JP4004319B2 - 回転式塗布装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、塗布液体を基板上に滴下して回転させ、遠心力により拡散して塗布膜を形成する回転式塗布装置とその容器及びその容器の開閉方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、カラーフィルタなどの製造ライン等においては、薄く均一な塗装面を得るために、スピンナ又はホエラといわれる回転式塗布装置が用いられる。その代表的なものは、一般的にスピンコータと言われている。
図7及び図8は、このようなスピンコータの例を中心軸を含む面で切断して示した断面図である。
図7は、インキが塗布される基板1が収容され、その上下を覆う容器(インナーカップ)110と、その外側を上下から覆う容器(アウターカップ)120の2つのカップが閉じている状態を示す。図8は、基板上へのインク塗布を終了し、インナーカップ110とアウターカップ120を開放した直後の状態を示している。
【0003】
インナーカップ110は、インキを塗布したい基板1と共に回転するカップである。カップ内に基板1を出し入れするために、通常は上下2枚の上インナーカップ111と下インナーカップ112により構成され、上下に別れて開くようになっている。2枚のカップの間は、塗布回転時には端部円周上の数ヶ所に設置されたスペーサ115により、周辺部の開口の高さは、通常1〜2mm程度で小さく保持されている。また、基板1の出し入れするときには、上インナーカップ112が上に逃げることにより開口の高さが大きくなる。
【0004】
アウターカップ120は、インナーカップ110の外側に設置された回転しないカップである。主として遠心力によりインナーカップ110より飛び出したインキを、さらにその外側に飛び出さないようにするためのものである。このアウターカップ120は、インナーカップ110と同様に、上下2枚の上アウターカップ121と下アウターカップカップ122により構成され、基板1の出し入れの際には、上アウターカップ121が上昇して開口する。
【0005】
下インナーカップ112は、図示しない駆動機構に接続されており、塗布動作中は回転動作をしている。また、上インナーカップ111は、スペーサ115を介して下インナーカップ112から駆動力を伝達され回転する。このスピン回転の遠心力により、基板1上に滴下した図示しない塗布インキを基板1の表面に拡散させている。
【0006】
通常、スピン回転中は、遠心力によりスピンコータ内に飛散した塗布インキを回収するために、ブロア等を使用してインク微粒子の混じった内部空気を排出している。この排気により、カップ内部は負圧となる。図中の122a、122bは、スピンコータ内の空気を吸引するための孔である。なお、図では、スピン回転を与える駆動装置、空気吸引装置、カップ開閉装置など、容器以外のものは省略してある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の機構では、塗布動作が終了しカップの回転が停止すると、図7の状態でインナーカップ110が停止する。その後、図8のように、カップを開放する動作が始まると、カップ内部が負圧となっているため、外部から空気を吸いこむ。しかもこのとき、インナーカップ110がアウターカップ120と同時に開放し始めるため、外部より吸いこまれた空気は、基板1上面のに流れ込む。図8の矢印(点線)は、スピン回転終了後のカップ開放時に生じた気流の様子を示すものである。
【0008】
クリーンルーム等の発塵量の少ない環境においても、完全に異物浮遊を防止することは困難である。吸い込まれた空気に異物が混じっていれば、インナーカップ110及びアウターカップ120を同時に開けると、この気流に乗って異物がインナーカップ110内の基板1の表面にも接近し、基板1上のインク塗布面に触れて付着する。そこで、折角平滑に仕上げた塗布面を汚し、異物付着による突起不良を発生し、製造の歩留まりを低下させる、という問題が発生する。
【0009】
本発明の課題は、基板上のインク塗布終了後のカップの開放時に、基板塗布面が汚れるのを極力少なくして、この工程における基板の性能劣化を防ぎ、製品の歩留りを向上させるような、回転式塗布装置とその容器及びその容器の開閉方法を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、請求項1の発明は、液体が塗布されるべき基板(1)上に塗布液体を滴下し、前記基板を回転することにより前記塗布液体を拡散させて塗布膜を形成する回転式塗布装置であって、前記基板の上下から覆い開閉が可能な第1の容器(10)と、前記第1の容器の上下から覆い開閉が可能な第2の容器(20)と、前記基板の回転中心に対して略同軸上に配置された棒状部材であって、その一端部が前記第1の容器に回転自在に接続された接続部(31)と、前記第2の容器に設けられ、前記接続部をスライド可能に貫通させる孔部(21a)と、前記接続部の他端部に設けられ、前記第2の容器が開放する方向に移動する際に前記第2の容器に対して接触可能に設けられた接触部(31a)とを備えることを特徴とする回転式塗布装置である。
【0013】
請求項2の発明は、請求項1に記載の回転式塗布装置において、前記第2の容器(20)の開閉を駆動する駆動部(51)と、前記駆動部(51)を制御する制御部(50)と、を含むこと特徴とする回転式塗布装置である。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図面等を参照して、本発明の実施の形態について、さらに詳しくに説明する。
本実施形態では、容器内に基板1を回転自在に支持し、その上下を覆う第1の容器であるインナーカップ10と、インナーカップ10の外側の上下を覆う第2の容器であるアウターカップ20のそれぞれの開閉動作に時間差を設けることにより、カップ開時の気流により巻き込んだ異物をインナーカップ10内部の基板面に持ちこむことを防止している。
【0016】
図1は、本発明の回転式塗布装置の容器の一実施形態を示す斜視図である。
本実施形態の回転式塗布装置の容器は、上記時間差を設けるために、インナーカップ10とアウターカップ20の間を係合する係合部30を備えている。係合部30は、インナーカップ10の上部を回転自在に支持するとともに、係合する両者を、上下方向の一定範囲内に限定し相対的にスライドさせるものである。
【0017】
図1では、内部構造を判りやすくするため、インナーカップ10及びそれと共動する係合部30の一部(軸回りの1/4の部分)を切除してある。また、アウターカップ20及びそれと共動する係合部30の一部(軸回りの1/2の部分)を切除してある。
図2は、図1の実施形態を中心軸を含む垂直な面で切断した断面図である。インナーカップ10は、インク等の図示しない塗布液を塗布しようとする基板1を載せるための下インナーカップ12と、その上を覆う上インナーカップ11とで構成されている。
【0018】
下インナーカップ12の下面中央には、下回転軸14が固定されている。下回転軸14は、上端部に鍔14aを有し、鍔14aによって下インナーカップ12に固定され、インナーカップ10が回転する場合の下側の軸となる
上インナーカップ11の上面中央には、上回転軸13が固定されている。上回転軸13は、下端部に鍔13aを有し、中心部に上下に長い孔13bのある略円筒状で、鍔13aによって上インナーカップ11に固定され、インナーカップ10が回転する場合の上側の軸となる。
【0019】
アウターカップ20は、下インナーカップ12のさらに下側を覆う下アウターカップ22と、上インナーカップ11のさらに上側を覆う上アウターカップ21で構成されている。下アウターカップ22の中心部には、下回転軸14を貫通させる孔22aが設けられている。孔22bは、インナーカップ10とアウターカップ20で構成されるコータカップ内の空気を吸引するための排気孔である。上アウターカップ21の中心部には、上回転軸13に係合する係合部30の一部を貫通させる孔21aが設けられている。
【0020】
係合部30は、上アウターカップ21に対して上下の一定範囲内で相対位置を変えることができる上下移動棒31と、上下移動棒31の中央部をスライド自由に支持する鍔付き円筒状の支持部32と、上下移動棒31の下部と上回転軸13を回転自在に係合するボールベアリング33とで構成されている。
ボールベアリング33は、その外周側面が上回転軸の孔13bの内側に密着し、内周側面は、上下移動棒31の下部に密着する状態で組み込まれている。
【0021】
支持部32の鍔32aは、その内側面が孔21aに連続するように、上アウターカップ21の外側に固定されている。したがって、孔21aと支持部32は、上下移動棒31に対してスライドできるが、上下移動棒31の上部には、中心部より径の大きい頭部31aがあるので、頭部31aの出っ張りが、その下端で上アウターカップの上昇を規制し、相対的にスライドできる範囲を限定する。
【0022】
次に、本実施形態の特徴であるインナーカップ10とアウターカップ20の開放動作について説明する。
図3及び図4は、カップ開閉動作を説明するための説明図である。これらは、いずれも動作中の図1の実施形態を、図2と同様に中心軸を含む垂直面で切断した断面図である。図5は、図1〜図4に示す実施形態の容器を使用した回転式塗布装置の機能系統を示す説明図である。
【0023】
基板1の表面に塗布液を塗布しようとする場合は、上アウターカップ21及び上インナーカップ11が開放されている状態で、基板搬送機構52によって、基板1が下インナーカップ12の上の載置され、その上に塗布液滴下機構53によりインクなどの塗布液体の必要量が滴下される。続いて、カップ回転機構54により下インナーカップ12を回転させると、上インナーカップ11も、スペーサ15を介して駆動力が伝達され回転する。そして、滴下された塗布液は、遠心力により基板1の表面に薄く均一に拡散される。
【0024】
インナーカップ10の回転中は、カップ排気機構55が作動し、排気口22bからカップ内の空気を吸引しているので、遠心力により飛散するインキは、インナーカップ10内から飛び出し、アウターカップ20を経て装置外部に排出される。そこで、塗布加工を終わった時点のカップ内部は、負圧になっている。
その後に、基板1を装置外に取り出すために、カップは開放される。図2は、その直前の状態であり、図3は、カップ開放開始後の間もない時点での状態を示している。
【0025】
カップの回転が停止すると、上アウターカップ21は、カップ開閉機構51によって上昇する方向に駆動される。カップ開放動作が始まっても、係合部30の上下移動棒31と支持部32とがスライドするので、暫くの間(図2の状態から図3の状態に移行する間)は、上アウターカップ21のみが単独に上昇して、図3に示すように、アウターカップ20が開放される。このとき、インナーカップ10は閉鎖状態を保っているため、外部より吸いこまれた空気は、上インナーカップ11と上アウターカップ21の間の空間に勢いよく流れ込むが、こうして生じた気流は、図3に点線の矢印で示すように、基板1の表面には達しない。
【0026】
さらに、上アウターカップ21が上昇すると、その過程(図3の状態から図4の状態に移行する間)では、上下移動棒31の頭部31aの下端と支持部32の上端が接触しているので、両者間の上下方向のスライドは停止し、上アウターカップ21と上インナーカップ11は共動する。そこで、上インナーカップ11も上昇を開始し、インナーカップ10は開放される。
インナーカップ10が開放されたときは、図4に示すように、図3のような気流はなく、カップ内の空気の乱れはなくなっている。したがって、外部から流入した浮遊異物の基板面上への付着はなく、高品位の製品を得ることができる。
【0027】
(変形形態)
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
例えば、図1〜図4に示す容器の係合部30の上下移動棒の頭部31aの下端部と支持部32の上端部との間に、セットカラー34(図2で破線で示してある)等を挿入し、このセットカラー34に任意の厚さのものを選ぶことによって、インナーカップ10の開放のタイミング遅れ量を調整することができる。カップ内の負圧は、基板回転中の排気の流量に応じて変化するが、これに対応して、前記のタイミングを調節すれば、容易に最適な気流の状態を作ることができる。
【0028】
また、回転式塗布装置の容器として、図1〜図4に示すものを用いなくとも、2つのエアーシリンダ等を使用し、それぞれ別個に作動するアクチュエータにより、インナーカップ及びアウターカップを、異なるタイミングで昇降させるようにしてもよい。
図6は、そのような容器開閉方法による回転式塗布装置の機能系統を示す説明図である。
図6の場合も、基板搬送機構62、塗布液滴下機構63、カップ回転機構65、カップ排気機構66の動作は、図5の場合の基板搬送機構52、塗布液滴下機構53、カップ回転機構54、カップ排気機構55の動作と同等である。
【0029】
図6の装置の動作において、インナーカップ71、72の回転が停止し、カップ開放動作に移ると、まず、アウターカップ開閉機構61が作動して上アウターカップ81が開き、次に、一定時間遅れでインナーカップ開閉機構62が作動して上インナーカップ71が開く。
このように、上アウターカップ21のみが先に開放され、このとき、上インナーカップ11は、閉鎖状態を保っているため、図5の場合と同様に、外部より流入した浮遊異物は基板面上に付着することはなく、高品位な製品が得られる。
なお、制御部60のカップ開閉機構を駆動のための設定値を変えることによって、アウターカップ開閉機構61とインナーカップ開閉機構62の作動タイミングは、最適値になるよう自在に選ぶことができる。
【0030】
【発明の効果】
以上詳しく説明したように、本発明によれば、塗布液体を基板上に拡散させた後の容器開放動作時に、第2の容器が開き始めてから一定時間後に、第1の容器が開き始めるので、容器開放時の第1の容器内の基板上への異物付着を防ぐことができる、という効果がある。したがって、基板の異物付着による突起不良が減少でき、製造工程上での歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の回転式塗布装置の容器の一実施形態を示す斜視図である。
【図2】図1の実施形態を垂直面で切断した断面図である。
【図3】カップ開放開始直後の状態を示す説明図(断面図)である。
【図4】カップ開放終了後の状態を示す説明図(断面図)である。
【図5】図1の容器使用の回転式塗布装置の機能系統を示す説明図である。
【図6】他の実施形態の回転式塗布装置の機能系統を示す説明図である。
【図7】従来のスピンコータの例のカップ閉鎖状態を示す断面図である。
【図8】図7のスピンコータのカップ開放直後の状態を示す断面図である。
【符号の説明】
1 基板
10 インナーカップ
11 上インナーカップ
12 下インナーカップ
13 上回転軸
14 下回転軸
2O アウターカップ
21 上アウターカップ
22 下アウターカップ
30 係合部
31 上下移動棒
32 支持部
33 ボールベアリング
Claims (2)
- 液体が塗布されるべき基板上に塗布液体を滴下し、前記基板を回転することにより前記塗布液体を拡散させて塗布膜を形成する回転式塗布装置であって、
前記基板の上下から覆い開閉が可能な第1の容器と、
前記第1の容器の上下から覆い開閉が可能な第2の容器と、
前記基板の回転中心に対して略同軸上に配置された棒状部材であって、その一端部が前記第1の容器に回転自在に接続された接続部と、
前記第2の容器に設けられ、前記接続部をスライド可能に貫通させる孔部と、
前記接続部の他端部に設けられ、前記第2の容器が開放する方向に移動する際に前記第2の容器に対して接触可能に設けられた接触部と
を備えることを特徴とする回転式塗布装置。 - 請求項1に記載の回転式塗布装置において、
前記第2の容器の開閉を駆動する駆動部と、
前記駆動部を制御する制御部と、
を含むこと特徴とする回転式塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002093471A JP4004319B2 (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | 回転式塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002093471A JP4004319B2 (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | 回転式塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003284993A JP2003284993A (ja) | 2003-10-07 |
JP4004319B2 true JP4004319B2 (ja) | 2007-11-07 |
Family
ID=29237916
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002093471A Expired - Fee Related JP4004319B2 (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | 回転式塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4004319B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101512560B1 (ko) * | 2012-08-31 | 2015-04-15 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판처리장치 |
JP5973300B2 (ja) * | 2012-09-25 | 2016-08-23 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP5936505B2 (ja) * | 2012-09-25 | 2016-06-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
CN109461685B (zh) | 2014-02-27 | 2022-03-08 | 株式会社思可林集团 | 基板处理装置 |
-
2002
- 2002-03-29 JP JP2002093471A patent/JP4004319B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003284993A (ja) | 2003-10-07 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050324 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20061116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070522 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070723 |
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