JP3982395B2 - ロードポート - Google Patents
ロードポート Download PDFInfo
- Publication number
- JP3982395B2 JP3982395B2 JP2002340512A JP2002340512A JP3982395B2 JP 3982395 B2 JP3982395 B2 JP 3982395B2 JP 2002340512 A JP2002340512 A JP 2002340512A JP 2002340512 A JP2002340512 A JP 2002340512A JP 3982395 B2 JP3982395 B2 JP 3982395B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- door
- speed
- load port
- carrier
- closed position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置におけるロードポートに係わり、とくにドアの開閉速度制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のロードポートにおいては、載置したキャリアのドアを開く場合に、ドアを横方向に移動させてキャリアのドア面から離し、さらに下方向に移動させるようにしているが、横方向の移動が高速であると、フロントエンド内のファンフィルタユニット（ＦＦＵ）からのダウンフローに乱流を生じて、キャリア内にエアを巻き込み、パーティクル（異物微粒子）で汚染されるため、ドア開速度を遅くする必要があり、サイクルタイムが伸び、スループットが低下するなどの問題があった。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−１６５８７６号公報
この文献には、基板処理装置におけるケース本体と蓋とが互いに近接して閉じる方向に移動される際は、ケース本体と蓋との距離の減少に応じて近接速度を遅くし、互いに離反して開く際は、距離の増大に応じて離反速度を速くする制御手段をそなえることが示されており、その制御手段として、ドアを移動させるエアシリンダに上限位置、下限位置および中間位置を検出する磁気センサをそれぞれ設け、磁気センサからの検出信号によりエアシリンダのバルブを切り換えるようにしている。
【０００４】
【特許文献２】
特開２０００−３５７６４１号公報
この文献には、クリーンルーム設備において、中間室のクリーンルーム側にロードポートの駆動室が配設され、この駆動室と中間室との連通口にエアカーテンを常時形成させるとともに、ロードポートのカバー内にエアシャワーを設け、上昇移動する蓋にエアを噴射させることにより、ロードポート内の塵埃が中間室やキャリアに入ることを防いでいる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このように、キャリアのドアを移動させるエアシリンダの速度を切り換えるためには、シリンダの位置検出センサを多数箇所に設ける必要があり、コスト高になるだけでなく、とくに中間の切り換え位置検出センサは、パーティクルの巻き込みを防ぎサイクルタイムを短縮させる位置に調整する必要があり、多くの手数と時間を要していた。また、コントローラの外部にセンサを設置するため、保守性に問題があり、作業者が位置調整を行うので、微調整が難しく、判断ミスが発生するなどの欠点があった。
また、エアカーテンやエアシャワーを設ける場合は、コストが高くなり、ロードポート内の設備も繁雑になる。
【０００６】
本発明は、速度切り換えのためのセンサを省き、短時間で効率的にドアの開速度を最適に調整できるとともに保守性に優れたロードポートを提供する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、半導体ウエハを収納するキャリアのドアを開閉するためのドア部と、前記ドア部を駆動するドア駆動装置と、前記ドア部が閉位置から開位置まで移動する際に所定位置で前記ドアの移動速度を低速から高速へと変更する切り換え手段と、を備え、前記所定位置は、前記閉位置からの時間経過によって設定されるロードポートにおいて、
前記低速移動の速度Ｖｄは、前記ドア部の上方から流れるダウンフローの流速Ｖｆと、
前記閉位置から前記所定位置までのストロークＸと、前記キャリアのドアの高さＨと、に基づいて決定されることを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明は、半導体ウエハを収納するキャリアのドアを開閉するためのドア部と、前記ドア部を駆動するドア駆動装置と、前記ドア部が閉位置から開位置まで移動する際に所定位置で前記ドアの移動速度を低速から高速へと変更する切り換え手段と、を備え、前記所定位置は、前記閉位置からの時間経過によって設定されるロードポートにおいて、前記低速移動の速度Ｖｄは、前記ドア部の上方から流れるダウンフローの流速Ｖｆと、前記閉位置から前記所定位置までのストロークＸと、前記キャリアのドアの高さＨと、から、Ｖｄ＝（Ｖｆ・Ｘ）／Ｈで決定されることを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明は、前記ドア部が前記開位置から前記閉位置まで移動する際に所定位置で前記ドアの移動速度を高速から低速へと変更する切り換え手段をさらに備えたことを特徴とするものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施例を示す側面図で、ドア開閉装置は横方向移動の機構のみを示している。１は半導体処理装置に半導体ウエハを供給するロボットなどの自動搬送装置をそなえたフロントエンド、２はフロントエンドに接続されたロードポート、３はロードポート１に載置されたＦＯＵＰなどのキャリア、４はキャリアのドア、５はフロントエンドの天井に設置されたファンフィルタユニット（ＦＦＵ）、６はドア４を開閉するドア駆動装置たとえばエアシリンダ、７はドア駆動装置６とドア４を連結するドア保持部材、８はドア４の閉位置検出センサ、９はドアの開位置検出センサ、１０はロードポート本体１に収納された制御装置である。
図２は、ドア駆動装置６の配管接続図で、２１、２２はエアシリンダ６のエア配管、２３はエア配管２１、２２の一方に設けたソレノイドバルブで、並列接続された低速度配管２４と高速度配管２５の一方を選択する。２６、２７は前記低速度配管２４と高速度配管２５の調整バルブである。
【０００９】
ドア４が閉じた状態（図２の状態）では、ドア駆動装置６の閉位置検出センサ８が作動して閉状態の信号を制御装置１０に送っている。調整バルブ２６、２７はあらかじめ低速度配管２４のエア流量を少なく、高速度配管２５のエア流量を多くするように調整されており、この閉状態でドア４を開く指令が出されると、ソレノイドバルブ２３が低速度配管２４を選択し、同時に制御装置１０内で時間計測を開始する。低速度配管２４を通して供給されるエアでドア駆動装置６が操作され、ドア保持部材７を介してドア４をフロントエンド１内の空気をキャリア内に巻き込まない低速で開き、設定された時間ｔ秒後に、制御装置１０からの指令でソレノイドバルブ２３が低速度配管２４を高速度配管２５に切り換える。この切り換えによりドア駆動装置６はドア４を高速で移動させ、開位置検出センサ９の検出信号によりドア駆動装置を停止させ、図示しない装置によりドアを下降させる。
【００１０】
なお、ソレノイドバルブ２３と低速度配管２４および高速度配管２５の並列配管はエア配管２２側に設けてもよく、ドア４を閉めるときはソレノイドバルブ２３により高速度配管２５を選択したままでもよいが、途中で低速度配管２４に切り換えてキャリア３本体との衝撃を少なくするようにしてもよい。
また、ドア駆動装置６はエアシリンダに替えて、他の往復移動装置、とくにＤＣモータを用いた駆動装置などを使用することができる。
【００１１】
つぎに、本発明における好ましい低速度の算出について説明する。
ドア４はキャリア３の閉状態からｔ秒間、低速度Ｖｄで移動されて高速移動に切り換えられるが、図３において、４はドア、３１はキャリア側のドア面、３２はＦＦＵ５からのダウンフロー、３３は速度切り換え位置Ｘまでの仮想容積部である。仮想容積部３３はキャリア３のドア４を開けた影響でキャリア中のパーティクルが排出され、十分に清浄ではないと考えれ、少なくとも速度切り換え位置にドア４が移動するｔ秒の間に、清浄なダウンフロー３２によって清浄なエアに入れ替える必要がある。
このため、フロントエンド１のＦＦＵ５で発生するダウンフローの流速をＶｆと定義し、仮想容積部３３をダウンフローで満たすとすれば、そのダウンフローの容積Ｖｖは、
Ｖｖ＝Ｖｆ・（Ｗ・Ｘ）・ｔ
Ｗは仮想容積部３３（ドア４）の幅
Ｘは面３１から速度切り換え移動までのストローク
が成り立つから、ドア移動時間ｔを求めると、
ｔ＝Ｖｖ／（Ｖｆ・Ｗ・Ｘ）
したがって、ドアを開く低速度Ｖｄを、
Ｈは仮想容積部３３の高さ
として求めることができる。
【００１２】
つぎに、ドアの開速度である図２における調整バルブ２６の調整方法の好ましい例を説明する。
制御装置１０に、あらかじめドア４を移動させる低速度の値Ｖｄと、低速度での移動ストロークＸを記憶させ、この関係からドアの移動に要する時間ｔを演算させる。
ドアの開動作を速度の切り換えをせずに低速度で行わせ、移動開始と同時に移動時間、すなわち閉位置検出センサ８の検出信号がオフされてから開位置検出センサ９からの検出信号がオンされるまでの時間を計測する。この計測結果を基にして、あらかじめ演算した時間よりも遅ければ、調整バルブ２６を開くように指示を出し、速ければ調整バルブ２６を閉めるように指示する。この指示は、それぞれ指示用のＬＥＤを点滅させ、あるいはＣＲＴ表示や音響などの方法で行うことができ、高速側の速度も同様にして調整することが可能である。
【００１３】
なお、本発明は、スピンスクラバ、ＨＭＤＳオーブンなど、基板を収納して処理を施すための密閉、半密閉ケースの蓋の開閉に適用することができる。
【００１４】
【発明の効果】
このように第１、第２の発明は、低速移動の速度Ｖｄを、ダウンフローの流速Ｖｆ、速度切り換え位置までのストロークＸ、ドアの高さＨの関数で求めることができ、ダウンフローの流速やロードポートに載置するキャリアの形状が変わっても、ドアを移動させる低速度の決定を簡単に行うことが可能で、演算も容易に行うことができる。
また、第３の発明は、ドア４を閉めるときにキャリア３本体との衝撃を少なくすることができるなどの効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す側面図である。
【図２】ドア駆動装置の配管の例を示す接続図である。
【図３】低速度の算出を説明する説明図である。
【符号の説明】
１ フロントエンド
２ ロードポート
３ キャリア
４ ドア
５ ＦＦＵ
６ ドア駆動装置
７ ドア保持部材
８ 閉位置検出センサ
９ 開位置検出センサ
１０ 制御装置
２１、２２ エア配管
２３ ソレノイドバルブ
２４ 低速度配管
２５ 高速度配管
２６、２７ 調整バルブ
３１ キャリア側のドア面
３２ ダウンフロー
３３ 仮想容積部
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置におけるロードポートに係わり、とくにドアの開閉速度制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のロードポートにおいては、載置したキャリアのドアを開く場合に、ドアを横方向に移動させてキャリアのドア面から離し、さらに下方向に移動させるようにしているが、横方向の移動が高速であると、フロントエンド内のファンフィルタユニット（ＦＦＵ）からのダウンフローに乱流を生じて、キャリア内にエアを巻き込み、パーティクル（異物微粒子）で汚染されるため、ドア開速度を遅くする必要があり、サイクルタイムが伸び、スループットが低下するなどの問題があった。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−１６５８７６号公報
この文献には、基板処理装置におけるケース本体と蓋とが互いに近接して閉じる方向に移動される際は、ケース本体と蓋との距離の減少に応じて近接速度を遅くし、互いに離反して開く際は、距離の増大に応じて離反速度を速くする制御手段をそなえることが示されており、その制御手段として、ドアを移動させるエアシリンダに上限位置、下限位置および中間位置を検出する磁気センサをそれぞれ設け、磁気センサからの検出信号によりエアシリンダのバルブを切り換えるようにしている。
【０００４】
【特許文献２】
特開２０００−３５７６４１号公報
この文献には、クリーンルーム設備において、中間室のクリーンルーム側にロードポートの駆動室が配設され、この駆動室と中間室との連通口にエアカーテンを常時形成させるとともに、ロードポートのカバー内にエアシャワーを設け、上昇移動する蓋にエアを噴射させることにより、ロードポート内の塵埃が中間室やキャリアに入ることを防いでいる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このように、キャリアのドアを移動させるエアシリンダの速度を切り換えるためには、シリンダの位置検出センサを多数箇所に設ける必要があり、コスト高になるだけでなく、とくに中間の切り換え位置検出センサは、パーティクルの巻き込みを防ぎサイクルタイムを短縮させる位置に調整する必要があり、多くの手数と時間を要していた。また、コントローラの外部にセンサを設置するため、保守性に問題があり、作業者が位置調整を行うので、微調整が難しく、判断ミスが発生するなどの欠点があった。
また、エアカーテンやエアシャワーを設ける場合は、コストが高くなり、ロードポート内の設備も繁雑になる。
【０００６】
本発明は、速度切り換えのためのセンサを省き、短時間で効率的にドアの開速度を最適に調整できるとともに保守性に優れたロードポートを提供する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、半導体ウエハを収納するキャリアのドアを開閉するためのドア部と、前記ドア部を駆動するドア駆動装置と、前記ドア部が閉位置から開位置まで移動する際に所定位置で前記ドアの移動速度を低速から高速へと変更する切り換え手段と、を備え、前記所定位置は、前記閉位置からの時間経過によって設定されるロードポートにおいて、
前記低速移動の速度Ｖｄは、前記ドア部の上方から流れるダウンフローの流速Ｖｆと、
前記閉位置から前記所定位置までのストロークＸと、前記キャリアのドアの高さＨと、に基づいて決定されることを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明は、半導体ウエハを収納するキャリアのドアを開閉するためのドア部と、前記ドア部を駆動するドア駆動装置と、前記ドア部が閉位置から開位置まで移動する際に所定位置で前記ドアの移動速度を低速から高速へと変更する切り換え手段と、を備え、前記所定位置は、前記閉位置からの時間経過によって設定されるロードポートにおいて、前記低速移動の速度Ｖｄは、前記ドア部の上方から流れるダウンフローの流速Ｖｆと、前記閉位置から前記所定位置までのストロークＸと、前記キャリアのドアの高さＨと、から、Ｖｄ＝（Ｖｆ・Ｘ）／Ｈで決定されることを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明は、前記ドア部が前記開位置から前記閉位置まで移動する際に所定位置で前記ドアの移動速度を高速から低速へと変更する切り換え手段をさらに備えたことを特徴とするものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施例を示す側面図で、ドア開閉装置は横方向移動の機構のみを示している。１は半導体処理装置に半導体ウエハを供給するロボットなどの自動搬送装置をそなえたフロントエンド、２はフロントエンドに接続されたロードポート、３はロードポート１に載置されたＦＯＵＰなどのキャリア、４はキャリアのドア、５はフロントエンドの天井に設置されたファンフィルタユニット（ＦＦＵ）、６はドア４を開閉するドア駆動装置たとえばエアシリンダ、７はドア駆動装置６とドア４を連結するドア保持部材、８はドア４の閉位置検出センサ、９はドアの開位置検出センサ、１０はロードポート本体１に収納された制御装置である。
図２は、ドア駆動装置６の配管接続図で、２１、２２はエアシリンダ６のエア配管、２３はエア配管２１、２２の一方に設けたソレノイドバルブで、並列接続された低速度配管２４と高速度配管２５の一方を選択する。２６、２７は前記低速度配管２４と高速度配管２５の調整バルブである。
【０００９】
ドア４が閉じた状態（図２の状態）では、ドア駆動装置６の閉位置検出センサ８が作動して閉状態の信号を制御装置１０に送っている。調整バルブ２６、２７はあらかじめ低速度配管２４のエア流量を少なく、高速度配管２５のエア流量を多くするように調整されており、この閉状態でドア４を開く指令が出されると、ソレノイドバルブ２３が低速度配管２４を選択し、同時に制御装置１０内で時間計測を開始する。低速度配管２４を通して供給されるエアでドア駆動装置６が操作され、ドア保持部材７を介してドア４をフロントエンド１内の空気をキャリア内に巻き込まない低速で開き、設定された時間ｔ秒後に、制御装置１０からの指令でソレノイドバルブ２３が低速度配管２４を高速度配管２５に切り換える。この切り換えによりドア駆動装置６はドア４を高速で移動させ、開位置検出センサ９の検出信号によりドア駆動装置を停止させ、図示しない装置によりドアを下降させる。
【００１０】
なお、ソレノイドバルブ２３と低速度配管２４および高速度配管２５の並列配管はエア配管２２側に設けてもよく、ドア４を閉めるときはソレノイドバルブ２３により高速度配管２５を選択したままでもよいが、途中で低速度配管２４に切り換えてキャリア３本体との衝撃を少なくするようにしてもよい。
また、ドア駆動装置６はエアシリンダに替えて、他の往復移動装置、とくにＤＣモータを用いた駆動装置などを使用することができる。
【００１１】
つぎに、本発明における好ましい低速度の算出について説明する。
ドア４はキャリア３の閉状態からｔ秒間、低速度Ｖｄで移動されて高速移動に切り換えられるが、図３において、４はドア、３１はキャリア側のドア面、３２はＦＦＵ５からのダウンフロー、３３は速度切り換え位置Ｘまでの仮想容積部である。仮想容積部３３はキャリア３のドア４を開けた影響でキャリア中のパーティクルが排出され、十分に清浄ではないと考えれ、少なくとも速度切り換え位置にドア４が移動するｔ秒の間に、清浄なダウンフロー３２によって清浄なエアに入れ替える必要がある。
このため、フロントエンド１のＦＦＵ５で発生するダウンフローの流速をＶｆと定義し、仮想容積部３３をダウンフローで満たすとすれば、そのダウンフローの容積Ｖｖは、
Ｖｖ＝Ｖｆ・（Ｗ・Ｘ）・ｔ
Ｗは仮想容積部３３（ドア４）の幅
Ｘは面３１から速度切り換え移動までのストローク
が成り立つから、ドア移動時間ｔを求めると、
ｔ＝Ｖｖ／（Ｖｆ・Ｗ・Ｘ）
したがって、ドアを開く低速度Ｖｄを、
として求めることができる。
【００１２】
つぎに、ドアの開速度である図２における調整バルブ２６の調整方法の好ましい例を説明する。
制御装置１０に、あらかじめドア４を移動させる低速度の値Ｖｄと、低速度での移動ストロークＸを記憶させ、この関係からドアの移動に要する時間ｔを演算させる。
ドアの開動作を速度の切り換えをせずに低速度で行わせ、移動開始と同時に移動時間、すなわち閉位置検出センサ８の検出信号がオフされてから開位置検出センサ９からの検出信号がオンされるまでの時間を計測する。この計測結果を基にして、あらかじめ演算した時間よりも遅ければ、調整バルブ２６を開くように指示を出し、速ければ調整バルブ２６を閉めるように指示する。この指示は、それぞれ指示用のＬＥＤを点滅させ、あるいはＣＲＴ表示や音響などの方法で行うことができ、高速側の速度も同様にして調整することが可能である。
【００１３】
なお、本発明は、スピンスクラバ、ＨＭＤＳオーブンなど、基板を収納して処理を施すための密閉、半密閉ケースの蓋の開閉に適用することができる。
【００１４】
【発明の効果】
このように第１、第２の発明は、低速移動の速度Ｖｄを、ダウンフローの流速Ｖｆ、速度切り換え位置までのストロークＸ、ドアの高さＨの関数で求めることができ、ダウンフローの流速やロードポートに載置するキャリアの形状が変わっても、ドアを移動させる低速度の決定を簡単に行うことが可能で、演算も容易に行うことができる。
また、第３の発明は、ドア４を閉めるときにキャリア３本体との衝撃を少なくすることができるなどの効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す側面図である。
【図２】ドア駆動装置の配管の例を示す接続図である。
【図３】低速度の算出を説明する説明図である。
【符号の説明】
１ フロントエンド
２ ロードポート
３ キャリア
４ ドア
５ ＦＦＵ
６ ドア駆動装置
７ ドア保持部材
８ 閉位置検出センサ
９ 開位置検出センサ
１０ 制御装置
２１、２２ エア配管
２３ ソレノイドバルブ
２４ 低速度配管
２５ 高速度配管
２６、２７ 調整バルブ
３１ キャリア側のドア面
３２ ダウンフロー
３３ 仮想容積部
Claims (3)
- 半導体ウエハを収納するキャリアのドアを開閉するためのドア部と、前記ドア部を駆動するドア駆動装置と、前記ドア部が閉位置から開位置まで移動する際に所定位置で前記ドアの移動速度を低速から高速へと変更する切り換え手段と、を備え、前記所定位置は、前記閉位置からの時間経過によって設定されるロードポートにおいて、
前記低速移動の速度Ｖｄは、前記ドア部の上方から流れるダウンフローの流速Ｖｆと、
前記閉位置から前記所定位置までのストロークＸと、
前記キャリアのドアの高さＨと、に基づいて決定されることを特徴とするロードポート。 - 半導体ウエハを収納するキャリアのドアを開閉するためのドア部と、前記ドア部を駆動するドア駆動装置と、前記ドア部が閉位置から開位置まで移動する際に所定位置で前記ドアの移動速度を低速から高速へと変更する切り換え手段と、を備え、前記所定位置は、前記閉位置からの時間経過によって設定されるロードポートにおいて、
前記低速移動の速度Ｖｄは、前記ドア部の上方から流れるダウンフローの流速Ｖｆと、
前記閉位置から前記所定位置までのストロークＸと、
前記キャリアのドアの高さＨと、から、
Ｖｄ＝（Ｖｆ・Ｘ）／Ｈ
で決定されることを特徴とするロードポート。 - 前記ドア部が前記開位置から前記閉位置まで移動する際に所定位置で前記ドアの移動速度を高速から低速へと変更する切り換え手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１または２いずれかに記載のロードポート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002340512A JP3982395B2 (ja) | 2002-11-25 | 2002-11-25 | ロードポート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002340512A JP3982395B2 (ja) | 2002-11-25 | 2002-11-25 | ロードポート |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004179215A JP2004179215A (ja) | 2004-06-24 |
| JP2004179215A5 JP2004179215A5 (ja) | 2006-04-13 |
| JP3982395B2 true JP3982395B2 (ja) | 2007-09-26 |
Family
ID=32703107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002340512A Expired - Fee Related JP3982395B2 (ja) | 2002-11-25 | 2002-11-25 | ロードポート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3982395B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011238646A (ja) * | 2010-05-06 | 2011-11-24 | Denso Corp | 搬送システム |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6424055B2 (ja) * | 2014-09-29 | 2018-11-14 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | ロードポート装置と、基板処理装置と、基板収納容器のローディング方法 |
| JP6687840B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2020-04-28 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート |
-
2002
- 2002-11-25 JP JP2002340512A patent/JP3982395B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011238646A (ja) * | 2010-05-06 | 2011-11-24 | Denso Corp | 搬送システム |
| US8620469B2 (en) | 2010-05-06 | 2013-12-31 | Denso Corporation | Carrier system and method for handling carried object using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2004179215A (ja) | 2004-06-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2003092339A (ja) | ウエハマッピング装置およびそれを備えたロードポート | |
| JP2011122369A5 (ja) | ||
| JP3982395B2 (ja) | ロードポート | |
| JP3442948B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2007061750A (ja) | ドラフトチャンバ | |
| JPH0878502A (ja) | ２つの末端位置間において物を搬送する搬送装置 | |
| JPH10335417A (ja) | 基板搬送機構およびこれを利用した基板処理装置 | |
| JP4653984B2 (ja) | 成形品取出装置 | |
| JP2004257527A (ja) | 真空用ゲート弁およびシール部材の装着方法 | |
| JPH06271148A (ja) | シート状部材の置替え装置 | |
| JP2703740B2 (ja) | 半導体加工装置用装填装置 | |
| JP5199559B2 (ja) | エレベータ出入口の安全装置 | |
| KR101213955B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
| KR101338387B1 (ko) | 진공 공정용 게이트 밸브 | |
| JP4168169B2 (ja) | ワーク供給装置 | |
| CN220184974U (zh) | 生物安全柜 | |
| JP6903883B2 (ja) | 容器内清浄化装置 | |
| KR100607757B1 (ko) | 웨이퍼 홀더 파티클 제거 장치를 가진 반도체 스테퍼 | |
| KR20040070790A (ko) | Ｓｍｉｆ 장치의 그리퍼 아암의 수평이송장치 | |
| JP4292164B2 (ja) | 吸着検出方法および吸着検出装置 | |
| KR102266081B1 (ko) | 진공 공정용 게이트 밸브 및 감속 실린더 | |
| KR102192642B1 (ko) | 진공 공정용 게이트 밸브 및 감속 실린더 | |
| KR100772277B1 (ko) | 그리퍼 아암의 이송제어장치 | |
| JP2000077497A (ja) | ウェハ搬送用ロボット | |
| JPH09153437A (ja) | 可搬式密閉コンテナのガス給排気システム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060228 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060619 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061031 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061121 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070612 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070625 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100713 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3982395 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100713 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110713 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120713 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130713 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140713 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |