JP4070175B2 - 液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置 - Google Patents

液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4070175B2
JP4070175B2 JP2000297817A JP2000297817A JP4070175B2 JP 4070175 B2 JP4070175 B2 JP 4070175B2 JP 2000297817 A JP2000297817 A JP 2000297817A JP 2000297817 A JP2000297817 A JP 2000297817A JP 4070175 B2 JP4070175 B2 JP 4070175B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicon oxide
oxide film
boron
diaphragm
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000297817A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2002103610A (ja
JP2002103610A5 (enrdf_load_stackoverflow
Inventor
海平 一色
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP2000297817A priority Critical patent/JP4070175B2/ja
Priority to US09/940,096 priority patent/US6568794B2/en
Publication of JP2002103610A publication Critical patent/JP2002103610A/ja
Publication of JP2002103610A5 publication Critical patent/JP2002103610A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4070175B2 publication Critical patent/JP4070175B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
JP2000297817A 2000-08-30 2000-09-29 液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置 Expired - Fee Related JP4070175B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000297817A JP4070175B2 (ja) 2000-09-29 2000-09-29 液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置
US09/940,096 US6568794B2 (en) 2000-08-30 2001-08-27 Ink-jet head, method of producing the same, and ink-jet printing system including the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000297817A JP4070175B2 (ja) 2000-09-29 2000-09-29 液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2002103610A JP2002103610A (ja) 2002-04-09
JP2002103610A5 JP2002103610A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2006-03-02
JP4070175B2 true JP4070175B2 (ja) 2008-04-02

Family

ID=18779869

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000297817A Expired - Fee Related JP4070175B2 (ja) 2000-08-30 2000-09-29 液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4070175B2 (enrdf_load_stackoverflow)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101513251B1 (ko) * 2013-07-02 2015-04-20 제주대학교 산학협력단 더미 노즐을 구비한 멀티 노즐 헤드

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8455271B2 (en) 2007-03-29 2013-06-04 Xerox Corporation Highly integrated wafer bonded MEMS devices with release-free membrane manufacture for high density print heads
KR100976205B1 (ko) * 2008-09-30 2010-08-17 삼성전기주식회사 잉크젯 헤드 및 그 제조방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101513251B1 (ko) * 2013-07-02 2015-04-20 제주대학교 산학협력단 더미 노즐을 구비한 멀티 노즐 헤드

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002103610A (ja) 2002-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6568794B2 (en) Ink-jet head, method of producing the same, and ink-jet printing system including the same
JP4144810B2 (ja) 液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクジェット記録装置並びに画像形成装置、液滴吐出装置
JP4230206B2 (ja) 記録ヘッドの製造方法と記録ヘッド及びインクジェット記録装置
JP4070175B2 (ja) 液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置
US6394586B2 (en) Liquid droplet discharging head and ink jet recording device
JP4039799B2 (ja) 液滴吐出ヘッド、画像形成装置及び液滴を吐出する装置
JP2002264329A (ja) インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置
JP2000015804A (ja) インクジェットヘッド及びその製造方法
JP2004249668A (ja) 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、及びインクジェット記録装置
JP4412866B2 (ja) インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置
JP4307745B2 (ja) 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置
JP2003080708A (ja) 静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置
JP2003145749A (ja) 静電型アクチュエータの製造方法、静電型アクチュエータ、インクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置
JP2003211393A (ja) マイクロアクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロポンプ、光学デバイス
JP2002172776A (ja) インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置
JP4001453B2 (ja) 液滴吐出ヘッド及びその製造方法、画像形成装置、液滴吐出装置
JP2003094634A (ja) 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置
JP2003236797A (ja) 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロアクチュエータ、マイクロポンプ、光学デバイス
JP2003048322A (ja) 液滴吐出ヘッドの製造方法及びインクジェット記録装置
JP4120954B2 (ja) 静電型アクチュエータ及びインクジェットヘッド、画像形成装置
JP3851549B2 (ja) 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロアクチュエータ、マイクロポンプ、光学デバイス、画像形成装置、液滴を吐出する装置
JP2002240282A (ja) 液滴吐出ヘッド及びその製造方法
JP2002160361A (ja) 液滴吐出ヘッド
JP2003011359A (ja) インクジェットヘッド及びその製造方法
JP4243341B2 (ja) インクジェットヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041206

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060111

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20061225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070117

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070312

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071112

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071217

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080111

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080111

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140125

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees