JP4079127B2 - 検査装置及び液滴吐出検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査するための検査装置と、これを用いて液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する液滴吐出検査方法に関する。

インクなどの液滴を吐出して薄膜形成やパターニングなどを行う液滴吐出装置として、一般にインクジェット技術を応用した装置がある。この装置は、液状材料供給部からの液状材料（液状体）の供給を受ける液滴吐出ヘッドと、基板等を液滴吐出ヘッドに対して相対的に移動させるステージとを備え、吐出データに基づいて液滴吐出ヘッドを移動させながら基板上に液滴を吐出させ、薄膜形成やパターニングなどを行うものである。

このような装置では、通常これを用いて正規に液滴吐出を行うに先立ち、液滴吐出ヘッドの全てのノズルが正常な状態にあるか、すなわち液詰まりやゴミ等の付着などによる異常がないかを検査する。
この検査方法では、通常はノズルチェックパターンを白紙などの液状材料（インク）が見易い、すなわち視認性のよい紙の上に描画し、得られた描画状態を肉眼で見たり顕微鏡で見ることにより、ノズルから正常に液滴が吐出されているか否かを検査している。

また、特に記録紙の上にインクを吐出して記録を行うインクジェット記録装置においては、記録紙上に記録された画像をラインセンサからなる読取素子で読取ることにより、インクの吐出状態の判別を行うようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開平６−１４３５４８号公報

ところで、工業的に用いられる液滴吐出装置では、生産性を上げるために液滴吐出ヘッドのノズル数が増える傾向にある。現在では、例えば一つの液滴吐出ヘッドに縦×横が２×１８０となるようにノズルを整列配置し、合計３６０個のノズルを備えたものが用いられている。また、このような液滴吐出ヘッドは、液滴吐出装置に対して複数台、例えば１２台設けられるようになっている。
したがって、このような液滴吐出装置にあっては、ノズルの総数が非常に多く、前述したように肉眼や顕微鏡を用いた目視による検査では、この検査に要する時間が長くなってしまい、生産性を大きく低下させる要因となっていた。

また、前述したように記録紙上にインクを吐出するインクジェット記録装置では、ラインセンサからなる読取素子によって吐出状態を判別する技術が知られている。しかし、工業的に用いられ、したがって前述したように多くのノズルを有する液滴吐出ヘッドについては、その吐出性能を短時間で調べる技術が提供されていないのが現状である。

本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、特に工業的に用いられる液滴吐出装置において、その液滴吐出ヘッドの吐出性能を容易にしかも短時間で検査することのできる検査装置と、これを用いて液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する液滴吐出検査方法とを提供することにある。

前記目的を達成するため本発明の検査装置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査するための検査装置であって、絶縁性の基板と、前記基板に設けられた前記液滴を受けるための液滴受容部と、該液滴受容部の内面部に露出した状態に設けられた複数の電極とを備え、前記液滴受容部が、吐出された液滴の着弾時の状態に対応した大きさに形成されてなる検査体と、前記検査体の前記電極に接続して、前記液滴受容部における導電性を検出する検出器と、を具備している。
そして、前記検査体は、前記液滴受容部の中心部に共通電極を有し、該液滴受容部の周囲に４本の電極を放射状に設けて構成されていることを特徴としている。

この検査装置において、前記液滴受容部は、吐出による液滴を受けない状態では空間であり、したがって、この液滴受容部の内面部に露出した状態に設けられた複数の電極間では、電気的な導通がなされていない。このような状態のもとで前記液滴吐出ヘッドから液滴受容部に向けて液滴を吐出すると、吐出された液滴が正常な状態に着弾した場合、液滴受容部はこれに対応した大きさに形成されているので、液滴は液滴受容部を満たすようになる。すると、この液滴受容部の内面部に露出した複数の電極は、液滴を介して互いに導通するようになる。よって、これら電極間の導電性を前記検出器で検出すれば、液滴が正常に吐出されたことが確認される。
一方、吐出された液滴が正常な状態に着弾しなかった場合、すなわち、飛行曲がりが生じたり吐出量が少なかったりして正常な吐出がなされなかった場合には、液滴が液滴受容部を満たさず、したがって電極間が十分な導電性を示さない。よって、これを前記検出器で検出すれば、液滴が正常に吐出されなかったことが確認される。
したがって、このような吐出性能の検査を例えば全てのノズルについて同時に行うことにより、多数のノズルについて、その吐出性能を極めて容易にしかも短時間で検査することができる。

また、前記検査装置においては、前記検査体が、前記液滴吐出ヘッドによる吐出処理がなされる基体に一体に形成されているのが好ましい。
前述したように検査体を用いて全てのノズルについてその吐出性能を検査し、例えば全てのノズルが正常であると判断された場合に、基体に対して実際の吐出処理を行うが、その際、検査体が基体に一体に形成されていれば、液滴吐出装置に対する基体の位置決めがすでになされていることなどにより、検査から実際の吐出処理までの間の時間を短縮することができる。

また、前記検査装置においては、前記検査体の基板上には、前記電極を覆って絶縁層が形成され、該絶縁層には前記基板を露出させる開口部が形成され、該開口部が前記液滴受容部となっているのが好ましい。
このようにすれば、例えば着弾した液滴が濡れ広がり、液滴受容部から出て前記電極に連続する配線部分に接触してしまうことなどにより、吐出性能の検出精度が低下してしまうのを防止することができる。

本発明の液滴吐出検査方法は、前記の検査装置を用いて液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する液滴吐出検査方法であって、前記液滴吐出ヘッドから前記検査装置における検査体の液滴受容部に向けて液滴を吐出する工程と、液滴の吐出を受けた前記液滴受容部の、内面部に露出した電極間の導電性を前記検出器で検出し、液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する工程と、を備えたことを特徴としている。

この液滴吐出検査方法によれば、前述したように液滴受容部に液滴を吐出した後、電極間の導電性を検出器で検出することにより、液滴が正常な状態に着弾したか否かを確認することができ、これによって吐出性能を検出することができる。
したがって、このような吐出性能の検査を例えば全てのノズルについて同時に行うことにより、多数のノズルについて、その吐出性能を極めて容易にしかも短時間で検査することができる。

以下、本発明を詳しく説明する。
まず、本発明の検査装置及び液滴吐出検査方法の説明に先立ち、本発明に係わる液滴吐出装置について説明する。
図１は、本発明の液滴吐出装置の一例を示す図であり、図１において符号３０は主に工業的に用いられる液滴吐出装置である。この液滴吐出装置３０は、ベース３１、基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３、液滴吐出ヘッド３４、液供給手段３５、制御装置４０等を有してなるものである。ベース３１は、その上に前記基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３を設置したものである。

基板移動手段３２は、ベース３１上に設けられたもので、Ｙ軸方向に沿って配置されたガイドレール３６を有したものである。この基板移動手段３２は、例えばリニアモータ（図示せず）により、スライダ３７をガイドレール３６に沿って移動させるよう構成されたものである。
スライダ３７上にはステージ３９が固定されている。よって、基板移動手段３２がステージ３９の移動軸となる。このステージ３９は、基板（基体）Ｓを位置決めし保持するためのものである。すなわち、このステージ３９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｓをステージ３９の上に吸着保持するようになっている。基板Ｓは、例えばステージ３９の位置決めピン（図示せず）により、ステージ３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。

ステージ３９上の基板Ｓに対し、その両側、すなわち後述する液滴吐出ヘッド３４の移動方向（Ｘ軸方向）での両側には、液滴吐出ヘッド３４にフラッシングを行わせるためのフラッシングエリアＦ、Ｆが設けられている。これらフラッシングエリアＦ、Ｆには、液滴吐出ヘッド３４からのフラッシングによる液滴を受ける容器５０が設けられている。容器５０は、前記ステージ３９の移動方向（Ｙ軸方向）に沿って長く形成された直方体状のもので、内部にスポンジ等の液滴を吸収する部材（図示せず）を収容したものである。

ヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａ、３３ａと、これら架台３３ａ、３３ａ上に設けられた走行路３３ｂとを備えてなるもので、該走行路３３ｂをＸ軸方向、すなわち前記の基板移動手段３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路３３ｂは、架台３３ａ、３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄ、３３ｄとを有して形成されたもので、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向に液滴吐出ヘッド３４を搭載するキャリッジ４２を移動可能に保持したものである。キャリッジ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ、３３ｄ上を走行し、これにより液滴吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させるよう構成されたものである。ここで、このキャリッジ４２は、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向、すなわちＸ軸方向に例えば１μｍ単位で移動が可能になっており、このような移動は後述する制御装置４０によって制御されるようになっている。

液滴吐出ヘッド３４は、前記キャリッジ４２に取付部４３を介して回動可能に取り付けられたものである。取付部４３にはモータ４４が設けられており、液滴吐出ヘッド３４はその支持軸（図示せず）がモータ４４に連結している。このような構成のもとに、液滴吐出ヘッド３４はその周方向に回動可能となっている。また、モータ４４も前記制御装置４０に接続されており、これによって液滴吐出ヘッド３４はその周方向への回動も、制御装置４０によって制御されるようになっている。

ここで、液滴吐出ヘッド３４は、図２（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数の空間１５と液溜まり１６とが形成されている。各空間１５と液溜まり１６の内部は液状体で満たされており、各空間１５と液溜まり１６とは供給口１７を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート１２には、空間１５から液状体を噴射するためのノズル孔１８が縦横に整列させられた状態で複数形成されている。一方、振動板１３には、液溜まり１６に液状体を供給するための孔１９が形成されている。

また、振動板１３の空間１５に対向する面と反対側の面上には、図２（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、一対の電極２１を有し、これら電極２１、２１間に通電されると外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子２０が接合されている振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間１５の容積が増大するようになっている。したがって、増大した容積分に相当する液状体が、液溜まり１６から供給口１７を介して空間１５内に流入する。また、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。したがって、空間１５も元の容積に戻ることから、空間１５内部の液状体の圧力が上昇し、ノズル孔１８から基板に向けて液状体の液滴２２が吐出される。

このような構成からなる液滴吐出ヘッド３４は、その底面形状が略矩形状に形成され、ノズル１８が縦×横を２×１８０とするように整列配置させられたものとなっている。なお、図１では簡略化して液滴吐出ヘッド３４を一つしか示していないが、実際には液滴吐出ヘッド３４が複数台（例えば１２台）並列した状態に備えられているものとする。
また、液滴吐出ヘッド３４としては、前記の圧電素子２０を用いたピエゾジェットタイプ以外にも、例えばエネルギー発生素子として電気熱変換体を用いる方式などを採用することができる。

液供給手段３５は、前記液滴吐出ヘッド３４に接続する液供給チューブ４６と、この液供給チューブ４６に接続したタンク４５とを有してなるものである。
制御装置４０は、装置全体の制御を行うマイクロプロセッサ等のＣＰＵや、各種信号の入出力機能を有するコンピュータなどによって構成されたもので、液滴吐出ヘッド３４による吐出動作、及び基板移動手段３２による移動動作を制御するものとなっている。

次に、このような液滴吐出装置３０における、液滴吐出ヘッド３４の吐出性能を検査するための本発明の検査装置について説明する。
図３（ａ）〜（ｃ）は、本発明の検査装置の一実施形態を示す図であり、図３（ａ）〜（ｃ）中符号Ｓは基体、６０は検査体である。検査体６０は、本実施形態では図３（ａ）に示すように、前記液滴吐出ヘッド３４による吐出処理がなされる基体Ｓに一体に形成されたもので、図３（ｃ）に示すように、検出器６１とともに本発明の検査装置５５を構成するものである。

この検査体６０は、基体Ｓをその基板とするものであり、矩形状の基体Ｓの一辺側に形成されたものである。ここで、基体Ｓは、各種の機能性薄膜や機能性素子を形成するための下地となるもので、薄膜や素子の種類に応じてガラスやシリコン等の各種の基板により構成されたものである。また、このような基板の上に、ＴＦＴや配線、絶縁層など各種の構成要素を形成したものも、使用可能である。このような基板やその上に各種の構成要素を形成したものを含めて、本発明ではこれらを基体と称している。ただし、本実施形態においては、基体Ｓは検査体６０の基板を兼ねていることから、少なくともその表面部が絶縁性のものとなっているものとする。すなわち、本発明において検査体６０における絶縁性の基板とは、少なくともその表面部が絶縁性を有していれば、シリコン等の半導体や金属等の導体を用いてもよいのである。

検査体６０における基板（基体Ｓ）上には、図３（ａ）に示したように多数の液滴受容部６２…が形成されている。これら液滴受容部６２…は、液滴吐出ヘッド３４から吐出された液滴を受けてこれを受容するためのもので、検査対象となる液滴吐出ヘッド３４のノズル構成に対応して形成配置されたものである。本実施形態の液滴吐出ヘッド３４は、前述したようにノズル１８が縦×横が２×１８０となるように整列配置され、さらに、この液滴吐出ヘッド３４が複数台（例えば１２台）並列させられているので、液滴受容部６２…も、これに対応して縦×横が２×（１８０×ｘ）（ただし、ｘは液滴吐出ヘッド３４の台数を表し、例えば１２となる）に整列配置されたものとなっている。

また、これら液滴受容部６２…は、本実施形態では図３（ａ）、（ｃ）に示すように、平面視した状態で円形の開口を有してなる空間部となっている。すなわち、図３（ｂ）に示すように、基板（基体Ｓ）上には絶縁層６３が形成されており、この絶縁層６３が平面視円形状に開口せしめられていることにより、この開口部、すなわち空間部によって液滴受容部６２が形成されているのである。ここで、絶縁層６３については、その濡れ性を、液滴受容部６２内に露出した基板（気体Ｓ）面と同じにしておくのが好ましい。このように濡れ性を同じにするための処理としては、例えばプラズマ照射処理や紫外線照射処理を採用することができる。

また、液滴受容部６２は、後述するように液滴吐出ヘッド３４から吐出された液滴が正常に着弾したときの状態に対応した大きさとなっている。具体的には、液滴が正常に着弾したときの着弾径（大きさ）を１００とすると、図３（ｂ）に示す液滴受容部６２の内径（大きさ）は、９０以上で９９．５以下、好ましくは９５以上で９８以下とされる。

下限値を９０以上、好ましくは９５以上としているのは、この下限値が低いほど、液滴の飛行曲がりに対する検査上の許容範囲、および吐出量に対する下限側の検査上の許容範囲が広くなるためであり、これら飛行曲がりや吐出量に対する検査精度を考えた場合、９０以上、好ましくは９５以上とするのが望ましいからである。一方、上限値を９９．５以下、好ましくは９８以下としているのは、この上限値が高いほど、液滴の飛行曲がりに対する検査上の許容範囲、および吐出量に対する下限側の検査上の許容範囲が狭くなるためであり、これら飛行曲がりや吐出量に対する検査精度を考えた場合、９９．５以下、好ましくは９８以下とするのが望ましいからである。

また、前記基板（基体Ｓ）上には、図３（ｃ）に示すように各液滴受容部６２毎に一対の配線が６４、６４が形成されている。配線６４は、図３（ｂ）に示すように基板（基体Ｓ）上に直接形成されたものであり、前記絶縁層６３は、配線６４を覆って基板（基体Ｓ）上に形成されたものとなっている。また、液滴受容部６２に対する一対の配線６４、６４は、図３（ｃ）に示すように、平面視円形に形成された液滴受容部６２の中心を通る一本の直線上に載るように、その端面どうしが相対向して配設されている。これら配線６４、６４は、図３（ｂ）に示すようにその端面が、液滴受容部６２の内面部に露出した状態となるようにして配設されたものである。なお、これら配線の端面は、本発明における電極６４ａとなっている。

また、これら配線６４にあっては、図３（ｃ）に示すように液滴受容部６２を挟んだ一方の側の配線６２全てが、一本の共通配線６５に接続し、さらにこの共通配線６５がグランドに接地されている。一方、液滴受容部６２を挟んだ他方の側の配線６２は、全て基板（基体Ｓ）上に形成された端子部６６に接続されており、これら端子部６６を介して前記検出器６１に接続されている。すなわち、前記端子部６６には、これに着脱可能に接続された接続端子を介して配線（図示せず）が接続され、さらにこの配線を介して検出器６１が接続されているのである。

検出器６１は、個々の配線に接続された被検出体、すなわち前記液滴受容部６２内の導電性（導電率）を検出するもので、例えば内蔵した電源から液滴受容部６２側に直流電流を流し、液滴受容部６２における電気抵抗を測定することにより、導電性（導電率）を検出するよう構成されたものである。

すなわち、液滴吐出ヘッド１４から、飛行曲がりがなく、また吐出量が少なくなっていることもなく正常に液滴が吐出され、液滴受容部６２に正常な状態に着弾すると、液滴２２は、図４（ａ）の平面図、及び図４（ｂ）の側断面図に示すように液滴受容部６２を満たすようになる。すると、この液滴受容部６２の内面部に露出した電極６４ａ、６４ａは、液滴２２を介して互いに導通するようになる。よって、これら電極６４ａ、６４ａ（配線６４、６４）間の導電性を前記検出器６１で検出すれば、液滴２２が正常に吐出されたことを確認することができるのである。

一方、吐出された液滴が正常な状態に着弾しなかった場合、例えば飛行曲がりが生じた場合には、図５（ａ）の平面図、及び図５（ｂ）の側断面図に示すように、液滴２２の一部が液滴受容部６２の外側に載ってしまうことなどにより、液滴２２が液滴受容部６２を満たさなくなり、したがって電極６４ａ、６４ａ間は導電性を示さなくなる。よって、これを前記検出器６１で検出すれば、液滴が正常に吐出されなかったことを確認することができるのである。

また、吐出量が少なかった場合には、液滴２２が液滴受容部６２を良好に満たさず、したがって電極６４ａ、６４ａ間が十分な導電性を示さなくなる。よって、これを前記検出器６１で検出すれば、液滴が正常に吐出されなかったことを確認することができるのである。なお、吐出量が少ない場合にも、ある程度濡れ広がることにより、図６（ａ）の平面図に示すように平面視した状態では液滴２２が電極６４ａ、６４ａにそれぞれ接するようになることもある。しかし、その場合にも図６（ｂ）の側断面図に示すように、図４（ａ）、（ｂ）に示した正常な場合に比べ、液滴２２と電極６４ａとの接触面積が小さくなることなどによって導電率が低くなる。よって、予め正常に吐出され、着弾した際の導電率と、吐出量が少なかった場合での導電率との境界値を実験等によって求めておき、この境界値より大きいか小さいかといった基準により、吐出量が正常であったか、少なかったかという判定を行うことができる。

なお、検出器６１については、前述したように電気抵抗を測定することによって導電性（導電率）を検出するものとしたが、これ以外にも例えば電流値を検出するものなど、定量的に測定が可能なものであれば任意のものを用いることができる。

次に、このような構成からなる検査装置５５を用いた、液滴吐出ヘッド３４の液滴吐出検査方法について説明する。
まず、基体Ｓをステージ３９上の所定位置にセットし、検査体６０を液滴吐出ヘッド３４の吐出位置に配置する。なお、これに先立ち、あるいはこの直後に、必要に応じて液滴吐出ヘッド３４からフラッシングを行っておく。このフラッシングは、特に吐出する液状体中の溶媒又は分散媒の揮発性が高い場合などに、液状体の吐出が連続的になされないノズルでは、その開口に滞留する液状が溶媒（分散媒）の揮発によって粘度上昇を起こし、甚だしい場合には液状体が固化したり、ここに塵埃が付着したり、さらには気泡の混入などによりノズル開口に目詰まりを発生し、吐出不良を起こすといった不都合に対処するためのものである。

次に、必要に応じて基板移動手段３２やヘッド移動手段３３によって液滴吐出ヘッド３４と検査体６０との間の相対位置を調整し、検査体６０の各液滴受容部６２の位置を液滴吐出ヘッド３４の各ノズルの位置に対応させておく。
そして、このような位置決めが終了したら、液滴吐出ヘッド３４から各ノズル同時に、あるいは適当な間隔をあけて順次に吐出を行わせる。

すると、正常に液滴が吐出され、液滴受容部６２に正常な状態に着弾した場合には、図４（ａ）、（ｂ）に示したように液滴２２が液滴受容部６２を良好に満たすようになる。
一方、飛行曲がりが生じた場合には、図５（ａ）、（ｂ）に示したように液滴２２の一部が液滴受容部６２の外側に載ってしまう。
また、吐出量が少なかった場合には、図６（ａ）、（ｂ）に示すように液滴２２が液滴受容部６２を良好に満たさなくなる。

そこで、前記検出器６１によって液滴受容部６２内の導電性を検出することにより、液滴吐出ヘッド３４の吐出性能、すなわちその全ノズルについての個々の吐出性能を検査することができる。この検出については、各液滴受容部６２毎に順次検出を行い、結果を例えば前記制御装置４０に伝送するものとする。このように、検出器６１によって全ノズルについての吐出性能を検査することにより、液滴吐出ヘッド３４の液滴吐出検査を行うことができる。

このようにして液滴吐出検査が終了し、その結果が入力されたら、制御装置４０では、検出された結果が全ての液滴受容部６２について、すなわち全てのノズルについて、その吐出が正常であったと判断された場合に、基板移動手段３２によって基体Ｓを移動させ、さらにヘッド移動手段３３によって液滴吐出ヘッド３４を作動させることで、基体Ｓの被処理部に対し、膜パターン等の形成のための正規の吐出を行わせる。
一方、一つでもノズルに吐出以上が検出されたら、基板移動手段３２による基体Ｓの移動を行わせず、もちろん液滴吐出ヘッド３４による正規の吐出も中止させる。そして、警報等によって異常を知らせることなどにより、液滴吐出ヘッド３４の再調整を行わせるようにする。

このような、検査装置５５を用いた液滴吐出ヘッド３４の液滴吐出検査方法にあっては、各ノズルから液滴受容部６２に液滴を吐出した後、電極６４ａ、６４ａ間の導電性を検出器６１で検出することにより、液滴２２が正常な状態に着弾したか否かを確認することができ、これによって各ノズルの吐出性能を検出することができる。したがって、このような吐出性能の検査を全てのノズルについて同時にまたは順次に行うことにより、多数のノズルについて、その吐出性能を極めて容易にしかも短時間で検査することができ、これにより生産性の向上を図ることができる。

また、検査体６０を基体Ｓに一体に形成しているので、全てのノズルが正常であると判断された場合に、検査終了後、基体Ｓに対しての実際の吐出処理を直ちに行うことができ、したがって検査から実際の吐出処理までの間の時間を短縮することにより、生産性をより一層向上することができる。また、液滴吐出ヘッド３４に対して検査体６０を位置決めすることで、基体Ｓについても同時に位置決めすることができるので、これら位置決めに要する時間を短縮することができる。さらに、両者をそれぞれに位置決めした場合の位置ずれをなくすことができるので、実際に吐出して形成する薄膜や素子についても、その位置精度を高めることができる。

また、特に検査体６０について、その基板（基体Ｓ）上に配線６４（電極６４ａ）を覆って絶縁層６３を形成し、この絶縁層６３に開口部を形成して該開口部を液滴受容部６２としているので、例えば着弾した液滴が濡れ広がり、液滴受容部６２から出て電極６４ａに連続する配線６４に接触してしまうことなどにより、吐出性能の検出精度が低下してしまうのを防止することができる。

なお、前記実施形態では検査体６０を基体Ｓと一体に形成したが、基体Ｓとは別に検査体６０を独立して形成しておいてもよく、その場合には、複数の基体Ｓの処理に対して一つの検査体６０を使い回すことが可能になる。
また、前記実施形態では基板（基体Ｓ）上に配線６４（電極６４ａ）を覆って絶縁層６３を形成したが、この絶縁層６３を省略して基板（基体Ｓ）上に配線６４（電極６４ａ）のみを形成するようにしてもよい。このようにすれば、検査体６０の構成をより簡略化してコストを低く抑えることができる。

また、配線６４（電極６４ａ）の構成についても、前記実施形態に限定されることなく、種々の形態が採用可能である。例えば図７（ａ）に示すように、液滴受容部６２に対し一対の配線６４（電極６４ａ）を配設するのでなく、２対の配線６４を十字状に設け、それぞれ対向する配線６４間で導電率を測定するようにしてもよい。このような構成を採用することにより、着弾した液滴が図７（ａ）中二点鎖線で示すように部分的に変形し、一部が電極６４ａに接しない場合にも、これを検出することができ、したがって検出精度を高めることができる。

さらに、図７（ｂ）に示すように、液滴受容部６２内に露出した底面の中心部に共通電極６７を設け、液滴受容部６２の周囲に複数、例えば４本の配線６４を放射状に設け、共通電極６７と各配線６４との間でそれぞれに導電率を測定するようにしてもよい。このような構成を採用しても、図７（ａ）に示した場合と同様に、着弾した液滴が変形した場合などについてこれを検出することができ、したがって検出精度を高めることができる。

本発明に係わる液滴吐出装置の概略的構成を示す斜視図。 （ａ）、（ｂ）は液滴吐出ヘッドの概略構成を説明するための図。 （ａ）〜（ｃ）は本発明の検査装置の一実施形態を示す図。 （ａ）、（ｂ）は液滴が液滴受容部に正常に着弾した状態を示す図。 （ａ）、（ｂ）は液滴に飛行曲がりが生じた場合の着弾状態を示す図。 （ａ）、（ｂ）は液滴の吐出量が少なかった場合の着弾状態を示す図。 （ａ）、（ｂ）は配線（電極）の構成についての、変形例を示す図。

符号の説明

２２…液滴、３０…液滴吐出装置、３４…液滴吐出ヘッド、３９…ステージ、
５５…検査装置、６０…検査体、６１…検出器、６２…液滴受容部、６３…絶縁層、
６４…配線、６４ａ…電極、Ｓ…基体（基板）

Claims (4)

1. 液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査するための検査装置であって、
   絶縁性の基板と、前記基板に設けられた前記液滴を受けるための液滴受容部と、該液滴受容部の内面部に露出した状態に設けられた複数の電極とを備え、前記液滴受容部を、吐出された液滴が正常に着弾したときの状態に対応した大きさに形成してなる検査体と、
   前記検査体の前記電極に接続して、前記液滴受容部における導電性を検出する検出器と、を具備し、
   前記検査体は、前記液滴受容部の中心部に共通電極を有し、該液滴受容部の周囲に４本の電極を放射状に設けて構成されていることを特徴とする検査装置。
2. 前記検査体が、前記液滴吐出ヘッドによる吐出処理がなされる基体に一体に形成されていることを特徴とする請求項１記載の検査装置。
3. 前記検査体の基板上には、前記電極を覆って絶縁層が形成され、該絶縁層には前記基板を露出させる開口部が形成され、該開口部が前記液滴受容部となっていることを特徴とする請求項１又は２に記載の検査装置。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の検査装置を用いて液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する液滴吐出検査方法であって、
   前記液滴吐出ヘッドから前記検査装置における検査体の液滴受容部に向けて液滴を吐出する工程と、
   液滴の吐出を受けた前記液滴受容部の、内面部に露出した電極間の導電性を前記検出器で検出し、液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する工程と、を備えたことを特徴とする液滴吐出検査方法。

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