JP4000060B2

JP4000060B2 - 最適に配向された研磨粒子を有する研磨物品、およびその製造方法

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Publication number: JP4000060B2
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Inventors: ポール・ディ・プリチャード; キュン・エイチ・モー; デイビッド・シー・コスケンマキ
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Description

本発明は、マトリックス中に配向された研磨粒子を有する研磨物品、およびそのような研磨物品を製造する方法に関する。

シート状マトリックスにいくつかの種類の研磨粒子を組入れ、配置するための、多くの以前の方法が開示されている。そのような研磨粒子としては、ダイヤモンド結晶および結晶性立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）がある。研磨製品において研磨粒子を保持するマトリックスに研磨粒子が最適に配置されている場合、これらの研磨材料の各々が、最適な研磨性能をもたらすことが知られている。そのような研磨製品においてそのような研磨粒子を最適に配置するためにさまざまな試みがなされているが、研磨粒子の最適な配向においては限られた成功しかない。次の引例は、過去において、この課題の解決策を与えるために、何がなされたかをいくらか示している。

特許文献１（ヴォンテル（Ｖｏｎｔｅｌｌ））、特許文献２および特許文献３（デコク（ｄｅＫｏｋ））、特許文献４（ケリー（Ｋｅｌｌｙ））、特許文献５（ゴアズ（Ｇｏｅｒｓ））、特許文献６（クリスチャンソン（Ｃｈｒｉｓｔｉａｎｓｏｎ））、特許文献７（ツェルシン（Ｔｓｅｌｅｓｉｎ））、特許文献８（ツェルシン）、特許文献９（ツェルシン）、特許文献１０（プレストン（Ｐｒｅｓｔｏｎ））、特許文献１１（ツェルシン）、特許文献１２（カーディス（Ｋａｒｄｙｓ））、特許文献１３（ツェルシン）、特許文献１４（ツェルシン）、非特許文献１、特許文献１５（ツェルシン）、特許文献１６（ツェルシン）、ならびに特許文献１７および特許文献１８（ロバーツ（Ｒｏｂｅｒｔｓ））。
米国特許第４，６８０，１９９号米国特許第４，９２５，４５７号米国特許第５，０９２，９１０号米国特許第５，５２５，１００号米国特許第５，７２５，４２１号米国特許第５，５５１，９６０号米国特許第５，０４９，１６５号米国特許第５，３８０，３９０号米国特許第５，６２０，４８９号米国特許第６，１１０，０３１号米国特許第５，７９１，３３０号米国特許第５，６９５，５３３号米国特許第５，８１７，２０４号米国特許第５，９８０，６７８号米国特許第５，１９０，５６８号米国特許第５，２０３，８８０号米国特許第５，５６０，７４５号米国特許第５，４５３，１０６号エヌ・ツェルシン（Ｎ．Ｔｓｅｌｅｓｉｎ）、「製造応用における先進セラミックスの使用」における先進技術的セラミックスの機械加工用ダイヤモンドツールの改良（ＩｍｐｒｏｖｅｍｅｎｔｓｏｆＤｉａｍｏｎｄＴｏｏｌｓｆｏｒＭａｃｈｉｎｉｎｇｏｆＡｄｖａｎｃｅｄＥｎｇｉｎｅｅｒｅｄＣｅｒａｍｉｃｓｉｎ "ＵｓｉｎｇＡｄｖａｎｃｅｄＣｅｒａｍｉｃｓｉｎＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ"）、会議論文、１９９１年６月３〜５日、オハイオ州シンシナティ（Ｃｉｎｃｉｎｎａｔｉ，ＯＨ）、製造技術者協会刊行物（ＰｕｂｌｉｃａｔｉｏｎｏｆＳｏｃｉｅｔｙｏｆＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＥｎｇｉｎｅｅｒｓ）、ｐ．ＥＭ９１−２４８−３

本発明は、最適に配向された、成形された研磨粒子を有する研磨製品の製造に関して、当該技術が教示していることにおける欠陥の発見にある。本発明は、結晶学的配向に関係なく、効果的な研磨のために、研磨粒子の鋭い先端の最適な配向および整列をもたらすために、最適に配向された、成形された研磨粒子を有する研磨物品を製造する。

本発明の目的で、「最適な配向」とは、研磨製品の製造業者または使用者によって望まれる好ましい配向を指す。最適な配向は、他の配向が望まれる場合、必ずしも、完全に直立した研磨粒子を含むとは限らないであろう。本発明は、テーパ状または他の形状の表面の、穴の開いた凹部（たとえば、四角錐形または円錐形）を含む基材を用いて、個別の研磨粒子を捕え、配向させる方法を提供し、それにより、鋭い端縁または先端が、ワークピースの表面と接触して配置される可能性が高くなる。凹部の形状は、本質的に、研磨粒子を最適な配向で配置するようなものである。基材は、成形された各凹部内に穴を有し、これにより、凹部に収容される研磨粒子の配置がさらに容易になり、基材の裏側に対する圧力を低減することができる。この技術により、先端または端縁が所望の配置で、たとえば
、上を向いて、研磨粒子が配列することができる。

一態様において、本発明は、多数の最適に配向された、成形された研磨粒子が中に配置されたシート状マトリックスからなる研磨物品を製造する方法であって、各研磨粒子が、成形された底端と、反対側の成形された研磨端を有し、
多数の突起を含む接触面を有する第１の工具と、合わせ面を有する第２の工具とを含む基材形成装置を提供するステップであって、前記工具の接触面および合わせ面が、合わせられると、前記基材を変形して、前記基材に穴のあいた凹部を設けることができ、各凹部で、前記研磨粒子の１つの底端を受け、前記研磨粒子をその中に最適に配向させることができるステップと、
エンボス加工可能な、穴をあけられるシート状基材を提供するステップと、
前記シート状基材を、前記第１および第２の工具の接触面および合わせ面と接触させて、裏面と、多数の凹部を有することを特徴とする反対側の上面とを有する、エンボス加工された、穴のあいたシートを提供するステップであって、各凹部が、前記成形された研磨粒子の成形された底端を受け、前記研磨粒子をその中に最適に配向させることができる形状と、前記凹部内で前記シート状基材を通る穴とを有することを特徴とし、前記穴が、前記研磨粒子を通さないサイズであるステップと、
実質的に、前記エンボス加工された、穴のあいたシートの各凹部に、１つの研磨粒子があるように、前記凹部内に研磨粒子を分配するステップと、
前記研磨粒子を収容している凹部内の各研磨粒子を最適に配向させるステップと、
前記エンボス加工された、穴のあいたシートの上面および裏面間で圧力差を生じさせるステップであって、前記凹部内に位置しない少なくとも前記研磨粒子の大部分を、前記エンボス加工された、穴のあいたシートの上面から除去しながら、前記裏面に、より低い圧力を加えて、配向された研磨粒子の各々を凹部内に保持するステップと、
前記研磨粒子が最適に配向された後、前記凹部内の前記研磨粒子を永久的に結合して、研磨端が露出した、最適に配向された、成形された研磨粒子を含む研磨製品を提供するステップと、を含む方法を提供する。

さらなる態様において、基材が焼結可能であり、本発明は、多数の最適に配向された、成形された研磨粒子がその中に配置されたシート状マトリックスからなる研磨物品を製造する方法であって、各研磨粒子が、成形された底端と、反対側の成形された研磨端を有する、方法を提供する。この方法は、
多数の突起を含む接触面を有する第１の工具と、合わせ面を有する第２の工具とを含む基材形成装置を提供するステップであって、前記工具の接触面および合わせ面が、合わせられると、前記基材を変形して、前記基材に穴のあいた凹部を設けることができ、各凹部で、前記研磨粒子の１つの底端を受け、前記研磨粒子をその中に最適に配向させることができるステップと、
金属箔上に支持された層において焼結可能な粒子および有機バインダからなる、エンボス加工可能な、穴をあけられる、焼結可能なシート状基材を提供するステップと、
前記シート状基材を、前記第１および第２の工具の接触面および合わせ面と接触させて、前記金属箔によって与えられる裏面と、多数の凹部を有することを特徴とする反対側の上面とを有する、エンボス加工された、穴のあいた、焼結可能なシートを提供するステップであって、各凹部が、前記成形された研磨粒子の成形された底端を受け、前記研磨粒子をその中に最適に配向させることができる形状と、前記凹部内で前記シート状基材を通る穴とを有することを特徴とし、前記穴が、前記研磨粒子を通さないサイズであるステップと、
実質的に、前記エンボス加工された、穴のあいた、焼結可能なシートの各凹部に、１つの研磨粒子があるように、前記凹部内に研磨粒子を分配するステップと、
前記研磨粒子を収容している凹部内の各研磨粒子を最適に配向させるステップと、
前記エンボス加工された、穴のあいた、焼結可能なシートの上面および裏面間で圧力差を生じさせるステップであって、前記凹部内に位置しない少なくとも前記研磨粒子の大部分を、前記エンボス加工された、穴のあいた、焼結可能なシートの上面から除去しながら、前記裏面に、より低い圧力を加えて、配向された研磨粒子の各々を凹部内に保持するステップと、
前記研磨粒子が最適に配向された後、前記凹部内の前記研磨粒子を一時的に結合するステップと、
前記研磨粒子を支持する、エンボス加工された、穴のあいた、焼結可能なシートを、焼結温度で加熱し、冷却すると、研磨端が露出した、結合された、最適に配向された、成形された研磨粒子を支持する焼結したマトリックスを含む研磨製品を提供するステップと、
前記研磨製品を冷却するステップと、
を含む。

好ましい方法では、前記工具の接触面および合わせ面が、各々、ローラの表面上に支持される。合わせ面は、凹部を設けるために特定の形状であってもよいし、単に、エラストマー材料のシートのような滑らかな表面を有する柔軟なシートであってもよい。

「焼結可能なシート」という用語は、一時的な有機バインダ中の、加熱されると典型的には溶融する熱可溶性粒子（たとえば、金属粒子）の予め形成されたシートからなるグリーンシートを指す。本発明の目的のためのそのような焼結可能な材料は、ろう付組成物を含む。好ましい焼結可能な層は、金属粒子、ならびに有機バインダおよび／またはろう付組成物を含む。そのようなろう付組成物は、活性金属ブレーズ（ｂｒａｚｅ）であってもよい。適切なろう付組成物は、好ましくは、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｓｉ、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｐ、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｂ、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｓｉ−Ｂ、Ｃｕ−Ｓｎ、Ａｇ−Ｃｕ、およびＮｉ−Ｓｉ−Ｂ合金から選択される。

焼結可能な層は、焼結温度に加熱すると、加熱ステップ時に研磨粒子の底端を濡らすのに十分な体積で液体相をもたらし、冷却すると、焼結したマトリックス内に研磨粒子の底端を結合するのに十分となる。この目的のため、その体積が、焼結可能な層中の金属粒子の全体積に基づいて、少なくとも２０％であることが好ましい。

研磨粒子を最適に配向させるための好ましい手段は、研磨粒子を分配し、減圧によって所定位置に保持した後、研磨粒子および／またはエンボス加工された、穴のあいた、焼結可能なシートを振動させて、研磨粒子配向を最適にすることを含む。配向は、また、粒子が所定位置に保持されているときに粒子に穏やかな空気流を与えることによって行ってもよい。

好ましい研磨粒子は、実質的に立方八面体の（ｃｕｂｏｃｔａｈｅｄｒａｌ）ダイヤモンド結晶、実質的に立方八面体の立方晶窒化ホウ素結晶、ならびにアルミナベースのセラミック材料、ジルコニアベースのセラミック材料、窒化ケイ素ベースのセラミック材料、およびサイアロンベースのセラミック材料などのさまざまなセラミック材料から選択される。他の有用な研磨粒子としては、溶融アルミナ、セラミックアルミナ、炭化珪素、およびゾルゲルから得られたアルミナベースのセラミックスがある。

研磨粒子のサイズは、特定の用途に有用な、いかなるサイズであってもよい。好ましくは、凹部内の堆積を容易にするために、平均粒径は、比較的狭い範囲である。好ましくは、研磨粒子は、少なくともわずかに細長く、アスペクト比が少なくとも１．５である。

凹部内の研磨粒子を一時的に結合するための好ましい手段は、溶媒が有機バインダを柔らかくし、それにより、それが、研磨粒子の成形された底端に結合し、次に、差圧を生じ続けながら、溶媒を蒸発させることによって提供される。

さらなる態様において、マトリックスを焼結する必要がなく、本発明は、研磨物品であって、
多数の最適に配向された、成形された研磨粒子を含み、各研磨粒子が、約１．５より大きいアスペクト比と、成形された底端と、反対側の成形された研磨端を有し、さらに
凹部を含む上面を有するシート状マトリックスを含み、実質的に、各凹部が、研磨粒子の成形された底端をその中に収容かつ結合し、一方、前記研磨粒子の反対側の研磨端が、露出し、最適な配向で整列される、研磨物品を提供する。

さらなる態様において、マトリックスを焼結し、本発明は、研磨物品であって、
多数の最適に配向された、成形された研磨粒子を含み、各研磨粒子が、成形された底端と、反対側の成形された研磨端を有し、さらに
凹部を含む上面を有する、焼結したシート状マトリックスを含み、実質的に、各凹部が、研磨粒子の成形された底端をその中に収容かつ結合し、一方、前記研磨粒子の反対側の研磨端が、露出し、最適な配向で整列され、さらに
前記研磨物品に下面を与える、前記マトリックスに結合された金属箔焼結物
を含む研磨物品を提供する。

本発明の研磨物品は、従来のコーティングされた研磨製品と比較して単位面積あたりの研磨粒子が少ないが、本発明の研磨製品は、そのような従来のコーティングされた研磨製品より良好に、または少なくとも同等に働くことを特徴とする。したがって、典型的には、より少ない研磨材料を使用するので、本発明の製品を製造するコストが、従来の研磨製品を製造するコストと比較して、低減する。さらに、本方法により、最適な性能を有する研磨製品を設計する機会が与えられるので、本発明の製品の研磨性能を調整することができる。

本発明のさまざまな特徴および利点は、次の好ましい実施の形態の詳細な説明、および添付の図面から明らかになるであろう。

ここで、図１を参照すると、ローラ１２および１３上に取付けられた連続ベルト１１を含む装置１０が示されている。ベルト１１は、多孔性であっても非多孔性であってもよいが、好ましくは非多孔性である。ベルト１１は、１５メートル以上の露出した上面を有することができ、かつ、ベルトに塗布されたコーティングの乾燥を助けるために、関連して、ベルト１１の上部の下に配置された、トンネルヒータ、ホットエアストリーム、または加熱エレメントなどの加熱装置を有してもよい。供給ロール９からのステンレス鋼箔８がベルト１１の上で導かれる。また、ナイフコーティング装置が設けられ、この装置は、ステンレス鋼箔８の上で隙間がつくられている端縁を有するナイフブレード１４を含み、コーティング厚さを規定するようにそれらの間に適切な空間を設け、また、この装置は、スラリー１６を収容するスラリー溜め１５を含み、スラリー１６が、ナイフコータブレード１４の端縁の下を通り、ステンレス鋼箔８上にスラリーのコーティング１７を与え、これは、溶媒が蒸発すると乾燥し、金属箔バッキング８上に支持されたグリーンテープ１８を提供する。室温での空気中における、または加熱による乾燥後のグリーンテープ１８／金属箔８積層体は、典型的には、厚さが０．０５ｍｍから約２ｍｍのオーダである。スラリーのコーティング厚さは、典型的には、キャスティング速度およびスラリー粘度によって、乾燥したグリーンテープの所望の厚さの１．５から３．５倍（好ましくは２から３倍）のオーダの厚さである。典型的なキャスティング速度は、１分間あたり約５から５０ｃｍのオーダ、好ましくは、１分間あたり約１５から約２５ｃｍのオーダである。乾燥後、グリーンテープ金属箔積層体は、典型的には、図２にも示されている蓄積ロール２０のような蓄積ロールに巻かれる。

図２は、穴のあいた凹部を設けることができる接触面を有するエンボスロール２１と、穴のあいた凹部を形成することができる合わせ接触面を有するバックアップロール２２とを含むエンボス加工装置を示す。図３および図４は、それぞれ、バックアップロール２１の接触面とエンボスロール２２の合わせ面の部分の非常に拡大した断面図を示す。エンボスロール２１は、典型的には、頂点で９０゜の角度を有する四角錐のぎっしり詰まった配列を有する接触面を有する彫られたアルミニウムロールである。図３は、エンボスロール２１の接触面の部分を示し、これらの突起を断面図で示している。各突起は、ロール表面上の底端と、ロール表面から先端へ上方に延びる末端とを有する非常に小さい９０゜四角錐である。先端は、シートに穴をあけるために、より小さい、さらに直立した突起を含んでもよい。四角錐形特徴構造は、好ましくは、幅が１ｍｍ、高さが０．５ｍｍであるが、より小さい、またはより大きい研磨粒子に対して、対応して、より小さい、またはより大きい寸法が用いられる。バックアップロール２２の合わせ面は、同様に、突起の寸法と適合するように、同じサイズ、すなわち、好ましくは、幅が１ｍｍ、深さが０．５ｍｍである四角錐形凹部の、対応する配列を有し、２面間のゼロ間隙を与える。凹部は、図４に断面が示されている。各々の個別の凹部は、実際には、バックアップロール２２の表面で最大寸法であるが、バックアップロール２２の本体内で先端に向かってテーパ状になっている四角錐形凹部である。突起が、より小さい、さらに直立した突起を含む場合、凹部は、より小さい直立した突起が嵌合する、さらに適合する、より小さい凹部が必要であろう。ロールは、典型的には、ゼロ間隙で作動される。ゼロ間隙でのエンボス加工動作は、典型的には、各凹部の底部において基材に小さい裂目を作る。エンボス加工動作は、蓄積ロール２０からグリーンテープ１８／金属箔８積層体を引出し、同時に、蓄積ロール２４からバリアフィルム２３を引出し、エンボスロール２１とバックアップロール２２の間のゼロ許容間隙を同時に通るグリーンテープ１８およびバリアフィルム２３を引張ることによって行われ、エンボスロール２１の接触面上に支持されたパターンに対応する穴のあいた凹部を有する基材２５を製造する。エンボス加工された基材の上面が、図７の顕微鏡写真に示されている。基材の各セルの正方形の縁は、エンボス加工された四面角錐形凹部間の境界を規定する。凹部の開口は、凹部のより明るい領域として明らかである。

図６は、例示的な目的でのみ、各凹部の穴または開口６８を含む凹部６２を有する基材６１の拡大断面図の図を示す。図６に示された基材は、図３および図４に示されたエンボス加工工具では製造されなかっただろう。エンボス加工された基材６１は、研磨粒子の底端が凹部６２に位置するとき、粒子の研磨端が直立しているように、研磨粒子６０の底端を受ける大きさの凹部６２と共に示されている。エンボス加工された基材６１は、エンボス加工された金属箔６３上に支持され、凹部６２の穴６８が、基材６１および金属箔６３を通って延びている。

図５は、ダイヤモンド研磨粒子５０がエンボス加工された基材５１の表面上に堆積されるダイヤモンド研磨粒子堆積プロセスの概略図である。図５に示されるように、一旦、研磨粒子が基材５１に付与されると、基材５１が真空室５４の上を通り、基材／金属箔積層体の裏側に対する圧力が低減され、研磨粒子を所定位置に保持する。次に、たとえば、穏やかな空気流によって、凹部に位置しない余分な研磨粒子が除去される。その後、基材５１の有機バインダ成分を柔らかくするために、スプレーノズル５６のような適切な分配装置から、溶媒スプレー５５が、基材５１の表面に塗布される。基材５１に塗布された溶媒が十分に蒸発するまで、研磨粒子５０を凹部５２内の所定位置に保持するように、基材に真空が与えられ続け、その後、真空室５４との連通を出た後、研磨粒子５０が容易に除去されないように、有機バインダが研磨粒子５０の底端と一時的な結合を形成する。次に、一時的に結合された研磨粒子を支持する基材が、適切な焼結炉５７に配置される。図５は、焼結炉５７に直接入る、一時的に結合された研磨粒子を支持する基材を示すが、これは、典型的には、実情ではないが、次の段階がこの方法の焼結段階であることを例示するために示されているだけである。基材は、典型的には、別個の動作において焼結炉に運ばれる。

次に、結合された研磨粒子を支持する基材は、加熱され、有機バインダを蒸発させ、基材５１に含有されている焼結可能な粒子を溶融し、焼結マトリックスを形成する。加熱時の周囲雰囲気は、酸化であっても、非酸化であってもよい。研磨粒子支持基材は、最初に、５０−５００ｋｇ／ｃｍ^２の圧力を与え、同時に、８００から１０００℃の温度で熱を加えてもよく（たとえば、ホットプレスを用いて）、または、同様の温度の焼結炉に直接配置して、プレスステップを省いてもよい。

図８は、本発明に従って製造した実際の製品の顕微鏡写真のデジタル複製であり、この製品は、黒で示されたマトリックスを含み、マトリックスは、上記のプロセスによってマトリックス内に結合されている個別のダイヤモンド粒子を、その中に含まれている凹部に支持している。ダイヤモンド粒子がすべて最適に配向され、切削端縁が直立した位置で配置されていることに留意されたい。

本発明は、基材の多数の穴のあいた凹部の１つに研磨粒子を配置および配向し、かつ、一旦配置すると、成形された研磨粒子を、基材から得られるマトリックス内に永久的に結合するための方法を提供する。

基材は、適切な凹部が与えられるように十分に変形可能であり、さらに処理すると、堅い加工しにくい材料に変わり、結果として生じる製品を研磨材料として利用できるように、成形された研磨粒子の底端をしっかりと結合する、いかなるシート状材料からなってもよい。基材は、加熱すると、成形された研磨粒子の底端に結合する、熱硬化性または熱可塑性のいずれでもよい、ポリマー材料のストリップまたはシートであってもよい。

基材は、また、加熱すると、共に溶融するか、焼結して、成形された研磨粒子の底端を中にしっかりと付着する金属マトリックスを形成する組成物を含んでもよい。基材が焼結可能なマトリックスである場合、それは、好ましくは、薄い金属箔上に支持され、これも、最終的には、基材の金属マトリックス部分に結合されるようになる。好ましい基材は、活性ブレーズなどのろう付組成物を含む。有用なろう付組成物としては、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｓｉ、Ｃｕ−Ｓｎ、Ａｇ−Ｃｕ、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｐ、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｓｉ−Ｂ、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｂ、およびＮｉ−Ｓｉ−Ｂ合金がある。そのようなろう付組成物は、容易に商業的に入手可能である。適切なろう付組成物は、ニュージャージー州バーゲンフィールドのアトランティック・イクイップメント・エンジニアズ・インク（ＡｔｌａｎｔｉｃＥｑｕｉｐｍｅｎｔＥｎｇｉｎｅｅｒｓ，Ｉｎｃ．，Ｂｅｒｇｅｎｆｉｅｌｄ，ＮＪ）によって供給されるニクロム（Ｎｉｃｈｒｏｍｅ）金属粉末（８０重量パーセントＮｉおよび２０重量パーセントＣｒ）と、ＮＩＣＲＯＢＲＡＺ５０という商標名で、ミシガン州マジソン・ハイツのウォール・コルモノイ・カンパニー（ＷａｌｌＣｏｌｍｏｎｏｙＣｏｍｐａｎｙ，ＭａｄｉｓｏｎＨｅｉｇｈｔｓ，ＭＩ）から得られる米国溶接規格（ＡｍｅｒｉｃａｎＷｅｌｄｉｎｇＳｔａｎｄａｒｄ）製品識別名称ＢＮｉ−７金属粉末（７６重量パーセントＮｉ、１４重量パーセントＣｒ、１０重量パーセントＰ）の混合物を含む。

グリーンテープを作るための適切なスラリーを作るためのコーティング配合物は、６０体積パーセントメチルエチルケトンと４０体積パーセントエタノールの混合物１１．２グラム、ペンシルバニア州モリスヴィルのテイー・シー・ダブリュウ・カンパニー（ＴＣＷＣｏｍｐａｎｙ，Ｍｏｒｒｉｓｖｉｌｌｅ，ＰＡ）からＺ−３ＢＬＯＷＮＭＥＮＨＡＤＥＮ魚油という商標名で入手可能な魚油０．５グラム、ポリ（ビニルブチラール−コ−ビニルアルコール−コ−ビニルアセテート）（Ｍ_ｗ＝３４，０００ｇ／ｍｏｌ、カタログ番号１９，０９７−７で、ウィスコンシン州ミルウォーキーのアルドリッチ・ケミカル・カンパニー（ＡｌｄｒｉｃｈＣｈｅｍｉｃａｌＣｏｍｐａｎｙ，Ｍｉｌｗａｕｋｅｅ，ＷＩ）から得られる）２グラム、カタログ番号５０−ＨＢ−２０００で、コネチカット州ダンバリーのユニオン・カーバイド・コーポレーション（ＵｎｉｏｎＣａｒｂｉｄｅＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ，Ｄａｎｂｕｒｙ，ＣＴ）から得られるＵＣＯＮ潤滑剤０．４グラム、ウィスコンシン州ミルウォーキーのアルドリッチ・ケミカル・カンパニーから「ＤＯＰ」という商標名で入手可能なジオクチルフタレート可塑剤０．４グラム、ニュージャージー州バーゲンフィールドのアトランティック・イクイップメント・エンジニアズ・インクから得られるニクロム金属粉末（８０重量パーセントＮｉおよび２０重量パーセントＣｒ）粉末６０．３４グラム、およびミシガン州マジソン・ハイツのウォール・コルモノイ・カンパニーから得られるＢｎｉ−７金属粉末（７６重量パーセントＮｉ、１４重量パーセントＣｒ、１０重量パーセントＰ）２５．８６グラムを含有する混合物によって提供することができる。これらの成分を、鋼球２５０グラム（９．６ｍｍ球１２５グラムおよび６．３ｍｍ球１２５グラム）を有する２５ｍＬプラスチックジャーに入れ、混合物および球を、適切な装置内で、１００ｒｐｍで２４時間、回転させる。その後、結果として生じるスラリーをステンレス鋼球から分離し、１２５ｍＬプラスチックボトルに移し、次に、これを１ｒｐｍの速度でゆっくり回転させ、気泡を除去する。

焼結可能な成分を含む基材の薄い金属箔部分は、穴のあいた凹部を設けるために基材の変形を容易にするために、好ましくは、厚さが１００μｍ未満、より好ましくは約２５から５０μｍである。

焼結可能な材料および金属箔を含有する基材は、従来のテープキャスティング技術によって製造することができる。テープキャスティング技術の一例は、ドクターブレードまたはナイフブレードなどのコーティング装置を利用して、金属粉末などの焼結可能な粉末、有機バインダ、および必要であれば液体ビヒクルのスラリーを、金属箔上にコーティングし、一旦、乾くと、金属箔上のグリーンテープが製造される。テープキャスティング技術の別の例は、ドクターブレードまたはナイフブレードなどのコーティング装置を利用して、金属粉末などの焼結可能な粉末、有機バインダ、および必要であれば液体ビヒクルのスラリーを、剥離ライナ上にコーティングし、蒸発によって溶媒を除去し、剥離ライナ上にグリーンテープを作り、これを、薄い金属箔に積層して、金属箔上のグリーンテープを製造することができる。

液体ビヒクルは、典型的には、有機バインダ材料のための溶媒である。これらの成分、すなわち、焼結可能な粒子、有機バインダ、および溶媒は、スラリーのコーティング可能な粘度を得るように選択される。粘度は、１００ｒｐｍで、番号３スピンドルが取付けられたブルックフィールド（Ｂｒｏｏｋｆｉｅｌｄ）粘度計を用いて周囲条件下で測定して、好ましくは、約２，０００から３，０００ｃｐｓの範囲である。成分は、典型的には、滑らかなコーティング可能な組成物を得るためにボールミルでミリングする。ミリング後、スラリーの粘度が低すぎる場合は、テープキャスティング前に溶媒の部分を除去することによって粘度を高くすることができる。典型的には、溶媒は、混合時に蒸発によってスラリーから除去される。グリーンシートは、典型的には、最初に、キャリア支持体上にキャスティングし、次に、慎重に乾燥させて、亀裂のない、そっていないグリーンテープ状物品を製造する。乾燥は、加熱を含む、いくつかの従来の液体除去技術のいずれかを利用して行うことができる。好ましくは、グリーンテープは、室温で、空気中で乾燥させるか、約３０℃から約５０℃の範囲の温度で、空気中で加熱する。乾燥後のグリーンテープの厚さは、典型的には、約０．０５ｍｍから約２ｍｍの範囲である。グリーンテープを作るためにコーティングされるスラリー中の焼結可能な粒子は、好ましくは、ろう付組成物の成分である。

金属箔は、いかなる薄い金属材料からなってもよいが、好ましくは、ニッケル２００またはステンレス鋼、好ましくは、３０４ステンレス鋼からなる。金属箔は、好ましくは、厚さが、１００マイクロメートル未満であり、好ましくは、約２５から５０マイクロメートルであり、最も好ましくは、約２０から３０マイクロメートルである。

焼結可能な粒子、有機バインダ、および溶媒を含有するスラリーは、好ましくは、形成動作時に、グリーンシートをよりもろくなく、より容易に心地よくするために、ジオクチルフタレートなどの可塑剤を含む。この目的で有用な可塑剤としては、ポリエチレングリコールなどのグリコール、グリセロールおよびジエチレングリセロールなどのグリセロール、ジオクチルフタレート、ブチルベンジルフタレート、ジブチルフタレート、セバシン酸ジブチルなどのアルキルエステル、パラフィン系油および芳香油などの油、ジベンジルエーテルなどのエーテル、リン酸トリフェニル、リン酸トリトリルなどのリン酸塩がある。乾燥したグリーン構造に含まれる可塑剤の量は、好ましくは、焼結可能な粒子の重量に基づいて、約５重量パーセント未満、最も好ましくは、約３重量パーセント未満、好ましくは、約１から３重量パーセントである。好ましい有機バインダと可塑剤の比は、約４：１から約６：１、最も好ましくは、約５：１である。

乾燥したグリーン構造中の焼結可能な粒子の全重量に基づいた、有機バインダの重量パーセントは、好ましくは、２から１０パーセントのオーダであり、最も好ましくは、３から６パーセントである。

有用なバインダとしては、ポリエステル、アクリル系ポリマー、メタクリル系ポリマー、エチレンビニルアセテートコポリマー、ポリウレタン、ポリアミド、尿素ホルムアルデヒド、ポリエチレンおよびポリプロピレンなどのポリアルファオレフィンを含むポリオレフィン、ポリビニルブチラールなどのポリビニルアセタール、スチレン−ブタジエン−スチレンブロックコポリマーなどのコポリマーを含むスチレン系ポリマー、カルボキシ−メチルセルロースまたはセルロースアセテートなどのセルロース系ポリマーなどの可塑化された熱可塑性樹脂および可塑化されていない熱可塑性樹脂、ならびに可塑化されたポリビニルアルコール、可塑化されたアクリル系コポリマーラテックスエマルション、可塑化されたポリビニルピロリドンポリマーなどの可塑化された非熱可塑性樹脂、または、溶媒可溶であり、かつごくわずかな残留物しか残らないほど熱分解可能である、任意のポリマーがあるが、これらに限定されない。

乾燥したグリーンテープは、好ましくは、基材形成装置によって変形する前に、その上面に蝋または熱活性化可能接着剤の軽い層をコーティングしてもよい。次に、乾燥したグリーンテープと工具表面の間の分離バリアとして作用するように、蝋層の上に薄い金属シートまたはポリマーシートを配置する。次に、複合シートおよびバリア層が、第１の工具の接触面と第２の工具の合わせ面の間でロールされる。第１の工具の接触面は、基材に穴のあいた凹部を設けるように基材を変形することができる多数の突起を含む。基材の穴のあいた凹部は、各凹部で研磨粒子の１つの底端を受けることができるサイズであり、かつ、凹部内の研磨粒子を最適に配向させるように成形される。すなわち、凹部は、研磨粒子の底端を下向きに配置させ、研磨粒子の反対側の研磨端を、実質的に直立した位置に配置させる円錐形または四角錐形である。好ましい円錐形は、１２０゜円錐である。研磨粒子のサイズにより、基材の凹部のサイズが決定される。より小さい研磨粒子は、より小さい凹部が必要であり、より大きい研磨粒子は、対応して、より大きい凹部が必要である。基材は各凹部内に穴があけられ、研磨粒子を支持する基材の上面と基材の下面の間で圧力差を与えるための経路を設ける。これは、研磨粒子が所定位置にある間に、基材の下側で真空に引くことによって容易に行われ、それにより、研磨粒子が凹部内に永久的に結合されるまで、その後の動作中に容易に除去されないように、実際に、研磨粒子が一時的に固定される。

基材形成装置で基材を形成した後、基材の表面上に研磨粒をまき、それにより、実質的に各凹部に１つの研磨粒子のみが充填される。この方法では、凹部に位置する研磨粒子の隣に時々、余分な研磨粒子が見出されることが珍しくない。その後、同時に、凹部内の研磨粒を最適に配向させながら、基材の裏面に真空を与える。そのような最適な配向は、研磨粒子もしくは基材のいずれかを振動させるか、または、スキージングするか、吹くか、もしくは別の方法で、粒子を基材の凹部に再配置することによって行うことができる。すべての凹部が充填された後、適切な手段、典型的には、凹部内の粒子が排出されるほど大きくない、穏やかな空気流によって、余分な粒子を除去する。

その後、蝋または熱活性化可能接着剤のいずれかを加熱することによって、基材の凹部に保持されている研磨粒子が、凹部内に一時的に結合される。

凹部内に研磨粒子を一時的に結合するための代わりの好ましい方法は、有機バインダを十分に柔らかくする、基材の有機バインダ材料のための溶媒で、基材の上面をスプレーし、それにより、有機バインダが粘着性となり、研磨粒子の底端と一時的な接着結合を形成し、次に、十分な溶媒が有機バインダから除去されるまで、柔らかくなった有機バインダに対して真空に引き続け、研磨粒子の底端と基材のより永久的な結合をもたらすことによる。適切な溶媒は、基材の有機バインダ材料のタイプによって選択される。

次に、研磨粒子を支持する基材を、適切なオーブン内に配置し、基材を加熱し、それにより、有機バインダが除去され、その後、基材の焼結可能な粒子が焼結する。焼結可能な粒子は、冷却すると、焼結した粒子によって形成されたマトリックスと研磨粒子の底端の間で接着性の強い結合が形成するように、研磨粒子の底端を覆うために十分な液体体積を与えなければならない。

本発明は、研磨物品用の配向された粒子の製造を可能にする。鋭い端縁および先端が整列されて配向されたダイヤモンドによる切削のさらなる改良により、同等のダイヤモンド性能に対してダイヤモンド含有量を低減することができる。これにより、実質的な原材料のコスト節約になるだろう。以前の方法は、研磨粒子を空間的配列で配置したが、切削効力を最大にするようにそのジオメトリを配向させない。また、以前の方法は、典型的には、十分な結合およびテープ微細構造を作るためにバッチホットプレス動作を用いる必要がある。ホットプレスは、研磨粒子を回転させ、より望ましくない配向にすることがある。本発明は、焼結時にホットプレスを用いることができるが、本発明の１つの態様は、常圧焼結プロセスであり、これは、半連続的製造プロセスで行うことができる。バッチプロセスから半連続的プロセスへの移行により、テープの製造コストを著しく低減することができる。本発明は、常圧焼結に適合するように特定的に意図された焼結温度、環境、および組成物を用いる。本発明は、工具製造会社に販売してもよく、または、工具を製造するのに使用してもよい、ほぼ完成した研磨複合テープを製造する。

本発明を次の実施例によってさらに説明するが、部およびパーセンテージはすべて、特に明記しない限り、重量による。

グリーンテープ配合物１の調製
２５０ｍＬプラスチックジャーに、ステンレス鋼球約２５０グラム（９．６ｍｍ球１２５ｇおよび６．３ｍｍ球１２５ｇ）、６０体積パーセントメチルエチルケトンと４０体積パーセントエタノールの混合物１１．２ｇ、魚油（ペンシルバニア州モリスヴィルのＴＣＷ社からＺ−３ＢＬＯＷＮＭＥＮＨＡＤＥＮ魚油という商標名で入手可能）０．５ｇ、ポリ（ビニルブチラール−コ−ビニルアルコール−コ−ビニルアセテート）（Ｍ_ｗ＝３４，０００ｇ／ｍｏｌ、カタログ番号１９，０９７−７、ウィスコンシン州ミルウォーキーのアルドリッチ・ケミカル社）２ｇ、潤滑剤（コネチカット州ダンバリーのユニオン・カーバイド社から、カタログ番号５０−ＨＢ−２０００としてＵＣＯＮという商標名で入手可能）０．４ｇ、ジオクチルフタレート（ウィスコンシン州ミルウォーキーのアルドリッチ・ケミカル社から「ＤＯＰ」という商標名で入手可能）０．４、ニクロム金属粉末（ニュージャージー州バーゲンフィールドのアトランティック・イクイップメント・エンジニアズ社によって供給される８０重量％Ｎｉおよび２０重量％Ｃｒ粉末）６０．３４ｇ、およびＢＮｉ−７金属粉末（ウォール・コルモノイ社から購入される７６重量％Ｎｉ−１４重量％Ｃｒ−１０重量％Ｐ）２５．８６ｇを入れた。

これらの成分を、約１００ｒｐｍの速度で、約２４時間、ボールミリングした。結果として生じるスラリーを、ステンレス鋼球から分離し、次に、１２５ｍＬプラスチックボトルに移した。スラリー含有ボトルを、１ｒｐｍの速度でゆっくり回転させ、気泡を除去した。

グリーンテープ配合物２の調製
２５０ｍＬプラスチックボトルに、９．６ｍｍステンレス鋼球約１２５ｇおよび６．３ｍｍステンレス鋼球１２５ｇ、６０体積パーセントメチルエチルケトンと４０体積パーセントエタノールの混合物１１．２ｇ、魚油０．５ｇ、ポリビニルブチラール２．０ｇ、コネチカット州ダンバリーのユニオン・カーバイド社からＣＡＲＢＯＷＡＸという商標名で入手可能な２０００ｇ／モルポリエチレングリコール０．４ｇ、ニクロム金属粉末６０．３４ｇ、ならびにＢＮｉ−７金属粉末２５．８６ｇを入れた。

これらの成分を、約１００ｒｐｍの速度で、約２４時間、ボールミリングした。結果として生じるスラリーを、ステンレス鋼球から分離し、１２５ｍＬプラスチックボトルに移し、次に、１ｒｐｍの速度でゆっくり回転させ、気泡を除去した。

グリーンテープ配合物３の調製
１２５ｍＬプラスチックボトルに、ステンレス鋼球（９．６ｍｍおよび６．３ｍｍ球５０／５０重量％）約１２５ｇ、６０体積％メチルエチルケトンと４０体積％エタノールの混合物５．６ｇ、ポリ（ビニルブチラール−コ−ビニルアルコール−コ−ビニルアセテート）（Ｍ_ｗ＝３４，０００ｇ／ｍｏｌ、カタログ番号１９，０９７−７、ウィスコンシン州ミルウォーキーのアルドリッチ・ケミカル社）１．０ｇ、ミズーリ州セント・ルイスのモンサント・コープ（ＭｏｎｓａｎｔｏＣｏｒｐ）からＳＡＮＴＩＣＩＺＥＲ１６０という商標名で入手可能なブチルベンジルフタレート０．４ｇ、ニクロム金属粉末３０．１７ｇ、およびＢＮｉ−７金属粉末１２．９３ｇを入れた。

グリーンテープ形成
グリーンテープ配合物１−３を、乾燥後、約１００マイクロメートルのテープ厚さが得られるように、テープ厚さを調整するためにドクターブレードを用いて、溶液からキャスティングした。

マイクロフォーミング手順
マイクロフォーミングは、１組の適合した雄型および雌型の彫られたアルミニウムロール間に、マイクロフォーミングするグリーンテープ物品（たとえば、箔またはグリーンテープ）を通すことによって行われた。アルミニウムロールは、頂点で９０゜の角度を有する四角錐のぎっしり詰まった配列を有した。四角錐形特徴構造は、雌型ロールについては、幅が１ｍｍ、深さが０．５ｍｍであり、雄型ロールについては、幅が１ｍｍ、高さが０．５ｍｍであった。マイクロフォーミングは、ロール間ゼロ間隙で行われたが、詰まることなく、基材がロールを通過できるように、この機構には十分な遊びがあった。特に明記しない限り、十分な圧力がロールに加えられ、マイクロフォーミングされた特徴構造の穴あけが行われた。

綿棒を用いて、ニッケル２００２５．４μｍ厚箔に、溶融したパラフィン蝋（オハイオ州オーロラのマクマスター−カー・サプライ・カンパニー（ＭｃＭａｓｔｅｒ−ＣａｒｒＳｕｐｐｌｙＣｏｍｐａｎｙ）の白い精製パラフィン蝋、＜０．１ｍｍのコーティング厚さでコーティングされている）をコーティングした。箔の蝋側を雄型の彫られたロールに向けて配置し、エンボス加工された特徴構造の穴あけが行われるように十分な圧力で、彫られたロール間に箔を通し、約１３ｃｍ×１３ｃｍ平方の穴のあいた箔が得られた。穴のあいたマイクロフォーミングされた箔を、雌型側を上にして、機械的支持のための１４メッシュふるい（１．４ｍｍ開口）上に配置した。

２０メッシュ（０．８４ｍｍ開口）未満であるが３０メッシュ（０．６０ｍｍ開口）より大きいメッシュでふるいにかけられた工業用立方八面体ダイヤモンド（南アメリカ、キンバリーのドゥ・ビアズ・コンソリデイテッド・マインズ社（ＤｅＢｅｅｒｓＣｏｎｓｏｌｉｄａｔｅｄＭｉｎｅｓ，Ｌｔｄ．，））約２５ｇを、ニッケル２００箔の蝋層上にまいた。１０ｃｍ直径漏斗を、真空掃除機（ペンシルバニア州ウィリアムズポートのショップ−ヴァク・コープ（Ｓｈｏｐ−ＶａｃＣｏｒｐ．，Ｗｉｌｌｉａｍｓｐｏｒｔ，ＰＡ）のＳＨＯＰ−ＶＡＣモデル番号５１３０−６０真空掃除機）のホースに取付け、１４メッシュふるいの下に配置した。真空を与え、一方、ふるいを穏やかに揺すり、かつ、穏やかな空気圧を与えて、ダイヤモンドを雌型ダイヤモンド凹所に移動させた。ほとんどのダイヤモンドが所定位置に配置された後、箔をふるいから取外し、ホットプレート上に配置して、ダイヤモンドの下の箔の蝋コーティングを溶融させた。箔を冷却させ、それにより、蝋が固まり、ダイヤモンドが所定位置に一時的に固定された。

柔らかい毛ブラシを用いて、箔にしっかりと付いていないダイヤモンドを除去した。グリーンテープ配合物１をキャスティングして、約０．２ｍｍから０．３ｍｍの厚さのテープにし、これを、ダイヤモンドが埋込まれた穴のあいた箔の下面に積層し、この組合せを３０４ステンレス鋼円板（１１ｃｍ直径×０．５ｃｍ厚さ）上に取付けた。この構造を、不活性ガスレトルトを備えた抵抗加熱炉に配置した。アルゴンを１分間あたり１から５標準リットルの流量でレトルトによって導入した。炉を１時間あたり５００℃の割合で、９５０℃の温度まで加熱し、１時間保持し、その後、炉が室温まで冷却し、１つの層状焼結ダイヤモンド研磨パッドコンディショナーが得られた。

示される変更を除いて、実施例１の手順を繰返した。グリーンテープ配合物３を、マイクロフォーミングしたニッケル２００箔（２５μｍ厚さ）の裏側（雄型）に直接キャスティングした。これにより、ダイヤモンドと接触する粉末金属ろう付剤の直接的な接触がより多くなった。２００グリットＳｉＣサンドペーパー（ミネソタ州セント・ポールのミネソタ・マイニング・アンド・マニュファクチャリング・カンパニー（ＭｉｎｎｅｓｏｔａＭｉｎｉｎｇａｎｄＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＣｏｍｐａｎｙ，Ｓｔ．Ｐａｕｌ，ＭＮ））での軽い研磨によって、穴を露出した。ダイヤモンドを付与し、圧力を加えないで焼結し、１つの層状焼結ダイヤモンド研磨パッドコンディショナーが得られた。

示される変更を除いて、実施例１の手順を繰返した。グリーンテープ配合物２を、ステンレス鋼箔（２５マイクロメートル厚さ）上にキャスティングし、これを、その後、マイクロフォーミングした。その結果が、１つの層状焼結ダイヤモンド研磨パッドコンディショナーであった。

示される変更を除いて、実施例１の手順を繰返した。グリーンテープ配合物１を、延性金属箔（２５μｍ厚さ、ニッケル２００）ともろい金属箔（２５μｍ厚さ、コールドロールされた３０２ステンレス鋼）の間に挟んだ。ニッケル２００箔側を雌型ロールに対して配置し、３０２ステンレス鋼箔側を雄型ロールに対して配置し、このテープをマイクロフォーミングした。３０２ステンレス鋼箔を、容易に穴あけし、次に、グリーンテープから分離した。ダイヤモンドを露出したグリーンテープ表面に付与し、この積層体を３０４ステンレス鋼円板上に取付け、前のように処理し、１つの層状焼結ダイヤモンド研磨パッドコンディショナーが得られた。

示される変更を除いて、実施例１の手順を繰返した。グリーンテープの表面に蝋コーティングを付与しなかった。グリーンテープを工具から分離するのを容易にするために、ミシガン州ミッドランドのダウ・ケミカル・コープ（ＤｏｗＣｈｅｍｉｃａｌＣｏｒｐ．，ＭｉｄｌａｎｄＭＩ）から、ＳＡＲＡＮという商標名で入手可能なプラスチックフィルムの層間に、グリーンテープ配合物１を挟んだ。平らな工具を、頂点角度が９０゜、底部が０．５ｍｍの四角錐形特徴構造と共に用いた。各角錐形特徴構造は、幅が約０．０５ｍｍ、長さが約０．１ｍｍの、頂点の先端に取付けられたコニカルポストを有した。この特徴構造を、中心から中心まで０．７５ｍｍの間隔で、正方形配列で配列した。厚さ０．２５ｍｍのポリエチレンなどの薄いポリマーシートを、挟んだグリーンテープの下に配置した。雄型角錐特徴構造に加えて鋭いコニカルポストを備えた工具を、挟んだグリーンテープと接触するように、鋭い側を下にして配置した。別個の手順において、この組立品を一軸プレスに配置し、有機バインダの組成および体積によって、２０℃から８０℃の間で、プラテンを加熱した。３ＭＰａから２０ＭＰａの範囲の圧力を用いて、穴をあけ、グリーンテープに微細構造を形成した。実施例１で説明したように、ダイヤモンドを付与し、余分なダイヤモンドを除去したが、真空を与えながら、３０体積パーセントメチルエチルケトンおよび７０体積パーセントイソプロピルアルコールの軽いミストをスプレーすることによって、配置されたダイヤモンドをグリーンテープ凹所に付けた。この溶媒が、有機バインダを部分的に溶解し、ダイヤモンドを所定位置に付着した。グリーンテープをクリーンな３０４ステンレス鋼プレートに配置し、実施例１で説明したように焼結し、パッドコンデイショニング物品を製造した。

本発明を、いくつかの実施態様に関して説明した。本発明の範囲から逸脱することなく、記載された実施態様に、多くの変更を行うことができることは、当業者には明らかであろう。したがって、本発明の範囲は、ここに記載された構成に限定されるべきではないが、むしろ、特許請求の範囲の文言によって記載された構成、およびそれらの構成の等価物によって限定されるべきである。

グリーンテープを作るための装置およびプロセスの概略図を示す。グリーンテープをエンボス加工して、穴のあいた凹部を有する基材を提供するための装置およびプロセスの概略図を示す。およびそれぞれ、図２に示されたエンボスロールの接触面および合わせ面の各々の部分を断面図で示す。基材の穴のあいた凹部に堆積され、次に、ダイヤモンド粒子を凹部内に付着するために基材を柔らかくするように溶媒流に曝されるダイヤモンド研磨粒子の概略図を示す。基材の凹部に配置されているダイヤモンド粒子の拡大図を示す図である。四角錐形の穴のあいた凹部を有する実際の基材の上面図を示す、倍率１５×で撮影された顕微鏡写真のデジタル複製である。本発明に従って、焼結した基材の凹部に配置かつ結合されたダイヤモンド研磨粒子を含む研磨製品を示す、倍率１５×で撮影された顕微鏡写真のデジタル複製である。

Claims

多数の最適に配向された、成形された研磨粒子がその中に配置されたシート状マトリックスからなる研磨物品を製造する方法であって、各研磨粒子が、成形された底端と、反対側の成形された研磨端を有し、前記方法が、
ａ．多数の突起を含む接触面を有する第１の工具と、合わせ面を有する第２の工具とを含む基材形成装置を提供するステップであって、前記工具の接触面および合わせ面が、合わせられると、前記基材を変形して、前記基材に穴のあいた凹部を設けることができ、各凹部で、前記研磨粒子の１つの底端を受け、前記研磨粒子をその中に最適に配向させることができるステップと、
ｂ．金属箔上に支持された層において焼結可能な粒子および有機バインダからなる、エンボス加工可能な、穴をあけられる、焼結可能なシート状基材を提供するステップと、
ｃ．前記シート状基材を、前記第１および第２の工具の接触面および合わせ面と接触させて、前記金属箔によって与えられる裏面と、多数の凹部を有することを特徴とする反対側の上面とを有する、エンボス加工された、穴のあいた、焼結可能なシートを提供するステップであって、各凹部が、前記成形された研磨粒子の成形された底端を受け、前記研磨粒子をその中に最適に配向させることができる形状と、前記凹部内で前記シート状基材を通る穴とを有することを特徴とし、前記穴が、前記研磨粒子を通さないサイズであるステップと、
ｄ．実質的に、前記エンボス加工された、穴のあいた、焼結可能なシートの各凹部に、１つの研磨粒子があるように、前記凹部内に研磨粒子を分配するステップと、
ｅ．前記研磨粒子を収容している凹部内の各研磨粒子を最適に配向させるステップと、
ｆ．前記エンボス加工された、穴のあいた、焼結可能なシートの上面および裏面間で圧力差を生じさせるステップであって、前記凹部内に位置しない少なくとも、前記研磨粒子の大部分を、前記エンボス加工された、穴のあいた、焼結可能なシートの上面から除去しながら、前記裏面に、より低い圧力を加えて、配向された研磨粒子の各々を凹部内に保持するステップと、
ｇ．前記研磨粒子が最適に配向された後、前記凹部内の前記研磨粒子を一時的に結合するステップと、
ｈ．前記研磨粒子を支持する、エンボス加工された、穴のあいた、焼結可能なシートを、焼結温度で加熱し、冷却すると、研磨端が露出した、結合された、最適に配向された、成形された研磨粒子を支持する焼結したマトリックスを含む研磨製品を提供するステップと、
ｉ．前記研磨製品を冷却するステップと、
を含む方法。
ａ．多数の最適に配向された、成形された研磨粒子と、
ｂ．凹部を含む上面を有する、焼結したシート状マトリックスと、
ｃ．前記研磨物品に下面を与える、前記マトリックスに結合された金属箔焼結物を含む研磨物品であって、
各研磨粒子が、成形された底端と、反対側の成形された研磨端を有し、
実質的に、各凹部が、研磨粒子の成形された底端をその中に収容かつ結合し、一方、前記研磨粒子の反対側の研磨端が、露出し、最適な配向で整列され、
シート状基材を、第１および第２の工具の接触面および合わせ面と接触させて、金属箔によって与えられる裏面と、多数の凹部を有することを特徴とする反対側の上面とを有する、エンボス加工された、穴のあいた、焼結可能なシートを提供し、
各凹部が、前記成形された研磨粒子の成形された底端を受け、前記研磨粒子をその中に最適に配向させることができる形状と、前記凹部内で前記シート状基材を通る穴とを有することを特徴とし、前記穴が、前記研磨粒子を通さないサイズである、研磨物品。
多数の最適に配向された、成形された研磨粒子がその中に配置されたシート状マトリックスからなる研磨物品を製造する方法であって、各研磨粒子が、成形された底端と、反対側の成形された研磨端とを有し、前記方法が、
ａ．多数の突起を含む接触面を有する第１の工具と、合わせ面を有する第２の工具とを含む基材形成装置を提供するステップであって、前記工具の接触面および合わせ面が、合わせられると、前記基材を変形して、前記基材に穴のあいた凹部を設けることができ、各凹部で、前記研磨粒子の１つの底端を受け、前記研磨粒子をその中に最適に配向させることができるステップと、
ｂ．エンボス加工可能な、穴をあけられるシート状基材を提供するステップと、
ｃ．前記シート状基材を、前記第１および第２の工具の接触面および合わせ面と接触させて、裏面と、多数の凹部を有することを特徴とする反対側の上面とを有する、エンボス加工された、穴のあいたシートを提供するステップであって、各凹部が、前記成形された研磨粒子の成形された底端を受け、前記研磨粒子をその中に最適に配向させることができる形状と、前記凹部内で前記シート状基材を通る穴とを有することを特徴とし、前記穴が、前記研磨粒子を通さないサイズであるステップと、
ｄ．実質的に、前記エンボス加工された、穴のあいたシートの各凹部に、１つの研磨粒子があるように、前記凹部内に研磨粒子を分配するステップと、
ｅ．前記研磨粒子を収容している凹部内の各研磨粒子を最適に配向させるステップと、
ｆ．前記エンボス加工された、穴のあいたシートの上面および裏面間で圧力差を生じさせるステップであって、前記凹部内に位置しない少なくとも前記研磨粒子の大部分を、前記エンボス加工された、穴のあいたシートの上面から除去しながら、前記裏面に、より低い圧力を加えて、配向された研磨粒子の各々を凹部内に保持するステップと、
ｇ．前記研磨粒子が最適に配向された後、前記凹部内の前記研磨粒子を永久的に結合して、研磨端が露出した、最適に配向された、成形された研磨粒子を含む研磨製品を提供するステップと、を含む方法。
ａ．約１．５より大きいアスペクト比と、成形された底端と、反対側の成形された研磨端を有する、最適に配向された、成形された多数の研磨粒子と、
ｂ．焼結可能な粒子および有機バインダからなり、実質的に、研磨粒子の成形された底端をその中に収容かつ結合し、一方、前記研磨粒子の反対側の研磨端を露出させ、最適な配向に整列された凹部を有する上面、を有する、焼結可能なシート状マトリックスとを、
有する研磨物品であって、
シート状基材を、第１および第２の工具の接触面および合わせ面と接触させて、裏面と、多数の凹部を有することを特徴とする反対側の上面とを有する、エンボス加工された、穴のあいたシートを提供し、
各凹部が、前記成形された研磨粒子の成形された底端を受け、前記研磨粒子をその中に最適に配向させることができる形状と、前記凹部内で前記シート状基材を通る穴とを有することを特徴とし、前記穴が、前記研磨粒子を通さないサイズである、研磨物品。