JPH09110107A - 無人搬送車によるバーンインボードの自動移載方法およびバーンインテストシステム - Google Patents
無人搬送車によるバーンインボードの自動移載方法およびバーンインテストシステムInfo
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- JPH09110107A JPH09110107A JP7268765A JP26876595A JPH09110107A JP H09110107 A JPH09110107 A JP H09110107A JP 7268765 A JP7268765 A JP 7268765A JP 26876595 A JP26876595 A JP 26876595A JP H09110107 A JPH09110107 A JP H09110107A
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- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
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- B60—VEHICLES IN GENERAL
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- B60Y2200/00—Type of vehicle
- B60Y2200/40—Special vehicles
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 バーンインテストシステムにおいて、低コス
ト化、省スペース化、ＡＧＶの経路の容易な変更、高い
確度での自動移載を可能とする。 【解決手段】 ＡＧＶ２は、キャリアラックを載置する
フォーク６ａと、フォーク６ａをＹ方向に前後移動する
前後機構６と、前後機構６を昇降する昇降機構５と、回
収されたキャリアラックのフォーク６ａに対するずれを
補正するＸＹ位置決めガイドとを備え、バーンインテス
ト装置１は、１つの側面が格納箇所の底面と略一致する
よう底面の四隅に取り付けられる位置決めガイドと、当
該底面を構成する複数のフリーローラと、キャリアラッ
ク内のバーンインボードの挿抜機構とを備える。
ト化、省スペース化、ＡＧＶの経路の容易な変更、高い
確度での自動移載を可能とする。 【解決手段】 ＡＧＶ２は、キャリアラックを載置する
フォーク６ａと、フォーク６ａをＹ方向に前後移動する
前後機構６と、前後機構６を昇降する昇降機構５と、回
収されたキャリアラックのフォーク６ａに対するずれを
補正するＸＹ位置決めガイドとを備え、バーンインテス
ト装置１は、１つの側面が格納箇所の底面と略一致する
よう底面の四隅に取り付けられる位置決めガイドと、当
該底面を構成する複数のフリーローラと、キャリアラッ
ク内のバーンインボードの挿抜機構とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、無軌道ＡＧＶ
（無人搬送車）とバーンインテスト装置との間でバーン
インボードを自動移載する、無人搬送車によるバーンイ
ンボードの自動移載方法およびバーンインテストシステ
ムに関する。
（無人搬送車）とバーンインテスト装置との間でバーン
インボードを自動移載する、無人搬送車によるバーンイ
ンボードの自動移載方法およびバーンインテストシステ
ムに関する。
【０００２】
【従来の技術】図１２〜図１５（ａ），図１５（ｂ）を
参照して、従来技術によるＡＧＶを使用したバーンイン
ボードの自動移載方法を適用したバーンインテストシス
テムについて説明する。
参照して、従来技術によるＡＧＶを使用したバーンイン
ボードの自動移載方法を適用したバーンインテストシス
テムについて説明する。
【０００３】まず、第１の従来例について、図１２およ
び図１３（ａ），図１３（ｂ）を参照して説明する。図
１２は第１の従来例の平面図、図１３（ａ）は同側面
図、図１３（ｂ）は同正面図である。図１２および図１
３（ａ），図１３（ｂ）に示されるように、第１の従来
例では、機械的案内ガイド７８を有する有軌道のＡＧＶ
７１を使用する。このＡＧＶ７１は、駆動コンベヤ７２
と駆動コンベヤ７２を前後（図中Ｙ方向）に移動させる
機構７３と、バーンインボード４を保持するキャリアラ
ック３を昇降する機構７４を備えている。一方、バーン
インテスト装置１は、ＡＧＶ７１の進行方向（図中Ｘ方
向）における停止誤差を吸収する位置決めガイド７５
と、バーンインボード４のコネクタ挿抜機構７６，７６
ａ，７６ｂと、駆動コンベヤ７７とを備えている。
び図１３（ａ），図１３（ｂ）を参照して説明する。図
１２は第１の従来例の平面図、図１３（ａ）は同側面
図、図１３（ｂ）は同正面図である。図１２および図１
３（ａ），図１３（ｂ）に示されるように、第１の従来
例では、機械的案内ガイド７８を有する有軌道のＡＧＶ
７１を使用する。このＡＧＶ７１は、駆動コンベヤ７２
と駆動コンベヤ７２を前後（図中Ｙ方向）に移動させる
機構７３と、バーンインボード４を保持するキャリアラ
ック３を昇降する機構７４を備えている。一方、バーン
インテスト装置１は、ＡＧＶ７１の進行方向（図中Ｘ方
向）における停止誤差を吸収する位置決めガイド７５
と、バーンインボード４のコネクタ挿抜機構７６，７６
ａ，７６ｂと、駆動コンベヤ７７とを備えている。
【０００４】このような構成において、ＡＧＶ７１から
バーンインテスト装置１へバーンインボード４を供給す
る場合には、まず、ＡＧＶ７１が供給位置に停止する。
次に、ＡＧＶ７１が、キャリアラック３を上昇させた
後、駆動コンベヤ７２を前進させ、駆動コンベヤ７２を
正転駆動する。この際、駆動コンベヤ７７はバーンイン
テスト装置１によって駆動コンベヤ７２と同方向に正転
駆動されているため、キャリアラック３が装置１内へ供
給移載される。キャリアラック３内のバーンインボード
４は装置１側のコネクタ挿抜機構７６ａにより装置１の
奥側に引き込まれ、コネクタ嵌合動作が為される。コネ
クタ嵌合動作終了後、ＡＧＶ７１は駆動コンベヤ７２を
後退させた後、これを下降させて原位置に戻す。
バーンインテスト装置１へバーンインボード４を供給す
る場合には、まず、ＡＧＶ７１が供給位置に停止する。
次に、ＡＧＶ７１が、キャリアラック３を上昇させた
後、駆動コンベヤ７２を前進させ、駆動コンベヤ７２を
正転駆動する。この際、駆動コンベヤ７７はバーンイン
テスト装置１によって駆動コンベヤ７２と同方向に正転
駆動されているため、キャリアラック３が装置１内へ供
給移載される。キャリアラック３内のバーンインボード
４は装置１側のコネクタ挿抜機構７６ａにより装置１の
奥側に引き込まれ、コネクタ嵌合動作が為される。コネ
クタ嵌合動作終了後、ＡＧＶ７１は駆動コンベヤ７２を
後退させた後、これを下降させて原位置に戻す。
【０００５】逆に、バーンインテスト装置１からＡＧＶ
７１へバーンインボード４を回収する場合には、装置１
がコネクタ挿抜機構７６ｂによりバーンインボード４を
押し出しながらコネクタを引き抜くとともに、ＡＧＶ７
１が回収位置に停止し、駆動コンベヤ７２を上昇させた
後に前進させる。次に、装置１およびＡＧＶ７１がそれ
ぞれ駆動コンベヤ７２および７７を逆転駆動させ、キャ
リアラック３をＡＧＶ７１へ回収移載した後、ＡＧＶ７
１が駆動コンベヤ７２を後退させた後に下降させて原位
置に戻す。
７１へバーンインボード４を回収する場合には、装置１
がコネクタ挿抜機構７６ｂによりバーンインボード４を
押し出しながらコネクタを引き抜くとともに、ＡＧＶ７
１が回収位置に停止し、駆動コンベヤ７２を上昇させた
後に前進させる。次に、装置１およびＡＧＶ７１がそれ
ぞれ駆動コンベヤ７２および７７を逆転駆動させ、キャ
リアラック３をＡＧＶ７１へ回収移載した後、ＡＧＶ７
１が駆動コンベヤ７２を後退させた後に下降させて原位
置に戻す。
【０００６】次に、第２の従来例について、図１４およ
び図１５（ａ），図１５（ｂ）を参照して説明する。図
１４は第２の従来例の平面図、図１５（ａ）は同側面
図、図１５（ｂ）は同正面図である。図１４および図１
５（ａ），図１５（ｂ）に示されるように、第２の従来
例では、機械的案内ガイド８８を有する有軌道のＡＧＶ
８１を使用する。このＡＧＶ８１は、モータまたはエア
ーシリンダ等により引掛けピンを正転駆動／逆転駆動す
る引掛けピン機構８２と、引掛けピン機構８２を前後
（図中Ｙ方向）に移動する機構８３と、キャリアラック
３を昇降する機構８４を備えている。一方、バーンイン
テスト装置１は、ＡＧＶ８１の進行方向（図中Ｘ方向）
における停止誤差を吸収する位置決めガイド８５と、バ
ーンインボード４のコネクタ挿抜機構８６，８６ａ，８
６ｂと、フリーローラ８７を備えている。
び図１５（ａ），図１５（ｂ）を参照して説明する。図
１４は第２の従来例の平面図、図１５（ａ）は同側面
図、図１５（ｂ）は同正面図である。図１４および図１
５（ａ），図１５（ｂ）に示されるように、第２の従来
例では、機械的案内ガイド８８を有する有軌道のＡＧＶ
８１を使用する。このＡＧＶ８１は、モータまたはエア
ーシリンダ等により引掛けピンを正転駆動／逆転駆動す
る引掛けピン機構８２と、引掛けピン機構８２を前後
（図中Ｙ方向）に移動する機構８３と、キャリアラック
３を昇降する機構８４を備えている。一方、バーンイン
テスト装置１は、ＡＧＶ８１の進行方向（図中Ｘ方向）
における停止誤差を吸収する位置決めガイド８５と、バ
ーンインボード４のコネクタ挿抜機構８６，８６ａ，８
６ｂと、フリーローラ８７を備えている。
【０００７】このような構成において、ＡＧＶ８１から
バーンインテスト装置１へバーンインボード４を供給す
る場合には、まず、ＡＧＶ８１が供給位置に停止する。
次に、ＡＧＶ８１が、キャリアラック３を上昇させた
後、引掛けピン機構８２を機構８３により前進させ、引
掛けピン機構８２を正転駆動する。これにより、キャリ
アラック３が装置内のフリーローラ８７上へ供給移載さ
れる。キャリアラック３内のバーンインボード４は、装
置１側のコネクタ挿抜機構８６ａにより装置１の奥側に
引き込まれ、コネクタ嵌合動作が為される。コネクタ嵌
合動作終了後、ＡＧＶ８１は引掛けピン機構８２を後退
させた後、これを下降させて原位置に戻す。
バーンインテスト装置１へバーンインボード４を供給す
る場合には、まず、ＡＧＶ８１が供給位置に停止する。
次に、ＡＧＶ８１が、キャリアラック３を上昇させた
後、引掛けピン機構８２を機構８３により前進させ、引
掛けピン機構８２を正転駆動する。これにより、キャリ
アラック３が装置内のフリーローラ８７上へ供給移載さ
れる。キャリアラック３内のバーンインボード４は、装
置１側のコネクタ挿抜機構８６ａにより装置１の奥側に
引き込まれ、コネクタ嵌合動作が為される。コネクタ嵌
合動作終了後、ＡＧＶ８１は引掛けピン機構８２を後退
させた後、これを下降させて原位置に戻す。
【０００８】逆に、バーンインテスト装置１からＡＧＶ
８１へバーンインボード４を回収する場合には、装置１
がコネクタ挿抜機構８６ｂによりバーンインボード４を
押し出しながらコネクタを引き抜くとともに、ＡＧＶ８
１が回収位置に停止し、引掛けピン機構８２を上昇させ
た後に前進させる。次に、ＡＧＶ８１が、引掛けピン機
構８２を逆転させ、キャリアラック３をＡＧＶ８１へ回
収移載した後、引掛けピン機構８２を後退、下降させて
原位置に戻す。
８１へバーンインボード４を回収する場合には、装置１
がコネクタ挿抜機構８６ｂによりバーンインボード４を
押し出しながらコネクタを引き抜くとともに、ＡＧＶ８
１が回収位置に停止し、引掛けピン機構８２を上昇させ
た後に前進させる。次に、ＡＧＶ８１が、引掛けピン機
構８２を逆転させ、キャリアラック３をＡＧＶ８１へ回
収移載した後、引掛けピン機構８２を後退、下降させて
原位置に戻す。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来例による無人搬送車によるバーンインボードの自
動移載方法またはバーンインテストシステムでは、以下
に述べる欠点を有する。例えば、第１、第２の従来例で
は、極めて高い停止精度を有するＡＧＶの使用が前提と
なっている。ＡＧＶの停止精度が十分に高くないと、キ
ャリアラック移載時に引っかかりが生じ、移載が成功し
ない、あるいは無人での移載が達成されないという問題
が発生する。特に、高さ方向（図中Ｚ方向）の位置ずれ
（移載レベルずれ）が大きいと、キャリアラック３がバ
ーンインテスト装置１のいずれかの部位に引っかかり、
移載に失敗してしまう。
た従来例による無人搬送車によるバーンインボードの自
動移載方法またはバーンインテストシステムでは、以下
に述べる欠点を有する。例えば、第１、第２の従来例で
は、極めて高い停止精度を有するＡＧＶの使用が前提と
なっている。ＡＧＶの停止精度が十分に高くないと、キ
ャリアラック移載時に引っかかりが生じ、移載が成功し
ない、あるいは無人での移載が達成されないという問題
が発生する。特に、高さ方向（図中Ｚ方向）の位置ずれ
（移載レベルずれ）が大きいと、キャリアラック３がバ
ーンインテスト装置１のいずれかの部位に引っかかり、
移載に失敗してしまう。
【００１０】さらに、図から明かであるように、１台の
バーンインテスト装置１には４カ所の移載位置が存在す
る。しかも、通常、バーンインテスト装置１は複数台設
置されているため、移載箇所、すなわち高さ方向の位置
合わせ箇所が多数となる。加えて、床の傾斜など外部条
件の影響も受けるため、これら多数の移載箇所すべてに
わたり、位置ずれを所定の狭い公差範囲内に収めること
は、従来の無軌道のＡＧＶを用いた場合には、極めて困
難である。
バーンインテスト装置１には４カ所の移載位置が存在す
る。しかも、通常、バーンインテスト装置１は複数台設
置されているため、移載箇所、すなわち高さ方向の位置
合わせ箇所が多数となる。加えて、床の傾斜など外部条
件の影響も受けるため、これら多数の移載箇所すべてに
わたり、位置ずれを所定の狭い公差範囲内に収めること
は、従来の無軌道のＡＧＶを用いた場合には、極めて困
難である。
【００１１】そこで、第１，第２の従来例では、停止精
度を高めるために、有軌道のＡＧＶ７１、８１を用いる
ようにしている。しかしながら、有軌道のＡＧＶを使用
するためには、ＡＧＶの為の軌道（レールなど）を工場
内に敷設する必要があり、大規模かつ高コストな工事を
要するという欠点がある。また、軌道は多大な設置面積
を必要とするため、工場の生産性を低下させる一因とな
り得る。さらに、一度軌道を敷設してしまうと、そのレ
イアウト変更は極めて困難である。
度を高めるために、有軌道のＡＧＶ７１、８１を用いる
ようにしている。しかしながら、有軌道のＡＧＶを使用
するためには、ＡＧＶの為の軌道（レールなど）を工場
内に敷設する必要があり、大規模かつ高コストな工事を
要するという欠点がある。また、軌道は多大な設置面積
を必要とするため、工場の生産性を低下させる一因とな
り得る。さらに、一度軌道を敷設してしまうと、そのレ
イアウト変更は極めて困難である。
【００１２】ところで、第２の従来例（図１４および図
１５（ａ），図１５（ｂ）参照）において、高さ方向の
停止精度は、第１の従来例（図１２および図１３
（ａ），図１３（ｂ）参照）ほど必要とされない。しか
しながら、キャリアラック３に穴８９を設ける必要があ
る。この穴８９は、引掛けピン機構８２の引掛けピンに
嵌合する専用の穴である。通常、キャリアラックは多数
用意されているため、全てのキャリアラックに穴８９を
設けると、手間がかかり、コスト高を招致してしまう。
１５（ａ），図１５（ｂ）参照）において、高さ方向の
停止精度は、第１の従来例（図１２および図１３
（ａ），図１３（ｂ）参照）ほど必要とされない。しか
しながら、キャリアラック３に穴８９を設ける必要があ
る。この穴８９は、引掛けピン機構８２の引掛けピンに
嵌合する専用の穴である。通常、キャリアラックは多数
用意されているため、全てのキャリアラックに穴８９を
設けると、手間がかかり、コスト高を招致してしまう。
【００１３】本発明は、上述した事情に鑑みて為された
ものであり、低コストかつ省スペースであるとともに、
ＡＧＶの経路の変更が容易であって、高い確度で自動移
載を行うことができる無人搬送車によるバーンインボー
ドの自動移載方法およびバーンインテストシステムを提
供することを目的としている。
ものであり、低コストかつ省スペースであるとともに、
ＡＧＶの経路の変更が容易であって、高い確度で自動移
載を行うことができる無人搬送車によるバーンインボー
ドの自動移載方法およびバーンインテストシステムを提
供することを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明の方法は、バーンインボードを保持する
キャリアラックを搬送する無軌道の無人搬送車を用い
て、前記キャリアラックをバーンインテスト装置の格納
箇所へ供給したり、前記キャリアラックを前記格納箇所
から回収して前記無人搬送車の定位置に載置したりする
無人搬送車によるバーンインボードの自動移載方法であ
って、前記無人搬送車側には、前記キャリアラックを載
置して該キャリアラックを移動する移動機構を設けると
ともに、前記定位置の周りに上方からの進入物の進行方
向を該進入物の自重で前記定位置側へ変更する第２の補
正手段を設け、前記バーンインテスト装置側には、前記
格納箇所の周りに上方からの進入物の進行方向を該進入
物の自重で前記格納箇所側へ変更する補正手段を設け、
前記キャリアラックを前記格納箇所に供給する際には、
該キャリアラックを載置した前記無人搬送車を該格納箇
所近傍に停止させ、該無人搬送車の前記移動機構によっ
て該キャリアラックを前記格納箇所上方に位置させ、該
移動機構によって該キャリアラックを下降させて該格納
箇所に載置し、該移動機構を該無人搬送車に格納し、前
記キャリアラックを前記格納箇所から回収する際には、
前記無人搬送車を該格納箇所近傍に停止させ、該無人搬
送車の前記移動機構によって該キャリアラックを該無人
搬送車の前記定位置上方に位置させ、該移動機構によっ
て該キャリアラックを下降させて該定位置に載置するこ
とを特徴としている。
ために、本発明の方法は、バーンインボードを保持する
キャリアラックを搬送する無軌道の無人搬送車を用い
て、前記キャリアラックをバーンインテスト装置の格納
箇所へ供給したり、前記キャリアラックを前記格納箇所
から回収して前記無人搬送車の定位置に載置したりする
無人搬送車によるバーンインボードの自動移載方法であ
って、前記無人搬送車側には、前記キャリアラックを載
置して該キャリアラックを移動する移動機構を設けると
ともに、前記定位置の周りに上方からの進入物の進行方
向を該進入物の自重で前記定位置側へ変更する第２の補
正手段を設け、前記バーンインテスト装置側には、前記
格納箇所の周りに上方からの進入物の進行方向を該進入
物の自重で前記格納箇所側へ変更する補正手段を設け、
前記キャリアラックを前記格納箇所に供給する際には、
該キャリアラックを載置した前記無人搬送車を該格納箇
所近傍に停止させ、該無人搬送車の前記移動機構によっ
て該キャリアラックを前記格納箇所上方に位置させ、該
移動機構によって該キャリアラックを下降させて該格納
箇所に載置し、該移動機構を該無人搬送車に格納し、前
記キャリアラックを前記格納箇所から回収する際には、
前記無人搬送車を該格納箇所近傍に停止させ、該無人搬
送車の前記移動機構によって該キャリアラックを該無人
搬送車の前記定位置上方に位置させ、該移動機構によっ
て該キャリアラックを下降させて該定位置に載置するこ
とを特徴としている。
【００１５】また、本発明のシステムは、バーンインボ
ードを保持するキャリアラックを搬送する無軌道の無人
搬送車を用いて、前記キャリアラックをバーンインテス
ト装置の格納箇所へ供給するとともに、前記キャリアラ
ックを前記格納箇所から回収して前記無人搬送車の定位
置に載置するバーンインテストシステムであって、前記
無人搬送車側は、前記キャリアラックを載置して該キャ
リアラックを昇降および水平移動する移動機構と、前記
定位置の周りに設けられ、上方からの進入物が当接する
と該進入物の自重により該進入物の進行方向を前記定位
置側へ変更する特定面を有する第２の補正手段とを備
え、前記バーンインテスト装置は、前記格納箇所の周り
に設けられ、上方からの進入物が当接すると該進入物の
自重により該進入物の進行方向を前記格納箇所側へ変更
する第１の補正手段を備えることを特徴としている。
ードを保持するキャリアラックを搬送する無軌道の無人
搬送車を用いて、前記キャリアラックをバーンインテス
ト装置の格納箇所へ供給するとともに、前記キャリアラ
ックを前記格納箇所から回収して前記無人搬送車の定位
置に載置するバーンインテストシステムであって、前記
無人搬送車側は、前記キャリアラックを載置して該キャ
リアラックを昇降および水平移動する移動機構と、前記
定位置の周りに設けられ、上方からの進入物が当接する
と該進入物の自重により該進入物の進行方向を前記定位
置側へ変更する特定面を有する第２の補正手段とを備
え、前記バーンインテスト装置は、前記格納箇所の周り
に設けられ、上方からの進入物が当接すると該進入物の
自重により該進入物の進行方向を前記格納箇所側へ変更
する第１の補正手段を備えることを特徴としている。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て、図面を参照して説明する。図１および図２（ａ），
図２（ｂ）は、それぞれ、本発明の一実施形態によるバ
ーンインテストシステムの構成を示す平面図、側面図、
正面図であり、これらの図において、１は工場内に複数
設置されるバーンインテスト装置、９は工場内の床に貼
付された磁気テープ、２は磁気テープ９にしたがって走
行する無軌道のＡＧＶ（無人搬送車）であり、図中Ｘ方
向へ進行する。
て、図面を参照して説明する。図１および図２（ａ），
図２（ｂ）は、それぞれ、本発明の一実施形態によるバ
ーンインテストシステムの構成を示す平面図、側面図、
正面図であり、これらの図において、１は工場内に複数
設置されるバーンインテスト装置、９は工場内の床に貼
付された磁気テープ、２は磁気テープ９にしたがって走
行する無軌道のＡＧＶ（無人搬送車）であり、図中Ｘ方
向へ進行する。
【００１７】ＡＧＶ２において、３はキャリアラック、
４はキャリアラック３に保持されたバーンインボード、
６ａはキャリアラック３が載置されるフォーク、６はフ
ォーク６ａを有する前後機構であり、モータおよびチェ
ーンによってフォーク６ａを図中Ｙ方向へ伸縮させてキ
ャリアラック３を前後に移動する。５はモータおよびボ
ールネジによって前後機構６を昇降させる昇降機構、７
は回収されたキャリアラック３のフォーク６ａに対する
ずれ（ＡＧＶ２の停止精度誤差分に相当）を補正するＸ
Ｙ位置決めガイド（第２の補正手段）であり、下降途中
のキャリアラック３に接触してＸ方向およびＹ方向のず
れを補正する。なお、昇降機構５および前後機構６は移
動機構を構成している。
４はキャリアラック３に保持されたバーンインボード、
６ａはキャリアラック３が載置されるフォーク、６はフ
ォーク６ａを有する前後機構であり、モータおよびチェ
ーンによってフォーク６ａを図中Ｙ方向へ伸縮させてキ
ャリアラック３を前後に移動する。５はモータおよびボ
ールネジによって前後機構６を昇降させる昇降機構、７
は回収されたキャリアラック３のフォーク６ａに対する
ずれ（ＡＧＶ２の停止精度誤差分に相当）を補正するＸ
Ｙ位置決めガイド（第２の補正手段）であり、下降途中
のキャリアラック３に接触してＸ方向およびＹ方向のず
れを補正する。なお、昇降機構５および前後機構６は移
動機構を構成している。
【００１８】図３および図４は、本システムにおけるバ
ーンインテスト装置１の概略構成を示す平面図および正
面図であり、この図に示される構成の装置１は、上下左
右の４つの格納箇所にキャリアラック３を格納すること
ができるよう設計されている。各格納箇所において、１
１はＡＧＶ２の停止精度誤差を吸収するための位置決め
ガイド（第１の補正手段）であり、１つの側面が格納箇
所の底面と略一致するよう底面の四隅に取り付けられ
る。
ーンインテスト装置１の概略構成を示す平面図および正
面図であり、この図に示される構成の装置１は、上下左
右の４つの格納箇所にキャリアラック３を格納すること
ができるよう設計されている。各格納箇所において、１
１はＡＧＶ２の停止精度誤差を吸収するための位置決め
ガイド（第１の補正手段）であり、１つの側面が格納箇
所の底面と略一致するよう底面の四隅に取り付けられ
る。
【００１９】図１６は上述した位置決めガイド１１およ
び前述したＸＹ位置決めガイド７の構造を示す斜視図で
あり、この図に示されるように、位置決めガイド１１は
略三角柱状に形成されており、対向する位置決めガイド
１１に特定の斜面が向くよう設置され、対向する位置決
めガイド１１，１１間の距離がキャリアラック３のＸ方
向の長さより僅かに長くなるよう設定されている。
び前述したＸＹ位置決めガイド７の構造を示す斜視図で
あり、この図に示されるように、位置決めガイド１１は
略三角柱状に形成されており、対向する位置決めガイド
１１に特定の斜面が向くよう設置され、対向する位置決
めガイド１１，１１間の距離がキャリアラック３のＸ方
向の長さより僅かに長くなるよう設定されている。
【００２０】また、ＸＹ位置決めガイド７は、略三角柱
状の２つの部材を位置決めガイド１１と同様な形態で板
上に設け、両部材の特定の斜面がそれぞれＸ方向および
Ｙ方向に向くよう構成されている。２つのＸＹ位置決め
ガイド７は、両者の距離がキャリアラック３の底面の対
角線より僅かに長くなるよう配置されており、かつ、４
つの三角形状の部材で規定される最小の長方形が、その
縦横ともに、キャリアラック３の底面より僅かに長くな
るよう設定されている。なお、三角形状の各部材の特定
の面が水平面となす角は、キャリアラック３の一部が当
接した場合に、キャリアラック３が自重で滑り落ちる角
度に設定されている。
状の２つの部材を位置決めガイド１１と同様な形態で板
上に設け、両部材の特定の斜面がそれぞれＸ方向および
Ｙ方向に向くよう構成されている。２つのＸＹ位置決め
ガイド７は、両者の距離がキャリアラック３の底面の対
角線より僅かに長くなるよう配置されており、かつ、４
つの三角形状の部材で規定される最小の長方形が、その
縦横ともに、キャリアラック３の底面より僅かに長くな
るよう設定されている。なお、三角形状の各部材の特定
の面が水平面となす角は、キャリアラック３の一部が当
接した場合に、キャリアラック３が自重で滑り落ちる角
度に設定されている。
【００２１】再び、図３および図４において、１２，１
２ａ，１２ｂはバーンインボードの挿抜機構、１４はＸ
方向に摺動する自動扉であり、挿抜機構１２ａと自動扉
１４との隙間、および自動扉１４とＡＧＶ２との隙間Ｌ
２により、装置１とＡＧＶ２との間の受け渡し距離Ｌ１
が長く設定されている。上記挿抜機構は、バーンインボ
ード供給時には、挿抜機構１２ａが内側に閉鎖してキャ
リアラック３をコネクタ方向に押しやることによりバー
ンインボードをコネクタに嵌合させる。また、バーンイ
ンボード回収時には、挿抜機構１２ａが外側に開いてキ
ャリアラック３の通路を開放するとともに、挿抜機構１
２ｂがバーンインボードを押し出すことによりバーンイ
ンボードをコネクタから外す（特公平５−６２７０２号
および特公平５−６２７０４号の公報参照）。なお、挿
抜機構は、上述した構成のものに限定されるものではな
い。
２ａ，１２ｂはバーンインボードの挿抜機構、１４はＸ
方向に摺動する自動扉であり、挿抜機構１２ａと自動扉
１４との隙間、および自動扉１４とＡＧＶ２との隙間Ｌ
２により、装置１とＡＧＶ２との間の受け渡し距離Ｌ１
が長く設定されている。上記挿抜機構は、バーンインボ
ード供給時には、挿抜機構１２ａが内側に閉鎖してキャ
リアラック３をコネクタ方向に押しやることによりバー
ンインボードをコネクタに嵌合させる。また、バーンイ
ンボード回収時には、挿抜機構１２ａが外側に開いてキ
ャリアラック３の通路を開放するとともに、挿抜機構１
２ｂがバーンインボードを押し出すことによりバーンイ
ンボードをコネクタから外す（特公平５−６２７０２号
および特公平５−６２７０４号の公報参照）。なお、挿
抜機構は、上述した構成のものに限定されるものではな
い。
【００２２】このような構成において、ＡＧＶ２からバ
ーンインテスト装置１の図４中左上の格納箇所にバーン
インボード４を供給する場合の動作について説明する。
この場合、少なくとも１枚のバーンインボード４を保持
したキャリアラック３を１個だけ載置したＡＧＶ２は、
床に貼付された磁気テープ９に誘導され、左側供給位置
ステーション９ｂを検知して停止する。なお、左側供給
位置ステーション９ｂは、「この位置で停止すると進行
方向左側にキャリアラック３の供給又は回収先が存在す
る」ことを表すステーションである。
ーンインテスト装置１の図４中左上の格納箇所にバーン
インボード４を供給する場合の動作について説明する。
この場合、少なくとも１枚のバーンインボード４を保持
したキャリアラック３を１個だけ載置したＡＧＶ２は、
床に貼付された磁気テープ９に誘導され、左側供給位置
ステーション９ｂを検知して停止する。なお、左側供給
位置ステーション９ｂは、「この位置で停止すると進行
方向左側にキャリアラック３の供給又は回収先が存在す
る」ことを表すステーションである。
【００２３】この際、停止位置精度を向上させるため
に、本実施形態では、バーンインテスト装置１側に反射
板８ａ、ＡＧＶ２側に反射型光電スイッチ８ｂを取り付
け、磁気的検知のみならず、光学的検知を併用して停止
するようにしている。これにより、ＡＧＶ２の停止位置
精度を、後段の処理に差し支えない程度のものに抑制し
ているのである。
に、本実施形態では、バーンインテスト装置１側に反射
板８ａ、ＡＧＶ２側に反射型光電スイッチ８ｂを取り付
け、磁気的検知のみならず、光学的検知を併用して停止
するようにしている。これにより、ＡＧＶ２の停止位置
精度を、後段の処理に差し支えない程度のものに抑制し
ているのである。
【００２４】こうして停止したＡＧＶ２は、図１，図２
（ａ），図２（ｂ）におけるＸ方向、Ｙ方向、α方向
（Ｚ軸回りの方向）、θ1 方向（Ｙ軸回りの方向）、θ
2 方向（Ｘ軸回りの方向）に停止位置精度誤差を有す
る。なお、θ1 方向およびθ2 方向の誤差は、工場内の
床面の傾きに基づいて生じる。
（ａ），図２（ｂ）におけるＸ方向、Ｙ方向、α方向
（Ｚ軸回りの方向）、θ1 方向（Ｙ軸回りの方向）、θ
2 方向（Ｘ軸回りの方向）に停止位置精度誤差を有す
る。なお、θ1 方向およびθ2 方向の誤差は、工場内の
床面の傾きに基づいて生じる。
【００２５】次に、このように誤差が生じた状態で、Ａ
ＧＶ２は、昇降機構５によりキャリアラック３を高さＬ
５に供給クリアランスＬ６を加えた高さまで上昇させ
る。高さＬ５および供給クリアランスＬ６は、図７
（ａ）の正面図に示されるように、それぞれ、床からの
高さ、Ｚ方向の誤差の許容範囲より長い距離を意味して
おり、供給クリアランスＬ６を考慮に入れることによっ
て、キャリアラック３が位置決めガイド１１に引掛かる
のを防止することができる。
ＧＶ２は、昇降機構５によりキャリアラック３を高さＬ
５に供給クリアランスＬ６を加えた高さまで上昇させ
る。高さＬ５および供給クリアランスＬ６は、図７
（ａ）の正面図に示されるように、それぞれ、床からの
高さ、Ｚ方向の誤差の許容範囲より長い距離を意味して
おり、供給クリアランスＬ６を考慮に入れることによっ
て、キャリアラック３が位置決めガイド１１に引掛かる
のを防止することができる。
【００２６】次に、ＡＧＶ２は、図１に示されるよう
に、前後機構６によりフォークリーチ（フォークの長
さ）Ｌ３だけフォークを伸ばし、キャリアラック３をバ
ーンインテスト装置１内の所定の格納箇所に送り込み、
昇降機構５によりフォーク６ａを高さＬ１１（図７
（ｂ）参照）まで下降させる。これにより、キャリアラ
ック３は、図５および図７（ａ）に示されるように、Ｘ
方向に距離Ｌ７だけずれた位置３ｂ−３から、位置決め
ガイド１１の特定の面にガイドされながら下降し、フリ
ーローラ１５上の定位置３ａ−３に載置される。なお、
フリーローラ１５はキャリアラック３をＹ方向に移動可
能に支持するものであり、各格納箇所の底面に設けられ
ている。次に、ＡＧＶ２は、前後機構６によりフォーク
６ａを後退させ、ＡＧＶ２内に格納する。
に、前後機構６によりフォークリーチ（フォークの長
さ）Ｌ３だけフォークを伸ばし、キャリアラック３をバ
ーンインテスト装置１内の所定の格納箇所に送り込み、
昇降機構５によりフォーク６ａを高さＬ１１（図７
（ｂ）参照）まで下降させる。これにより、キャリアラ
ック３は、図５および図７（ａ）に示されるように、Ｘ
方向に距離Ｌ７だけずれた位置３ｂ−３から、位置決め
ガイド１１の特定の面にガイドされながら下降し、フリ
ーローラ１５上の定位置３ａ−３に載置される。なお、
フリーローラ１５はキャリアラック３をＹ方向に移動可
能に支持するものであり、各格納箇所の底面に設けられ
ている。次に、ＡＧＶ２は、前後機構６によりフォーク
６ａを後退させ、ＡＧＶ２内に格納する。
【００２７】一方、バーンインテスト装置１は、フリー
ローラ１５上に載置されたキャリアラック３を、挿抜機
構１２ａにより、Ｙ方向に距離Ｌ８だけずれた位置３ｂ
−４から距離Ｌ１０だけ引き込み（位置３ａ−４）、さ
らに距離Ｌ９だけ引き込んで（位置３ｃ−４）バーンイ
ンボード４のコネクタ嵌合を行う（図６参照）。ここ
で、位置３ａ−４はＹ方向の定位置であり、位置３ｃ−
４はコネクタ嵌合位置である。こうして、キャリアラッ
ク３の供給が完了し、バーンインテストが行われる。
ローラ１５上に載置されたキャリアラック３を、挿抜機
構１２ａにより、Ｙ方向に距離Ｌ８だけずれた位置３ｂ
−４から距離Ｌ１０だけ引き込み（位置３ａ−４）、さ
らに距離Ｌ９だけ引き込んで（位置３ｃ−４）バーンイ
ンボード４のコネクタ嵌合を行う（図６参照）。ここ
で、位置３ａ−４はＹ方向の定位置であり、位置３ｃ−
４はコネクタ嵌合位置である。こうして、キャリアラッ
ク３の供給が完了し、バーンインテストが行われる。
【００２８】次に、バーンインテスト装置１の図４中左
上の格納箇所からＡＧＶ２へ、バーンインテストが完了
したＩＣが搭載されたバーンインボード４を少なくとも
一枚有するキャリアラック３を回収する場合の動作につ
いて説明する。この場合、バーンインテスト装置１は挿
抜機構１２ｂ（図３参照）によりコネクタの嵌合を外
し、バーンインボード４が保持されたキャリアラック３
を位置３ａ−４まで払い出す（図６参照）。
上の格納箇所からＡＧＶ２へ、バーンインテストが完了
したＩＣが搭載されたバーンインボード４を少なくとも
一枚有するキャリアラック３を回収する場合の動作につ
いて説明する。この場合、バーンインテスト装置１は挿
抜機構１２ｂ（図３参照）によりコネクタの嵌合を外
し、バーンインボード４が保持されたキャリアラック３
を位置３ａ−４まで払い出す（図６参照）。
【００２９】一方、ＡＧＶ２は工場内の床に貼付された
磁気テープ９に誘導されて進行し、左側回収位置ステー
ション９ｂを検知して停止する。なお、左側回収位置ス
テーション９ｂは、「この位置で停止すると進行方向左
側にキャリアラック３の供給又は回収先が存在する」こ
とを表すステーションである。また、ＡＧＶ２の停止
は、前述した場合と同様に、磁気的検知および光学的検
知に基づいて行われる。
磁気テープ９に誘導されて進行し、左側回収位置ステー
ション９ｂを検知して停止する。なお、左側回収位置ス
テーション９ｂは、「この位置で停止すると進行方向左
側にキャリアラック３の供給又は回収先が存在する」こ
とを表すステーションである。また、ＡＧＶ２の停止
は、前述した場合と同様に、磁気的検知および光学的検
知に基づいて行われる。
【００３０】こうして停止したＡＧＶ２は、前述した場
合と同様に、Ｘ方向、Ｙ方向、α方向、θ1 方向、θ2
方向において停止精度誤差を有する。次に、このように
誤差が生じた状態で、ＡＧＶ２は、昇降機構５により高
さＬ１１までフォーク６ａを上昇させる（図７（ｂ）参
照）。そして、前後機構６によりキャリアラック３の底
面とＬ１２だけ離れた位置にフォークリーチＬ３だけフ
ォーク６ａを伸ばす。
合と同様に、Ｘ方向、Ｙ方向、α方向、θ1 方向、θ2
方向において停止精度誤差を有する。次に、このように
誤差が生じた状態で、ＡＧＶ２は、昇降機構５により高
さＬ１１までフォーク６ａを上昇させる（図７（ｂ）参
照）。そして、前後機構６によりキャリアラック３の底
面とＬ１２だけ離れた位置にフォークリーチＬ３だけフ
ォーク６ａを伸ばす。
【００３１】次に、ＡＧＶ２は、昇降機構５によりフォ
ーク６ａを高さＬ５と許容クリアランスＬ６との和の高
さまで上昇させる。これにより、フリーローラ１５上の
位置３ａ−５に載置されていたキャリアラック３が持ち
上げられ、フォーク６ａ上に載置される。そして、ＡＧ
Ｖ２は、前後機構６によりフォーク６ａを後退させ、図
８および図９に示されるように、キャリアラック３をＡ
ＧＶ２内に戻す。この時点において、ＡＧＶ２の停止精
度誤差のために、キャリアラック３は位置３ｂ−６で表
される状態、すなわち、Ｘ方向およびＹ方向がずれた状
態となっている。
ーク６ａを高さＬ５と許容クリアランスＬ６との和の高
さまで上昇させる。これにより、フリーローラ１５上の
位置３ａ−５に載置されていたキャリアラック３が持ち
上げられ、フォーク６ａ上に載置される。そして、ＡＧ
Ｖ２は、前後機構６によりフォーク６ａを後退させ、図
８および図９に示されるように、キャリアラック３をＡ
ＧＶ２内に戻す。この時点において、ＡＧＶ２の停止精
度誤差のために、キャリアラック３は位置３ｂ−６で表
される状態、すなわち、Ｘ方向およびＹ方向がずれた状
態となっている。
【００３２】次に、ＡＧＶ２が昇降機構５によりフォー
ク６ａを原位置まで下降させると、キャリアラック３は
位置３ｂ−６からＸＹ位置決めガイド７にガイドされな
がら下降し、図１０および図１１に示されるように、Ｘ
Ｙ位置決めガイド７上の定位置３ａ−７に載置される。
こうして、キャリアラック３のＡＧＶ２への回収が完了
する。
ク６ａを原位置まで下降させると、キャリアラック３は
位置３ｂ−６からＸＹ位置決めガイド７にガイドされな
がら下降し、図１０および図１１に示されるように、Ｘ
Ｙ位置決めガイド７上の定位置３ａ−７に載置される。
こうして、キャリアラック３のＡＧＶ２への回収が完了
する。
【００３３】なお、本システムにおけるクリアランスＬ
１３、Ｌ１０、Ｌ６、Ｌ１２は、Ｘ，Ｙ，Ｚ各方向の最
大ずれ量、すなわち停止精度誤差を求め、それ以上の値
に設定すればよい。最大ずれ量の計算においては、ＡＧ
Ｖ２の停止精度をＸ，Ｙ方向、α方向をフォークリーチ
Ｌ３だけフォーク６ａを伸ばした時のＸ，Ｙ方向、θ1
方向をフォークリーチＬ３だけフォーク６ａを伸ばした
時のＸ，Ｚ方向、θ2方向をフォークリーチＬ３だけフ
ォーク６ａを伸ばした時のＹ，Ｚ方向に分ける。さら
に、昇降機構５の停止精度とフォークリーチＬ３だけフ
ォーク６ａを伸ばした時のフォーク本体のたわみ量Ｌ４
とをＺ方向とし、各方向別にこれら全てを合計したもの
が最大ずれ量となる。以下に、上記実施形態によるバー
ンインテストシステムの各部の寸法例を示す。Ｌ３＝１
０００ｍｍ，Ｌ１３＝４０ｍｍ，Ｌ１０＝４０ｍｍ，Ｌ
６＝２５ｍｍ，Ｌ１２＝２５ｍｍ，Ｌ１＝３００ｍｍ。
１３、Ｌ１０、Ｌ６、Ｌ１２は、Ｘ，Ｙ，Ｚ各方向の最
大ずれ量、すなわち停止精度誤差を求め、それ以上の値
に設定すればよい。最大ずれ量の計算においては、ＡＧ
Ｖ２の停止精度をＸ，Ｙ方向、α方向をフォークリーチ
Ｌ３だけフォーク６ａを伸ばした時のＸ，Ｙ方向、θ1
方向をフォークリーチＬ３だけフォーク６ａを伸ばした
時のＸ，Ｚ方向、θ2方向をフォークリーチＬ３だけフ
ォーク６ａを伸ばした時のＹ，Ｚ方向に分ける。さら
に、昇降機構５の停止精度とフォークリーチＬ３だけフ
ォーク６ａを伸ばした時のフォーク本体のたわみ量Ｌ４
とをＺ方向とし、各方向別にこれら全てを合計したもの
が最大ずれ量となる。以下に、上記実施形態によるバー
ンインテストシステムの各部の寸法例を示す。Ｌ３＝１
０００ｍｍ，Ｌ１３＝４０ｍｍ，Ｌ１０＝４０ｍｍ，Ｌ
６＝２５ｍｍ，Ｌ１２＝２５ｍｍ，Ｌ１＝３００ｍｍ。
【００３４】なお、昇降機構５および前後機構６の各ポ
イントの位置決めは、近接スイッチ、光電スイッチ、リ
ミットスイッチなどのセンサを固定側の各ポイントに配
置し、可動側にドグを取り付け、センサ信号でモータを
停止する方式が一般的であるが、これらの方式に限定さ
れるものではない。また、昇降機構５、前後機構６はそ
れぞれモータおよびボールネジ、モータおよびチェーン
方式に限定されることはなく、エアーシリンダおよびガ
イドなどでも適用可能である。また、本システムは装置
１とＡＧＶ２の受け渡し距離Ｌ１が短い場合や、１台の
バーンインテスト装置に上下のみ、あるいは左右のみの
格納箇所が設けられている場合などにも適用可能である
ことは言うまでもない。
イントの位置決めは、近接スイッチ、光電スイッチ、リ
ミットスイッチなどのセンサを固定側の各ポイントに配
置し、可動側にドグを取り付け、センサ信号でモータを
停止する方式が一般的であるが、これらの方式に限定さ
れるものではない。また、昇降機構５、前後機構６はそ
れぞれモータおよびボールネジ、モータおよびチェーン
方式に限定されることはなく、エアーシリンダおよびガ
イドなどでも適用可能である。また、本システムは装置
１とＡＧＶ２の受け渡し距離Ｌ１が短い場合や、１台の
バーンインテスト装置に上下のみ、あるいは左右のみの
格納箇所が設けられている場合などにも適用可能である
ことは言うまでもない。
【００３５】さらに、上述した一実施形態においては、
キャリアラックを前後させる機構で兼用するために、従
来のシステムにおいてバーンインテスト装置とＡＧＶと
の受け渡し距離が長いために必要とされていたコンベア
または引掛けピンの前後機構とそのアクチュエータを削
減することができる。したがって、全体のコストを低減
することができる。
キャリアラックを前後させる機構で兼用するために、従
来のシステムにおいてバーンインテスト装置とＡＧＶと
の受け渡し距離が長いために必要とされていたコンベア
または引掛けピンの前後機構とそのアクチュエータを削
減することができる。したがって、全体のコストを低減
することができる。
【００３６】また、キャリアラックをフォークですくい
上げ、これを移動して載置する方式を採用しているた
め、Ｚ軸方向の位置ずれが大であっても確実な移載が可
能であるとともに、キャリアラックに特別な穴加工を必
要とせず、従来形式のものを使用できるという利点もあ
る。したがって、キャリアラックの加工コストを削減で
きる。
上げ、これを移動して載置する方式を採用しているた
め、Ｚ軸方向の位置ずれが大であっても確実な移載が可
能であるとともに、キャリアラックに特別な穴加工を必
要とせず、従来形式のものを使用できるという利点もあ
る。したがって、キャリアラックの加工コストを削減で
きる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
キャリアラックをバーンインテスト装置の格納箇所に供
給する際には、該キャリアラックを載置した無人搬送車
を該格納箇所近傍に停止させ、該無人搬送車の移動機構
によって該キャリアラックを前記格納箇所上方に位置さ
せ、該移動機構によって該キャリアラックを下降させて
該格納箇所に載置し、該移動機構を該無人搬送車に格納
する。また、前記キャリアラックを前記格納箇所から回
収する際には、前記無人搬送車を該格納箇所近傍に停止
させ、該無人搬送車の前記移動機構によって該キャリア
ラックを該無人搬送車の定位置上方に位置させ、該移動
機構によって該キャリアラックを下降させて該定位置に
載置する。この時フォークに対し、Ｘ方向とＹ方向にＡ
ＧＶ停止精度誤差分ずれた位置に載っているキャリアラ
ックは、ＸＹ位置決めガイドにより位置ずれした量を吸
収されながら下降しＡＧＶ内の定位置に置かれる。これ
らの動作を行うことを特徴としている。
キャリアラックをバーンインテスト装置の格納箇所に供
給する際には、該キャリアラックを載置した無人搬送車
を該格納箇所近傍に停止させ、該無人搬送車の移動機構
によって該キャリアラックを前記格納箇所上方に位置さ
せ、該移動機構によって該キャリアラックを下降させて
該格納箇所に載置し、該移動機構を該無人搬送車に格納
する。また、前記キャリアラックを前記格納箇所から回
収する際には、前記無人搬送車を該格納箇所近傍に停止
させ、該無人搬送車の前記移動機構によって該キャリア
ラックを該無人搬送車の定位置上方に位置させ、該移動
機構によって該キャリアラックを下降させて該定位置に
載置する。この時フォークに対し、Ｘ方向とＹ方向にＡ
ＧＶ停止精度誤差分ずれた位置に載っているキャリアラ
ックは、ＸＹ位置決めガイドにより位置ずれした量を吸
収されながら下降しＡＧＶ内の定位置に置かれる。これ
らの動作を行うことを特徴としている。
【００３８】したがって、供給時および回収時のキャリ
アラック下降時において、無人搬送車の停止精度誤差に
よるキャリアラックの位置ずれが補正されていく。よっ
て、停止精度誤差が生じてしまう無軌道の無人搬送車を
使用することが可能となり、コスト高を招致する有軌道
の無人搬送車を用いずに確実な移載を実現することがで
きる。すなわち、全体のコストを低減することができ
る。
アラック下降時において、無人搬送車の停止精度誤差に
よるキャリアラックの位置ずれが補正されていく。よっ
て、停止精度誤差が生じてしまう無軌道の無人搬送車を
使用することが可能となり、コスト高を招致する有軌道
の無人搬送車を用いずに確実な移載を実現することがで
きる。すなわち、全体のコストを低減することができ
る。
【００３９】また、無軌道の無人搬送車を使用可能なこ
とから、スペースを占有してしまう機械的ガイドを設け
る必要がなく、工場内の省スペース化を推進することが
できる。もちろん、工場内のレイアウト変更も磁気テー
プ等の貼り替え程度で済み、有軌道のものを使用する場
合に較べて遥かに容易となる。
とから、スペースを占有してしまう機械的ガイドを設け
る必要がなく、工場内の省スペース化を推進することが
できる。もちろん、工場内のレイアウト変更も磁気テー
プ等の貼り替え程度で済み、有軌道のものを使用する場
合に較べて遥かに容易となる。
【図１】本発明の一実施形態によるバーンインテストシ
ステムの概略構成を示す平面図である。
ステムの概略構成を示す平面図である。
【図２】同システムの概略構成を示す図であり、（ａ）
は側面図、（ｂ）は正面図である。
は側面図、（ｂ）は正面図である。
【図３】同システムにおけるバーンインテスト装置１の
概略構成を示す平面図である。
概略構成を示す平面図である。
【図４】同システムにおけるバーンインテスト装置１の
概略構成を示す正面図である。
概略構成を示す正面図である。
【図５】同システムの供給動作を説明するための平面図
である。
である。
【図６】同システムの供給、回収動作を説明するための
平面図である。
平面図である。
【図７】（ａ），（ｂ）ともに同システムの供給、回収
動作を説明するための正面図である。
動作を説明するための正面図である。
【図８】同システムの回収動作を説明するための平面図
である。
である。
【図９】同システムの回収動作を説明するための正面図
である。
である。
【図１０】同システムの回収動作を説明するための平面
図である。
図である。
【図１１】同システムの回収動作を説明するための正面
図である。
図である。
【図１２】第１の従来例（駆動コンベヤ方式）のバーン
インテストシステムの構成を示す平面図である。
インテストシステムの構成を示す平面図である。
【図１３】同システムの構成を示す正面図と側面図であ
る。
る。
【図１４】第２の従来例（引掛けピン方式）のバーンイ
ンテストシステムの構成を示す平面図である。
ンテストシステムの構成を示す平面図である。
【図１５】同システムの構成を示す正面図と側面図であ
る。
る。
【図１６】本発明の一実施形態によるバーンインテスト
システムが備える位置決めガイド１１およびＸＹ位置決
めガイド７の構造を示す斜視図である。
システムが備える位置決めガイド１１およびＸＹ位置決
めガイド７の構造を示す斜視図である。
１ バーンインテスト装置 ２ ＡＧＶ ３ キャリアラック ４ バーンインボード ５ 昇降機構 ６ 前後機構 ７ ＸＹ位置決めガイド ８ａ 反射板 ８ｂ 反射型光電スイッチ ９ 磁気テープ １１ 位置決めガイド １２ 挿抜機構 １３ コネクタ １４ 自動扉 １５ フリーローラ
Claims (4)
- 【請求項１】 バーンインボードを保持するキャリアラ
ックを搬送する無軌道の無人搬送車を用いて、前記キャ
リアラックをバーンインテスト装置の格納箇所へ供給す
る無人搬送車によるバーンインボードの自動移載方法で
あって、 前記無人搬送車側に前記キャリアラックを載置して該キ
ャリアラックを移動する移動機構を設けるとともに、前
記格納箇所の周りに上方からの進入物の進行方向を該進
入物の自重で前記格納箇所側へ変更する第１の補正手段
を設け、 前記キャリアラックを前記格納箇所に供給する際には、 該キャリアラックを載置した前記無人搬送車を該格納箇
所近傍に停止させ、該無人搬送車の前記移動機構によっ
て該キャリアラックを前記格納箇所上方に位置させ、該
移動機構によって該キャリアラックを下降させて該格納
箇所に載置し、該移動機構を該無人搬送車に格納するこ
とを特徴とする無人搬送車によるバーンインボードの自
動移載方法。 - 【請求項２】 バーンインボードを保持するキャリアラ
ックを搬送する無軌道の無人搬送車を用いて、前記キャ
リアラックを前記バーンインテスト装置の格納箇所から
回収して前記無人搬送車の定位置に載置する無人搬送車
によるバーンインボードの自動移載方法であって、 前記無人搬送車側に、前記キャリアラックを載置して該
キャリアラックを移動する移動機構を設けるとともに、
前記定位置の周りに上方からの進入物の進行方向を該進
入物の自重で前記定位置側へ変更する第２の補正手段を
設け、 前記キャリアラックを前記格納箇所から回収する際に
は、 前記無人搬送車を該格納箇所近傍に停止させ、該無人搬
送車の前記移動機構によって該キャリアラックを該無人
搬送車の前記定位置上方に位置させ、該移動機構によっ
て該キャリアラックを下降させて該定位置に載置するこ
とを特徴とする無人搬送車によるバーンインボードの自
動移載方法。 - 【請求項３】 バーンインボードを保持するキャリアラ
ックを搬送する無軌道の無人搬送車を用いて、前記キャ
リアラックをバーンインテスト装置の格納箇所へ供給す
るとともに、前記キャリアラックを前記格納箇所から回
収して前記無人搬送車の定位置に載置する無人搬送車に
よるバーンインボードの自動移載方法であって、 前記無人搬送車側には、前記キャリアラックを載置して
該キャリアラックを移動する移動機構を設けるととも
に、前記定位置の周りに上方からの進入物の進行方向を
該進入物の自重で前記定位置側へ変更する第２の補正手
段を設け、 前記バーンインテスト装置側には、前記格納箇所の周り
に上方からの進入物の進行方向を該進入物の自重で前記
格納箇所側へ変更する補正手段を設け、 前記キャリアラックを前記格納箇所に供給する際には、
該キャリアラックを載置した前記無人搬送車を該格納箇
所近傍に停止させ、該無人搬送車の前記移動機構によっ
て該キャリアラックを前記格納箇所上方に位置させ、該
移動機構によって該キャリアラックを下降させて該格納
箇所に載置し、該移動機構を該無人搬送車に格納し、 前記キャリアラックを前記格納箇所から回収する際に
は、前記無人搬送車を該格納箇所近傍に停止させ、該無
人搬送車の前記移動機構によって該キャリアラックを該
無人搬送車の前記定位置上方に位置させ、該移動機構に
よって該キャリアラックを下降させて該定位置に載置す
ることを特徴とする無人搬送車によるバーンインボード
の自動移載方法。 - 【請求項４】 バーンインボードを保持するキャリアラ
ックを搬送する無軌道の無人搬送車を用いて、前記キャ
リアラックをバーンインテスト装置の格納箇所へ供給す
るとともに、前記キャリアラックを前記格納箇所から回
収して前記無人搬送車の定位置に載置するバーンインテ
ストシステムであって、 前記無人搬送車側は、前記キャリアラックを載置して該
キャリアラックを昇降および水平移動する移動機構と、
前記定位置の周りに設けられ、上方からの進入物が当接
すると該進入物の自重により該進入物の進行方向を前記
定位置側へ変更する特定面を有する第２の補正手段とを
備え、 前記バーンインテスト装置は、前記格納箇所の周りに設
けられ、上方からの進入物が当接すると該進入物の自重
により該進入物の進行方向を前記格納箇所側へ変更する
第１の補正手段を備えることを特徴とするバーンインテ
ストシステム。
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|---|---|---|---|
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ID=17463007
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- 1995-10-17 JP JP26876595A patent/JP3307189B2/ja not_active Expired - Fee Related
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