JP3993602B2 - 振動ジャイロの音叉型振動子搭載構造 - Google Patents
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前記駆動脚は、互いに平行に配列された2本の励振用駆動脚および該両励振用駆動脚の間にこれら両励振用駆動脚に平行に配列された1本の非励振用駆動脚でなり、
前記検出脚は、互いに平行に配列された2本の振動用検出脚および該両振動用検出脚の間にこれら両振動用検出脚に平行に配列された1本の非振動用検出脚でなり、
前記非励振用駆動脚および前記非振動用検出脚は軸線を互いに共通にし、
前記支持部材は互いに平行な第1及び第2の平面を有し、該第1の平面を前記胴部の底面における支持部材固着領域に接着により固着し、該第2の平面を前記パッケージに固着し、該支持部材でもって該パッケージに対し該振動子を支持することにより、該振動子を該パッケージに搭載する音叉型振動ジャイロの音叉型振動子搭載構造において、
前記振動子が駆動モード又は検出モードにあるときに前記底面における振動変位が振動ノードに相当する程に微小である領域を微小振動変位領域とするとき、前記支持部材固着領域を該微小振動変位領域内に設け、
前記非励振用駆動脚および前記非振動用検出脚の前記軸線の方向を第1の方向とし、該第1の方向に直交する方向を第2の方向とするとき、前記支持部材固着領域は、該第1および第2の方向にそれぞれ細長い第1および第2の矩形を交叉させた十字形をなし、
前記第1の矩形は、前記第1の方向における前記胴部の両端面にまで少なくとも及び
前記第2の矩形は、前記第2の方向における前記胴部の両側面にまで及んでいる
ことを特徴とする振動子搭載構造。
(2)3本の脚を胴部で連結してなる3脚式音叉型振動子とパッケージと支持部材とを備え、
前記3本の脚は、1本の中央の脚と、該中央の脚を中心にして左右に等間隔に、互いに平行に配列された2本の脚とでなり、
前記支持部材は互いに平行な第1及び第2の平面を有し、該第1の平面を前記胴部の底面における支持部材固着領域に接着により固着し、該第2の平面を前記パッケージに固着し、該支持部材でもって該パッケージに対し該振動子を支持することにより、該振動子を該パッケージに搭載する音叉型振動ジャイロの音叉型振動子搭載構造において、
前記振動子が駆動モード又は検出モードにあるときに前記底面における振動変位が振動ノードに相当する程に微小である領域を微小振動変位領域とするとき、前記支持部材固着領域を該微小振動変位領域内に設け、
前記中央の脚の軸線の方向を第1の方向とし、該第1の方向に直交する方向を第2の方向とするとき、前記支持部材固着領域は、該第1の方向に細長い第1の矩形の端を該第2の方向に細長い第2の矩形の中央に当接したT字形をなし、
前記第2の矩形は、前記第2の方向における前記胴部の両側面にまで及び、
前記第1の矩形における前記脚側の端は、前記第1の方向における前記胴部の一端面にまで及び、
前記第1の矩形における前記脚とは反対側の端は、前記第2の矩形における該脚側の側面の中央に当接している
ことを特徴とする振動子搭載構造。
(3)駆動脚及び検出脚を胴部で連結してなる音叉型の振動子とパッケージと支持部材とを備え、
前記駆動脚は、互いに平行に配列された2本の励振用駆動脚および該両励振用駆動脚の間にこれら両励振用駆動脚に平行に配列された1本の非励振用駆動脚でなり、
前記検出脚は、互いに平行に配列された2本の振動用検出脚および該両振動用検出脚の間にこれら両振動用検出脚に平行に配列された1本の非振動用検出脚でなり、
前記非励振用駆動脚および前記非振動用検出脚は軸線を互いに共通にし、
前記支持部材は互いに平行な第1及び第2の平面を有し、該第1の平面を前記胴部の底面における支持部材固着領域に接着により固着し、該第2の平面を前記パッケージに固着し、該支持部材でもって該パッケージに対し該振動子を支持することにより、該振動子を該パッケージに搭載する振動子搭載構造を備える音叉型振動ジャイロにおいて、
前記振動子が駆動モード又は検出モードにあるときに前記底面における振動変位が振動ノードに相当する程に微小である領域を微小振動変位領域とするとき、前記支持部材固着領域は該微小振動変位領域内に設け、
前記非励振用駆動脚および前記非振動用検出脚の前記軸線の方向を第1の方向とし、該第1の方向に直交する方向を第2の方向とするとき、前記支持部材固着領域は、該第1および第2の方向にそれぞれ細長い第1および第2の矩形を交叉させた十字形をなし、
前記第1の矩形は、前記第1の方向における前記胴部の両端面にまで少なくとも及び
前記第2の矩形は、前記第2の方向における前記胴部の両側面にまで及んでいる
ことを特徴とする音叉型振動ジャイロ。
(4)3本の脚を胴部で連結してなる3脚式音叉型振動子とパッケージと支持部材とを備え、
前記3本の脚は、1本の中央の脚と、該中央の脚を中心にして左右に等間隔に、互いに平行に配列された2本の脚とでなり、
前記支持部材は互いに平行な第1及び第2の平面を有し、該第1の平面を前記胴部の底面における支持部材固着領域に接着により固着し、該第2の平面を前記パッケージに固着し、該支持部材でもって該パッケージに対し該振動子を支持することにより、該振動子を該パッケージに搭載する振動子搭載構造を備える音叉型振動ジャイロにおいて、
前記振動子が駆動モード又は検出モードにあるときに前記底面における振動変位が振動ノードに相当する程に微小である領域を微小振動変位領域とするとき、前記支持部材固着領域は該微小振動変位領域内に設け、
前記中央の脚の軸線の方向を第1の方向とし、該第1の方向に直交する方向を第2の方向とするとき、前記支持部材固着領域は、該第1の方向に細長い第1の矩形の端を該第2の方向に細長い第2の矩形の中央に当接したT字形をなし、
前記第2の矩形は、前記第2の方向における前記胴部の両側面にまで及び、
前記第1の矩形における前記脚側の端は、前記第1の方向における前記胴部の一端面にまで及び、
前記第1の矩形における前記脚とは反対側の端は、前記第2の矩形における該脚側の側面の中央に当接している
ことを特徴とする音叉型振動ジャイロ。
1a,5a 音叉型振動子1における支持部材固着領域
2,6 支持部材
3 パッケージ基板
10,20 胴部
10b,20b 胴部底面
10n,20n 胴部の振動の変位が微小な領域
10x,20x 胴部の振動の変位が大きい領域
11 駆動脚
11a,11b,111a,111b 励振用駆動脚
11c 非励振用駆動脚
12 検出脚
12a,12b,112a,112b 振動用検出脚
12c 非振動用検出脚
13 3脚式音叉型振動子5の脚
Claims (4)
- 駆動脚及び検出脚を胴部で連結してなる音叉型の振動子とパッケージと支持部材とを備え、
前記駆動脚は、互いに平行に配列された2本の励振用駆動脚および該両励振用駆動脚の間にこれら両励振用駆動脚に平行に配列された1本の非励振用駆動脚でなり、
前記検出脚は、互いに平行に配列された2本の振動用検出脚および該両振動用検出脚の間にこれら両振動用検出脚に平行に配列された1本の非振動用検出脚でなり、
前記非励振用駆動脚および前記非振動用検出脚は軸線を互いに共通にし、
前記支持部材は互いに平行な第1及び第2の平面を有し、該第1の平面を前記胴部の底面における支持部材固着領域に接着により固着し、該第2の平面を前記パッケージに固着し、該支持部材でもって該パッケージに対し該振動子を支持することにより、該振動子を該パッケージに搭載する音叉型振動ジャイロの音叉型振動子搭載構造において、
前記振動子が駆動モード又は検出モードにあるときに前記底面における振動変位が振動ノードに相当する程に微小である領域を微小振動変位領域とするとき、前記支持部材固着領域を該微小振動変位領域内に設け、
前記非励振用駆動脚および前記非振動用検出脚の前記軸線の方向を第1の方向とし、該第1の方向に直交する方向を第2の方向とするとき、前記支持部材固着領域は、該第1および第2の方向にそれぞれ細長い第1および第2の矩形を交叉させた十字形をなし、
前記第1の矩形は、前記第1の方向における前記胴部の両端面にまで少なくとも及び
前記第2の矩形は、前記第2の方向における前記胴部の両側面にまで及んでいる
ことを特徴とする振動子搭載構造。 - 3本の脚を胴部で連結してなる3脚式音叉型振動子とパッケージと支持部材とを備え、
前記3本の脚は、1本の中央の脚と、該中央の脚を中心にして左右に等間隔に、互いに平行に配列された2本の脚とでなり、
前記支持部材は互いに平行な第1及び第2の平面を有し、該第1の平面を前記胴部の底面における支持部材固着領域に接着により固着し、該第2の平面を前記パッケージに固着し、該支持部材でもって該パッケージに対し該振動子を支持することにより、該振動子を該パッケージに搭載する音叉型振動ジャイロの音叉型振動子搭載構造において、
前記振動子が駆動モード又は検出モードにあるときに前記底面における振動変位が振動ノードに相当する程に微小である領域を微小振動変位領域とするとき、前記支持部材固着領域を該微小振動変位領域内に設け、
前記中央の脚の軸線の方向を第1の方向とし、該第1の方向に直交する方向を第2の方向とするとき、前記支持部材固着領域は、該第1の方向に細長い第1の矩形の端を該第2の方向に細長い第2の矩形の中央に当接したT字形をなし、
前記第2の矩形は、前記第2の方向における前記胴部の両側面にまで及び、
前記第1の矩形における前記脚側の端は、前記第1の方向における前記胴部の一端面にまで及び、
前記第1の矩形における前記脚とは反対側の端は、前記第2の矩形における該脚側の側面の中央に当接している
ことを特徴とする振動子搭載構造。 - 駆動脚及び検出脚を胴部で連結してなる音叉型の振動子とパッケージと支持部材とを備え、
前記駆動脚は、互いに平行に配列された2本の励振用駆動脚および該両励振用駆動脚の間にこれら両励振用駆動脚に平行に配列された1本の非励振用駆動脚でなり、
前記検出脚は、互いに平行に配列された2本の振動用検出脚および該両振動用検出脚の間にこれら両振動用検出脚に平行に配列された1本の非振動用検出脚でなり、
前記非励振用駆動脚および前記非振動用検出脚は軸線を互いに共通にし、
前記支持部材は互いに平行な第1及び第2の平面を有し、該第1の平面を前記胴部の底面における支持部材固着領域に接着により固着し、該第2の平面を前記パッケージに固着し、該支持部材でもって該パッケージに対し該振動子を支持することにより、該振動子を該パッケージに搭載する振動子搭載構造を備える音叉型振動ジャイロにおいて、
前記振動子が駆動モード又は検出モードにあるときに前記底面における振動変位が振動ノードに相当する程に微小である領域を微小振動変位領域とするとき、前記支持部材固着領域は該微小振動変位領域内に設け、
前記非励振用駆動脚および前記非振動用検出脚の前記軸線の方向を第1の方向とし、該第1の方向に直交する方向を第2の方向とするとき、前記支持部材固着領域は、該第1および第2の方向にそれぞれ細長い第1および第2の矩形を交叉させた十字形をなし、
前記第1の矩形は、前記第1の方向における前記胴部の両端面にまで少なくとも及び
前記第2の矩形は、前記第2の方向における前記胴部の両側面にまで及んでいる
ことを特徴とする音叉型振動ジャイロ。 - 3本の脚を胴部で連結してなる3脚式音叉型振動子とパッケージと支持部材とを備え、
前記3本の脚は、1本の中央の脚と、該中央の脚を中心にして左右に等間隔に、互いに平行に配列された2本の脚とでなり、
前記支持部材は互いに平行な第1及び第2の平面を有し、該第1の平面を前記胴部の底面における支持部材固着領域に接着により固着し、該第2の平面を前記パッケージに固着し、該支持部材でもって該パッケージに対し該振動子を支持することにより、該振動子を該パッケージに搭載する振動子搭載構造を備える音叉型振動ジャイロにおいて、
前記振動子が駆動モード又は検出モードにあるときに前記底面における振動変位が振動ノードに相当する程に微小である領域を微小振動変位領域とするとき、前記支持部材固着領域は該微小振動変位領域内に設け、
前記中央の脚の軸線の方向を第1の方向とし、該第1の方向に直交する方向を第2の方向とするとき、前記支持部材固着領域は、該第1の方向に細長い第1の矩形の端を該第2の方向に細長い第2の矩形の中央に当接したT字形をなし、
前記第2の矩形は、前記第2の方向における前記胴部の両側面にまで及び、
前記第1の矩形における前記脚側の端は、前記第1の方向における前記胴部の一端面にまで及び、
前記第1の矩形における前記脚とは反対側の端は、前記第2の矩形における該脚側の側面の中央に当接している
ことを特徴とする音叉型振動ジャイロ。
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JP2004381843A JP3993602B2 (ja) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 振動ジャイロの音叉型振動子搭載構造 |
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