JP4075765B2 - 分離装置およびその製造方法、ならびに分析システム - Google Patents
分離装置およびその製造方法、ならびに分析システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4075765B2 JP4075765B2 JP2003365142A JP2003365142A JP4075765B2 JP 4075765 B2 JP4075765 B2 JP 4075765B2 JP 2003365142 A JP2003365142 A JP 2003365142A JP 2003365142 A JP2003365142 A JP 2003365142A JP 4075765 B2 JP4075765 B2 JP 4075765B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- separation
- sample
- flow path
- separation device
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502753—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by bulk separation arrangements on lab-on-a-chip devices, e.g. for filtration or centrifugation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/416—Systems
- G01N27/447—Systems using electrophoresis
- G01N27/44704—Details; Accessories
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/416—Systems
- G01N27/447—Systems using electrophoresis
- G01N27/44756—Apparatus specially adapted therefor
- G01N27/44773—Multi-stage electrophoresis, e.g. two-dimensional electrophoresis
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
- B01L2300/0681—Filter
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/08—Regulating or influencing the flow resistance
- B01L2400/084—Passive control of flow resistance
- B01L2400/086—Passive control of flow resistance using baffles or other fixed flow obstructions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502746—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the means for controlling flow resistance, e.g. flow controllers, baffles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
Description
(1)分離装置により試料中の成分の分離を行う際、分離中の成分の移動速度によって、最も精度よく分離される成分のサイズが異なる。たとえば移動速度が速い場合、サイズが大きめの成分の分離を精度よく行うことができる。一方、移動速度が遅い場合、サイズが小さめの成分の分離を精度よく行うことができる。したがって、複数の試料分離領域に異なる電圧を応じて試料の移動速度を異ならせることにより、いずれかの試料分離領域において、注目する成分と同等のサイズの成分を精度よく分離することができる。
(2)試料中の成分の移動度μは、v=Eμ(Eは電場、vは成分の速度)と表すことができる。複数の試料分離領域における成分のピーク位置と付与した外力の関係を示す直線の傾きから、より正確な移動度μを求めることができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態についてさらに説明する。
図1は、本発明の第一の実施の形態に係る分離装置の一例を示す図である。
基板110上に分離用流路112が形成され、これと交差するように投入用流路111および回収用流路114が形成されている。投入用流路111、分離用流路112および回収用流路114には、それぞれその両端に液溜め102a、液溜め102b、液溜め101a、液溜め101b、液溜め103a、液溜め103bが形成されている。各々の液溜めには電極が設けられており、これを用いて例えば投入用流路111、分離用流路112、および回収用流路114の両端のそれぞれに電界を印加することができる。
D:10nm〜500μm
d:10nm〜5μm
p:10nm〜10μm
q:10nm〜10μm
r:10nm〜10μm
s:5nm〜5μm
(i)細胞とその他の成分の分離、濃縮の場合、
W:3mm〜30mm
D:1μm〜500μm
d:1μm〜500μm
p:1μm〜10μm
q:1μm〜10μm
r:1μm〜10μm
s:500nm〜5μm
(ii)細胞を破壊して得られる成分のうち、固形物(細胞膜の断片、ミトコンドリア、小胞体)と液状分画(細胞質)の分離、濃縮の場合、
W:300μm〜3mm
D:100nm〜50μm
d:100nm〜50μm
p:100nm〜1μm
q:100nm〜1μm
r:100nm〜1μm
s:50nm〜500nm
(iii)液状分画の成分のうち、高分子量成分(DNA、RNA、タンパク質、糖鎖)と低分子量成分(ステロイド、ブドウ糖等)の分離、濃縮の場合、
W:30μm〜300μm
D:10nm〜5μm
d:10nm〜5μm
p:10nm〜100nm
q:10nm〜100nm
r:10nm〜100nm
s:5nm〜50nm
とすることができる。
たとえば、隔壁301aと隔壁301bとの間隔rや隔壁301aまたは隔壁301bと流路壁129aまたは流路壁129bとの間隔sが広すぎると、サイズの小さい分子の分離が充分に行われなくなることがあり、これらの間隔rまたはsが狭すぎると、目詰まりが発生しやすくなる場合がある。これらのサイズを適切に設定することにより、分離能が一層向上する。
次に、電子ビーム(EB)を用い、分離用流路112の隔壁301aおよび隔壁301b領域を露光する。現像はアセトンを用いて行い、エタノールによりリンスする。この工程により、図6(b)に示すように、パターニングされたレジスト204が得られる。このときの上面図を図7(a)に示す。
図4に示した例では、2つの隔壁301aおよび隔壁301bは、それぞれの捕捉部300が互いに対向するように配置されているが、図11に示すように、隔壁301aおよび隔壁301bを、それぞれの捕捉部300が流路の左右に互い違いに配置された構成とすることもできる。この場合、大きな分子は図中波線で示した主流路311を通過していくが、小さな分子は捕捉部300の奥深くまで進行するため、捕捉部300から脱出するのに時間を要する。そのため、この例においても、試料中の成分を分離用流路112により分離することができる。
図21は、本実施の形態における分離用流路112の構造を詳細に示す上面図である。本実施の形態における分離装置の全体構成は図1に示した分離装置100と同様である。また、本実施の形態においても、第一の実施の形態における分離用流路112と同様、分離用流路112には2つの隔壁301aおよび隔壁301bが設けられる。隔壁301aおよび隔壁301bは、それぞれ複数の捕捉部300を有するように形成されるが、分離用流路112の流れ方向の先に進むほど、捕捉部300の開口比(開口幅/奥行き)が大きくなるように形成される。本実施の形態においても、隔壁301aおよび隔壁301bは、複数の柱状体302a、302b、および302cの連なりにより構成される。柱状体302a、302b、および302cは、底面が菱形の四角柱である。ここで、柱状体302a、302b、および302cは、分離用流路112の流れ方向の先に配置されたものほど菱形の鋭角部の角度が大きくなるように形成される。ここでは、柱状体302a、302b、および302cは、高さhが等しく、分離用流路112の流れ方向の先に配置されたものほど幅wが小さくなるように形成される。
図23は、本参考形態における分離用流路112の構造を詳細に示す上面図である。本参考形態における分離装置の全体構成は図1に示した分離装置100と同様である。また、本参考形態においても、第一の実施の形態における分離用流路112と同様、分離用流路112には2つの隔壁301aおよび隔壁301bが設けられる。ここでも隔壁301aおよび隔壁301bは、それぞれ、複数の柱状体302により構成され、複数の捕捉部300を有する。本参考形態において、隔壁301aおよび隔壁301bに複数の連通部303が形成される点で第一の実施および第二の実施の形態の形態と異なる。これにより、隔壁301aと隔壁301bとの間の流路、隔壁301aと流路壁129aとの間の流路、流路壁129bと隔壁301bとの間の流路がそれぞれ連通する。連通部303は、本参考形態における分離装置100の分離対象の試料中の成分のうち、サイズの小さい分子が通過できる程度の大きさとすることもできるが、それよりもさらに小さい大きさとすることもできる。このように隔壁301aおよび隔壁301bに連通部303を設けることにより、流路間の流体の移動を促進することができるので、たとえば分離用流路112で目詰まりなどが起こったときに洗浄して目詰まりを解消できる等、取り扱いを容易にすることができる。
図26は、本発明の第三の実施の形態における分離装置100の構造を示す上面図である。本実施の形態において、分離装置100は、複数の分離用流路112a、112b、および112cを含む点で第一および第二の実施の形態において説明した分離装置100と異なる。複数の分離用流路112a、分離用流路112b、および分離用流路112cには、それぞれの両端に液溜め401aおよび液溜め401b、液溜め402aおよび液溜め402b、ならびに液溜め403aおよび液溜め403bが形成されている。また、分離用流路112a、分離用流路112bおよび分離用流路112cと交差するように投入用流路111が形成され、投入用流路111には、その両端に液溜め102aおよび液溜め102bが形成されている。また、分離用流路112a、分離用流路112b、および分離用流路112cとそれぞれ交差するように回収用流路114a、回収用流路114b、および回収用流路114cが形成される。回収用流路114a、回収用流路114b、回収用流路114cには、それぞれその両端に液溜め404aおよび液溜め404b、液溜め405aおよび液溜め405b、ならびに液溜め406aおよび液溜め406bが形成されている。
(1)分離装置100により試料中の成分の分離を行う際、分離中の成分の移動速度によって、最も精度よく分離される分子のサイズが異なる。例えば印加する電圧が高ければ移動速度が速くなり、サイズが大きめの分子の分離を精度よく行うことができる。一方、印加する電圧が低ければ移動速度が遅くなり、サイズが小さめの分子の分離を精度よく行うことができる。したがって、複数の分離用流路112a、分離用流路112b、および分離用流路112cに異なる電圧を応じて試料の移動速度を異ならせることにより、いずれかの分離用流路において、注目する分子と同等のサイズの成分を精度よく分離することができる。
(2)試料中の成分の移動度μは、v=Eμ(Eは電場、vは成分の速度)と表すことができる。これにより、複数の分離用流路112a、分離用流路112b、または分離用流路112cにおける成分のピーク位置と印加した電圧の関係を示す直線の傾きから、より正確な移動度μを求めることができる。
図44(a)および図44(b)は、本実施の形態における分離用流路112の構造を詳細に示す図である。図44(a)は分離用流路112の断面図である。また、図44(b)は、図44(a)の分離用流路112を構成する基板120の構成を示す斜視図である。本実施の形態における分離装置の全体構成は図1に示した分離装置100と同様である。
次に、図27を参照して、第一〜第四の実施の形態で説明した分離装置100を含む分析システムの構成を説明する。図27に示すように、分離システムは、試料導入部、検出部、解析−出力部を備えた分析装置に、上記実施の形態のいずれかの分離装置が組み込まれて構成される。分析対象の試料は、分析装置の試料導入部に導入され、本件の分離装置で成分に分離される。これらの分離された成分は、検出部で検出される。このようにして得られた検出結果は、解析−出力部で解析され、解析データが出力される。
また、分析システムは、図40(b)に示すように、GC部を備えた構成とすることができ、これにより、GC−MS分析装置とすることができる。さらに、分析システムは、図40(c)に示すように、リザバーおよびLC装置を備えた構成とすることができ、これにより、LC−MS分析装置とすることができる。図40(c)においては、比較的多くの被検出成分をLC装置に供する目的でリザバーを設けているが、必ずしも備える必要はない。また、図40(b)においてはリザバーを設けていないが、GC部の前にリザバーを設けてもよい。
ここで、試料は特に限定されないが、例えば血液、組織抽出物などを挙げることができる。
図6および図7を参照して説明したのと同様に、図1および図4に示した分離装置100を作成した。図33は、電子顕微鏡写真による本発明の分離装置100の分離用流路112の上面図を示す。ここで、間隔pは約700nm、間隔qは約2μm、間隔rは約1.2μmである。このように構成された分離用流路112を含む分離装置100を用いて、分子量マーカーの分離を行った。分子量マーカーとしては、Lambda DNA-Hind III Digest(タカラバイオ株式会社製)およびphiX-174 RF DNA-Hae III Digest(タカラバイオ株式会社製)を用いた。Lambda DNA-Hind III DigestおよびphiX-174 RF DNA-Hae III Digest は、それぞれ、図34(a)および図34(b)に示すフラグメントを有する。
また、参照例として、図37に示すような複数の柱状体を有する分離用流路を含む分離装置を用いてLambda DNA-Hind III DigestおよびphiX-174 RF DNA-Hae III Digestの分離を行った。ここで、間隔hは約1.1μm、間隔iは約400nmである。この参照例では、複数の柱状体が等間隔で配置されている。
本実施例では、楔型チップの作製とこれを用いたタンパク質の分離を行った。図6および図7を参照して説明したのと同様に、図1および図4に示した分離装置100を作製した。サイズは図33において、間隔pを約600nm、間隔qは約1.5μm、間隔rは約1.2μmとした。このように構成された分離用流路112を含む分離装置100を用いて、タンパク質サンプルの分離および検出を行った。
2 投入用ポンプ
3 定速注入装置
4 電磁弁
5 電磁弁
6 廃液溜め
7 液溜め
8 分離用ポンプ
9 定速注入装置
10 電磁弁
11 電磁弁
12 オートサンプラー
13 チューブ
14 チューブ
15 チューブ
16 チューブ
19 投入用流路
20 分離用流路
21 制御ユニット
100 分離装置
101a 液溜め
101b 液溜め
102a 液溜め
102b 液溜め
103a 液溜め
104b 液溜め
106 金型
110 基板
111 投入用流路
112 分離用流路
112a 分離用流路
112b 分離用流路
112c 分離用流路
113 検出部
114 回収用流路
114a 回収用流路
114b 回収用流路
114c 回収用流路
120 基板
129a 流路壁
129b 流路壁
160 樹脂膜
201 シリコン基板
202 シリコン酸化膜
203 カリックスアレーン電子ビームネガレジスト
204 パターニングされたレジスト
211 酸化膜
300 捕捉部
301a 隔壁
301b 隔壁
302 柱状体
302a 柱状体
302b 柱状体
302c 柱状体
303 連通部
304a 電極
304b 電極
310 酸化膜
311 主流路
312 シリコン基板
313 溝
322 被覆
323 突起
324 突起
325 金型
326 凹部
327 ビーズ
328 接着剤
329 止め板
401a 液溜め
401b 液溜め
402a 液溜め
402b 液溜め
403a 液溜め
403b 液溜め
404a 液溜め
404b 液溜め
405a 液溜め
405b 液溜め
406a 液溜め
406b 液溜め
707 多結晶シリコン膜
708 酸化膜
709 酸化膜
801 被覆
802 開口部
803 伝導路
804 電極板
900 レジスト
Claims (24)
- 試料の通る流路と、
前記流路の延在方向に沿って設けられて前記流路の内部を外部から区画する隔壁部と、
該流路中に設けられた試料分離領域と、
を備え、
前記試料分離領域において、前記隔壁部の壁面に、前記試料中の特定成分を捕捉する捕捉部(複数のピラー型又はホール型のナノ人工構造物の利用により疎密構造の捕捉部を構成したものを除く)が設けられ、
前記捕捉部は、前記流路の中心から遠ざかるにつれて開口幅が狭くなるように形成されたことを特徴とする分離装置。 - 請求項1に記載の分離装置において、複数の前記捕捉部が設けられたことを特徴とする分離装置。
- 請求項1または2に記載の分離装置において、前記捕捉部は、前記流路の延在方向に対して垂直な方向に、幅狭に形成されたことを特徴とする分離装置。
- 請求項1乃至3いずれかに記載の分離装置において、
前記捕捉部は、前記隔壁部に設けられたくぼみ部であることを特徴とする分離装置。 - 請求項1乃至4いずれかに記載の分離装置において、
基板の表面に形成され、開口部を有する前記流路と、
前記開口部を被覆する蓋部と、
を有し、
前記蓋部が前記隔壁部の一部をなし、
前記基板と前記蓋部との間隙部が前記捕捉部を構成することを特徴とする分離装置。 - 請求項5に記載の分離装置において、前記蓋部にくぼみ部が設けられたことを特徴とする分離装置。
- 請求項1乃至6いずれかに記載の分離装置において、
前記隔壁部の前記壁面が、前記捕捉部に対して凸曲面を有することを特徴とする分離装置。 - 請求項1乃至7いずれかに記載の分離装置において、
前記隔壁部の前記壁面が、前記捕捉部に対して凹曲面を有することを特徴とする分離装置。 - 請求項1乃至8いずれかに記載の分離装置において、
前記流路の下流側において、上流側よりも大きい前記捕捉部が形成されたことを特徴とする分離装置。 - 請求項1乃至9いずれかに記載の分離装置において、
前記流路の下流側において、上流側に形成された前記捕捉部の開口幅よりも広い開口幅を有する前記捕捉部が形成されたことを特徴とする分離装置。 - 請求項1乃至10いずれかに記載の分離装置において、
前記流路の下流側において、上流側に形成された前記捕捉部の奥行きよりも小さい奥行きを有する前記捕捉部が形成されたことを特徴とする分離装置。 - 請求項1乃至11いずれかに記載の分離装置において、
前記試料分離領域において、前記流路は、前記隔壁部により区画された複数の幅広部を有し、前記幅広部は前記試料分離領域の他の領域よりも幅が広く形成されたことを特徴とする分離装置。 - 請求項1乃至12いずれかに記載の分離装置において、
前記流路は、試料の流れる方向に沿って広幅部および狭幅部を交互に有することを特徴とする分離装置。 - 試料の通る流路と、
該流路中に設けられた試料分離領域と、
を備え、
前記試料分離領域において、前記流路は、
複数の並行流路と、
前記流路の延在方向に沿って設けられて前記複数の並行流路を分断する隔壁部と、
各前記複数の並行流路の側方において、前記隔壁部の壁面に形成され、前記試料中の特定成分を捕捉する複数の捕捉部(複数のピラー型又はホール型のナノ人工構造物の利用により疎密構造の捕捉部を構成したものを除く)と、
を含み、
前記捕捉部は、前記並行流路の中心から遠ざかるにつれて開口幅が狭くなるように形成されたことを特徴とする分離装置。 - 請求項1乃至14いずれかに記載の分離装置において、
前記試料分離領域において、前記試料に対して前記流路の幅方向に外力を付与する幅方向外力付与手段をさらに備えたことを特徴とする分離装置。 - 請求項1乃至15いずれかに記載の分離装置において、
前記流路と、前記試料分離領域とをそれぞれ複数と、
前記試料に対して前記流路の長さ方向に外力を付与して前記試料を前記複数の流路において異なる速度で移動せしめる外力付与手段と、
を備えたことを特徴とする分離装置。 - 請求項1乃至16いずれかに記載の分離装置において、
前記流路は、基板上に形成された溝部であって、
当該分離装置は、前記流路に試料を導く試料導入部と、前記流路中に設けられた、試料を複数の成分に分離する試料分離領域と、前記試料分離領域で分離された試料を分析または分取する試料回収部と、をさらに備えたことを特徴とする分離装置。 - 特定成分を検出するための分析システムであって、請求項1乃至17いずれかに記載の分離装置と、当該分離装置により分離された前記特定成分を検出するための検出部と、を含むことを特徴とする分析システム。
- 請求項1乃至17いずれかに記載の分離装置の製造方法であって、
基板上に前記流路となる溝部を形成し、前記溝部において、前記基板に複数のくぼみ部を形成する工程と、
複数の前記くぼみ部の表面を酸化して各前記くぼみ部の表面に酸化膜を成長させて曲面を有する前記捕捉部を形成する工程と、
を含むことを特徴とする分離装置の製造方法。 - 請求項1乃至17いずれかに記載の分離装置の製造方法であって、
基板上に複数の柱状体が互いに間隔を隔てるように形成する工程と、
前記柱状体の側面を酸化して柱状体の側面に酸化膜を成長させ、前記柱状体間の間隔を狭くして隣り合う柱状体間に曲面を有する前記捕捉部を形成する工程と、
を含むことを特徴とする分離装置の製造方法。 - 請求項1乃至17いずれかに記載の分離装置の製造方法であって、
基板表面にレジスト膜を形成する工程と、凹凸の設けられた成型面をレジスト膜に当接させた状態で加圧し、レジスト膜に凹凸形状を付与する工程と、
前記凹凸形状の凹部に形成されたレジスト膜を除去し、レジスト開口部を設ける工程と、
開口部の設けられたレジスト膜をマスクとして基板をエッチングし、前記捕捉部を形成する工程と、
を含むことを特徴とする分離装置の製造方法。 - 請求項1乃至17いずれかに記載の分離装置の製造方法であって、少なくとも表面部分が樹脂材料により構成された基板に対し、凹凸の設けられた成型面を当接させた状態で加圧することにより、表面部分に前記捕捉部を形成することを特徴とする分離装置の製造方法。
- 請求項1乃至17いずれかに記載の分離装置の製造方法であって、
基板の表面に、前記流路となる溝部を形成するとともに、前記溝部の表面にくぼみ部を形成する工程と、
前記試料分離領域において、前記基板上に被覆を配設し、前記くぼみ部と前記被覆との間隙に前記捕捉部を形成する工程と、
を含むことを特徴とする分離装置の製造方法。 - 請求項19乃至23いずれかに記載の分離装置の製造方法において、複数の前記捕捉部を形成することを特徴とする分離装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003365142A JP4075765B2 (ja) | 2002-10-30 | 2003-10-24 | 分離装置およびその製造方法、ならびに分析システム |
US10/532,978 US20060011480A1 (en) | 2002-10-30 | 2003-10-29 | Separation apparatus, method of fabricating the same, and analytical system |
PCT/JP2003/013852 WO2004040318A1 (ja) | 2002-10-30 | 2003-10-29 | 分離装置およびその製造方法、ならびに分析システム |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002316872 | 2002-10-30 | ||
JP2003365142A JP4075765B2 (ja) | 2002-10-30 | 2003-10-24 | 分離装置およびその製造方法、ならびに分析システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004170396A JP2004170396A (ja) | 2004-06-17 |
JP4075765B2 true JP4075765B2 (ja) | 2008-04-16 |
Family
ID=32232659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003365142A Expired - Fee Related JP4075765B2 (ja) | 2002-10-30 | 2003-10-24 | 分離装置およびその製造方法、ならびに分析システム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060011480A1 (ja) |
JP (1) | JP4075765B2 (ja) |
WO (1) | WO2004040318A1 (ja) |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2005124332A1 (ja) * | 2004-06-15 | 2008-07-31 | 日本電気株式会社 | 電気泳動チップおよび電気泳動装置、ならびに電気泳動方法 |
JP4661125B2 (ja) * | 2004-08-04 | 2011-03-30 | 日立電線株式会社 | 成分分離素子およびその製造方法 |
EP1815244A4 (en) * | 2004-11-11 | 2009-07-22 | Agency Science Tech & Res | DEVICE FOR CULTURING CELLS |
US20090136982A1 (en) | 2005-01-18 | 2009-05-28 | Biocept, Inc. | Cell separation using microchannel having patterned posts |
US20060252087A1 (en) * | 2005-01-18 | 2006-11-09 | Biocept, Inc. | Recovery of rare cells using a microchannel apparatus with patterned posts |
US8158410B2 (en) * | 2005-01-18 | 2012-04-17 | Biocept, Inc. | Recovery of rare cells using a microchannel apparatus with patterned posts |
KR20070116585A (ko) | 2005-01-18 | 2007-12-10 | 바이오셉트 인코포레이티드 | 패턴화된 포스트를 갖는 마이크로채널을 이용하는 세포분리법 |
US20080317632A1 (en) * | 2005-03-01 | 2008-12-25 | Rohm Co., Ltd. | Microchannel and Microfluid Chip |
JPWO2006098370A1 (ja) * | 2005-03-16 | 2008-08-28 | 日本電気株式会社 | 流路の実効的な通過時間の調整機構を具える遅延回路、マイクロチップ、およびその作製方法 |
CN101142023B (zh) * | 2005-03-18 | 2012-05-23 | 佳能株式会社 | 用于分离或者捕获目标物质的柱结构 |
US20070017808A1 (en) * | 2005-05-27 | 2007-01-25 | Intel Corporation | Linear valve-coupled two-dimensional separation device and separation matrix and method |
JP4900247B2 (ja) * | 2005-12-14 | 2012-03-21 | 日本電気株式会社 | マイクロチップおよびこれを用いた分析方法 |
US7695956B2 (en) | 2006-01-12 | 2010-04-13 | Biocept, Inc. | Device for cell separation and analysis and method of using |
JP2007189962A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Toppan Printing Co Ltd | 反応容器 |
WO2008078403A1 (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-03 | Nec Corporation | 電気泳動チップ及びその使用方法 |
US20110189056A1 (en) * | 2007-10-11 | 2011-08-04 | Accelbeam Devices, Llc | Microwave reactor |
US8389277B2 (en) | 2007-10-11 | 2013-03-05 | Agency For Science, Technology And Research | Forming cell structure with transient linker in cage |
JP2009281879A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Keio Gijuku | 吸着防止方法、吸着防止材、内壁コートキャピラリ、その製造方法、及び、リン酸化合物とアニオンの同時分析方法 |
US8438903B2 (en) * | 2010-01-27 | 2013-05-14 | International Business Machines Corporation | Molecule detection device formed in a semiconductor structure |
WO2011108540A1 (ja) | 2010-03-03 | 2011-09-09 | 国立大学法人大阪大学 | ヌクレオチドを識別する方法および装置、ならびにポリヌクレオチドのヌクレオチド配列を決定する方法および装置 |
JP5641213B2 (ja) * | 2010-10-01 | 2014-12-17 | 国立大学法人 千葉大学 | 連続的2次元粒子分離装置および粒子分離方法 |
KR101768123B1 (ko) | 2010-12-03 | 2017-08-16 | 삼성전자주식회사 | 수력학 필터, 이를 구비한 필터링 장치 및 이에 의한 필터링 방법 |
KR101911435B1 (ko) | 2011-09-26 | 2018-10-25 | 삼성전자주식회사 | 유체 제어 장치, 이를 포함하는 필터 및 바이오칩 |
JP5700598B2 (ja) * | 2011-11-09 | 2015-04-15 | 株式会社日立製作所 | 微粒子分離装置及び方法 |
BE1022314B1 (nl) * | 2013-02-05 | 2016-03-15 | PharmaFluidics N.V. | Chemische reactor inrichting |
JP2018027018A (ja) * | 2013-08-27 | 2018-02-22 | クオンタムバイオシステムズ株式会社 | 生体分子熱変性装置及びその製造方法 |
CA2929929A1 (en) | 2013-09-18 | 2015-03-26 | Quantum Biosystems Inc. | Biomolecule sequencing devices, systems and methods |
JP2015077652A (ja) | 2013-10-16 | 2015-04-23 | クオンタムバイオシステムズ株式会社 | ナノギャップ電極およびその製造方法 |
US10438811B1 (en) | 2014-04-15 | 2019-10-08 | Quantum Biosystems Inc. | Methods for forming nano-gap electrodes for use in nanosensors |
JP6244017B2 (ja) * | 2014-04-23 | 2017-12-06 | 国立研究開発法人科学技術振興機構 | ブレード複合型開放流路装置およびその接合体 |
WO2015170782A1 (en) | 2014-05-08 | 2015-11-12 | Osaka University | Devices, systems and methods for linearization of polymers |
CA2966611C (en) | 2014-11-03 | 2024-02-20 | The General Hospital Corporation | Sorting particles in a microfluidic device |
KR101791671B1 (ko) * | 2015-12-31 | 2017-11-20 | 주식회사 큐리오시스 | 미세입자 분리 및 정렬 장치, 및 그 방법 |
CN106630166B (zh) * | 2017-01-04 | 2024-03-29 | 无锡金利达生态科技股份有限公司 | 一种缓流水体污染的生态修复装置及方法 |
DE102018210665A1 (de) * | 2018-06-29 | 2020-01-02 | Robert Bosch Gmbh | Mikrofluidische Flusszelle und Verfahren zur Separierung von Zellen |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02112755A (ja) * | 1988-10-20 | 1990-04-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | 電気泳動方法 |
US5427663A (en) * | 1993-06-08 | 1995-06-27 | British Technology Group Usa Inc. | Microlithographic array for macromolecule and cell fractionation |
JP3342745B2 (ja) * | 1993-07-26 | 2002-11-11 | 理化学研究所 | 電気泳動装置 |
JP3477918B2 (ja) * | 1995-05-29 | 2003-12-10 | 株式会社島津製作所 | キャピラリ電気泳動チップ |
US6176990B1 (en) * | 1995-06-08 | 2001-01-23 | Visible Genetics Inc. | Micro-electrophoresis chip for moving and separating nucleic acids and other charged molecules |
US6368871B1 (en) * | 1997-08-13 | 2002-04-09 | Cepheid | Non-planar microstructures for manipulation of fluid samples |
US6027623A (en) * | 1998-04-22 | 2000-02-22 | Toyo Technologies, Inc. | Device and method for electrophoretic fraction |
US6319719B1 (en) * | 1999-10-28 | 2001-11-20 | Roche Diagnostics Corporation | Capillary hematocrit separation structure and method |
JP3738173B2 (ja) * | 2000-05-15 | 2006-01-25 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ポリマー基板マイクロ電極と電極内蔵ポリマー基板マイクロチャンネルチップの製造方法 |
JP2002055098A (ja) * | 2000-08-11 | 2002-02-20 | Nippon Columbia Co Ltd | 液体試料分析素子及び液体試料分析素子の製造方法 |
JPWO2002023180A1 (ja) * | 2000-09-18 | 2004-01-22 | 株式会社日立製作所 | 抽出装置及び化学分析装置 |
JP2002310992A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | マイクロチップおよびマイクロチップ電気泳動装置 |
-
2003
- 2003-10-24 JP JP2003365142A patent/JP4075765B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-10-29 US US10/532,978 patent/US20060011480A1/en not_active Abandoned
- 2003-10-29 WO PCT/JP2003/013852 patent/WO2004040318A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060011480A1 (en) | 2006-01-19 |
WO2004040318A1 (ja) | 2004-05-13 |
JP2004170396A (ja) | 2004-06-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4075765B2 (ja) | 分離装置およびその製造方法、ならびに分析システム | |
US6607644B1 (en) | Microanalytical device containing a membrane for molecular identification | |
US9360403B2 (en) | Methods for fabricating electrokinetic concentration devices | |
US20030224531A1 (en) | Microplate with an integrated microfluidic system for parallel processing minute volumes of fluids | |
US7427343B2 (en) | Entropic trapping and sieving of molecules | |
CA2454570C (en) | Nanochannel arrays and their preparation and use for high throughput macromolecular analysis | |
US6881315B2 (en) | Fractionating apparatus having colonies of pillars arranged in migration passage at interval and process for fabricating pillars | |
EP1457251A1 (en) | Separating device, analysis system, separation method and method for manufacture of separating device | |
US8783466B2 (en) | Continuous biomolecule separation in a nanofilter | |
US20060035386A1 (en) | Fine particle handling unit, chip and sensor mounted with same, and methods for separating, capturing and sensing protein | |
JP4074921B2 (ja) | 質量分析システムおよび分析方法 | |
US20090120796A1 (en) | Electrokinetic concentration device and methods of use thereof | |
JPWO2005022169A1 (ja) | チップ | |
US10274461B2 (en) | Nanochannel arrays and their preparation and use for high throughput macromolecular analysis | |
JP4900247B2 (ja) | マイクロチップおよびこれを用いた分析方法 | |
KR20080019573A (ko) | 동전기적 농축 장치 및 그의 사용 방법 | |
US20060177350A1 (en) | Microchip, sampling method, sample separating method, sample analyzing method, and sample recovering method | |
JP4366523B2 (ja) | 電気泳動用チップ及びこれを用いた試料の分析方法 | |
US20170052146A1 (en) | Methods and apparatus for introducing a sample into a separation channel for electrophoresis | |
Cross et al. | Micro-and Nanofluidics for Biological separations | |
Yang | Microfluidic Interfaces for Mass Spectrometry: Methods and Applications |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060911 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070904 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110208 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |