로, 테스트챔버(11)에 테스트보드(20)를 장착하거나 배출하는 것이 매우 용이할 뿐 아니라, 테스트보드(20)가 상호 부딪히지 않도록 운반할 수 있는 장점이 있다.

Description

번인 테스트 장치{burn-in tester}
본 발명은 다수개의 반도체 칩이 탑재된 테스트보드를 손쉽게 결합하거나 빼낼 수 있도록 된 새로운 구조의 번인 테스트 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 칩의 내열테스트를 할 때 사용되는 번인 테스트 장치는 도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 전방이 개방된 테스트챔버(11)가 형성된 본체(10)와, 다수개의 반도체 칩(21)이 탑재되며 상기 테스트챔버(11)에 장착되는 복수개의 테스트보드(20)와, 상기 본체(10)에 구비되어 상기 테스트챔버(11)를 개폐하는 도어(30)와, 상기 본체(10)의 내부에 구비되어 상기 테스트챔버(11)의 내부에 장착된 테스트보드(20)를 가열 및 냉각시키는 온도조절수단(40)으로 구성된다.
이때, 상기 테스트챔버(11)의 내부 양측에는 전후방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 상기 테스트보드(20)의 양단 하측면을 지지하는 복수개의 지지가이드(12)가 상호 상하방향으로 이격되도록 구비된다.
그리고, 상기 테스트챔버(11)의 내부 후측면에는 상기 테스트보드(20)가 연결되는 복수개의 소켓(13)이 상하방향으로 이격되도록 구비된다.
상기 테스트보드(20)는 사각형의 판형상으로 구성된 것으로, 전단부에는 상기 소켓(13)에 결합되는 플러그(22)가 구비되고, 상기 반도체 칩(21)은 상기 테스트보드(20)에 형성된 회로패턴에 의해 상기 플러그(22)에 전기적으로 연결되도록 구성된다.
상기 도어(30)는 상기 본체(10)의 전면에 측방향으로 슬라이드가능하게 결합되며, 슬라이드구동수단(31)에 의해 측방향으로 슬라이드되어 상기 테스트챔버(11)의 전방을 개폐하는 미닫이식도어를 이용한다.
상기 온도조절수단(40)은 상기 본체(10)의 내부에 구비된 냉각유닛과 히터로 구성되며, 상기 테스트챔버(11)에 연결된 덕트에 구비되어, 상기 덕트를 통해 테스트챔버(11)로 고온으로 가열되거나 저온으로 냉각된 공기를 공급함으로써, 테스트챔버(11)의 내부에 장착된 테스트보드(20) 및 반도체 칩(21)을 가열 또는 냉각시킬 수 있도록 구성된다.
따라서, 도 4에 도시한 바와 같이, 작업자가 복수개의 테스트보드(20)를, 상기 테스트챔버(11)에 구비된 지지가이드(12)에 지지된 상태에서 상기 소켓(13)에 연결되도록 장착하고, 도어(30)를 닫은 상태에서, 미리 설정된 패턴에 따라 상기 온도조절수단(40)이 구동되어 상기 테스트보드(20)에 탑재된 반도체를 가열 또는 냉각시키고, 상기 소켓(13)에 연결된 검사유닛(13a)이 상기 테스트보드(20)에 탑재된 반도체 칩(21)의 작동상태를 감시함으로써, 한꺼번에 다수개의 반도체 칩(21)의 내열테스트를 수행할 수 있다.
그런데, 이러한 번인 테스트 장치를 이용하여 반도체를 테스트하기 위해서는 여러 개의 테스트보드(20)를 상기 테스트챔버(11)에 장착하여야 한다.
그런데, 이와 같이, 테스트보드(20)를 상기 테스트챔버(11)에 장착하기 위해서는, 여러 개의 테스트보드(20)의 양단이 상기 지지가이드(12)에 올려지도록 테스트보드(20)를 테스트챔버(11)에 삽입한 후, 테스트보드(20)를 강하게 후방으로 강하게 밀어, 각각의 테스트보드(20)의 플러그(22)가 상기 소켓(13)에 정확히 결합되도록 하여야 한다.
또한, 테스트가 완료된 테스트보드(20)를 꺼내기 위해서는 각각의 테스트보도를 전방으로 강하게 당겨 소켓(13)으로부터 분리한 후 하나씩 꺼내야 한다.
그런데, 이러한 작업이 수작업으로 이루어짐으로, 힘이 많이 들 뿐 아니라, 시간이 많이 소요되는 문제점이 발생되었다.
또한, 이러한 테스트보드(20)는 운반할 때, 서로 부딪히지 않도록 하여야 하는데, 이와 같이, 테스트보드(20)를 서로 부딪히지 않도록 운반하는 것 역시 매우 번거로운 문제점이 발생되었다.
한편, 최근에는 상기 테스트챔버(11)의 내부에 상기 지지가이드(12)에 올려진 테스트보드(20)를 후방으로 밀어, 상기 플러그(22)가 소켓(13)에 자동으로 결합되도록 하는 결합수단이 개발되어 사용되고 있으나, 이러한 경우에도 테스트보드(20)를 지지가이드(12)에 올리거나, 테스트가 완료된 테스트보드(20)를 꺼내는 작업은 종래와 마찬가지로 수작업으로 해야 함으로, 시간이 많이 소요되는 문제점을 해결할 수 없는 문제점이 있었다.
등록특허 10-0561951호, 공개특허 10-2008-0051762호,
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 다수개의 반도체 칩이 탑재된 테스트보드를 손쉽게 결합하거나 빼낼 수 있도록 된 새로운 구조의 번인 테스트 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 전방이 개방된 테스트챔버(11)가 형성된 본체(10)와, 다수개의 반도체 칩(21)이 탑재되며 상기 테스트챔버(11)에 장착되는 복수개의 테스트보드(20)와, 상기 본체(10)에 구비되어 상기 테스트챔버(11)를 개폐하는 도어(30)와, 상기 본체(10)의 내부에 구비되어 상기 테스트챔버(11)의 내부에 장착된 테스트보드(20)를 가열 및 냉각시키는 온도조절수단(40)을 포함하고, 상기 테스트챔버(11)의 내부 양측에는 전후방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 상기 테스트보드(20)의 양단 하측면을 지지하는 복수개의 지지가이드(12)가 상호 상하방향으로 이격되도록 구비되는 번인 테스트 장치에 있어서, 상기 본체(10)의 전면에는 상기 테스트챔버(11)의 양측에 위치되도록 고정대(15)가 구비되고, 상기 본체(10)의 전면 하측에는 감지블록(16)이 구비되며, 상기 테스트보드(20)의 전단부에는 상하면을 관통하는 관통공(23)이 형성되고, 상기 테스트보드(20)를 이송하여 상기 테스트챔버(11)로 공급하거나 테스트챔버(11)에 고정된 테스트보드(20)를 배출하는 이송트레이(A)와, 전후방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 테스트챔버(11)의 전방 양측에 위치되도록 상기 본체(10)의 전면 하단에 구비되며 측방향이송수단(51)에 의해 측방향으로 슬라이드되어 상기 이송트레이(A)가 상기 테스트챔버(11)의 전방에 위치되도록 정렬하는 정렬바(50)를 더 포함하며, 상기 이송트레이(A)는 내부에 상기 테스트보드(20)가 적재되는 공간부(61)가 형성되고 후방이 개방된 통형상으로 구성되며 하측면에는 캐스터(62)가 구비되고 하단 양측에는 측방향으로 연장된 연장바(63)가 구비된 트레이본체(60)와, 상기 트레이본체(60)의 전면에 구비된 브라켓(64)에 전후방향으로 회동가능하게 결합되며 탄성부재(73)에 의해 전방으로 회동되도록 탄성적으로 가압되는 손잡이(70)와, 상기 트레이본체(60)의 양측에 구비되어 전기신호에 의해 작동되어 상기 고정대(15)에 탈착가능하게 결합되는 한 쌍의 고정수단(80)과, 상기 트레이본체(60)의 내부 양측에 상호 상하방향으로 이격되도록 구비되어 상기 공간부(61)에 적재된 테스트보드(20)의 양측단 하측면을 지지하는 복수개의 보조가이드(90)와, 상하방향으로 연장된 패널형상으로 구성되며 상기 트레이본체(60)의 내부 전방에 전후방향으로 슬라이드가능하게 결합되며 전후진구동수단(101)에 의해 전후진되어 상기 보조가이드(90)에 올려지도록 공간부(61)에 적재된 테스트보드(20)를 후방으로 가압하는 가압대(100)와, 상기 가압대(100)에 승강가능하게 결합되어 승강구동수단(112)에 의해 승강되며 후측면에는 상측으로 연장되어 상기 테스트보드(20)의 관통공(23)에 삽입결합되는 고리부(111)가 형성된 고정부재(110)와, 상기 트레이본체(60)의 후측면에 후방으로 돌출되도록 구비되며 상기 정렬바(50)에 의해 상기 이송트레이(A)가 정해진 위치로 정렬되면 상기 감지블록(16)과 접촉하여 신호를 출력하도록 된 정렬감지수단(120)과, 상기 손잡이(70)가 후방으로 회동되는 것을 감지하는 회동감지수단(130)과, 상기 정렬감지수단(120)과 회동감지수단(130)의 신호를 수신하며 상기 고정수단(80)과 전후진구동수단(101) 및 승강구동수단(112)의 작동을 제어하는 제어수단(140)을 포함하고, 상기 보조가이드(90)는 상면의 높이가 상기 지지가이드(12)의 상면과 대응되도록 구성되며, 상기 정렬바(50)의 상면에는 상기 트레이본체(60)의 연장바(63)의 후단에 걸리도록 구성되며 실린더기구(53)에 의해 전후진되는 가압블록(52)이 구비되어, 작업자가 상기 이송트레이(A)를 상기 본체(10)의 테스트챔버(11) 전방에 위치되도록 이동시키면, 상기 정렬바(50)가 인접방향으로 슬라이드되면서 이송트레이(A)가 테스트챔버(11)에 대응되도록 좌우방향위치가 정렬되고, 상기 가압블록(52)이 후진하여 상기 이송트레이(A)를 후방으로 밀어, 상기 이송트레이(A)가 정해진 위치로 정렬되도록 구성되며, 상기 제어수단(140)은 상기 위치감지수단의 신호를 수신하여 상기 이송트레이(A)가 정해진 위치로 정렬된 것이 감지되면 상기 고정수단(80)이 상기 고정대(15)에 결합되도록 제어한 후, 상기 전후진구동수단(101)으로 상기 가압대(100)를 전후진시켜 상기 트레이본체(60)에 설치된 복수개의 테스트보드(20)가 상기 테스트챔버(11)로 공급되도록 하고, 작업자가 상기 손잡이(70)를 잡아당겨 후방으로 회동시키면 상기 전후진구동수단(101)과 승강구동수단(112)의 작동을 제어하여 상기 테스트챔버(11)에 장착된 복수개의 테스트보드(20)를 전방으로 당겨 트레이본체(60)의 내부로 배출되도록 한 후 상기 고정수단(80)의 고정을 해제하도록 된 것을 특징으로 하는 번인 테스트 장치가 제공된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 본체(10) 전방의 바닥면(1)에는 바닥면(1)과 다른 색의 정지선(2)이 도색되고, 상기 트레이본체(60)의 전방 하측면에 하측을 향하도록 구비되어 상기 정지선(2)을 감지하는 정지선감지센서(66)와, 상기 캐스터(62)에 구비되어 캐스터(62)를 정지시키는 제동수단(67)과, 상기 손잡이(70)에 구비되어 작업자가 상기 손잡이(70)를 잡는 것을 감지하는 파지감지수단(74)을 더 포함하며, 상기 제어수단(140)은 상기 파지감지수단(74)과 상기 정지선감지센서(66)의 신호를 수신하여, 작업자가 상기 손잡이(70)를 손으로 잡은 상태에서 상기 정지선감지센서(66)가 상기 정지선을 넘는 것이 감지되면 상기 제동수단(67)을 작동시켜 이송트레이(A)가 더 이상 본체(10)로 근접되지 않도록 하고, 작업자가 상기 손잡이(70)를 잡은 손을 놓으면, 상기 제동수단(67)의 작동을 해제하여, 이송트레이(A)가 움직일 수 있도록 제어하는 것을 특징으로 하는 번인 테스트 장치가 제공된다
본 발명에 따른 번인 테스트 장치는 상기 테스트보드(20)의 전단부에는 상하면을 관통하는 관통공(23)이 형성되고, 상기 테스트보드(20)를 이송하여 상기 테스트챔버(11)로 공급하거나 테스트챔버(11)에 고정된 테스트보드(20)를 배출하는 이송트레이(A)와, 전후방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 테스트챔버(11)의 전방 양측에 위치되도록 상기 본체(10)의 전면 하단에 구비되며 측방향이송수단(51)에 의해 측방향으로 슬라이드되어 상기 이송트레이(A)가 상기 테스트챔버(11)의 전방에 위치되도록 위치조절하는 정렬바(50)가 더 구비되어, 작업자가 상기 이송트레이(A)를 밀어 본체(10)의 전방으로 이동하면, 상기 위치조절바(50)가 이송트레이(A)의 위치를 정해진 위치로 정렬하고, 상기 이송트레이(A)가 복수개의 테스트보드(20)를 자동으로 본체(10)의 테스트챔버(11)로 공급하고, 테스트가 완료되면, 자동으로 테스트보드(20)를 인출하여 이송트레이(A)로 이동시킴으로, 테스트챔버(11)에 테스트보드(20)를 장착하거나 배출하는 것이 매우 용이할 뿐 아니라, 테스트보드(20)가 상호 부딪히지 않도록 운반할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래의 번인 테스트 장치를 도시한 사시도,
도 2는 종래의 번인 테스트 장치의 정면구성도,
도 3은 종래의 번인 테스트 장치의 측단면도,
도 4는 종래의 번인 테스트 장치의 평단면 구성도,
도 5는 본 발명에 따른 번인 테스트 장치를 도시한 측단면도,
도 6은 본 발명에 따른 번인 테스트 장치를 도시한 평단면구성도,
도 7은 본 발명에 따른 번인 테스트 장치의 이송트레이의 측면도,
도 8은 본 발명에 따른 번인 테스트 장치의 이송트레이의 측단면도,
도 9는 본 발명에 따른 번인 테스트 장치의 평단면도,
도 10은 본 발명에 따른 번인 테스트 장치의 회로구성도,
도 11 내지 도 16은 본 발명에 따른 번인 테스트 장치의 작용을 도시한 참고도,
도 17은 본 발명에 따른 번인 테스트 장치의 제2 실시예를 도시한 평면도,
도 18은 본 발명에 따른 번인 테스트 장치의 제2 실시예를 도시한 측단면도,
도 19는 본 발명에 따른 번인 테스트 장치의 제2 실시예의 회로구성도,
도 20은 본 발명에 따른 번인 테스트 장치의 제2 실시예의 작용을 설명하기 위한 참고도이다.
이하, 본 발명을 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 5 내지 도 16은 본 발명에 따른 번인 테스트 장치를 도시한 것으로, 전방이 개방된 테스트챔버(11)가 형성된 본체(10)와, 다수개의 반도체 칩(21)이 탑재되며 상기 테스트챔버(11)에 장착되는 복수개의 테스트보드(20)와, 상기 본체(10)에 구비되어 상기 테스트챔버(11)를 개폐하는 도어(30)와, 상기 본체(10)의 내부에 구비되어 상기 테스트챔버(11)의 내부에 장착된 테스트보드(20)를 가열 및 냉각시키는 온도조절수단(40)이 구비된 것은 종래와 동일하다.
이때, 상기 본체(10)는 하측에 구비된 지지부재(14)에 의해 하측면이 바닥면(1)으로부터 상측으로 이격되도록 구비된다.
그리고, 상기 테스트챔버(11)의 내부 양측에는 전후방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 상기 테스트보드(20)의 양단 하측면을 지지하는 복수개의 지지가이드(12)가 상호 상하방향으로 이격되도록 구비된다.
또한, 상기 테스트챔버(11)의 내부 후측면에는 상기 테스트보드(20)가 연결되는 복수개의 소켓(13)이 상하방향으로 이격되도록 구비된다.
상기 테스트보드(20)는 사각형의 판형상으로 구성된 것으로, 전단부에는 상기 소켓(13)에 결합되는 플러그(22)가 구비되고, 상기 반도체 칩(21)은 상기 테스트보드(20)에 형성된 회로패턴에 의해 상기 플러그(22)에 전기적으로 연결되도록 구성된다.
상기 도어(30)는 상기 본체(10)의 전면에 측방향으로 슬라이드가능하게 결합되며, 슬라이드구동수단(31)에 의해 측방향으로 슬라이드되어 상기 테스트챔버(11)의 전방을 개폐하는 미닫이식도어(30)를 이용한다.
그리고, 본 발명에 따르면, 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 본체(10)의 전면에는 상기 테스트챔버(11)의 양측에 위치되도록 고정대(15)가 구비되고, 상기 본체(10)의 전면 하측에는 감지블록(16)이 구비된다.
상기 고정대(15)는 본체(10)의 전면에서 전방으로 돌출된 돌출판(15a)과, 상기 돌출판(15a)의 전단부에서 측방향으로 연장된 원봉(15b)으로 구성된다.
상기 감지블록(16)은 상기 본체(10)의 하측면 전단부에, 상기 테스트챔버(11)의 중앙부에 위치되도록 구비된다.
그리고, 상기 테스트보드(20)의 전단부에는 상하면을 관통하는 관통공(23)이 형성된다.
상기 관통공(23)은 테스트보드(20)의 중앙부 양측에 측방향으로 연장된 장공형태로 형성된다.
그리고, 본 발명에 따르면, 상기 테스트보드(20)를 이송하여 상기 테스트챔버(11)로 공급하거나 테스트챔버(11)에 고정된 테스트보드(20)를 배출하는 이송트레이(A)와, 전후방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 테스트챔버(11)의 전방 양측에 위치되도록 상기 본체(10)의 전면 하단에 구비되며 측방향이송수단(51)에 의해 측방향으로 슬라이드되어 상기 이송트레이(A)가 상기 테스트챔버(11)의 전방에 위치되도록 정렬하는 정렬바(50)가 더 구비된다.
상기 이송트레이(A)는 도 7 내지 도 9에 도시한 바와 같이, 내부에 상기 테스트보드(20)가 적재되는 공간부(61)가 형성되고 후방이 개방된 통형상으로 구성되며 하측면에는 캐스터(62)가 구비되고 하단 양측에는 측방향으로 연장된 연장바(63)가 구비된 트레이본체(60)와, 상기 트레이본체(60)의 전면에 구비된 브라켓(64)에 전후방향으로 회동가능하게 결합되며 탄성부재(73)에 의해 전방으로 회동되도록 탄성적으로 가압되는 손잡이(70)와, 상기 트레이본체(60)의 양측에 구비되어 전기신호에 의해 작동되어 상기 고정대(15)에 탈착가능하게 결합되는 한 쌍의 고정수단(80)과, 상기 트레이본체(60)의 내부 양측에 상호 상하방향으로 이격되도록 구비되어 상기 공간부(61)에 적재된 테스트보드(20)의 양측단 하측면을 지지하는 복수개의 보조가이드(90)와, 상하방향으로 연장된 패널형상으로 구성되며 상기 트레이본체(60)의 내부 전방에 전후방향으로 슬라이드가능하게 결합되며 전후진구동수단(101)에 의해 전후진되어 상기 보조가이드(90)에 올려지도록 공간부(61)에 적재된 테스트보드(20)를 후방으로 가압하는 가압대(100)와, 상기 가압대(100)에 승강가능하게 결합되어 승강구동수단(112)에 의해 승강되며 후측면에는 상측으로 연장되어 상기 테스트보드(20)의 관통공(23)에 삽입결합되는 고리부(111)가 형성된 고정부재(110)와, 상기 트레이본체(60)의 후측면에 후방으로 돌출되도록 구비되며 상기 정렬바(50)에 의해 상기 이송트레이(A)가 정해진 위치로 정렬되면 상기 감지블록(16)과 접촉하여 신호를 출력하도록 된 정렬감지수단(120)과, 상기 손잡이(70)가 후방으로 회동되는 것을 감지하는 회동감지수단(130)과, 상기 정렬감지수단(120)과 회동감지수단(130)의 신호를 수신하며 상기 고정수단(80)과 전후진구동수단(101) 및 승강구동수단(112)의 작동을 제어하는 제어수단(140)으로 구성된다.
상기 트레이본체(60)는 금속재의 사각 박스형태로 구성되어, 작업자가 상기 손잡이(70)를 잡고 밀거나 당겨서 이동시킬 수 있도록 구성된다.
상기 손잡이(70)는 측방향으로 연장된 지지바(71)와, 상기 지지바(71)의 양단에서 전방으로 연장된 연장부(72)로 구성되며, 상기 연장부(72)가 상기 브라켓(64)에 힌지결합되며, 상기 브라켓(64)에는 상기 연장부(72)의 전후측에 걸리는 스토퍼(65)가 구비되어, 상기 손잡이(70)가 전후방향으로 회동되는 각도를 제한할 수 있도록 구성된다.
따라서, 작업자가 손잡이(70)를 전방으로 밀거나 후방으로 당길 때, 상기 손잡이(70)가 정해진 각도 내에서 전후방향으로 회동된다
상기 탄성부재(73)는 양단이 상기 브라켓(64)과 손잡이(70)에 결합되어 손잡이(70)가 전방으로 회동되도록 탄성적으로 가압하는 토션스프링을 이용한다.
상기 고정수단(80)은 도 7에 도시한 바와 같이, 상기 트레이본체(60)의 양측면에 측방향으로 돌출되도록 구비된 지지대(81)와, 상기 지지대(81)에 전단부가 상하방향으로 회동가능하게 결합된 상하측 집게부재(82,83)와, 상기 집게부재(82,83)에 연결되어 상하측 집게부재(82,83)가 상호 반대방향으로 회동되도록 하는 구동수단(84)으로 구성된다
상기 집게부재(82,83)는 후단부가 상호 인접방향으로 벤딩된 집게 형상으로 구성되어, 상호 맞물릴 경우, 상기 고정대(15) 원봉(15b)의 상하측면을 가압하여 고정할 수 있도록 구성된다.
상기 구동수단(84)은 상기 집게부재(82,83)에 연결되어 집게부재(82,83)를 회동시키는 모터를 이용한다.
상기 보조가이드(90)는 상기 본체(10) 테스트챔버(11)의 내부에 구비된 지지가이드(12)와 대응되는 형태로 구성된 것으로, 상면의 높이가 상기 지지가이드(12)의 상면과 대응되도록 구성되어, 후술하는 바와 같이, 보조가이드(90)의 상측에 올려지도록 테스트보드(20)를 설치한 상태에서, 후술하는 바와 같이, 상기 가압대(100)를 이용하여 테스트보드(20)를 후방으로 밀어내면, 상기 테스트보드(20)가 상기 지지가이드(12)의 상측에 올려지도록 상기 테스트챔버(11)로 삽입된다.
상기 가압대(100)는 상하방향으로 연장된 수직부(102)와, 상기 수직부(102)의 상하단에서 전방으로 연장된 수평부(103)와, 상기 수평부(103)의 상하측면에 구비된 슬라이드블록(104)으로 구성된다.
상기 전후진구동수단(101)은 전후방향으로 연장되도록 상기 트레이본체(60)의 내부에 회전가능하게 결합되며 중간부는 상기 슬라이드블록(104)을 관통하도록 결합된 리드스크류(101a)와, 상기 리드스크류(101a)에 연결되어 리드스크류(101a)를 정역회전시키는 구동모터(101b)로 구성되어, 상기 구동모터(101b)로 리드스크류(101a)를 정역회전시키면, 상기 가압대(100)가 전후진된다.
이때, 상기 가압대(100)의 수직부(102)에는 전후면을 관통하는 다수개의 관통공(102a)이 형성되며, 상기 관통공(102a)은 상기 보조가이드(90)의 상하방향 간격에 대응되는 간격으로 상하방향으로 이격되도록 형성된다.
상기 고정부재(110)는 상하방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 상기 수직부(102)의 전면에 승강가능하게 결합된다.
상기 고리부(111)는 상기 고정부재(110)의 후측면에서 상기 관통공(102a)을 통해 후방으로 연장되는 연장부(111a)와, 상기 연장부(111a)의 후단부에서 상측으로 연장되어 상기 테스트보드(20)의 관통공(23)에 끼움결합되는 걸림부(111b)로 구성된다.
상기 승강구동수단(112)은 내부에 구비된 구동모터의 작동에 따라 신축되는 기계식 실린더를 이용하는 것으로, 상기 가압대(100)의 수평부(103) 하측면에 상하방향으로 연장되도록 구비되어 상기 고정부재(110)의 하단에 연결되어, 신축에 따라, 상기 고정부재(110)가 승강되도록 한다.
상기 정렬감지수단(120)은 상기 트레이본체(60)의 하측면 후단부에 구비된 지지블록(121)과, 상기 지지블록(121)에 후방으로 돌출되도록 구비된 리미트스위치(122)를 이용하는 것으로, 후술하는 바와 같이, 상기 정렬바(50)에 의해 상기 이송트레이(A)가 정해진 위치로 정렬되면 상기 리미트스위치(122)가 상기 감지블록(16)과 접촉하여 신호를 출력하게 된다.
상기 회동감지수단(130)은 상기 브라켓(64)에 구비되어 상기 손잡이(70)가 후방으로 회동되면 이를 감지하여 신호를 출력하는 리미트스위치로 구성된다.
상기 제어수단(140)은 상기 위치감지수단의 신호를 수신하여 상기 이송트레이(A)가 정해진 위치로 정렬된 것이 감지되면 상기 고정수단(80)이 상기 고정대(15)에 결합되도록 제어한 후, 상기 전후진구동수단(101)으로 상기 가압대(100)를 전후진시켜 상기 트레이본체(60)에 설치된 복수개의 테스트보드(20)가 상기 테스트챔버(11)로 공급되도록 하고, 작업자가 상기 손잡이(70)를 잡아당겨 후방으로 회동시키면 상기 전후진구동수단(101)과 승강구동수단(112)의 작동을 제어하여 상기 테스트챔버(11)에 장착된 복수개의 테스트보드(20)를 전방으로 당겨 트레이본체(60)의 내부로 배출되도록 한 후 상기 고정수단(80)의 고정을 해제하도록 한다.
이때, 상기 트레이본체(60)의 일측에는 상기 고정수단(80)과 전후진구동수단(101)과, 승강구동수단(112) 및 제어수단(140)에 전원을 공급하기 위한 도시 안된 배터리가 구비된다.
상기 정렬바(50)는 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 후단부가 상기 본체(10)에 구비된 슬라이드가이드(17)에 측방향으로 슬라이드가능하게 결합된다.
상기 슬라이드가이드(17)는 상기 테스트챔버(11)의 양측에 위치되도록 본체(10)의 전면 하단에 측방향으로 연장되도록 구비다.
상기 측방향이송수단(51)은 상기 슬라이드가이드(17)와 평행을 이루도록 본체(10)에 구비되며 상기 정렬바(50)에 연결된 리드리스실린더를 이용한다.
이때, 상기 정렬바(50)의 상면에는 상기 트레이본체(60)의 연장바(63)의 후단에 걸리도록 구성되며 실린더기구(53)에 의해 전후진되는 가압블록(52)이 구비된다
이와 같이 구성된 번인 테스트장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.
우선, 초기에는 상기 정렬바(50)가 상호 이격되도록 배치되고, 상기 이송트레이(A)의 고정부재(110)가 하강된 상태를 유지한다.
그리고, 작업자는 반도체 칩(21)이 탑재된 테스트보드(20)를 양단이 상기 보조가이드(90)에 올려지도록 상기 트레이본체(60)의 내부에 적재한다.
그리고, 상기 트레이본체(60)에 정해진 수의 테스트보드(20)가 적재되면, 작업자는 상기 손잡이(70)를 손으로 잡고 밀어서, 도 11에 도시한 바와 같이, 이송트레이(A)가 상기 정렬바(50)의 사이에 위치되도록 이동시킨다.
그리고, 작업자가 상기 본체(10)에 구비된 제어패널을 조작하여 작동명령을 입력하면, 도 12에 도시한 바와 같이, 상기 측방향이송수단(51)에 의해 위치정렬바(50)가 상호 인접방향으로 이동되면서 상기 이송트레이(A)의 양면을 가압하여 상기 이송트레이(A)가 상기 본체(10) 테스트챔버(11)의 전방에 위치된다.
그리고, 도 13에 도시한 바와 같이, 실린더기구(53)에 의해 가압블록(52)이 후퇴되면서 상기 이송트레이(A)의 양측면에 구비된 연장바(63)를 후방으로 당겨, 이송트레이(A)의 후측면이 상기 본체(10)의 전면에 밀착되도록 함으로써, 상기 이송트레이(A)가 미리 정해진 위치로 위치가 정렬되도록 한다.
한편, 이와 같이, 이송트레이(A)가 위치조절되면, 도 14에 도시한 바와 같이, 상기 정렬감지수단(120)의 리미트스위치(122)가 상기 본체(10)에 구비된 감지블록(16)에 접촉되어 신호를 출력한다.
그리고, 상기 리미트스위치(122)에서 신호가 출력되면, 상기 제어수단(140)은 상기 고정수단(80)을 작동시켜 고정수단(80)이 상기 고정대(15)에 결합되도록 함으로써, 이송트레이(A)가 움직이지 않도록 고정한다.
그리고, 상기 제어수단(140)은 도 15에 도시한 바와 같이, 전후진구동수단(101)을 이용하여 상기 가압대(100)를 후방으로 밀어냄으로써, 상기 트레이본체(60)에 적재된 복수개의 테스트보드(20)가 상기 테스트챔버(11)의 지지가이드(12)로 이송되도록 한다.
이때, 상기 가압대(100)는 상기 테스트보드(20)의 플러그(22)가 상기 테스트챔버(11)의 소켓(13)에 결합되도록 충분히 강한 힘으로 테스트보드(20)를 후방으로 가압한다.
그리고, 상기 테스트보드(20)가 테스트챔버(11)로 이송되면, 상기 제어수단(140)은 상기 전후진구동수단(101)을 제어하여 상기 가압대(100)가 초기위치로 후퇴되도록 한다.
그리고, 작업자가 상기 슬라이드구동수단(31)을 조작하여, 도어(30)를 닫으면, 미리 설정된 패턴에 따라 상기 온도조절수단(40)이 작동되어 상기 테스트보드(20)에 탑재된 반도체를 가열 또는 냉각시키고, 상기 소켓(13)에 연결된 검사유닛(13a)이 상기 테스트보드(20)에 탑재된 반도체 칩(21)의 작동상태를 감시함으로써, 한꺼번에 다수개의 반도체 칩(21)의 내열테스트를 수행한다.
한편, 이와 같이 도어(30)가 닫히면, 상기 위치정렬바(50)는 도 11에 도시한 바와 같이, 측방향으로 이격되고, 상기 가압블록(52)은 전방으로 슬라이드된다.
그리고, 테스트보드(20)에 탑재된 반도체 칩(21)의 내열테스트가 완료된 후, 작업자가 상기 도어(30)를 개방하고, 도 16에 도시한 바와 같이, 상기 손잡이(70)를 후방으로 당기면, 상기 제어수단(140)은 상기 전후진구동수단(101)을 구동시켜 상기 가압대(100)를 후방으로 슬라이드시킨 후, 상기 승강구동수단(112)을 이용하여 상기 고정부재(110)를 상승시킴으로써, 상기 고정부재(110)의 고리부(111)가 상기 테스트보드(20)에 형성된 관통공(23)에 결합되도록 한다.
그리고, 상기 제어수단(140)은 상기 전후진구동수단(101)을 구동시켜 가압대(100)를 전방으로 당김으로써, 상기 테스트챔버(11)에 장착된 복수개의 테스트보드(20)가 상기 트레이본체(60)의 내부로 이동하도록 한 후, 상기 고정수단(80)의 고정을 해제함으로써, 작업자가 이송트레이(A)를 이동시킬 수 있도록 한다.
이와 같이 구성된 번인 테스트 장치는 상기 테스트보드(20)의 전단부에는 상하면을 관통하는 관통공(23)이 형성되고, 상기 테스트보드(20)를 이송하여 상기 테스트챔버(11)로 공급하거나 테스트챔버(11)에 고정된 테스트보드(20)를 배출하는 이송트레이(A)와, 전후방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 테스트챔버(11)의 전방 양측에 위치되도록 상기 본체(10)의 전면 하단에 구비되며 측방향이송수단(51)에 의해 측방향으로 슬라이드되어 상기 이송트레이(A)가 상기 테스트챔버(11)의 전방에 위치되도록 위치조절하는 정렬바(50)가 더 구비되어, 작업자가 상기 이송트레이(A)를 밀어 본체(10)의 전방으로 이동하면, 상기 위치조절바(50)가 이송트레이(A)의 위치를 정해진 위치로 정렬하고, 상기 이송트레이(A)가 복수개의 테스트보드(20)를 자동으로 본체(10)의 테스트챔버(11)로 공급하고, 테스트가 완료되면, 자동으로 테스트보드(20)를 인출하여 이송트레이(A)로 이동시킴으로, 테스트챔버(11)에 테스트보드(20)를 장착하거나 배출하는 것이 매우 용이할 뿐 아니라, 테스트보드(20)가 상호 부딪히지 않도록 운반할 수 있는 장점이 있다.
도 17 내지 도 20은 본 발명의 제2 실시예를 도시한 것으로, 상기 본체(10) 전방의 바닥면(1)에는 바닥면(1)과 다른 색의 정지선(2)이 도색된다.
상기 정지선(2)은 흰색이나 노란색 등과 같이 쉽게 눈에 띄는 색으로 이루어진다.
그리고, 상기 이송트레이(A)에는, 상기 트레이본체(60)의 전방 하측면에 하측을 향하도록 구비되어 상기 정지선(2)을 감지하는 정지선감지센서(66)와, 상기 캐스터(62)에 구비되어 캐스터(62)를 정지시키는 제동수단(67)과, 상기 손잡이(70)에 구비되어 작업자가 상기 손잡이(70)를 잡는 것을 감지하는 파지감지수단(74)이 더 구비된다.
상기 정지선감지센서(66)는 상기 정지선(2)을 감지하는 광학센서를 이용한다.
이와 같이, 다른 부위와 다른 색의 선을 감지하는 광학센서는 다양한 종류의 것이 개발되어 사용되고 있음으로, 이에 대한 더 이상 자세한 설명은 생략한다.
상기 제동수단(67)은 상기 캐스터(62)의 일측에 구비되어 전기신호가 입력되면, 캐스터(62)에 구비된 휠의 회전을 정지시켜, 이송트레이(A)가 더 이상 움직이지 않도록 고정한다.
이때, 상기 제동수단(67)은 작동시 상기 캐스터(62)의 휠이 천천히 정지되어, 이송트레이(A)의 속도가 천천히 줄어들도록 한다.
상기 파지감지수단(74)은 상기 손잡이(70)의 일측에 구비되어 정전방식을 이용하여, 작업자가 손으로 손잡이(70)를 잡을 경우, 이를 감지할 수 있도록 구성된다.
이러한 정전방식의 감지수단은 다양한 종류의 것이 개발되어 사용되고 있음으로, 이에 대한 더 이상 자세한 설명은 생략한다.
그리고, 상기 제어수단(140)은 상기 파지감지수단(74)과 상기 정지선감지센서(66)의 신호를 수신하여, 작업자가 상기 손잡이(70)를 손으로 잡은 상태에서, 도 20에 도시한 바와 같이, 상기 정지선감지센서(66)가 상기 정지선(2)을 넘는 것이 감지되면 상기 제동수단(67)을 작동시켜 이송트레이(A)가 더 이상 본체(10)로 근접되지 않도록 하고, 작업자가 상기 손잡이(70)를 잡은 손을 놓으면, 상기 제동수단(67)의 작동을 해제하여, 이송트레이(A)가 움직일 수 있도록 제어한다.
즉, 상기 이송트레이(A)는 작업자가 손잡이(70)를 잡고 손으로 밀어 상기본체(10)의 전방으로 근접되도록 하게 되는데, 이때, 작업자가 실수로 이송트레이(A)를 적당한 위치에 정지시키지 못하게 되고, 이에 따라, 이송트레이(A)가 본체(10)에 충돌하는 경우가 발생될 수 있다.
그런데, 본 실시예의 경우, 상기 본체(10)의 전방 바닥면(1)에 정지선(2)이 형성되고, 도 20에 도시한 바와 같이, 상기 이송트레이(A)가 정지선(2)을 넘을 경우, 상기 제어수단(140)이 정지선감지센서(66)를 통해 이를 확인하고, 상기 제동수단(67)을 작동시켜 이송트레이(A)를 정지시킴으로써, 이송트레이(A)가 본체(10)에 충돌하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 작업자가 상기 손잡이(70)를 잡고 있는 손을 놓으면, 상기 제어수단(140)은 상기 제동수단(67)의 작동을 해제시켜 이송트레이(A)가 움직일 수 있도록 함으로써, 상기 위치정렬바(50)를 이용하여 이송트레이(A)를 정해진 위치로 정렬할 수 있도록 한다.
따라서, 작업자의 실수로 이송트레이(A)가 본체(10)에 충돌하는 것을 효과적으로 방지하면서도, 사용이 편리한 장점이 있다.
10. 본체 20. 테스트보드
30. 도어 40. 온도조절수단
50. 위치정렬수단 A. 이송트레이
60. 트레이본체 70. 손잡이
80. 고정수단 90. 보조가이드
100. 가압대 110. 고정부재
120. 정렬감지수단 130. 회동감지수단
140. 제어수단

Claims (2)

  1. 전방이 개방된 테스트챔버(11)가 형성된 본체(10)와,
    다수개의 반도체 칩(21)이 탑재되며 상기 테스트챔버(11)에 장착되는 복수개의 테스트보드(20)와,
    상기 본체(10)에 구비되어 상기 테스트챔버(11)를 개폐하는 도어(30)와,
    상기 본체(10)의 내부에 구비되어 상기 테스트챔버(11)의 내부에 장착된 테스트보드(20)를 가열 및 냉각시키는 온도조절수단(40)을 포함하고,
    상기 테스트챔버(11)의 내부 양측에는 전후방향으로 연장된 바형상으로 구성되어 상기 테스트보드(20)의 양단 하측면을 지지하는 복수개의 지지가이드(12)가 상호 상하방향으로 이격되도록 구비되는 번인 테스트 장치에 있어서,
    상기 본체(10)의 전면에는 상기 테스트챔버(11)의 양측에 위치되도록 고정대(15)가 구비되고,
    상기 본체(10)의 전면 하측에는 감지블록(16)이 구비되며,
    상기 테스트보드(20)의 전단부에는 상하면을 관통하는 관통공(23)이 형성되고,
    상기 테스트보드(20)를 이송하여 상기 테스트챔버(11)로 공급하거나 테스트챔버(11)에 고정된 테스트보드(20)를 배출하는 이송트레이(A)와,
    전후방향으로 연장된 바형상으로 구성되며 상기 테스트챔버(11)의 전방 양측에 위치되도록 상기 본체(10)의 전면 하단에 구비되며 측방향이송수단(51)에 의해 측방향으로 슬라이드되어 상기 이송트레이(A)가 상기 테스트챔버(11)의 전방에 위치되도록 정렬하는 정렬바(50)를 더 포함하며,
    상기 이송트레이(A)는
    내부에 상기 테스트보드(20)가 적재되는 공간부(61)가 형성되고 후방이 개방된 통형상으로 구성되며 하측면에는 캐스터(62)가 구비되고 하단 양측에는 측방향으로 연장된 연장바(63)가 구비된 트레이본체(60)와,
    상기 트레이본체(60)의 전면에 구비된 브라켓(64)에 전후방향으로 회동가능하게 결합되며 탄성부재(73)에 의해 전방으로 회동되도록 탄성적으로 가압되는 손잡이(70)와,
    상기 트레이본체(60)의 양측에 구비되어 전기신호에 의해 작동되어 상기 고정대(15)에 탈착가능하게 결합되는 한 쌍의 고정수단(80)과,
    상기 트레이본체(60)의 내부 양측에 상호 상하방향으로 이격되도록 구비되어 상기 공간부(61)에 적재된 테스트보드(20)의 양측단 하측면을 지지하는 복수개의 보조가이드(90)와,
    상하방향으로 연장된 패널형상으로 구성되며 상기 트레이본체(60)의 내부 전방에 전후방향으로 슬라이드가능하게 결합되며 전후진구동수단(101)에 의해 전후진되어 상기 보조가이드(90)에 올려지도록 공간부(61)에 적재된 테스트보드(20)를 후방으로 가압하는 가압대(100)와,
    상기 가압대(100)에 승강가능하게 결합되어 승강구동수단(112)에 의해 승강되며 후측면에는 상측으로 연장되어 상기 테스트보드(20)의 관통공(23)에 삽입결합되는 고리부(111)가 형성된 고정부재(110)와,
    상기 트레이본체(60)의 후측면에 후방으로 돌출되도록 구비되며 상기 정렬바(50)에 의해 상기 이송트레이(A)가 정해진 위치로 정렬되면 상기 감지블록(16)과 접촉하여 신호를 출력하도록 된 정렬감지수단(120)과,
    상기 손잡이(70)가 후방으로 회동되는 것을 감지하는 회동감지수단(130)과,
    상기 정렬감지수단(120)과 회동감지수단(130)의 신호를 수신하며 상기 고정수단(80)과 전후진구동수단(101) 및 승강구동수단(112)의 작동을 제어하는 제어수단(140)을 포함하고,
    상기 보조가이드(90)는 상면의 높이가 상기 지지가이드(12)의 상면과 대응되도록 구성되며,
    상기 정렬바(50)의 상면에는 상기 트레이본체(60)의 연장바(63)의 후단에 걸리도록 구성되며 실린더기구(53)에 의해 전후진되는 가압블록(52)이 구비되어,
    작업자가 상기 이송트레이(A)를 상기 본체(10)의 테스트챔버(11) 전방에 위치되도록 이동시키면, 상기 정렬바(50)가 인접방향으로 슬라이드되면서 이송트레이(A)가 테스트챔버(11)에 대응되도록 좌우방향위치가 정렬되고, 상기 가압블록(52)이 후진하여 상기 이송트레이(A)를 후방으로 밀어, 상기 이송트레이(A)가 정해진 위치로 정렬되도록 구성되며,
    상기 제어수단(140)은 상기 정렬감지수단(120)의 신호를 수신하여 상기 이송트레이(A)가 정해진 위치로 정렬된 것이 감지되면 상기 고정수단(80)이 상기 고정대(15)에 결합되도록 제어한 후, 상기 전후진구동수단(101)으로 상기 가압대(100)를 전후진시켜 상기 트레이본체(60)에 설치된 복수개의 테스트보드(20)가 상기 테스트챔버(11)로 공급되도록 하고, 작업자가 상기 손잡이(70)를 잡아당겨 후방으로 회동시키면 상기 전후진구동수단(101)과 승강구동수단(112)의 작동을 제어하여 상기 테스트챔버(11)에 장착된 복수개의 테스트보드(20)를 전방으로 당겨 트레이본체(60)의 내부로 배출되도록 한 후 상기 고정수단(80)의 고정을 해제하도록 된 것을 특징으로 하는 번인 테스트 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 본체(10) 전방의 바닥면(1)에는 바닥면(1)과 다른 색의 정지선(2)이 도색되고,
    상기 트레이본체(60)의 전방 하측면에 하측을 향하도록 구비되어 상기 정지선(2)을 감지하는 정지선감지센서(66)와,
    상기 캐스터(62)에 구비되어 캐스터(62)를 정지시키는 제동수단(67)과,
    상기 손잡이(70)에 구비되어 작업자가 상기 손잡이(70)를 잡는 것을 감지하는 파지감지수단(74)을 더 포함하며,
    상기 제어수단(140)은 상기 파지감지수단(74)과 상기 정지선감지센서(66)의 신호를 수신하여, 작업자가 상기 손잡이(70)를 손으로 잡은 상태에서 상기 정지선감지센서(66)가 상기 정지선을 넘는 것이 감지되면 상기 제동수단(67)을 작동시켜 이송트레이(A)가 더 이상 본체(10)로 근접되지 않도록 하고, 작업자가 상기 손잡이(70)를 잡은 손을 놓으면, 상기 제동수단(67)의 작동을 해제하여, 이송트레이(A)가 움직일 수 있도록 제어하는 것을 특징으로 하는 번인 테스트 장치.
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