JP2005045246A - リソグラフィ装置、デバイス製造方法およびそれにより製造したデバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】放射線の投影ビームを供給する放射線システムと、パターン化手段を支持する支持構造とを備え、パターン化は、所望のパターンに従い投影ビームにパターン化する働きをし、さらに、基板を保持する基板テーブルと、パターン化したビームを基板の目標部分に投影する投影システムとを備え、
装置がさらに、リソグラフィ装置の少なくとも2つの異なる動作モードから1つを選択する選択システムを備え、少なくとも2つの動作モードのうち第一動作モードでは、第一期間に第一レベルの精度でプロセスが実行され、少なくとも2つの動作モードのうち第二動作モードでは、第二期間に第二レベルの精度でプロセスが実行され、第一期間は第二期間より短く、第一レベルの精度が第二レベルの精度より低いことを特徴とするリソグラフィ装置。
【選択図】図1
Description
− 放射線の投影ビームを供給する放射線システムと、
− パターン化手段を支持する支持構造とを備え、パターン化手段は、所望の模様に従い投影ビームをパターン化する働きをし、さらに、
− 基板を保持する基板テーブルと、
− パターン化したビームを基板の目標部分に投影する投影システムとを備えるリソグラフィ投影装置に関する。
− マスク。マスクの概念はリソグラフィにおいて周知のものであり、これには、各種のハイブリッドマスクタイプのみならず、バイナリマスク、レベンソンマスク、減衰位相シフトマスクといったようなマスクタイプも含まれる。放射線ビームにこのようなマスクを配置することにより、マスクに照射する放射線の、マスクパターンに従う選択的透過(透過性マスクの場合)や選択的反射(反射性マスクの場合)を可能にする。マスクの場合、支持構造は一般的にマスクテーブルであり、これは入射する放射線ビームの所望する位置にマスクを保持できることを保証し、かつ、必要な場合、ビームに対して運動させることが可能である。
− プログラマブルミラーアレイ。このようなデバイスの一例として、粘弾性制御層および反射面を有するマトリクスアドレス可能面があげられる。こうした装置の基本的原理は、(例えば)反射面のアドレスされた領域は入射光を回折光として反射するが、アドレスされていない領域は入射光を非回折光として反射するといったことである。適切なフィルタを使用することにより、回折光のみを残して上記非回折光を反射ビームからフィルタすることが可能である。この方法において、ビームはマトリクスアドレス可能面のアドレスパターンに従ってパターン化される。プログラマブルミラーアレイの代替実施形態では小さな複数のミラーのマトリクス配列を用いる。そのミラーの各々は、適した局部電界を適用することによって、もしくは圧電作動手段を用いることによって、軸を中心に個々に傾けられている。もう一度言うと、ミラーはマトリクスアドレス可能であり、それによりアドレスされたミラーはアドレスされていないミラーとは異なる方向に入射の放射線ビームを反射する。このようにして、反射されたビームはマトリクスアドレス可能ミラーのアドレスパターンに従いパターン化される。必要とされるマトリクスアドレッシングは適切な電子手段を用いて実行される。前述の両方の状況において、パターン化手段は1つ以上のプログラマブルミラーアレイから構成可能である。ミラーアレイは、例えば、米国特許第US5,296,891号および同第US5,523,193号、並びに、PCT特許種出願第WO98/38597および同WO98/33096に開示されている。プログラマブルミラーアレイの場合、上記基板ホルダは、例えばフレームもしくはテーブルとして具体化され、これは必要に応じて、固定式となるか、もしくは可動式となる。
− プログラマブルLCDアレイ。このような構成の例が米国特許第US5,229,872号に開示されている。上記同様、この場合における基板ホルダも、例えばフレームもしくはテーブルとして具体化され、これも必要に応じて、固定式となるか、もしくは可動式となる。
− 少なくとも部分的に放射線感光材料の層で覆われた基板を設けるステップと、
− 放射線システムを使用して、放射線の投影ビームを設けるステップと、
− 投影ビームの断面にパターンを与えるため、パターン化手段を使用するステップと、
パターン化した放射線のビームを放射線感光材料の層の目標部分に投影するステップとを含み、
方法がさらに、少なくとも2つの異なる動作モードから1つを選択することを含み、少なくとも2つの動作モードのうち第一動作モードでは、第一期間に第一レベルの正確さでプロセスが実行され、少なくとも2つの動作モードのうち第二動作モードでは、第二期間に第二レベルの正確さでプロセスが実行され、第一期間は第二期間より短く、第一レベルの正確さが第二レベルの正確さより低いことを特徴とする方法が提供される。
− この特別なケースでは放射線ソースLAも備えた、放射線の投影ビームPB(例えばEUR放射線)を供給する放射線ソースEx、ILと、
− マスクMA(例えばレクチル)を保持するマスクホルダを備え、かつ、品目PLに対して正確にマスクの位置決めを行う第一位置決め手段PMに連結を行った第一オブジェクトテーブル(マスクテーブル)MTと、
− 基板Wを保持する基板ホルダを備え、かつ、品目PLに対して正確に基板の位置決めを行う第二位置決め手段PWに連結を行った第二オブジェクトテーブル(基板テーブル)WTと、
− マスクMAの照射部分を、基板Wの目標部分C(例えば、1つあるいはそれ以上のダイから成る)に描像する投影システム(「レンズ」)PLとを備える。
1.ステップモードにおいては、マスクテーブルMTは基本的に静止状態に保たれている。そして、マスクの像全体が1回の作動(すなわち1回の「フラッシュ」)で目標部分Cに投影される。次に基板テーブルWTがx方向および/またはy方向にシフトされ、異なる目標部分CがビームPBにより照射され得る。
2.走査モードにおいては、基本的に同一シナリオが適用されるが、但し、ここでは、所定の目標部分Cは1回の「フラッシュ」では露光されない。代わって、マスクテーブルMTが、速度vにて所定方向(いわゆる「走査方向」、例えばy方向)に運動可能であり、それによってビームPBがマスクの像を走査する。これと同時に、基板テーブルWTが速度V=Mvで、同一方向あるいは反対方向に運動する。ここで、MはレンズPLの倍率(一般的にM=1/4あるいは1/5)である。このように、解像度を妥協することなく、比較的大きな目標部分Cを露光することが可能となる。
− 少なくとも部分的に放射線感光材料の層で覆われた基板を設けるステップと、
− 放射線システムを使用して放射線の投影ビームを設けるステップと、
− 投影ビームの断面にパターンを与えるため、パターン化手段を使用するステップと、
− 放射線のパターン化したビームを放射線感光材料の層の目標部分に投影するステップとを含み、方法がさらに、
− 少なくとも2つの異なる動作モードから1つを選択することを含み、少なくとも2つの動作モードのうち第一動作モードでは、第一期間に第一レベルの精度でプロセスが実行され、少なくとも2つの動作モードのうち第二動作モードでは、第二期間に第二レベルの精度でプロセスが実行され、第一期間は第二期間より短く、第一レベルの精度が第二レベルの正確さより低い。
Claims (12)
- リソグラフィ投影装置で、
− 放射線の投影ビームを供給する放射線システムと、
− パターン化手段を支持する支持構造とを備え、パターン化手段は、所望のパターンに従い投影ビームにパターン化する働きをし、さらに、
− 基板を保持する基板テーブルと、
− パターン化したビームを基板の目標部分に投影する投影システムとを備え、
装置がさらに、
− リソグラフィ装置の少なくとも2つの異なる動作モードから1つを選択する選択システムを備え、少なくとも2つの動作モードのうち第一動作モードでは、第一期間に第一レベルの精度でプロセスが実行され、少なくとも2つの動作モードのうち第二動作モードでは、第二期間に第二レベルの正確さでプロセスが実行され、第一期間は第二期間より短く、第一レベルの精度が第二レベルの精度より低いことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 選択システムをユーザによって制御されるよう構成することを特徴とする、請求項1に記載のリソグラフィ投影装置。
- 選択システムがユーザインタフェースを介して制御可能であることを特徴とする、請求項1または2に記載のリソグラフィ投影装置。
- 選択システムが、2つより大きい幾つかの数の動作モードから1つを選択できるよう構成されることを特徴とする、請求項1から3いずれか1項に記載のリソグラフィ投影装置。
- 幾つかの動作モードが、グラフで線として視覚化できる所定の関係に従い、相互に関連付けられることを特徴とする、請求項4に記載のリソグラフィ投影装置。
- 線が連続的であることを特徴とする、請求項5に記載のリソグラフィ投影装置。
- 線が無段階であることを特徴とする、請求項5または6に記載のリソグラフィ投影装置。
- プロセスが、基板および/または基板テーブルを搬送するステップと、搬送後に基板を据え付けるステップと、放射線システムを位置合わせするステップと、位置合わせ後に放射線システムを据え付けるステップと、支持構造を位置合わせするステップと、位置合わせ後に支持構造を据え付けるステップと、パターン化手段を位置合わせするステップと、位置合わせ後にパターン化手段を据え付けるステップと、投影システムを位置合わせするステップと、位置合わせ後にパターン化手段を据え付けるステップと、基板を傾斜するステップと、傾斜後に据え付けるステップと、投影システムを集束するステップと、パターン化したビームで基板を露光するステップと、そのいずれかの組合せとで構成されたグループから選択した少なくとも1つのプロセスステップを備えることを特徴とする、請求項1から7いずれか1項に記載のリソグラフィ投影装置。
- 装置が、各動作モードで特定の動作設定を選択するよう構成され、各動作設定が、リソグラフィ装置によって特定のプロセスを実行する所定の期間と、プロセスを実行する際の特定の精度のレベルとの組合せを備えることを特徴とする、請求項1から8いずれか1項に記載のリソグラフィ投影装置。
- 装置が、プロセスの少なくとも1つのプロセスステップから、必要な精度を獲得するためのプロセス時間、または必要なプロセス時間を獲得するためのプロセスの精度を決定するよう構成された制御ユニットを備えることを特徴とする、請求項1から9いずれか1項に記載のリソグラフィ投影装置。
- デバイス製造方法で、
− 少なくとも部分的に放射線感光材料の層で覆われた基板を設けるステップと、
− 放射線システムを使用して放射線の投影ビームを設けるステップと、
− 投影ビームの断面にパターンを与えるため、パターン化手段を使用するステップと、
− 放射線のパターン化したビームを放射線感光材料の層の目標部分に投影するステップとを含む方法で、方法がさらに、
− 少なくとも2つの異なる動作モードから1つを選択することを含み、少なくとも2つの動作モードのうち第一動作モードでは、第一期間に第一レベルの精度でプロセスが実行され、少なくとも2つの動作モードのうち第二動作モードでは、第二期間に第二レベルの精度でプロセスが実行され、第一期間は第二期間より短く、第一レベルの精度が第二レベルの精度より低いことを特徴とする方法。 - 方法が、ユーザにより動作モードの選択を制御することを含むことを特徴とする、請求項11に記載のデバイス製造方法。
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