JP4086810B2 - リソグラフィ装置、基板ホルダ、および基板ホルダを製造する方法 - Google Patents
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Description
− 放射線の投影ビームを供給する放射線システムと、
− パターニング手段を支持する支持構造とを備え、パターニング手段は、所望のパターンに従って投影ビームにパターンを形成する働きをし、さらに、
− 複数の突起を備える基板テーブルを備え、その末端はほぼ平坦な基板を支持するために支持体のほぼ平坦な面を画定し、前記基板ホルダには、基板を突起の末端に圧迫する圧迫力を提供する手段が設けられ、基板ホルダの縁領域にある突起は、圧迫手段の圧迫力に対して基板のほぼ平坦なオーバハングを提供するよう配置され、さらに、
− パターン形成したビームを基板の目標部分に投影する投影システムとを備えるリソグラフィ投影装置に関する。
− マスク。マスクの概念はリソグラフィにおいて周知のものであり、これには、様々なハイブリッドマスクタイプのみならず、バイナリマスク、レベンソンマスク、減衰位相シフトマスクといったようなマスクタイプも含まれる。放射線ビームにこのようなマスクを配置することにより、マスクに照射する放射線の、マスクパターンに従う選択的透過(透過性マスクの場合)や選択的反射(反射性マスクの場合)を可能にする。マスクの場合、基板ホルダは一般的に、入射する放射線ビームの所望する位置にマスクを保持しておくことが可能であり、かつ、必要な場合、ビームに対して運動させることの可能なマスクテーブルである。
− プログラマブルミラーアレイ。このようなデバイスの一例として、粘弾性制御層および反射面を有するマトリクスアドレス指定可能面があげられる。こうした装置の基本的原理は、(例えば)反射面のアドレス指定された領域は入射光を回折光として反射するが、アドレス指定されていない領域は入射光を非回折光として反射するといったことである。適切なフィルタを使用することにより、回折光のみを残して上記非回折光を反射ビームからフィルタすることが可能である。この方法において、ビームはマトリクスアドレス指定可能面のアドレスパターンに従ってパターン形成される。プログラマブルミラーアレイのまた別の実施形態では小さな複数のミラーのマトリクス配列を用いる。そのミラーの各々は、適した局部電界を適用することによって、もしくは圧電作動手段を用いることによって、軸を中心に個々に傾けられている。もう一度言うと、ミラーはマトリクスアドレス指定可能であり、それによりアドレス指定されたミラーはアドレス指定されていないミラーとは異なる方向に入射の放射線ビームを反射する。このようにして、反射されたビームはマトリクスアドレス指定可能ミラーのアドレスパターンに従いパターン形成される。必要とされるマトリクスアドレッシング(アドレス指定)は適切な電子手段を用いて実行される。前述の両方の状況において、パターニング手段は1つ以上のプログラマブルミラーアレイから構成可能である。ここに参照を行ったミラーアレイに関するより多くの情報は、例えば、米国特許第US5,296,891号および同第US5,523,193号、並びに、PCT特許種出願第WO98/38597および同WO98/33096に開示されており、これは参照により本明細書に組み込まれる。プログラマブルミラーアレイの場合、上記基板ホルダは、例えばフレームもしくはテーブルとして具体化され、これは必要に応じて、固定式となるか、もしくは可動式となる。
− プログラマブルLCDアレイ。このような構成の例が米国特許第US5,229,872号に開示されており、これは参照により本明細書に組み込まれる。上記同様、この場合における基板ホルダも、例えばフレームもしくはテーブルとして具体化され、これも必要に応じて、固定式となるか、もしくは可動式となる。
− この特別なケースでは放射線ソースLAも備えた、放射線の投影ビームPB(例えば遠紫外線領域の光)を供給する放射線ソースEx、ILと、
− マスクMA(例えばレクチル)を保持するマスクホルダを備え、かつ、品目PLに対して正確にマスクの位置決めを行う第一位置決め手段PMに連結を行った第一オブジェクトテーブル(マスクテーブル)MTと、
− 基板3を保持する基板ホルダ2を備え、かつ、品目PLに対して正確に基板の位置決めを行う第二位置決め手段PWに連結を行った第二オブジェクトテーブル(基板テーブル)WTと、
− マスクMAの照射部分を、基板3の目標部分C(例えば、1つあるいはそれ以上のダイから成る)に描像する投影システム(「レンズ」)PLとにより構成されている。
1.ステップモードにおいては、マスクテーブルMTは基本的に静止状態に保たれている。そして、マスクの像全体が1回の作動(すなわち1回の「フラッシュ」)で目標部分Cに投影される。次に基板テーブルWTがx方向および/あるいはy方向にシフトされ、異なる目標部分CがビームPBにより照射され得る。
2.走査モードにおいては、基本的に同一シナリオが適用されるが、但し、ここでは、所定の目標部分Cは1回の「フラッシュ」では露光されない。代わって、マスクテーブルMTが、速度vにて所定方向(いわゆる「走査方向」、例えばy方向)に運動可能であり、それによってビームPBがマスクの像を走査する。これと同時に、基板テーブルWTが速度V=Mvで、同一方向あるいは反対方向に運動する。ここで、MはレンズPLの倍率(一般的にM=1/4あるいは1/5)である。このように、解像度を妥協することなく、比較的大きな目標部分Cを露光することが可能となる。
Claims (13)
- 放射線の投影ビームを供給する放射線システムと、
所望のパターンに従って投影ビームにパターンを形成する働きをするパターニング手段を支持する支持構造と、
ほぼ平坦な基板を支持するためにほぼ平坦な支持面を画定する末端をもつ複数の突起と、前記基板を突起の末端に対して圧迫する圧迫力を提供する手段とを備え、縁ゾーンの突起は、縁以外のゾーンの突起に比べて低く構成された基板ホルダと、
パターン形成したビームを基板の目標部分に投影する投影システムとを備えるリソグラフィ投影装置であって、
前記基板ホルダの縁以外のゾーンの前記突起が、前記複数突起の各突起にほぼ等しい支持区域を提供するよう分布し、前記支持区域が、突起に関連するボロノイ図分布によって画定され、
前記基板ホルダが、ほぼ円形の基板を支持するためにほぼ円形の構造であり、前記複数の突起が、前記円形基板ホルダの中心ゾーンから離れたゾーンで、ほぼ同心円状に配置され、少なくとも幾つかの同心円が等距離ではないことを特徴とするリソグラフィ投影装置。 - 突起が、ほぼ等辺三角形のパターンで分布する、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 中心突起となるべき第1列の突起は、正六角形に配置された、請求項1または2に記載のリソグラフィ装置。
- 第二列の突起は、前記第一列の突起の周囲でほぼ対称に配向された12の突起を有するよう配置される、請求項3に記載のリソグラフィ投影装置。
- 基板ホルダの縁が、漏れシールを提供する壁によって形成され、前記圧迫手段が、基板ホルダと基板の間に真空圧を形成する手段を備える、請求項1から4いずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記真空圧が、大気圧に対して0.1から0.9バールの範囲である、請求項5に記載の方法。
- 前記真空圧が、大気圧に対して0.5から0.2バールの範囲である、請求項6に記載のリソグラフィ装置。
- 壁とこれに最も近い円との間の半径方向距離χが、0.3<χ/d<0.6の関係式を満足し、ここでdは壁に最も近い2つの円の相互に対する半径方向間隔である、請求項5または6に記載のリソグラフィ装置。
- 前記縁ゾーンが、縁の最も近くに配置された少なくとも1つの同心円の突起によって画定される、請求項1から8いずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 請求項1から9いずれか1項に記載のリソグラフィ装置の基板ホルダ。
- リソグラフィ装置の基板ホルダを製造する方法で、
ほぼ平坦な円形の基板を支持する円形のプレートを提供するステップと、
プレートの縁以外のゾーンであって中心ゾーンから離れたゾーンにおいて、末端が、ほぼ平坦な支持面を画定する複数の支持突起を分布させるステップであって、同心円状に、かつ、少なくとも幾つかの同心円が等距離ではないように前記支持突起を分布させて、前記複数突起の各突起にほぼ等しい支持区域を提供するステップと、
プレートの縁ゾーンに、前記縁以外のゾーンの突起に比べて低い複数の支持突起を配置するステップと、
突起に関連するボロノイ図によって画定された支持区域の分布を計算し、支持区域分布の面積偏差を最小限に維持するステップとを含む方法。 - 方法がさらに、
a)前記基板を複数の分布に対して圧迫し、前記突起を軸方向に局所的に変形させるため、基板に加える圧力に応じて、基板の高さ分布を計算するステップと、
b)前記高さ分布に関連する焦点エラーおよびオーバレイエラーを分析するステップと、
c)焦点および/またはオーバレイエラーが所定の最大値を上回る前記区域で、支持突起を再分布させるステップとを含み、反復的方法でステップaからcを繰り返すことを含む、請求項11に記載の方法。 - 前記高さ分布が、ウェハの屈曲剛性の有限要素分析に応じて計算される、請求項12に記載の方法。
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