JP2002055098A - 液体試料分析素子及び液体試料分析素子の製造方法 - Google Patents
液体試料分析素子及び液体試料分析素子の製造方法Info
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- JP2002055098A JP2002055098A JP2000244112A JP2000244112A JP2002055098A JP 2002055098 A JP2002055098 A JP 2002055098A JP 2000244112 A JP2000244112 A JP 2000244112A JP 2000244112 A JP2000244112 A JP 2000244112A JP 2002055098 A JP2002055098 A JP 2002055098A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】短時間及び簡単な製造工程により大量に製造す
ることができる液体試料分析素子及び当該液体試料分析
素子の製造方法を提供する。 【解決手段】液体試料分析素子において、片面に液体試
料の注入口及び注入された液体試料の流路となる微細な
溝及び注入された液体試料の排出口を備えたマイクロチ
ャンネルが複数形成された第１の樹脂基板と、両面が平
滑面である第２の樹脂基板とを備え、第１の基板の微細
な溝が形成された面が第２の基板に向き合うように第１
の基板と第２の基板とが接合されることにより微細な溝
が管路となるようにした。
ることができる液体試料分析素子及び当該液体試料分析
素子の製造方法を提供する。 【解決手段】液体試料分析素子において、片面に液体試
料の注入口及び注入された液体試料の流路となる微細な
溝及び注入された液体試料の排出口を備えたマイクロチ
ャンネルが複数形成された第１の樹脂基板と、両面が平
滑面である第２の樹脂基板とを備え、第１の基板の微細
な溝が形成された面が第２の基板に向き合うように第１
の基板と第２の基板とが接合されることにより微細な溝
が管路となるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体試料の混合、
反応、分離及び抽出を行うための液体試料分析素子及び
液体試料分析素子の製造方法に関する。
反応、分離及び抽出を行うための液体試料分析素子及び
液体試料分析素子の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】血液の検査など、複数の液体試料を混合
させて、液体試料の反応や変化を調査する方法としてマ
イクロチャンネル（液体試料を注入する注入口と液体試
料が流れる管路と液体試料が排出される排出口が一体と
なったもの）が形成された液体試料検査素子を用いる方
法がある。この液体試料検査素子は、数ｃｍ角のガラス
基板に、液体試料の流路である微細な溝を形成し、前記
ガラス基板にガラスの蓋をすることにより製造される。
この液体試料検査素子を使用した検査方法は、従来の試
験管やビーカを用いる検査方法に比べて反応速度が１０
倍以上速くなるという特徴がある。
させて、液体試料の反応や変化を調査する方法としてマ
イクロチャンネル（液体試料を注入する注入口と液体試
料が流れる管路と液体試料が排出される排出口が一体と
なったもの）が形成された液体試料検査素子を用いる方
法がある。この液体試料検査素子は、数ｃｍ角のガラス
基板に、液体試料の流路である微細な溝を形成し、前記
ガラス基板にガラスの蓋をすることにより製造される。
この液体試料検査素子を使用した検査方法は、従来の試
験管やビーカを用いる検査方法に比べて反応速度が１０
倍以上速くなるという特徴がある。
【０００３】図５は、従来の液体試料検査素子の構成を
示す模式図である。図中、４０１はカバーガラス基板、
４０２は第１の注入口、４０３は第２の注入口、４０４
は排出口、４０５はガラス基板、４０６は溝部、４０７
は液体試料検査素子である。
示す模式図である。図中、４０１はカバーガラス基板、
４０２は第１の注入口、４０３は第２の注入口、４０４
は排出口、４０５はガラス基板、４０６は溝部、４０７
は液体試料検査素子である。
【０００４】図５に示すように、従来の液体試料検査素
子４０７は、液体試料を注入するための第１の注入口４
０２、第２の注入口４０３及び注入した液体試料を排出
するための排出口４０４が形成されたカバーガラス基板
４０１と、Ｙ字状の深さ及び幅共に数十〜数百μｍの溝
部４０６が形成されたガラス基板４０５（Ｙ字状の溝の
各端部は、第１の注入口４０２、第２の注入口４０３及
び排出口４０４の位置に対応している。）が接合された
構成となっている。
子４０７は、液体試料を注入するための第１の注入口４
０２、第２の注入口４０３及び注入した液体試料を排出
するための排出口４０４が形成されたカバーガラス基板
４０１と、Ｙ字状の深さ及び幅共に数十〜数百μｍの溝
部４０６が形成されたガラス基板４０５（Ｙ字状の溝の
各端部は、第１の注入口４０２、第２の注入口４０３及
び排出口４０４の位置に対応している。）が接合された
構成となっている。
【０００５】カバーガラス基板４０１とガラス基板４０
５が接合されることにより、溝部４０６は管路となる。
第１の注入口４０２から注入された液体試料と第２の注
入口４０３から注入された液体試料は、Ｙ字状の管路の
合流点で混合される。混合された液体試料は、Ｙ字状の
管路のうち排出口へ繋がる管路へ流れこむ。混合された
液体試料が流れこんだ管路の部分を顕微鏡で観察するこ
とにより、液体試料の分析が行われる。
５が接合されることにより、溝部４０６は管路となる。
第１の注入口４０２から注入された液体試料と第２の注
入口４０３から注入された液体試料は、Ｙ字状の管路の
合流点で混合される。混合された液体試料は、Ｙ字状の
管路のうち排出口へ繋がる管路へ流れこむ。混合された
液体試料が流れこんだ管路の部分を顕微鏡で観察するこ
とにより、液体試料の分析が行われる。
【０００６】図６は、従来の液体試料分析素子の製造方
法を示す模式図である。図中、図５と同様の箇所には同
じ符号を付し説明を省略する。５０１はフォトレジスト
層、５０２はマスク、５０３は感光部、５０４は光であ
る。
法を示す模式図である。図中、図５と同様の箇所には同
じ符号を付し説明を省略する。５０１はフォトレジスト
層、５０２はマスク、５０３は感光部、５０４は光であ
る。
【０００７】図６（ａ）の工程では、両面が研磨された
数ｃｍ角のガラス基板４０５の一方の面にフォトレジス
ト層５０１を形成する。図６（ｂ）の工程では、数十〜
数百μｍのＹ字状の開口部が形成されたマスク５０２を
介して、フォトレジスト層５０１に光５０４を照射し、
Ｙ字状の感光部５０３を形成する。
数ｃｍ角のガラス基板４０５の一方の面にフォトレジス
ト層５０１を形成する。図６（ｂ）の工程では、数十〜
数百μｍのＹ字状の開口部が形成されたマスク５０２を
介して、フォトレジスト層５０１に光５０４を照射し、
Ｙ字状の感光部５０３を形成する。
【０００８】図６（ｃ）の工程では、フォトレジスト層
５０１に現像液を塗布し、フォトレジスト層５０１の感
光部５０３を除去する。図６（ｄ）の工程では、現像さ
れたフォトレジスト層５０１が形成されたガラス基板４
０５に対してウエットエッチングを施し、深さが数十〜
数百μｍの溝部４０６を形成する。
５０１に現像液を塗布し、フォトレジスト層５０１の感
光部５０３を除去する。図６（ｄ）の工程では、現像さ
れたフォトレジスト層５０１が形成されたガラス基板４
０５に対してウエットエッチングを施し、深さが数十〜
数百μｍの溝部４０６を形成する。
【０００９】図６（ｅ）の工程では、フォトレジスト層
５０１を除去する。図６（ｆ）の工程では、図５に示し
た第１の注入口４０２、第２の注入口４０３、排出口４
０４が形成された（ダイヤモンド砥粒が電着された超硬
ドリルを用いて手動により穴加工が施されて形成され
る）カバーガラス基板４０１と、溝部４０６が形成され
たガラス基板４０５を接合する。カバーガラス基板４０
１とガラス基板４０５の接合は、真空加熱炉を用いて１
０-1Torrの真空度により、６５０℃で６時間加熱するこ
とにより行う。
５０１を除去する。図６（ｆ）の工程では、図５に示し
た第１の注入口４０２、第２の注入口４０３、排出口４
０４が形成された（ダイヤモンド砥粒が電着された超硬
ドリルを用いて手動により穴加工が施されて形成され
る）カバーガラス基板４０１と、溝部４０６が形成され
たガラス基板４０５を接合する。カバーガラス基板４０
１とガラス基板４０５の接合は、真空加熱炉を用いて１
０-1Torrの真空度により、６５０℃で６時間加熱するこ
とにより行う。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の液体試料検
査素子４０７の製造方法では、次に示す課題がある。 （１）溝部４０６を形成するために、ガラス基板４０５
にフォトレジスト層５０１を形成し、マスク５０２を用
いて露光を行い、ウエットエッチングを行うため、溝部
４０６が形成されたガラス基板４０５を製造するのに多
くの時間と工程が必要となる。また、上記工程を１枚の
ガラス基板４０５毎に行わなければならないため大量生
産が困難である。
査素子４０７の製造方法では、次に示す課題がある。 （１）溝部４０６を形成するために、ガラス基板４０５
にフォトレジスト層５０１を形成し、マスク５０２を用
いて露光を行い、ウエットエッチングを行うため、溝部
４０６が形成されたガラス基板４０５を製造するのに多
くの時間と工程が必要となる。また、上記工程を１枚の
ガラス基板４０５毎に行わなければならないため大量生
産が困難である。
【００１１】（２）カバーガラス基板４０１に第１の注
入口４０２、第２の注入口４０３及び排出口４０４を形
成するために、ダイヤモンド砥粒が電着された超硬ドリ
ルを用いて手動により穴加工を施す必要があり、製造に
多くの時間が費やされる。また、穴加工を１枚のカバー
ガラス基板４０１毎に手動で行わなければならないため
大量生産が困難である。
入口４０２、第２の注入口４０３及び排出口４０４を形
成するために、ダイヤモンド砥粒が電着された超硬ドリ
ルを用いて手動により穴加工を施す必要があり、製造に
多くの時間が費やされる。また、穴加工を１枚のカバー
ガラス基板４０１毎に手動で行わなければならないため
大量生産が困難である。
【００１２】（３）カバーガラス基板４０１とガラス基
板４０５を接合するために、真空加熱炉を用いて１０-1
Torrの真空度により、６５０℃で６時間加熱する必要が
あり、製造時間が長くなる。
板４０５を接合するために、真空加熱炉を用いて１０-1
Torrの真空度により、６５０℃で６時間加熱する必要が
あり、製造時間が長くなる。
【００１３】本発明は、短時間及び簡単な製造工程によ
り大量に製造することができる液体試料分析素子及び当
該液体試料分析素子の製造方法を提供することを目的と
する。
り大量に製造することができる液体試料分析素子及び当
該液体試料分析素子の製造方法を提供することを目的と
する。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本願の請求項１記載の発明は、液体試料分析素子に
おいて、片面に液体試料の注入口及び注入された液体試
料の流路となる溝部及び注入された液体試料の排出口を
備えたマイクロチャンネルが複数形成された第１の樹脂
基板と、両面が平滑面である第２の樹脂基板とを備え、
前記第１の基板の前記溝部が形成された面が前記第２の
基板に向き合うように前記第１の基板と前記第２の基板
とが接合されることを特徴とする。
に、本願の請求項１記載の発明は、液体試料分析素子に
おいて、片面に液体試料の注入口及び注入された液体試
料の流路となる溝部及び注入された液体試料の排出口を
備えたマイクロチャンネルが複数形成された第１の樹脂
基板と、両面が平滑面である第２の樹脂基板とを備え、
前記第１の基板の前記溝部が形成された面が前記第２の
基板に向き合うように前記第１の基板と前記第２の基板
とが接合されることを特徴とする。
【００１５】本願の請求項２記載の発明は、請求項１記
載の液体試料分析素子において、前記第１の樹脂基板
は、１の前記マイクロチャンネルを備えた領域毎に分離
するためのミシン目状の穴部が形成され、前記第２の樹
脂基板はミシン目状の穴部が形成され、前記第１の樹脂
基板と前記第２の樹脂基板は各々の前記ミシン目状の穴
部が形成された領域が一致して接合されていることを特
徴とする。
載の液体試料分析素子において、前記第１の樹脂基板
は、１の前記マイクロチャンネルを備えた領域毎に分離
するためのミシン目状の穴部が形成され、前記第２の樹
脂基板はミシン目状の穴部が形成され、前記第１の樹脂
基板と前記第２の樹脂基板は各々の前記ミシン目状の穴
部が形成された領域が一致して接合されていることを特
徴とする。
【００１６】本願の請求項３記載の発明は、請求項１又
は請求項２記載の液体試料分析素子において、前記第１
の樹脂基板の前記溝部が形成されている面及び前記第２
の樹脂基板の前記第１の樹脂基板と接合される側の面
は、前記第１の樹脂基板及び第２の樹脂基板よりも液体
試料に対する濡れ性が高い材料により覆われていること
を特徴とする。
は請求項２記載の液体試料分析素子において、前記第１
の樹脂基板の前記溝部が形成されている面及び前記第２
の樹脂基板の前記第１の樹脂基板と接合される側の面
は、前記第１の樹脂基板及び第２の樹脂基板よりも液体
試料に対する濡れ性が高い材料により覆われていること
を特徴とする。
【００１７】本願の請求項４記載の発明は、請求項１乃
至請求項３記載の液体試料分析素子において、前記第１
の樹脂基板は、前記第２の樹脂基板との接合に用いられ
る接着剤のうち余剰の接着剤を吸収する吸収溝が前記溝
部の外側に形成されていることを特徴とする。
至請求項３記載の液体試料分析素子において、前記第１
の樹脂基板は、前記第２の樹脂基板との接合に用いられ
る接着剤のうち余剰の接着剤を吸収する吸収溝が前記溝
部の外側に形成されていることを特徴とする。
【００１８】本願の請求項５記載の発明は、液体試料分
析素子製造方法において、射出成形により片面に液体試
料の注入口及び注入された液体試料の流路となる溝部及
び注入された液体試料の排出口を備えたマイクロチャン
ネルが複数形成された第１の樹脂基板を製造する工程
と、射出成形により両面が平滑面である第２の樹脂基板
を製造する工程と、前記第１の樹脂基板の前記溝部が形
成された面が前記第２の樹脂基板と向かい合うように前
記第１の樹脂基板と前記第２の樹脂基板とを接合する工
程とを備えることを特徴とする。
析素子製造方法において、射出成形により片面に液体試
料の注入口及び注入された液体試料の流路となる溝部及
び注入された液体試料の排出口を備えたマイクロチャン
ネルが複数形成された第１の樹脂基板を製造する工程
と、射出成形により両面が平滑面である第２の樹脂基板
を製造する工程と、前記第１の樹脂基板の前記溝部が形
成された面が前記第２の樹脂基板と向かい合うように前
記第１の樹脂基板と前記第２の樹脂基板とを接合する工
程とを備えることを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の液体試料分析素
子の一実施例の平面構造を示す模式図である。図２は、
本発明の液体試料分析素子の一実施例の断面構造を示す
模式図である。図２（ａ）は図１のＡ−Ａ断面図、図２
（ｂ）は図１のＢ−Ｂ断面図である。図中、１はカバー
基板、２は第１の注入口、３は第２の注入口、４は排出
口、５は溝部、６は折取用ミシン目、７は平滑基板であ
る。
子の一実施例の平面構造を示す模式図である。図２は、
本発明の液体試料分析素子の一実施例の断面構造を示す
模式図である。図２（ａ）は図１のＡ−Ａ断面図、図２
（ｂ）は図１のＢ−Ｂ断面図である。図中、１はカバー
基板、２は第１の注入口、３は第２の注入口、４は排出
口、５は溝部、６は折取用ミシン目、７は平滑基板であ
る。
【００２０】図１及び図２に示すように、本実施例の液
体試料検査素子は、円盤状のカバー基板１と円盤状の平
滑基板７が接合された構造となっている。カバー基板１
及び平滑基板７はポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂
等の樹脂基板からなる。カバー基板１は、第１の注入口
２、第２の注入口３、排出口４及びＹ字状の溝部５が一
体となったマイクロチャンネルが複数形成されている。
図１において、第２の注入口３はＹ字状の溝部５の右上
端部に図２（ａ）に示すように連通しており、排出口４
はＹ字状の溝部５の下端部に図２（ａ）に示すように連
通している。第２の注入口３と同様に、第１の注入口２
はＹ字状の溝部５の左上端部に連通している。
体試料検査素子は、円盤状のカバー基板１と円盤状の平
滑基板７が接合された構造となっている。カバー基板１
及び平滑基板７はポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂
等の樹脂基板からなる。カバー基板１は、第１の注入口
２、第２の注入口３、排出口４及びＹ字状の溝部５が一
体となったマイクロチャンネルが複数形成されている。
図１において、第２の注入口３はＹ字状の溝部５の右上
端部に図２（ａ）に示すように連通しており、排出口４
はＹ字状の溝部５の下端部に図２（ａ）に示すように連
通している。第２の注入口３と同様に、第１の注入口２
はＹ字状の溝部５の左上端部に連通している。
【００２１】図１に示すように、カバー基板１には複数
のマイクロチャンネルが形成されており、個々のマイク
ロチャンネルは、複数の穴部からなる折取用ミシン目６
で挟まれる領域に位置している。本実施例では、折取用
ミシン目６により８つの領域（１の領域に１のマイクロ
チャンネルが存在する）に分割されている。
のマイクロチャンネルが形成されており、個々のマイク
ロチャンネルは、複数の穴部からなる折取用ミシン目６
で挟まれる領域に位置している。本実施例では、折取用
ミシン目６により８つの領域（１の領域に１のマイクロ
チャンネルが存在する）に分割されている。
【００２２】図２（ｂ）に示すように、平滑基板７に
は、カバー基板１の折取用ミシン目６が形成された領域
と一致する位置に同様の折取用ミシン目６が形成された
領域がある。したがって、本実施例の液体試料分析素子
は、折取用ミシン目６に沿って、１のマイクロチャンネ
ルが存在する個々の領域のカバー基板１と平滑基板７を
接合したまま折り取ることができる。本実施例では、カ
バー基板１及び平滑基板７の形状を円盤状としたがこれ
に限定されない。例えば、カバー基板１及び平滑基板７
が長方形であり、１のマイクロチャンネルが存在する領
域が横一列に並んでいる構成としてもよい。
は、カバー基板１の折取用ミシン目６が形成された領域
と一致する位置に同様の折取用ミシン目６が形成された
領域がある。したがって、本実施例の液体試料分析素子
は、折取用ミシン目６に沿って、１のマイクロチャンネ
ルが存在する個々の領域のカバー基板１と平滑基板７を
接合したまま折り取ることができる。本実施例では、カ
バー基板１及び平滑基板７の形状を円盤状としたがこれ
に限定されない。例えば、カバー基板１及び平滑基板７
が長方形であり、１のマイクロチャンネルが存在する領
域が横一列に並んでいる構成としてもよい。
【００２３】本実施例では、カバー基板１及び平滑基板
７として樹脂基板を用いている。樹脂基板を使用した場
合、ある液体試料に対しての濡れ性が低いために液体試
料がマイクロチャンネルの管路に浸入し難いという問題
が考えられる。
７として樹脂基板を用いている。樹脂基板を使用した場
合、ある液体試料に対しての濡れ性が低いために液体試
料がマイクロチャンネルの管路に浸入し難いという問題
が考えられる。
【００２４】この問題を解決するために、カバー基板１
のマイクロチャンネルが形成された面及び平滑基板７の
カバー基板１と接合する側の表面に酸化ケイ素、チタン
酸化物等のコーティングを施し、液体試料に対する濡れ
性を高めておくことが望ましい。
のマイクロチャンネルが形成された面及び平滑基板７の
カバー基板１と接合する側の表面に酸化ケイ素、チタン
酸化物等のコーティングを施し、液体試料に対する濡れ
性を高めておくことが望ましい。
【００２５】図３は、本発明の液体試料分析素子の製造
方法の一実施例を示す模式図である。図中、図１及び図
２と同様の箇所には同じ符号を付し説明を省略する。１
１はガラス基板、１２は第１のフォトレジスト層、１３
は第２のフォトレジスト層、１４は第１のマスク、１５
は第２のマスク、１６は感光部、１７はレジストパター
ン、１８は導電膜、１９は電鋳層、２０はスタンパであ
る。
方法の一実施例を示す模式図である。図中、図１及び図
２と同様の箇所には同じ符号を付し説明を省略する。１
１はガラス基板、１２は第１のフォトレジスト層、１３
は第２のフォトレジスト層、１４は第１のマスク、１５
は第２のマスク、１６は感光部、１７はレジストパター
ン、１８は導電膜、１９は電鋳層、２０はスタンパであ
る。
【００２６】図３（ａ）の工程では、両面を研磨したガ
ラス基板１１上に第１のフォトレジスト層１２及び第２
のフォトレジスト層１３を形成する。第１のフォトレジ
スト層１２としては、例えば、ｇ線（波長４６０ｎｍ）
に感光し、ｉ線（波長３５０ｎｍ）に感光しないものを
用い、第２のフォトレジスト層１３としては、例えば、
ｉ線に感光し、ｇ線に感光しないものを用いる。
ラス基板１１上に第１のフォトレジスト層１２及び第２
のフォトレジスト層１３を形成する。第１のフォトレジ
スト層１２としては、例えば、ｇ線（波長４６０ｎｍ）
に感光し、ｉ線（波長３５０ｎｍ）に感光しないものを
用い、第２のフォトレジスト層１３としては、例えば、
ｉ線に感光し、ｇ線に感光しないものを用いる。
【００２７】図３（ｂ）の工程では、図１に示す、第１
の注入口２、第２の注入口３、排出口４及び折取用ミシ
ン目６に対応するパターンが形成された第１のマスク１
４を用い、波長４６０ｎｍ（ｇ線）の光を照射する。第
１のフォトレジスト層１２は、第１の注入口２、第２の
注入口３、排出口４及び折取用ミシン目６に対応した部
分（感光部１６）が感光する。第２のフォトレジスト層
１３は感光しない。
の注入口２、第２の注入口３、排出口４及び折取用ミシ
ン目６に対応するパターンが形成された第１のマスク１
４を用い、波長４６０ｎｍ（ｇ線）の光を照射する。第
１のフォトレジスト層１２は、第１の注入口２、第２の
注入口３、排出口４及び折取用ミシン目６に対応した部
分（感光部１６）が感光する。第２のフォトレジスト層
１３は感光しない。
【００２８】図３（ｃ）の工程では、図１に示す、Ｙ字
状の溝部５及び折取用ミシン目６に対応するパターンが
形成された第２のマスク１５を用い、波長３５０ｎｍ
（ｉ線）の光を照射する。第２のフォトレジスト層１３
は、溝部５及び折取用ミシン目６に対応した部分（感光
部１６）が感光する。第１のフォトレジスト層１２は感
光しない。
状の溝部５及び折取用ミシン目６に対応するパターンが
形成された第２のマスク１５を用い、波長３５０ｎｍ
（ｉ線）の光を照射する。第２のフォトレジスト層１３
は、溝部５及び折取用ミシン目６に対応した部分（感光
部１６）が感光する。第１のフォトレジスト層１２は感
光しない。
【００２９】図３（ｄ）の工程では、第１のフォトレジ
スト層１２及び第２のフォトレジスト層１３に現像液を
塗布し、第１のフォトレジスト層１２及び第２のフォト
レジスト層１３の感光部１６を除去する。ガラス基板１
１上には、溝部５、第１の注入口２、第２の注入口３、
排出口４及び折取用ミシン目６に対応したレジストパタ
ーン１７が残存する。
スト層１２及び第２のフォトレジスト層１３に現像液を
塗布し、第１のフォトレジスト層１２及び第２のフォト
レジスト層１３の感光部１６を除去する。ガラス基板１
１上には、溝部５、第１の注入口２、第２の注入口３、
排出口４及び折取用ミシン目６に対応したレジストパタ
ーン１７が残存する。
【００３０】図３（ｅ）の工程では、レジストパターン
１７の表面に、スパッタリング法等によりＣｒ、Ｎｉ等
の導電膜１８を形成し、Ｎｉ電鋳法により導電膜１８上
に電鋳層１９を形成する。
１７の表面に、スパッタリング法等によりＣｒ、Ｎｉ等
の導電膜１８を形成し、Ｎｉ電鋳法により導電膜１８上
に電鋳層１９を形成する。
【００３１】図３（ｆ）の工程では、ガラス基板１１か
ら電鋳層１９を剥離し、外周加工及び裏面研磨等を施し
て、スタンパ２０を得る。スタンパ２０には、溝部５、
第１の注入口２、第２の注入口３、排出口４及び折取用
ミシン目６に対応した凹凸が転写されている。
ら電鋳層１９を剥離し、外周加工及び裏面研磨等を施し
て、スタンパ２０を得る。スタンパ２０には、溝部５、
第１の注入口２、第２の注入口３、排出口４及び折取用
ミシン目６に対応した凹凸が転写されている。
【００３２】図３（ｇ）の工程では、スタンパ２０を用
いて、樹脂の射出成形を行うことにより、図１のカバー
基板１を大量に製造する。また、図示はしていないが、
折取用ミシン目６が形成された平滑基板７は、図３
（ａ）〜（ｂ）と同様の工程により大量に製造される。
本実施例の製造方法によれば、溝部５、第１の注入口
２、第２の注入口３及び排出口４は、カバー基板１の成
形時に形成される。従来の製造方法のように、第１の注
入口２、第２の注入口３及び排出口４を超硬ドリル等を
用いて手動で形成する必要はなく、製造時間の短縮に繋
がる。
いて、樹脂の射出成形を行うことにより、図１のカバー
基板１を大量に製造する。また、図示はしていないが、
折取用ミシン目６が形成された平滑基板７は、図３
（ａ）〜（ｂ）と同様の工程により大量に製造される。
本実施例の製造方法によれば、溝部５、第１の注入口
２、第２の注入口３及び排出口４は、カバー基板１の成
形時に形成される。従来の製造方法のように、第１の注
入口２、第２の注入口３及び排出口４を超硬ドリル等を
用いて手動で形成する必要はなく、製造時間の短縮に繋
がる。
【００３３】図３（ｈ）の工程では、互いの折取用ミシ
ン目６が一致するようにして、カバー基板１と平滑基板
２とを接合する。カバー基板１と平滑基板７は、超音波
溶着又は接着剤等により接合される。カバー基板１と平
滑基板７を、接着剤により接合する場合、余剰の接着剤
がカバー基板１の溝部５を埋めてしまう虞がある。これ
を防止するために、溝部５の周囲に、余剰の接着剤を吸
収するための吸収溝を形成するようにしてもよい。
ン目６が一致するようにして、カバー基板１と平滑基板
２とを接合する。カバー基板１と平滑基板７は、超音波
溶着又は接着剤等により接合される。カバー基板１と平
滑基板７を、接着剤により接合する場合、余剰の接着剤
がカバー基板１の溝部５を埋めてしまう虞がある。これ
を防止するために、溝部５の周囲に、余剰の接着剤を吸
収するための吸収溝を形成するようにしてもよい。
【００３４】図４は、本発明の一実施例の液体試料分析
素子において溝部の周囲に吸収溝を設けた場合の断面構
造を示す模式図である。図中、８は吸収溝、９は接着剤
である。溝部５を囲うように吸収溝８を設けることによ
り、カバー基板１と平滑基板７を接合する際、吸収溝８
の外側にある余剰の接着剤９は吸収溝８内に吸収される
ため、吸収溝８の外側にある接着剤９が溝部５内に侵入
することがない。溝部５には、溝部５と吸収溝８の間の
狭い領域にある接着剤が侵入するだけであり、溝部５が
接着剤により埋まってしまうことを防止することができ
る。
素子において溝部の周囲に吸収溝を設けた場合の断面構
造を示す模式図である。図中、８は吸収溝、９は接着剤
である。溝部５を囲うように吸収溝８を設けることによ
り、カバー基板１と平滑基板７を接合する際、吸収溝８
の外側にある余剰の接着剤９は吸収溝８内に吸収される
ため、吸収溝８の外側にある接着剤９が溝部５内に侵入
することがない。溝部５には、溝部５と吸収溝８の間の
狭い領域にある接着剤が侵入するだけであり、溝部５が
接着剤により埋まってしまうことを防止することができ
る。
【００３５】以上のように本実施例の液体試料分析素子
の製造方法によれば、１枚のスタンパから大量のカバー
基板と平滑基板を製造することができ、カバー基板と平
滑基板とを接合することにより１枚の基板中に複数のマ
イクロチャンネルを備えた液体試料分析素子を短時間、
低コストで製造することができる。
の製造方法によれば、１枚のスタンパから大量のカバー
基板と平滑基板を製造することができ、カバー基板と平
滑基板とを接合することにより１枚の基板中に複数のマ
イクロチャンネルを備えた液体試料分析素子を短時間、
低コストで製造することができる。
【００３６】
【発明の効果】本発明によれば、短時間及び簡単な製造
工程により大量に製造することができる液体試料分析素
子及び当該液体試料分析素子の製造方法を提供すること
ができる。
工程により大量に製造することができる液体試料分析素
子及び当該液体試料分析素子の製造方法を提供すること
ができる。
【図１】本発明の液体試料分析素子の一実施例の平面構
造を示す模式図。
造を示す模式図。
【図２】本発明の液体試料分析素子の一実施例の断面構
造を示す模式図。
造を示す模式図。
【図３】本発明の液体試料分析素子の製造方法の一実施
例を示す模式図。
例を示す模式図。
【図４】本発明の一実施例の液体試料分析素子において
溝部の周囲に吸収溝を設けた場合の断面構造を示す模式
図。
溝部の周囲に吸収溝を設けた場合の断面構造を示す模式
図。
【図５】従来の液体試料検査素子の構成を示す模式図。
【図６】従来の液体試料分析素子の製造方法を示す模式
図。
図。
１ カバー基板 ２ 第１の注入口 ３ 第２の注入口 ４ 排出口 ５ 溝部 ６ 折取用ミシン目 ７ 平滑基板 ８ 吸収溝 ９ 接着剤 １１ ガラス基板 １２ 第１のフォトレジスト層 １３ 第２のフォトレジスト層 １４ 第１のマスク １５ 第２のマスク １６ 感光部 １７ レジストパターン １８ 導電膜 １９ 電鋳層 ２０ スタンパ ４０１ カバーガラス基板 ４０２ 第１の注入口 ４０３ 第２の注入口 ４０４ 排出口 ４０５ ガラス基板 ４０６ 溝部 ４０７ 液体試料分析素子 ５０１ フォトレジスト層 ５０２ マスク ５０３ 感光部 ５０４ 光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中野 和彦 神奈川県川崎市川崎区港町５番１号 日本 コロムビア株式会社川崎工場内 Ｆターム(参考） 2G042 CB03 HA03 HA10 2G058 BA08 GA01
Claims (5)
- 【請求項１】片面に液体試料の注入口及び注入された液
体試料の流路となる溝部及び注入された液体試料の排出
口を備えたマイクロチャンネルが複数形成された第１の
樹脂基板と、 両面が平滑面である第２の樹脂基板とを備え、 前記第１の基板の前記溝部が形成された面が前記第２の
基板に向き合うように前記第１の基板と前記第２の基板
とが接合されることを特徴とする液体試料分析素子。 - 【請求項２】請求項１記載の液体試料分析素子におい
て、 前記第１の樹脂基板は、１の前記マイクロチャンネルを
備えた領域毎に分離するためのミシン目状の穴部が形成
され、 前記第２の樹脂基板はミシン目状の穴部が形成され、 前記第１の樹脂基板と前記第２の樹脂基板は各々の前記
ミシン目状の穴部が形成された領域が一致して接合され
ていることを特徴とする液体試料分析素子。 - 【請求項３】請求項１又は請求項２記載の液体試料分析
素子において、前記第１の樹脂基板の前記溝部が形成さ
れている面及び前記第２の樹脂基板の前記第１の樹脂基
板と接合される側の面は、前記第１の樹脂基板及び第２
の樹脂基板よりも液体試料に対する濡れ性が高い材料に
より覆われていることを特徴とする液体試料分析素子。 - 【請求項４】請求項１乃至請求項３記載の液体試料分析
素子において、前記第１の樹脂基板は、前記第２の樹脂
基板との接合に用いられる接着剤のうち余剰の接着剤を
吸収する吸収溝が前記溝部の外側に形成されていること
を特徴とする液体試料分析素子。 - 【請求項５】射出成形により片面に液体試料の注入口及
び注入された液体試料の流路となる溝部及び注入された
液体試料の排出口を備えたマイクロチャンネルが複数形
成された第１の樹脂基板を製造する工程と、 射出成形により両面が平滑面である第２の樹脂基板を製
造する工程と、 前記第１の樹脂基板の前記溝部が形成された面が前記第
２の樹脂基板と向かい合うように前記第１の樹脂基板と
前記第２の樹脂基板とを接合する工程とを備えることを
特徴とする液体試料分析素子製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000244112A JP2002055098A (ja) | 2000-08-11 | 2000-08-11 | 液体試料分析素子及び液体試料分析素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000244112A JP2002055098A (ja) | 2000-08-11 | 2000-08-11 | 液体試料分析素子及び液体試料分析素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002055098A true JP2002055098A (ja) | 2002-02-20 |
Family
ID=18734847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000244112A Pending JP2002055098A (ja) | 2000-08-11 | 2000-08-11 | 液体試料分析素子及び液体試料分析素子の製造方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002055098A (ja) |
Cited By (9)
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|---|---|---|---|---|
| WO2004040318A1 (ja) * | 2002-10-30 | 2004-05-13 | Nec Corporation | 分離装置およびその製造方法、ならびに分析システム |
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| WO2008090701A1 (ja) * | 2007-01-24 | 2008-07-31 | Konica Minolta Opto, Inc. | マイクロチップの製造方法、及びマイクロチップ基板の接合装置 |
| JP2008249439A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | マイクロアレイ用基板及びその使用方法 |
| JPWO2008065880A1 (ja) * | 2006-12-01 | 2010-03-04 | コニカミノルタオプト株式会社 | マイクロチップ基板の接合方法、及びマイクロチップ |
| US8524173B2 (en) | 2006-09-01 | 2013-09-03 | Tosoh Corporation | Microchannel structure and fine-particle production method using the same |
| US9592501B2 (en) | 2004-09-28 | 2017-03-14 | Landegren Gene Technology Ab | Microfluidic structure |
| WO2019160072A1 (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-22 | 京セラ株式会社 | 流路デバイスおよび計測装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03223674A (ja) * | 1989-11-30 | 1991-10-02 | Mochida Pharmaceut Co Ltd | 反応容器 |
-
2000
- 2000-08-11 JP JP2000244112A patent/JP2002055098A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPWO2019160072A1 (ja) * | 2018-02-16 | 2020-09-10 | 京セラ株式会社 | 流路デバイスおよび計測装置 |
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