JP3958918B2 - プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は大面積化が容易なフラットパネルディスプレイとして、パーソナルコンピュータ、ワークステーションの表示出力用、および壁掛けテレビなどに用いられるカラープラズマディスプレイパネル（カラーＰＤＰ）に関し、特に輝度を改善し、消費電力を低減するカラーＰＤＰの構造及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のいわゆる面放電型プラズマディスプレイパネルは、第一のガラス基板上に多数の対になる誘電体層で覆われた電極群を有し、第一のガラス基板と対向する第二のガラス基板の間にガスを充填し、この電極対に電圧を印加することによって放電を発生させ、この放電からの紫外光を蛍光体に照射して可視発光を表示させる。
【０００３】
この従来のプラズマディスプレイパネルの一放電セルに相当する部分を図２０に示す。図２０において、図２０（ａ）は、従来のプラズマディスプレイパネルの一放電セルを上から見た上面図、図２０（ｂ）は、同図（ａ）の切断線Ａ−Ａ’における断面図、図２０（ｃ）は、図（ａ）の切断線Ｃ−Ｃ’における断面図である。
【０００４】
図に示すように、第１ガラス基板７１１の上の同一平面に電極対となる維持電極７１２を形成し、維持電極７１２を低融点ガラスからなる誘電体層７２４、さらに、酸化マグネシウム（以下、ＭｇＯと記載する）等からなる保護膜７１５で被覆している。
【０００５】
このとき、維持電極７１２上の誘電体層７２４の厚さはほぼ均一となる。このように維持電極７１２上の誘電体層７２４の厚さをほぼ均一な構造とした場合、誘電体層７２４を厚くすると発光効率は向上するが放電維持電圧が上昇し、逆に薄くすると放電維持電圧を低く抑えることができるが発光効率も低下していた。
【０００６】
また、これらの問題を回避する為の例として、特開２０００−１１３８２７号公報に示される２つの従来例を図２１に断面図で示す。
【０００７】
図２１（ａ）、（ｂ）のように、誘電体層８２４、９２４の実質的な厚さを放電セル内で変化させ、維持電極８１２、９１２が対向する箇所の誘電体層８２４、９２４の膜厚を最も薄くする構造も提案されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この構造のプラズマディスプレイパネルを形成するためには、誘電体層８２４、９２４の厚さをプラズマディスプレイパネル全体にわたって制御することが難しく、厚さむらが放電特性に影響し良好なプラズマディスプレイパネルを得ることが困難であった。
【０００９】
本発明の目的は、カラープラズマディスプレイの発光効率を向上させ、ひいては良好な表示品位と消費電力の低減を実現するカラープラズマディスプレイパネルとその製造方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のプラズマディスプレイパネルは、誘電体層で覆われた複数の電極対を有する第１基板と、前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に充填されたガスとを有し、放電セル内の前記電極対間に電圧を印加して前記放電セル内のガスを放電させるプラズマディスプレイパネルであって、前記電極対のうち少なくとも一つの電極が、前記誘電体層の厚さ方向で上下に分離されていると共に、互いに同電位となるように電気的に接続された下部電極及び上部電極を有し、前記上部電極の放電ギャップ側の側面が前記下部電極の放電ギャップに位置するという構成を基本構造としている。
【００１１】
上記プラズマディスプレイパネルの基本構造は、以下のように種々の適用形態を有する。
【００１２】
まず、上記のプラズマディスプレイパネルにおいて、本発明のプラズマディスプレイパネルは、前記上部電極の非放電ギャップ側の側面が前記下部電極側の非放電ギャップ側の側面より放電ギャップ側に位置し、前記電極対の一方の電極及び他方の電極は前記基板の上に相対向して併走し、前記複数の電極対は互いに離間して併走する形にそれぞれ形成され、前記上部電極は、前記誘電体層中に位置する１層以上の上部電極からなり、前記上部電極が複数のときは、それぞれの上部電極は、前記誘電体層の厚さ方向の途中の異なる位置に位置し、前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、一方の上部電極及び他方の上部電極は、それぞれの上部電極の層数が同じであり、それぞれの互いに対応する層は、前記誘電体層の厚さ方向の途中の同じ位置に相対向して形成され、前記電極対の一方の下部電極と他方の下部電極とに挟まれる領域を下部電極対向領域とするとき、前記一方の上部電極及び前記他方の上部電極は、前記下部電極対向領域の中心に関して略対称に形成されている、というものである。
【００１３】
また、上記のプラズマディスプレイパネル において、本発明のプラズマディスプレイパネルは、前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、一方の下部電極と他方の下部電極とに挟まれる領域を下部電極対向領域とし、前記上部電極において、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極のうち互いに最も近接する一方の上部電極と他方の上部電極とに挟まれる領域を上部電極対向領域とするとき、前記上部電極対向領域及び前記下部電極対向領域は、互いに一部重畳する領域を有する、という形態も採り得る。
【００１４】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルは、誘電体層で覆われた複数の電極対を有する第１基板と、前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に充填されたガスとを有し、放電セル内の前記電極対間に電圧を印加して前記放電セル内のガスを放電させるプラズマディスプレイパネルであって、前記電極対のうち少なくとも一つの電極が、前記誘電体層の厚さ方向で上下に分離されていると共に、互いに同電位となるように電気的に接続された下部電極及び上部電極を有し、前記上部電極は、前記誘電体層中に位置する１層以上の上部電極からなり、前記上部電極が複数のときは、それぞれの上部電極は、前記誘電体層の厚さ方向の途中の異なる位置に位置し、前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、一方の下部電極と他方の下部電極とに挟まれる領域を下部電極対向領域とし、前記上部電極において、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極のうち互いに最も近接する一方の上部電極と他方の上部電極とに挟まれる領域を上部電極対向領域とするとき、前記上部電極対向領域が前記下部電極対向領域と一致するか、或いは、前記上部電極対向領域が前記下部電極対向領域の内側にあるか、或いは、前記下部電極対向領域が前記上部電極対向領域の内側にあるかのいずれかであるという構成を基本構造としている。この場合、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極が共に単層であり、前記上部電極対向領域が前記下部電極対向領域の内側にあるとき、前記一方の上部電極及び前記他方の上部電極が共に前記下部電極対向領域の内側にある、或いは、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極が共に単層であるとき、前記上部電極対向領域が前記下部電極対向領域と一致するか、或いは、前記下部電極対向領域が前記上部電極対向領域の内側にある、という形態を採り得る。
【００１５】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルは、誘電体層で覆われた複数の電極対を有する第１基板と、前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に充填されたガスとを有し、放電セル内の前記電極対間に電圧を印加して前記放電セル内のガスを放電させるプラズマディスプレイパネルであって、前記電極対のうち少なくとも一つの電極が、前記誘電体層の厚さ方向で上下に分離されていると共に、互いに同電位となるように電気的に接続された下部電極及び上部電極を有し、前記上部電極は、前記誘電体層中に位置する１層以上の上部電極からなり、前記上部電極が複数のときは、それぞれの上部電極は、前記誘電体層の厚さ方向の途中の異なる位置に位置し、前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、一方の下部電極と他方の下部電極とに挟まれる領域を下部電極対向領域とし、前記上部電極において、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極のうち互いに最も近接する一方の上部電極と他方の上部電極とに挟まれる領域を上部電極対向領域とするとき、前記上部電極対向領域及び前記下部電極対向領域は、互いに一部重畳する領域を有し、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極が共に単層であるとき、前記一方の上部電極及び前記他方の上部電極のうちいずれかの上部電極が、前記下部電極対向領域の内側にあるという構成を基本構造としている。
【００１６】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルは、誘電体層で覆われた複数の電極対を有する第１基板と、前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に充填されたガスとを有し、放電セル内の前記電極対間に電圧を印加して前記放電セル内のガスを放電させるプラズマディスプレイパネルであって、前記電極対のうち少なくとも一つの電極が、前記誘電体層の厚さ方向で上下に分離されていると共に、互いに同電位となるように電気的に接続された下部電極及び上部電極を有し、前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、少なくとも一方の下部電極に対応する一方の上部電極の横に、前記一方の上部電極と同一平面上において前記他方の下部電極から遠ざかる方向に前記一方の上部電極と同電位の少なくとも一つの分割電極が設けられているという構成を基本構造としている。
【００１７】
本発明のプラズマディスプレイパネルは、前記上部電極は、その幅が前記下部電極の幅の２分の１以下である、或いは、その幅が前記下部電極の幅の５分の１以下である、また、前記上部電極は、導通用配線により前記下部電極と接続されて前記下部電極と同電位となり、前記下部電極と共に低抵抗配線により配線され、前記第２基板の上には、前記第１基板の上を併走する前記電極対と直交して併走する隔壁が形成されており、前記第１基板が、前記隔壁及び併走する複数の電極対を離間する離間領域により均等に区画される領域を放電セル領域とし、前記電極対に対応する前記上部電極の間の領域を電極対向領域とするとき、前記導通用配線が、前記電極対向領域を除く領域において、前記放電セル領域毎に形成され、前記導通用配線が、前記隔壁に対向する領域に形成され、前記低抵抗配線は、前記第１基板の上を併走する前記電極対から離れた位置で前記電極対と併走する、という形態を採る。また、上記のプラズマディスプレイパネルにおいて、本発明のプラズマディスプレイパネルは、前記上部電極は、金属、或いは、金属微粒子を主成分とする導体からなる、また、前記低抵抗配線が、前記上部電極と同じ材料により形成され、前記上部電極の膜厚は、前記下部電極の膜厚及び前記低抵抗配線の膜厚よりも薄く、前記低抵抗配線が、前記上部電極と異なる材料により形成される、又は、前記低抵抗配線が、前記下部電極と同じ基板の上、或いは、前記上部電極が位置する前記誘電体層中の厚さ方向の途中の位置と同じ位置に形成される、又は、前記低抵抗配線が、前記下部電極と同じ基板の上及び前記上部電極が位置する前記誘電体層中の厚さ方向の途中の位置と同じ位置にそれぞれ形成される、又は、前記低抵抗配線及び前記導通用配線は、同時に形成される配線である、という形態を採る。また、上記のプラズマディスプレイパネルにおいて、本発明のプラズマディスプレイパネルは、前記上部電極が単層の上部電極であるとき、前記誘電体層は、前記上部電極の下敷きとなり、かつ、前記基板の上に堆積された第１誘電体層と、前記第１誘電体層を含む前記基板を覆う第２誘電体層とを有し、前記上部電極が単層の上部電極であり、前記単層の上部電極が前記電極対にそれぞれ対応して単層の上部電極対を構成し、前記単層の上部電極対に挟まれた領域を上部電極対向領域とするとき、前記誘電体層が、少なくとも前記上部電極対向領域の下には敷かれている、という形態を採る。さらに、上記のプラズマディスプレイパネルにおいて、本発明のプラズマディスプレイパネルは、前記ガスは、蛍光体を励起する紫外光を発生させる成分としてＸｅ，Ｋｒ，Ａｒ，窒素のうち少なくとも一つの励起ガスを含み、かつ、Ｘｅ，Ｋｒ，Ａｒ，窒素のうちいずれかを前記ガスの励起ガスとするときの前記励起ガスの分圧が１００ｈＰａ以上である、という形態を採る。
【００１８】
次に、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程が、前記基板の表面に下部電極となる第１電極対を形成する工程と、前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程と、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程と、前記第１誘電体層を含む前記基板を覆って第２誘電体層を堆積させる工程とを有し、前記上部電極の放電ギャップ側の側面が前記下部電極の放電ギャップ側の側面より放電ギャップ側に位置するように、前記上部電極及び前記下部電極を形成することを基本構成としている。
【００１９】
上記プラズマディスプレイパネルの製造方法の基本構成は、種々の適用形態を有する。前記上部電極の非放電ギャップ側の側面が前記下部電極側の非放電ギャップ側の側面より放電ギャップ側に位置するように、前記上部電極及び前記下部電極を形成する。また、前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程が、前記下部電極対向領域を少なくとも覆う形に前記誘電体膜をパターニングすることにより行われる、或いは、前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程が、前記下部電極対向領域を少なくとも覆う形に前記基板の上に誘電体膜をスクリーン印刷することにより行われる、という形態を採る。また、前記第１誘電体層及び前記第２誘電体層は、共にガラス材料からなり、前記第２誘電体層のガラス材料の軟化点は、前記第１誘電体層のガラス材料の軟化点よりも低い、また、前記基板の表面に下部電極となる第１電極対を形成する工程と、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程との間に、前記第１電極の引き出し配線抵抗を下げる第１電極配線を形成する工程を有する、また、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程の後に、前記第２電極の引き出し配線抵抗を下げる第２電極配線を形成する工程を有する、また、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程の後に、前記第２電極を前記第２電極と対応する第１電極に接続する導通用配線を形成する工程を有する、という形態も可能である。
【００２０】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程が、前記基板の表面に下部電極となる第１電極対を形成する工程と、前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程と、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程と、前記第１誘電体層を含む前記基板を覆って第２誘電体層を堆積させる工程とを有し、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程の後に、前記第２電極を前記第２電極と対応する第１電極に接続する導通用配線及び前記第１電極及び前記第２電極の引き出し配線抵抗を下げる共通電極配線を同時に形成する工程を有することを基本構成としている。
【００２１】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程が、前記基板の表面に下部電極となる第１電極対を形成する工程と、前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程と、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程と、前記第１誘電体層を含む前記基板を覆って第２誘電体層を堆積させる工程とを有し、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程が、前記第２電極の形成と同時に、前記第２電極を前記第２電極と対応する第１電極に接続する導通用配線及び前記第１電極及び前記第２電極の引き出し配線抵抗を下げる共通電極配線を形成することにより行われることを基本構成としている。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明の発明の実施形態について説明する前に、本発明のプラズマディスプレイパネルの電極対及び誘電体層の実施例を図面を参照して説明しておく。
【００２３】
図２０は、既に説明したように、一般的な面放電型プラズマディスプレイの放電セルの上面図及び断面図である。図１〜５は、図２０で示した隔壁７２５を有する第２ガラス基板７２１と対向する第１ガラス基板７１１に相当する第１ガラス基板の構成を示しており、本発明の１０種類の電極対及び誘電体層の実施例の模式断面図である。
【００２４】
まず、図１（ａ）を取り上げて、簡単にその構造を説明する。
【００２５】
第１ガラス基板１１上に、まず最初に、第１ガラス基板１１の上に酸化インジウムあるいは酸化錫を主成分とするＩＴＯ等の透明導電材料などからなる下部電極１２１が相対向する形に下部電極対１２として形成される。
【００２６】
次に、第１ガラス基板１１の上には、下部電極１２１を覆って低融点ガラスなどを主成分とする下部誘電体層１３が形成され、さらに、下部誘電体層１３の上には、下部電極１２１に対応して上記の透明導電材料などからなる上部電極１２２が形成される。
【００２７】
次に、これら下部電極１２１、上部電極１２２の上方に、放電空間と接するＭｇＯ膜等の保護膜１５の表面が概ね平坦となるように低融点ガラスなどを主成分とする上部誘電体層１４を形成する。
【００２８】
このような誘電体層の形成方法により、上部電極１２２の上の上部誘電体層１４の厚さが下部電極１２１の上の誘電体層の厚さ（下部誘電体層１３と上部誘電体層１４の厚さの和）より小さくなるような構成が得られる。
【００２９】
また、図１（ａ）、（ｂ）、図２（ｂ）及び図３（ａ）、（ｂ）、図４（ｂ）では、下部電極対１２の互いに相対向する電極端よりも内側に、相対向する上部電極１２２に挟まれる領域が形成されている。図２（ａ）及び図４（ａ）では、下部電極対１２に挟まれる領域と、相対向する上部電極１２２に挟まれる領域とが一致するように形成されている。図２（ｃ）及び図４（ｃ）では、下部電極対１２に挟まれる領域が、相対向する上部電極１２２に挟まれる領域よりも内側になるように形成されている。
【００３０】
次に、本発明の上部電極の下部電極に対する相対的な位置関係を詳述する。
【００３１】
図１（ａ）では、下部電極１２１の面放電電極対の放電ギャップ側端部を含む相対向する領域に上部電極１２２が下部誘電体層１３を挟んで形成され、電極対端部での放電空間に対する誘電体層の厚さが、上部電極１２２が存在することにより上部電極１２２を覆う上部誘電体層１４の厚さとなり、上部電極対の端部から放電空間までの誘電体層の厚さを薄くする構造を実現している。
【００３２】
次に、図１（ｂ）では、下部電極１２１と上部電極１２２にほとんど重なりがないように形成されている。即ち、上部電極の相対向する側の側面と反対の上部電極の側面が、下部電極の相対向する側面位置と平面上ほぼ一致する。
【００３３】
図２（ａ）では、下部電極１２１の相対向する側面位置と上部電極１２２の相対向する側面位置とが平面上完全に重なり、それぞれの面放電電極対の放電ギャップ側端部がほぼ平面上一致するように形成されている。
【００３４】
図２（ｂ）では、上部電極１２２の全てが平面上、下部電極１２１の相対向する側面の内側に位置するように形成されている。
【００３５】
図２（ｃ）では、下部電極１２１の相対向する側面に挟まれた領域が、平面上、上部電極１２２の相対向する側面に挟まれた領域の内側に位置するように形成されている。
【００３６】
図３、４の例では、下部誘電体層１３は下部電極１２１の相対向する側面に挟まれた領域を少なくとも覆うように、第１ガラス基板１１上に部分的に形成されている点が、図１、２の例と異なっており、上部電極１２２は、下部誘電体層１３の上にあって、下部誘電体層１３により下部電極１２１と分離された形に形成される。
【００３７】
また、本発明の電極対及び誘電体層の実施例は、図１〜４に示される構造に限定されることなく、図５（ａ）に示すように、上部電極対向領域１７及び下部電極対向領域１６が互いに一部重畳する構成、また、図５（ｂ）に示すように、上部電極対向領域１７が下部電極対向領域１６の内側に在って、しかも、上部電極対向領域１７の上部電極対向領域中心線１１７が下部電極対向領域１６の下部電極対向領域中心線１１６と一致しない非対称形の構成もその適用形態として考えられる。
【００３８】
つまり、本発明によるプラズマディスプレイパネルの構造は、同一基板上の面放電電極対間放電の発生し易さに影響する誘電体層の厚さを最適に設計することが可能であり、特に大きく影響する相対向する電極端部周辺の放電空間での電界強度を大きく保ったまま、面放電での電流密度を抑えることが可能であり、放電を維持するための電圧を低くすることと、高い発光効率を両立させることができ、ひいては表示品位を向上させることができるものである。
【００３９】
上記本発明構造の効果は、以下の知見に基づいている。即ち、
（１）面放電電極上の誘電体層を厚くすると電流密度が制限され発光効率が向上すること、
（２）面放電電極上の誘電体層を厚くすると放電を維持するための電圧が上昇し、駆動が困難になること、
（３）ＨｅやＮｅなど希ガスを主成分とする放電ガスを用いる場合、蛍光体を励起するのに利用する紫外光を発生するガス種の組成比が増加すると発光効率が向上すること、
（４）ＨｅやＮｅなど希ガスを主成分とする放電ガスを用いる場合、蛍光体を励起するのに利用する紫外光を発生するガス種の組成比が増加すると放電を維持するための電圧が上昇し、駆動が困難になること、
（５）面放電電極上の一部の誘電体層の厚さが薄いこと、特に相対向する部位上の誘電体層の厚さが薄ければ、他の部位の誘電体層が厚くても、あるいは紫外光を発生するガス種の組成比が高くても、放電を維持するための電圧を実用的な範囲に抑制することができること、
等の知見である。
【００４０】
以上説明した本発明の種々の電極対及び誘電体層の実施例は、その特徴を模式的な構造断面図で示しているが、以上の電極対及び誘電体層の実施例を以下に説明する具体的な実施形態のすべての実施形態に適用することができる。即ち、以下の第１から第６の実施形態において、誘電体層の構造を除いた電極対の構成は、上記に述べた図１（ａ）、或いは、図３（ａ）の構成を主体として説明しているが、図１（ｂ）、図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、図５（ａ）、（ｂ）に示される６種類の構成をそれぞれの実施形態において適用できることは言うまでもない。
【００４１】
図６〜１７は、本発明の実施形態の更に詳しい、即ち、構造断面図だけではなく、その上面図も加えた形で実施形態を説明するための図である。
【００４２】
また、本発明の実施形態においては、下部電極及び上部電極が共に低抵抗化配線及び導通用配線により引き出される構造を示しているが、本発明は、低抵抗化配線及び導通用配線がなく、下部電極及び上部電極が共にパネル端部で電気的に接続される形態も、これらの実施形態の変形例として含むことは言うまでもないことである。
【００４３】
まず、本発明の第１の実施形態を図６及び図７を用いて説明する。本発明の構造を説明する図６〜１７の各図において、偶数図番と、次の奇数図番は、ペアでそれぞれの実施形態の特徴を示すものであり、それぞれの実施形態において、（ａ）は上面図、（ｂ）は上面図（ａ）のそれぞれ切断線Ａ−Ａ’、Ｂ−Ｂ’での断面図であり、それぞれの実施形態の相違が明確になるようになっている。
【００４４】
図６（ａ）は、第１ガラス基板の上面図であるが、第１ガラス基板上の素子のレイアウトを明確にするために、第２ガラス基板の隔壁領域３１を同じ紙面に一点鎖線で示している。従って、第２ガラス基板隔壁領域３１は、特に奇数図番の（ｂ）の断面図においては図示を省略している。この図においては、切断線Ａ−Ａ’は、併行する第２ガラス基板隔壁領域３１の間を第２ガラス基板隔壁領域３１に平行して走っている。
【００４５】
まず、図６（ｂ）に示すように、第１ガラス基板１１の上に下部電極１２１、概ね平坦面に形成された下部電極１２１の一辺上に第１低抵抗化配線２２１が形成される。この第１低抵抗化配線２２１は、下部電極１２１の引き出し配線抵抗を下げるための配線であり、アルミニウム、銅、クロム、銀などを少なくとも含む金属材料の薄膜、あるいはこれらの金属微粒子、あるいは金属微粒子と低融点ガラスの混合物を焼成したもの等の低抵抗材料により構成される。
【００４６】
次に、下部電極１２１及びその上の第１低抵抗化配線２２１を全て覆うように下部誘電体層１３が形成され、さらに、下部誘電体層１３の上には、相対向する下部電極１２１に対応して上部電極１２２が形成され、これら電極上に、放電空間と接するＭｇＯ膜等の保護膜１５の表面が概ね平坦となるように上部誘電体層１４が形成されている。
【００４７】
また、上部電極１２２と同一の平面上には、上記低抵抗材料からなる第２低抵抗化配線２２２が形成されている。
【００４８】
次に、図７（ａ）は、図６（ａ）と同じ第１ガラス基板の上面図であるが、切断線Ｂ−Ｂ’は、第２ガラス基板隔壁領域３１の中心を第２ガラス基板隔壁領域３１に平行して走っている。
【００４９】
図７（ｂ）は、上部電極１２２と同一平面上に形成された第２低抵抗化配線２２２が、上部電極１２２と接続する様子を示している。この図においては、上部電極１２２は、上記低抵抗材料により構成される導通用配線２２３を通して第２低抵抗化配線２２２と接続するが、この例では、導通用配線２２３が第２低抵抗化配線２２２と同じ材料で形成される場合を示している。勿論、導通用配線２２３が、第２低抵抗化配線２２２と異なる材料で形成される場合も本実施形態の変形例として考えられることは言うまでもない。また、導通用配線２２３と上部電極１２２が同一材料であっても良い。
【００５０】
また、図６、７（ａ）において破線で囲んだ領域は、プラズマディスプレイパネルにおける一つの放電セル１００を示し、上述した第２低抵抗化配線２２２及び導通用配線２２３が、全ての放電セル１００において同様に形成されていることを示している。
【００５１】
この実施形態においては、第１低抵抗化配線２２１及び第２低抵抗化配線２２２は、第１ガラス基板１１の上を下部電極１２１及び上部電極１２２と平行して走査するが、パネルの端部において接続され同電位となる。
【００５２】
以上のような構造及び製造方法により、上部電極１２２の上の誘電体層の厚さムラは、プラズマディスプレイパネルの実用的な表示が可能となるという意味において、無視することができた。これは、本発明の２層電極の構造及び製造方法が、上部電極１２２の幅をパネル全体に均一に形成することを可能とするためである。
【００５３】
次に、本発明の第２の実施形態を図８及び図９を用いて説明する。
【００５４】
図８、９では、下部電極１２１の相対向する領域を少なくとも覆うようにして下部誘電体層２３を第１ガラス基板１１の上に部分的に形成し、下部誘電体層２３の上に下部電極１２１に対応するように上部電極１２２を形成する。上部電極１２２及び下部電極１２１を接続し、かつ、両電極からの引き出し配線抵抗を下げるために、低抵抗配線材料からなる低抵抗化配線２２０が形成されている。
【００５５】
図９（ｂ）に、上部電極１２２が導通用配線２２３を通して低抵抗化配線２２０により引き出され、下部電極１２１と導通されている様子が示されている。第１の実施形態と同様、導通用配線２２３が低抵抗化配線２２０と同じ材料で形成される場合を示しているが、導通用配線２２３が、低抵抗化配線２２０と異なる材料で形成される場合も本実施形態の変形例として考えられることは言うまでもない。また、導通用配線２２３と上部電極１２２が同一材料であっても良い。
【００５６】
このような下部誘電体層２３をこのような構造とすることにより、導通用配線２２３が、下部電極１２１と上部電極１２２とを近接した領域で接続することになり、第１の実施形態に比べて、下部電極１２１と上部電極１２２との電位差を小さくできるという効果がある。さらに、低抵抗化配線を下部電極及び上部電極に対して一括して形成しているので、第１の実施形態に比べて、製造工程が少なくて済み、製造コストの低コスト化が図れ、工程数短縮による高信頼化も図れるという効果も有している。
【００５７】
次に、本発明の第３の実施形態を図１０及び図１１を用いて説明する。
【００５８】
図１０の構成は、第２の実施形態と概略同じ構成であるが、図１１の（ｂ）を見ると、上部電極１２２が低抵抗配線材料と同一の材料の低抵抗化配線３２０で構成されており、この点において、第２の実施形態と異なっていることがわかる。従って、上部電極を形成する製造工程を省略することができ、製造工程の簡略化を図ることができる。
【００５９】
次に、本発明の第４の実施形態を図１２及び図１３を用いて説明する。
【００６０】
本実施形態では、下部電極１２１は、低抵抗化配線４２０から離れて形成され、図１３（ｂ）に示すように、第２ガラス基板隔壁領域３１に対応する領域で、導通用配線４２３によって上部電極１２２及び低抵抗化配線４２０と接続される。この実施形態においても、導通用配線４２３が低抵抗化配線４２０と同時に形成される場合を示しているが、低抵抗化配線４２０と異なる工程で形成されても良い。また、この実施形態においては、導通用配線２２３と上部電極１２２が同一材料であっても良く、また、上部電極１２２、導通用配線４２３、低抵抗化配線４２０が一体化していても良い。
【００６１】
次に、本発明の第５の実施形態を図１４及び図１５を用いて説明する。
【００６２】
本実施形態では、下部電極１２１を覆って形成された下部誘電体層２３の上に、上部電極が複数に分離されて形成される場合を示し、上部電極が第１上部電極５２２及びその横の第２上部電極５３２により構成される様子を示している。本実施形態では、第１上部電極５２２及び第２上部電極５３２が、同じ工程で同じ材料で形成される場合を示したが、第１上部電極５２２及び第２上部電極５３２がそれぞれ別の工程で異なる材料で形成されても良い。また、上部電極が３つ以上に分離されて形成されていても良い。
【００６３】
次に、本発明の第６の実施形態を図１６及び図１７を用いて説明する。
【００６４】
本実施形態では、下部電極１２１をまず第１ガラス基板上に部分的に形成された下部誘電体層２３で覆い、続いて、下部誘電体層２３の上に第１上部電極６２２を下部電極１２１に対応して形成し、さらに、中間誘電体層６２４を、少なくとも下部電極１２１の相対向する領域を覆うように、下部誘電体層２３の上に形成する。この場合、中間誘電体層６２４の形状は、少なくとも下部電極１２１の相対向する領域を覆っていれば良く、図１６（ｂ）に示す断面図の形状よりも横方向に伸びた形で、低抵抗化配線６２０を覆うまで伸びていても差し支えない。
【００６５】
この後、中間誘電体層６２４の上に第２上部電極６３２を下部電極１２１に対応して形成する。最後に、上部誘電体層２４により第１ガラス基板１１全体を覆う。
【００６６】
図１７は、第１上部電極６２２及び第２上部電極６３２が、導通用配線６２３により互いに接続され、さらに、低抵抗化配線６２０にも接続される様子を示している。また、この実施形態においては、導通用配線２２３と上部電極１２２が同一材料であっても良く、また、上部電極１２２、導通用配線４２３、低抵抗化配線４２０が一体化していても良い。
【００６７】
この実施形態においては、第１上部電極６２２及び第２上部電極６３２がそれぞれ電極対として対称に形成され、しかも、相対向する下部電極１２１に挟まれた領域の中心線に対しても対称となるように形成されているが、本発明は、このような形態に限定されるものではなく、第１上部電極６２２及び第２上部電極６３２がそれぞれ電極対として対称ではない場合、或いは、第１上部電極６２２及び第２上部電極６３２がそれぞれ電極対として同一平面上にない場合、第１上部電極６２２及び第２上部電極６３２以外にさらに誘電体層中の異なる平面上に別の上部電極を有する場合等も、本実施形態の変形例として考えられる。
【００６８】
また、第１上部電極６２２及び第２上部電極６３２がそれぞれ電極対として同一平面上になく、第１上部電極６２２及び第２上部電極６３２以外にさらに誘電体層中の異なる平面上に別の上部電極を有する場合ない場合等の特殊な形態においては、これらの上部電極のうち最も近接する上部電極対が面放電の主体となることになり、誘電体層が少なくともこの上部電極対の上を覆う形に形成される構成となる。
【００６９】
次に、本発明のプラズマディスプレイの製造方法について図１８、１９を参照して説明する。図１８、１９は、本発明のプラズマディスプレイの製造方法の実施形態の一例を示す断面図である。
【００７０】
まず、平坦な第１ガラス基板１１に下部電極１２１を所望の形状に形成し（図１８（ａ））、その上に所望の形状に誘電体層材料ペーストを配置し、焼成することによって下部電極１２１と上部電極１２２とを分離する下部誘電体層２３とし（図１８（ｂ））、下部誘電体層２３の上に上部電極１２２を下部電極１２１に対応して形成し（図１８（ｃ））、この下部誘電体層２３の上に上部電極１２２及び下部電極１２１を接続し、且つ、上部電極１２２及び下部電極１２１の引き出し配線の抵抗値を下げるための低抵抗配線材料からなる低抵抗化配線２２０を形成し（図１９（ａ））、第１ガラス基板１１全体を覆うように上部誘電体層２４を概ね平坦に形成（図１９（ｂ））した後、ＭｇＯ膜等の保護膜１５を形成する（図１９（ｃ））ことにより、第１ガラス基板１１側の構成を完成させており、本発明のプラズマディスプレイの構造を容易に作製することができる。
【００７１】
次に、上記本発明のプラズマディスプレイの製造方法について、図８、９の例を中心に、さらに詳細に説明する。
【００７２】
まず、第１ガラス基板１１の上に可視光を透過する望ましくは透明な導体により下部電極１２１を形成し（図１８（ａ））、この下部電極１２１の少なくとも面放電電極対の放電ギャップ側端部１２５により挟まれる領域を覆うように低融点ガラスを主成分とする誘電体ペーストをスクリーン印刷法により塗布し、焼成することによって下部誘電体層１３を形成した（図１８（ｂ））。この下部誘電体層１３をより高い位置精度で形成するには、厚膜感光フィルムをパターニングし、その開口部に下部誘電体層材料を埋め込んで形成する方法、あるいは感光性誘電体層材料を直接露光現像してパターニングする方法を用いることができた。
【００７３】
次に、第１ガラス基板１１全面に感光性材料を形成し、下部誘電体層１３上の上部電極１２２を形成する領域の感光性材料を除去するように露光現像処理し、リフトオフ法によって透明導電材料からなる上部電極１２２を形成した（図１８（ｃ））。上部電極１２２は、金属あるいは金属微粒子からなる導体材料であってもよく、これらを全面に薄膜形成あるいは塗布した後、露光現像処理により所望の形状の上部電極１２２を得ることも可能である。また、スクリーン印刷法などパターン化された所望の形状に形成することも可能である。
【００７４】
次に、下部電極１２１及び上部電極１２２の引き出し配線抵抗を低抵抗化するために、アルミニウム、銅、クロム、銀などを少なくとも含む金属材料の薄膜、あるいはこれらの金属微粒子、あるいは金属微粒子と低融点ガラスの混合物を焼成したもの等の低抵抗材料からなる導通用配線２２３を、図８、９に示した放電セル１００の周辺部、望ましくは、第２ガラス基板隔壁領域３１と重なるかその幅より小さくなるように、下部電極１２１と上部電極１２２とを接続すべく形成する。
【００７５】
この製造方法においては、導通用配線２２３は、低抵抗化配線２２０と同時に形成される場合を例としており、低抵抗化配線２２０は、面放電電極対の放電ギャップ側端部１２５とは反対側の放電セル端部に下部電極１２１と並置されるように形成される（図１９（ａ））。
【００７６】
次に、放電セル１００全体を覆うように低融点ガラスを主成分とする誘電体ペーストをスクリーン印刷法により塗布し、焼成することによって上部誘電体層２４を形成した（図１９（ｂ））。
【００７７】
この上部誘電体層２４は下部誘電体層２３より焼成温度と軟化点が低いほうが望ましい。更に、この上部誘電体層２４は焼成処理により下部誘電体層２３などによる基板上の凹凸を吸収し、平坦化されることが望ましい。
【００７８】
最後に、上部誘電体層２４上にＭｇＯ膜等の保護膜１５を形成し、プラズマディスプレイパネルの第１ガラス基板１１側の素子を完成させた（図１９（ｃ））。
【００７９】
第２ガラス基板７２１の方の構成は、図２０に示す従来のプラズマディスプレイパネルの製造方法と同じである。
【００８０】
即ち、第２ガラス基板７２１に、放電を発生する単位となる表示セルを分離するように隔壁７２５を形成し、第１ガラス基板上を走査する１つの維持電極７１２の対と互いに直交し、表示セルの放電を制御する選択電極７４２を形成する。各表示セルには、ＲＧＢ３原色の発光色を示すように、各表示色の表示セルの隔壁７２５に囲まれたセル内面に蛍光体７４４を塗布し焼成する。
【００８１】
最後に、第２ガラス基板７２１と第１ガラス基板１１とを向かい合わせて張り合わせて封着し、真空排気したのち基板間に形成される放電空間にキセノンなど蛍光体を励起する紫外光を発生するガスを混合した放電ガスを充填し、カラープラズマディスプレイパネルとした。
【００８２】
図２０は、本発明のプラズマディスプレイパネルの効果を実証するための比較用に作製した従来のプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【００８３】
第１ガラス基板７１１に蛍光体を励起するための紫外光を発生する主要な放電を維持するための維持電極７１２を電極対の形状に形成し、その上に誘電体層７２４及び放電空間と接する領域にＭｇＯ膜等の保護膜７１５を形成した。
【００８４】
一方、第２ガラス基板７２１には、放電を発生する単位となる表示セルを分離するように隔壁７２５を形成し、第１ガラス基板上を走査する１つの維持電極７１２の対と互いに直交し表示セルの放電を制御する選択電極７４２を形成する。
各表示セルは、ＲＧＢ３原色の発光色を示すように、各表示色の表示セルの隔壁７２５に囲まれたセル内面に蛍光体７４４を塗布し焼成する。
【００８５】
最後に、第２ガラス基板７２１を第１ガラス基板７１１と向かい合わせて張り合わせて封着し、真空排気したのち基板間に形成される放電空間にキセノンなど蛍光体を励起する紫外光を発生するガスを混合した放電ガスを充填し、カラープラズマディスプレイパネルとした。
【００８６】
本発明の第２の実施形態を示す図８、９において、放電対の電極を２層とした時、下部誘電体層２３の厚さを１０μｍから５０μｍまで変化させ、また、上部誘電体層２４の厚さも１０μｍから５０μｍまで変化させた。
【００８７】
下部誘電体層２３及び上部誘電体層２４の膜厚をこのように変化させたときの第１の実施形態のプラズマディスプレイパネルと、維持電極７２１上の誘電体層と厚さが、第１の実施形態の下部誘電体層２３と上部誘電体層２４との厚さの合計値と等しくなるような誘電体層７２４を持つ従来型構造のプラズマディスプレイパネルと特性を比較した。
【００８８】
図２２は、上下誘電体層の厚さが等しい場合、上下誘電体層の厚さの和と等しい厚さの誘電体層を有する従来型構造パネルとの発光効率を１．０とし、下部電極１２１及び上部電極１２２の合計面積のうちに上部電極１２２が占める面積比率ｒを変化させて、本発明のプラズマディスプレイパネルの発光効率を比較した結果である。
【００８９】
上部電極の面積比率が大きい場合、結果的に誘電体層の厚さが薄い場合と同様なため、従来型のパネルに比べて発光効率が低下する。しかし、面積比率が０．５以下になると発光効率が従来がより大きくなり、特に０．２以下では著しい発光効率改善効果が認められた。
【００９０】
同様な評価を種々の放電ガス組成を用いて実験したところ、蛍光体を励起する紫外線の主な発生源となるＸｅ、Ｋｒ、ＡｒあるいはＮ2の分圧が１００ｈＰａ以上の時、望ましくは３００ｈＰａ以上の時、本発明の構成による発光効率改善効果がより顕著であった。
【００９１】
また、従来型では１００ｈＰａ以上の分圧のＸｅ、Ｋｒ、ＡｒあるいはＮ2を有する放電ガスを用いた場合、放電開始電圧が著しく上昇するだけではなく、放電に不安定性が生じ、安定な表示放電の維持が困難であった。しかし、本発明の構成ではこれらの電圧上昇と放電不安定性を実用的な範囲で抑制することが可能であった。
【００９２】
第２の実施形態では、下部誘電体層２３が下部電極１２１上の一部に形成されている場合であるが、下部誘電体層１３を放電セル内全面に形成し、低抵抗化のための配線も２層にし、表示領域外でこれらを接続する第１の実施形態（図６、７）の構成にしても同様な効果が認められた。
【００９３】
また、上部電極１２２の幅を１００μｍ以下、望ましくは、５０μｍ以下の金属あるいは金属微粒子からなる導体により構成しても同様な効果が認められた。
【００９４】
更に、上部電極と低抵抗化のための配線を同一の材料を用い、同時に形成しても同様な効果及び製造工程の簡易化が図れた。
【００９５】
また、図２１に示す従来例では誘電体層の厚さにばらつきが生じたのに対し、本発明の構成では、誘電体層の厚さムラは実用的な表示可能な範囲で無視することができた。これは本発明の構成が、上部電極幅をパネル全体に均一に形成することが可能且つ容易なためである。
【００９６】
以上、本発明の実施形態を主な放電を発生する面放電電極を用いて説明したが、本発明の効果は概ね同一平面上に形成される電極対について得られることである。例えば、電極対が形成される面の高さが異なっていても、電極幅が異なっていても、誘電体層の薄い領域が非対称であっても本発明の効果が見られるのは明らかである。
【００９７】
最後に、本発明のプラズマディスプレイパネルは、単層電極が対向することにより得られる面放電電極対ではなく、複数の層からなる電極が対向することにより得られる面放電電極対を形成し、上層に位置する電極の上の誘電体層の膜厚を薄くすることにより発光効率を高くしているのであり、以上に述べてきた実施形態及びその変形例により、複数の層からなる電極が対向することにより得られる面放電電極対のあらゆる構造を網羅するものである。
【００９８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のプラズマディスプレイパネルは、複数の層からなる電極が対向することにより得られる面放電電極対を形成し、上層に位置する電極の上の誘電体層の膜厚を薄くすることにより、低い放電維持電圧を保ち、且つ、高い発光効率を得ることが可能となり、ひいては表示品位を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電極対及び誘電体層の実施例の模式断面図である。
【図２】本発明の電極対及び誘電体層の実施例の模式断面図である。
【図３】本発明の電極対及び誘電体層の実施例の模式断面図である。
【図４】本発明の電極対及び誘電体層の実施例の模式断面図である。
【図５】本発明の電極対及び誘電体層の実施例の模式断面図である。
【図６】本発明の第１の実施形態の上面図及び断面図である。
【図７】本発明の第１の実施形態の上面図及び図６とは異なる領域の断面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態の上面図及び断面図である。
【図９】本発明の第２の実施形態の上面図及び図８とは異なる領域の断面図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態の上面図及び断面図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態の上面図及び図１０とは異なる領域の断面図である。
【図１２】本発明の第４の実施形態の上面図及び断面図である。
【図１３】本発明の第４の実施形態の上面図及び図１２とは異なる領域の断面図である。
【図１４】本発明の第５の実施形態の上面図及び断面図である。
【図１５】本発明の第５の実施形態の上面図及び図１４とは異なる領域の断面図である。
【図１６】本発明の第６の実施形態の上面図及び断面図である。
【図１７】本発明の第６の実施形態の上面図及び図１６とは異なる領域の断面図である。
【図１８】本発明の実施形態の製造方法を、第２の実施形態を取り上げて説明する製造工程順の断面図である。
【図１９】図１８に続く製造工程を示す断面図である。
【図２０】従来のプラズマディスプレイパネルによる放電セルの上面図及び断面図である。
【図２１】プラズマディスプレイパネルの別の従来例による放電セルを示す断面図である。
【図２２】本発明の効果を説明するためのグラフである。
【符号の説明】
１１、７１１、８１１、９１１ 第１ガラス基板
１２ 電極対
１３、２３ 下部誘電体層
１４、２４ 上部誘電体層
１５、７１５、８１５、９１５ 保護膜
１６ 下部電極対向領域
１７ 上部電極対向領域
３１、７３１ 第２ガラス基板隔壁領域
１００、７００ 放電セル
１１６ 下部電極対向領域中心線
１１７ 上部電極対向領域中心線
１２１ 下部電極
１２２ 上部電極
１２５ 放電ギャップ側端部
２２０、３２０、４２０、５２０、６２０ 低抵抗化配線
２２１ 第１低抵抗化配線
２２２ 第２低抵抗化配線
２２３、４２３、５２３、６２３ 導通用配線
５２２、６２２ 第１上部電極
５３２、６３２ 第２上部電極
６２４ 中間誘電体層
７１２、８１２、９１２ 維持電極
７２１ 第２ガラス基板
７２４、７４３、８２４、９２４ 誘電体層
７２５ 隔壁
７４２ 選択電極
７４４ 蛍光体
【発明の属する技術分野】
本発明は大面積化が容易なフラットパネルディスプレイとして、パーソナルコンピュータ、ワークステーションの表示出力用、および壁掛けテレビなどに用いられるカラープラズマディスプレイパネル（カラーＰＤＰ）に関し、特に輝度を改善し、消費電力を低減するカラーＰＤＰの構造及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のいわゆる面放電型プラズマディスプレイパネルは、第一のガラス基板上に多数の対になる誘電体層で覆われた電極群を有し、第一のガラス基板と対向する第二のガラス基板の間にガスを充填し、この電極対に電圧を印加することによって放電を発生させ、この放電からの紫外光を蛍光体に照射して可視発光を表示させる。
【０００３】
この従来のプラズマディスプレイパネルの一放電セルに相当する部分を図２０に示す。図２０において、図２０（ａ）は、従来のプラズマディスプレイパネルの一放電セルを上から見た上面図、図２０（ｂ）は、同図（ａ）の切断線Ａ−Ａ’における断面図、図２０（ｃ）は、図（ａ）の切断線Ｃ−Ｃ’における断面図である。
【０００４】
図に示すように、第１ガラス基板７１１の上の同一平面に電極対となる維持電極７１２を形成し、維持電極７１２を低融点ガラスからなる誘電体層７２４、さらに、酸化マグネシウム（以下、ＭｇＯと記載する）等からなる保護膜７１５で被覆している。
【０００５】
このとき、維持電極７１２上の誘電体層７２４の厚さはほぼ均一となる。このように維持電極７１２上の誘電体層７２４の厚さをほぼ均一な構造とした場合、誘電体層７２４を厚くすると発光効率は向上するが放電維持電圧が上昇し、逆に薄くすると放電維持電圧を低く抑えることができるが発光効率も低下していた。
【０００６】
また、これらの問題を回避する為の例として、特開２０００−１１３８２７号公報に示される２つの従来例を図２１に断面図で示す。
【０００７】
図２１（ａ）、（ｂ）のように、誘電体層８２４、９２４の実質的な厚さを放電セル内で変化させ、維持電極８１２、９１２が対向する箇所の誘電体層８２４、９２４の膜厚を最も薄くする構造も提案されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この構造のプラズマディスプレイパネルを形成するためには、誘電体層８２４、９２４の厚さをプラズマディスプレイパネル全体にわたって制御することが難しく、厚さむらが放電特性に影響し良好なプラズマディスプレイパネルを得ることが困難であった。
【０００９】
本発明の目的は、カラープラズマディスプレイの発光効率を向上させ、ひいては良好な表示品位と消費電力の低減を実現するカラープラズマディスプレイパネルとその製造方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のプラズマディスプレイパネルは、誘電体層で覆われた複数の電極対を有する第１基板と、前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に充填されたガスとを有し、放電セル内の前記電極対間に電圧を印加して前記放電セル内のガスを放電させるプラズマディスプレイパネルであって、前記電極対のうち少なくとも一つの電極が、前記誘電体層の厚さ方向で上下に分離されていると共に、互いに同電位となるように電気的に接続された下部電極及び上部電極を有し、前記上部電極の放電ギャップ側の側面が前記下部電極の放電ギャップに位置するという構成を基本構造としている。
【００１１】
上記プラズマディスプレイパネルの基本構造は、以下のように種々の適用形態を有する。
【００１２】
まず、上記のプラズマディスプレイパネルにおいて、本発明のプラズマディスプレイパネルは、前記上部電極の非放電ギャップ側の側面が前記下部電極側の非放電ギャップ側の側面より放電ギャップ側に位置し、前記電極対の一方の電極及び他方の電極は前記基板の上に相対向して併走し、前記複数の電極対は互いに離間して併走する形にそれぞれ形成され、前記上部電極は、前記誘電体層中に位置する１層以上の上部電極からなり、前記上部電極が複数のときは、それぞれの上部電極は、前記誘電体層の厚さ方向の途中の異なる位置に位置し、前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、一方の上部電極及び他方の上部電極は、それぞれの上部電極の層数が同じであり、それぞれの互いに対応する層は、前記誘電体層の厚さ方向の途中の同じ位置に相対向して形成され、前記電極対の一方の下部電極と他方の下部電極とに挟まれる領域を下部電極対向領域とするとき、前記一方の上部電極及び前記他方の上部電極は、前記下部電極対向領域の中心に関して略対称に形成されている、というものである。
【００１３】
また、上記のプラズマディスプレイパネル において、本発明のプラズマディスプレイパネルは、前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、一方の下部電極と他方の下部電極とに挟まれる領域を下部電極対向領域とし、前記上部電極において、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極のうち互いに最も近接する一方の上部電極と他方の上部電極とに挟まれる領域を上部電極対向領域とするとき、前記上部電極対向領域及び前記下部電極対向領域は、互いに一部重畳する領域を有する、という形態も採り得る。
【００１４】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルは、誘電体層で覆われた複数の電極対を有する第１基板と、前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に充填されたガスとを有し、放電セル内の前記電極対間に電圧を印加して前記放電セル内のガスを放電させるプラズマディスプレイパネルであって、前記電極対のうち少なくとも一つの電極が、前記誘電体層の厚さ方向で上下に分離されていると共に、互いに同電位となるように電気的に接続された下部電極及び上部電極を有し、前記上部電極は、前記誘電体層中に位置する１層以上の上部電極からなり、前記上部電極が複数のときは、それぞれの上部電極は、前記誘電体層の厚さ方向の途中の異なる位置に位置し、前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、一方の下部電極と他方の下部電極とに挟まれる領域を下部電極対向領域とし、前記上部電極において、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極のうち互いに最も近接する一方の上部電極と他方の上部電極とに挟まれる領域を上部電極対向領域とするとき、前記上部電極対向領域が前記下部電極対向領域と一致するか、或いは、前記上部電極対向領域が前記下部電極対向領域の内側にあるか、或いは、前記下部電極対向領域が前記上部電極対向領域の内側にあるかのいずれかであるという構成を基本構造としている。この場合、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極が共に単層であり、前記上部電極対向領域が前記下部電極対向領域の内側にあるとき、前記一方の上部電極及び前記他方の上部電極が共に前記下部電極対向領域の内側にある、或いは、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極が共に単層であるとき、前記上部電極対向領域が前記下部電極対向領域と一致するか、或いは、前記下部電極対向領域が前記上部電極対向領域の内側にある、という形態を採り得る。
【００１５】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルは、誘電体層で覆われた複数の電極対を有する第１基板と、前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に充填されたガスとを有し、放電セル内の前記電極対間に電圧を印加して前記放電セル内のガスを放電させるプラズマディスプレイパネルであって、前記電極対のうち少なくとも一つの電極が、前記誘電体層の厚さ方向で上下に分離されていると共に、互いに同電位となるように電気的に接続された下部電極及び上部電極を有し、前記上部電極は、前記誘電体層中に位置する１層以上の上部電極からなり、前記上部電極が複数のときは、それぞれの上部電極は、前記誘電体層の厚さ方向の途中の異なる位置に位置し、前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、一方の下部電極と他方の下部電極とに挟まれる領域を下部電極対向領域とし、前記上部電極において、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極のうち互いに最も近接する一方の上部電極と他方の上部電極とに挟まれる領域を上部電極対向領域とするとき、前記上部電極対向領域及び前記下部電極対向領域は、互いに一部重畳する領域を有し、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極が共に単層であるとき、前記一方の上部電極及び前記他方の上部電極のうちいずれかの上部電極が、前記下部電極対向領域の内側にあるという構成を基本構造としている。
【００１６】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルは、誘電体層で覆われた複数の電極対を有する第１基板と、前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に充填されたガスとを有し、放電セル内の前記電極対間に電圧を印加して前記放電セル内のガスを放電させるプラズマディスプレイパネルであって、前記電極対のうち少なくとも一つの電極が、前記誘電体層の厚さ方向で上下に分離されていると共に、互いに同電位となるように電気的に接続された下部電極及び上部電極を有し、前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、少なくとも一方の下部電極に対応する一方の上部電極の横に、前記一方の上部電極と同一平面上において前記他方の下部電極から遠ざかる方向に前記一方の上部電極と同電位の少なくとも一つの分割電極が設けられているという構成を基本構造としている。
【００１７】
本発明のプラズマディスプレイパネルは、前記上部電極は、その幅が前記下部電極の幅の２分の１以下である、或いは、その幅が前記下部電極の幅の５分の１以下である、また、前記上部電極は、導通用配線により前記下部電極と接続されて前記下部電極と同電位となり、前記下部電極と共に低抵抗配線により配線され、前記第２基板の上には、前記第１基板の上を併走する前記電極対と直交して併走する隔壁が形成されており、前記第１基板が、前記隔壁及び併走する複数の電極対を離間する離間領域により均等に区画される領域を放電セル領域とし、前記電極対に対応する前記上部電極の間の領域を電極対向領域とするとき、前記導通用配線が、前記電極対向領域を除く領域において、前記放電セル領域毎に形成され、前記導通用配線が、前記隔壁に対向する領域に形成され、前記低抵抗配線は、前記第１基板の上を併走する前記電極対から離れた位置で前記電極対と併走する、という形態を採る。また、上記のプラズマディスプレイパネルにおいて、本発明のプラズマディスプレイパネルは、前記上部電極は、金属、或いは、金属微粒子を主成分とする導体からなる、また、前記低抵抗配線が、前記上部電極と同じ材料により形成され、前記上部電極の膜厚は、前記下部電極の膜厚及び前記低抵抗配線の膜厚よりも薄く、前記低抵抗配線が、前記上部電極と異なる材料により形成される、又は、前記低抵抗配線が、前記下部電極と同じ基板の上、或いは、前記上部電極が位置する前記誘電体層中の厚さ方向の途中の位置と同じ位置に形成される、又は、前記低抵抗配線が、前記下部電極と同じ基板の上及び前記上部電極が位置する前記誘電体層中の厚さ方向の途中の位置と同じ位置にそれぞれ形成される、又は、前記低抵抗配線及び前記導通用配線は、同時に形成される配線である、という形態を採る。また、上記のプラズマディスプレイパネルにおいて、本発明のプラズマディスプレイパネルは、前記上部電極が単層の上部電極であるとき、前記誘電体層は、前記上部電極の下敷きとなり、かつ、前記基板の上に堆積された第１誘電体層と、前記第１誘電体層を含む前記基板を覆う第２誘電体層とを有し、前記上部電極が単層の上部電極であり、前記単層の上部電極が前記電極対にそれぞれ対応して単層の上部電極対を構成し、前記単層の上部電極対に挟まれた領域を上部電極対向領域とするとき、前記誘電体層が、少なくとも前記上部電極対向領域の下には敷かれている、という形態を採る。さらに、上記のプラズマディスプレイパネルにおいて、本発明のプラズマディスプレイパネルは、前記ガスは、蛍光体を励起する紫外光を発生させる成分としてＸｅ，Ｋｒ，Ａｒ，窒素のうち少なくとも一つの励起ガスを含み、かつ、Ｘｅ，Ｋｒ，Ａｒ，窒素のうちいずれかを前記ガスの励起ガスとするときの前記励起ガスの分圧が１００ｈＰａ以上である、という形態を採る。
【００１８】
次に、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程が、前記基板の表面に下部電極となる第１電極対を形成する工程と、前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程と、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程と、前記第１誘電体層を含む前記基板を覆って第２誘電体層を堆積させる工程とを有し、前記上部電極の放電ギャップ側の側面が前記下部電極の放電ギャップ側の側面より放電ギャップ側に位置するように、前記上部電極及び前記下部電極を形成することを基本構成としている。
【００１９】
上記プラズマディスプレイパネルの製造方法の基本構成は、種々の適用形態を有する。前記上部電極の非放電ギャップ側の側面が前記下部電極側の非放電ギャップ側の側面より放電ギャップ側に位置するように、前記上部電極及び前記下部電極を形成する。また、前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程が、前記下部電極対向領域を少なくとも覆う形に前記誘電体膜をパターニングすることにより行われる、或いは、前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程が、前記下部電極対向領域を少なくとも覆う形に前記基板の上に誘電体膜をスクリーン印刷することにより行われる、という形態を採る。また、前記第１誘電体層及び前記第２誘電体層は、共にガラス材料からなり、前記第２誘電体層のガラス材料の軟化点は、前記第１誘電体層のガラス材料の軟化点よりも低い、また、前記基板の表面に下部電極となる第１電極対を形成する工程と、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程との間に、前記第１電極の引き出し配線抵抗を下げる第１電極配線を形成する工程を有する、また、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程の後に、前記第２電極の引き出し配線抵抗を下げる第２電極配線を形成する工程を有する、また、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程の後に、前記第２電極を前記第２電極と対応する第１電極に接続する導通用配線を形成する工程を有する、という形態も可能である。
【００２０】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程が、前記基板の表面に下部電極となる第１電極対を形成する工程と、前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程と、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程と、前記第１誘電体層を含む前記基板を覆って第２誘電体層を堆積させる工程とを有し、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程の後に、前記第２電極を前記第２電極と対応する第１電極に接続する導通用配線及び前記第１電極及び前記第２電極の引き出し配線抵抗を下げる共通電極配線を同時に形成する工程を有することを基本構成としている。
【００２１】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程が、前記基板の表面に下部電極となる第１電極対を形成する工程と、前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程と、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程と、前記第１誘電体層を含む前記基板を覆って第２誘電体層を堆積させる工程とを有し、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程が、前記第２電極の形成と同時に、前記第２電極を前記第２電極と対応する第１電極に接続する導通用配線及び前記第１電極及び前記第２電極の引き出し配線抵抗を下げる共通電極配線を形成することにより行われることを基本構成としている。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明の発明の実施形態について説明する前に、本発明のプラズマディスプレイパネルの電極対及び誘電体層の実施例を図面を参照して説明しておく。
【００２３】
図２０は、既に説明したように、一般的な面放電型プラズマディスプレイの放電セルの上面図及び断面図である。図１〜５は、図２０で示した隔壁７２５を有する第２ガラス基板７２１と対向する第１ガラス基板７１１に相当する第１ガラス基板の構成を示しており、本発明の１０種類の電極対及び誘電体層の実施例の模式断面図である。
【００２４】
まず、図１（ａ）を取り上げて、簡単にその構造を説明する。
【００２５】
第１ガラス基板１１上に、まず最初に、第１ガラス基板１１の上に酸化インジウムあるいは酸化錫を主成分とするＩＴＯ等の透明導電材料などからなる下部電極１２１が相対向する形に下部電極対１２として形成される。
【００２６】
次に、第１ガラス基板１１の上には、下部電極１２１を覆って低融点ガラスなどを主成分とする下部誘電体層１３が形成され、さらに、下部誘電体層１３の上には、下部電極１２１に対応して上記の透明導電材料などからなる上部電極１２２が形成される。
【００２７】
次に、これら下部電極１２１、上部電極１２２の上方に、放電空間と接するＭｇＯ膜等の保護膜１５の表面が概ね平坦となるように低融点ガラスなどを主成分とする上部誘電体層１４を形成する。
【００２８】
このような誘電体層の形成方法により、上部電極１２２の上の上部誘電体層１４の厚さが下部電極１２１の上の誘電体層の厚さ（下部誘電体層１３と上部誘電体層１４の厚さの和）より小さくなるような構成が得られる。
【００２９】
また、図１（ａ）、（ｂ）、図２（ｂ）及び図３（ａ）、（ｂ）、図４（ｂ）では、下部電極対１２の互いに相対向する電極端よりも内側に、相対向する上部電極１２２に挟まれる領域が形成されている。図２（ａ）及び図４（ａ）では、下部電極対１２に挟まれる領域と、相対向する上部電極１２２に挟まれる領域とが一致するように形成されている。図２（ｃ）及び図４（ｃ）では、下部電極対１２に挟まれる領域が、相対向する上部電極１２２に挟まれる領域よりも内側になるように形成されている。
【００３０】
次に、本発明の上部電極の下部電極に対する相対的な位置関係を詳述する。
【００３１】
図１（ａ）では、下部電極１２１の面放電電極対の放電ギャップ側端部を含む相対向する領域に上部電極１２２が下部誘電体層１３を挟んで形成され、電極対端部での放電空間に対する誘電体層の厚さが、上部電極１２２が存在することにより上部電極１２２を覆う上部誘電体層１４の厚さとなり、上部電極対の端部から放電空間までの誘電体層の厚さを薄くする構造を実現している。
【００３２】
次に、図１（ｂ）では、下部電極１２１と上部電極１２２にほとんど重なりがないように形成されている。即ち、上部電極の相対向する側の側面と反対の上部電極の側面が、下部電極の相対向する側面位置と平面上ほぼ一致する。
【００３３】
図２（ａ）では、下部電極１２１の相対向する側面位置と上部電極１２２の相対向する側面位置とが平面上完全に重なり、それぞれの面放電電極対の放電ギャップ側端部がほぼ平面上一致するように形成されている。
【００３４】
図２（ｂ）では、上部電極１２２の全てが平面上、下部電極１２１の相対向する側面の内側に位置するように形成されている。
【００３５】
図２（ｃ）では、下部電極１２１の相対向する側面に挟まれた領域が、平面上、上部電極１２２の相対向する側面に挟まれた領域の内側に位置するように形成されている。
【００３６】
図３、４の例では、下部誘電体層１３は下部電極１２１の相対向する側面に挟まれた領域を少なくとも覆うように、第１ガラス基板１１上に部分的に形成されている点が、図１、２の例と異なっており、上部電極１２２は、下部誘電体層１３の上にあって、下部誘電体層１３により下部電極１２１と分離された形に形成される。
【００３７】
また、本発明の電極対及び誘電体層の実施例は、図１〜４に示される構造に限定されることなく、図５（ａ）に示すように、上部電極対向領域１７及び下部電極対向領域１６が互いに一部重畳する構成、また、図５（ｂ）に示すように、上部電極対向領域１７が下部電極対向領域１６の内側に在って、しかも、上部電極対向領域１７の上部電極対向領域中心線１１７が下部電極対向領域１６の下部電極対向領域中心線１１６と一致しない非対称形の構成もその適用形態として考えられる。
【００３８】
つまり、本発明によるプラズマディスプレイパネルの構造は、同一基板上の面放電電極対間放電の発生し易さに影響する誘電体層の厚さを最適に設計することが可能であり、特に大きく影響する相対向する電極端部周辺の放電空間での電界強度を大きく保ったまま、面放電での電流密度を抑えることが可能であり、放電を維持するための電圧を低くすることと、高い発光効率を両立させることができ、ひいては表示品位を向上させることができるものである。
【００３９】
上記本発明構造の効果は、以下の知見に基づいている。即ち、
（１）面放電電極上の誘電体層を厚くすると電流密度が制限され発光効率が向上すること、
（２）面放電電極上の誘電体層を厚くすると放電を維持するための電圧が上昇し、駆動が困難になること、
（３）ＨｅやＮｅなど希ガスを主成分とする放電ガスを用いる場合、蛍光体を励起するのに利用する紫外光を発生するガス種の組成比が増加すると発光効率が向上すること、
（４）ＨｅやＮｅなど希ガスを主成分とする放電ガスを用いる場合、蛍光体を励起するのに利用する紫外光を発生するガス種の組成比が増加すると放電を維持するための電圧が上昇し、駆動が困難になること、
（５）面放電電極上の一部の誘電体層の厚さが薄いこと、特に相対向する部位上の誘電体層の厚さが薄ければ、他の部位の誘電体層が厚くても、あるいは紫外光を発生するガス種の組成比が高くても、放電を維持するための電圧を実用的な範囲に抑制することができること、
等の知見である。
【００４０】
以上説明した本発明の種々の電極対及び誘電体層の実施例は、その特徴を模式的な構造断面図で示しているが、以上の電極対及び誘電体層の実施例を以下に説明する具体的な実施形態のすべての実施形態に適用することができる。即ち、以下の第１から第６の実施形態において、誘電体層の構造を除いた電極対の構成は、上記に述べた図１（ａ）、或いは、図３（ａ）の構成を主体として説明しているが、図１（ｂ）、図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、図５（ａ）、（ｂ）に示される６種類の構成をそれぞれの実施形態において適用できることは言うまでもない。
【００４１】
図６〜１７は、本発明の実施形態の更に詳しい、即ち、構造断面図だけではなく、その上面図も加えた形で実施形態を説明するための図である。
【００４２】
また、本発明の実施形態においては、下部電極及び上部電極が共に低抵抗化配線及び導通用配線により引き出される構造を示しているが、本発明は、低抵抗化配線及び導通用配線がなく、下部電極及び上部電極が共にパネル端部で電気的に接続される形態も、これらの実施形態の変形例として含むことは言うまでもないことである。
【００４３】
まず、本発明の第１の実施形態を図６及び図７を用いて説明する。本発明の構造を説明する図６〜１７の各図において、偶数図番と、次の奇数図番は、ペアでそれぞれの実施形態の特徴を示すものであり、それぞれの実施形態において、（ａ）は上面図、（ｂ）は上面図（ａ）のそれぞれ切断線Ａ−Ａ’、Ｂ−Ｂ’での断面図であり、それぞれの実施形態の相違が明確になるようになっている。
【００４４】
図６（ａ）は、第１ガラス基板の上面図であるが、第１ガラス基板上の素子のレイアウトを明確にするために、第２ガラス基板の隔壁領域３１を同じ紙面に一点鎖線で示している。従って、第２ガラス基板隔壁領域３１は、特に奇数図番の（ｂ）の断面図においては図示を省略している。この図においては、切断線Ａ−Ａ’は、併行する第２ガラス基板隔壁領域３１の間を第２ガラス基板隔壁領域３１に平行して走っている。
【００４５】
まず、図６（ｂ）に示すように、第１ガラス基板１１の上に下部電極１２１、概ね平坦面に形成された下部電極１２１の一辺上に第１低抵抗化配線２２１が形成される。この第１低抵抗化配線２２１は、下部電極１２１の引き出し配線抵抗を下げるための配線であり、アルミニウム、銅、クロム、銀などを少なくとも含む金属材料の薄膜、あるいはこれらの金属微粒子、あるいは金属微粒子と低融点ガラスの混合物を焼成したもの等の低抵抗材料により構成される。
【００４６】
次に、下部電極１２１及びその上の第１低抵抗化配線２２１を全て覆うように下部誘電体層１３が形成され、さらに、下部誘電体層１３の上には、相対向する下部電極１２１に対応して上部電極１２２が形成され、これら電極上に、放電空間と接するＭｇＯ膜等の保護膜１５の表面が概ね平坦となるように上部誘電体層１４が形成されている。
【００４７】
また、上部電極１２２と同一の平面上には、上記低抵抗材料からなる第２低抵抗化配線２２２が形成されている。
【００４８】
次に、図７（ａ）は、図６（ａ）と同じ第１ガラス基板の上面図であるが、切断線Ｂ−Ｂ’は、第２ガラス基板隔壁領域３１の中心を第２ガラス基板隔壁領域３１に平行して走っている。
【００４９】
図７（ｂ）は、上部電極１２２と同一平面上に形成された第２低抵抗化配線２２２が、上部電極１２２と接続する様子を示している。この図においては、上部電極１２２は、上記低抵抗材料により構成される導通用配線２２３を通して第２低抵抗化配線２２２と接続するが、この例では、導通用配線２２３が第２低抵抗化配線２２２と同じ材料で形成される場合を示している。勿論、導通用配線２２３が、第２低抵抗化配線２２２と異なる材料で形成される場合も本実施形態の変形例として考えられることは言うまでもない。また、導通用配線２２３と上部電極１２２が同一材料であっても良い。
【００５０】
また、図６、７（ａ）において破線で囲んだ領域は、プラズマディスプレイパネルにおける一つの放電セル１００を示し、上述した第２低抵抗化配線２２２及び導通用配線２２３が、全ての放電セル１００において同様に形成されていることを示している。
【００５１】
この実施形態においては、第１低抵抗化配線２２１及び第２低抵抗化配線２２２は、第１ガラス基板１１の上を下部電極１２１及び上部電極１２２と平行して走査するが、パネルの端部において接続され同電位となる。
【００５２】
以上のような構造及び製造方法により、上部電極１２２の上の誘電体層の厚さムラは、プラズマディスプレイパネルの実用的な表示が可能となるという意味において、無視することができた。これは、本発明の２層電極の構造及び製造方法が、上部電極１２２の幅をパネル全体に均一に形成することを可能とするためである。
【００５３】
次に、本発明の第２の実施形態を図８及び図９を用いて説明する。
【００５４】
図８、９では、下部電極１２１の相対向する領域を少なくとも覆うようにして下部誘電体層２３を第１ガラス基板１１の上に部分的に形成し、下部誘電体層２３の上に下部電極１２１に対応するように上部電極１２２を形成する。上部電極１２２及び下部電極１２１を接続し、かつ、両電極からの引き出し配線抵抗を下げるために、低抵抗配線材料からなる低抵抗化配線２２０が形成されている。
【００５５】
図９（ｂ）に、上部電極１２２が導通用配線２２３を通して低抵抗化配線２２０により引き出され、下部電極１２１と導通されている様子が示されている。第１の実施形態と同様、導通用配線２２３が低抵抗化配線２２０と同じ材料で形成される場合を示しているが、導通用配線２２３が、低抵抗化配線２２０と異なる材料で形成される場合も本実施形態の変形例として考えられることは言うまでもない。また、導通用配線２２３と上部電極１２２が同一材料であっても良い。
【００５６】
このような下部誘電体層２３をこのような構造とすることにより、導通用配線２２３が、下部電極１２１と上部電極１２２とを近接した領域で接続することになり、第１の実施形態に比べて、下部電極１２１と上部電極１２２との電位差を小さくできるという効果がある。さらに、低抵抗化配線を下部電極及び上部電極に対して一括して形成しているので、第１の実施形態に比べて、製造工程が少なくて済み、製造コストの低コスト化が図れ、工程数短縮による高信頼化も図れるという効果も有している。
【００５７】
次に、本発明の第３の実施形態を図１０及び図１１を用いて説明する。
【００５８】
図１０の構成は、第２の実施形態と概略同じ構成であるが、図１１の（ｂ）を見ると、上部電極１２２が低抵抗配線材料と同一の材料の低抵抗化配線３２０で構成されており、この点において、第２の実施形態と異なっていることがわかる。従って、上部電極を形成する製造工程を省略することができ、製造工程の簡略化を図ることができる。
【００５９】
次に、本発明の第４の実施形態を図１２及び図１３を用いて説明する。
【００６０】
本実施形態では、下部電極１２１は、低抵抗化配線４２０から離れて形成され、図１３（ｂ）に示すように、第２ガラス基板隔壁領域３１に対応する領域で、導通用配線４２３によって上部電極１２２及び低抵抗化配線４２０と接続される。この実施形態においても、導通用配線４２３が低抵抗化配線４２０と同時に形成される場合を示しているが、低抵抗化配線４２０と異なる工程で形成されても良い。また、この実施形態においては、導通用配線２２３と上部電極１２２が同一材料であっても良く、また、上部電極１２２、導通用配線４２３、低抵抗化配線４２０が一体化していても良い。
【００６１】
次に、本発明の第５の実施形態を図１４及び図１５を用いて説明する。
【００６２】
本実施形態では、下部電極１２１を覆って形成された下部誘電体層２３の上に、上部電極が複数に分離されて形成される場合を示し、上部電極が第１上部電極５２２及びその横の第２上部電極５３２により構成される様子を示している。本実施形態では、第１上部電極５２２及び第２上部電極５３２が、同じ工程で同じ材料で形成される場合を示したが、第１上部電極５２２及び第２上部電極５３２がそれぞれ別の工程で異なる材料で形成されても良い。また、上部電極が３つ以上に分離されて形成されていても良い。
【００６３】
次に、本発明の第６の実施形態を図１６及び図１７を用いて説明する。
【００６４】
本実施形態では、下部電極１２１をまず第１ガラス基板上に部分的に形成された下部誘電体層２３で覆い、続いて、下部誘電体層２３の上に第１上部電極６２２を下部電極１２１に対応して形成し、さらに、中間誘電体層６２４を、少なくとも下部電極１２１の相対向する領域を覆うように、下部誘電体層２３の上に形成する。この場合、中間誘電体層６２４の形状は、少なくとも下部電極１２１の相対向する領域を覆っていれば良く、図１６（ｂ）に示す断面図の形状よりも横方向に伸びた形で、低抵抗化配線６２０を覆うまで伸びていても差し支えない。
【００６５】
この後、中間誘電体層６２４の上に第２上部電極６３２を下部電極１２１に対応して形成する。最後に、上部誘電体層２４により第１ガラス基板１１全体を覆う。
【００６６】
図１７は、第１上部電極６２２及び第２上部電極６３２が、導通用配線６２３により互いに接続され、さらに、低抵抗化配線６２０にも接続される様子を示している。また、この実施形態においては、導通用配線２２３と上部電極１２２が同一材料であっても良く、また、上部電極１２２、導通用配線４２３、低抵抗化配線４２０が一体化していても良い。
【００６７】
この実施形態においては、第１上部電極６２２及び第２上部電極６３２がそれぞれ電極対として対称に形成され、しかも、相対向する下部電極１２１に挟まれた領域の中心線に対しても対称となるように形成されているが、本発明は、このような形態に限定されるものではなく、第１上部電極６２２及び第２上部電極６３２がそれぞれ電極対として対称ではない場合、或いは、第１上部電極６２２及び第２上部電極６３２がそれぞれ電極対として同一平面上にない場合、第１上部電極６２２及び第２上部電極６３２以外にさらに誘電体層中の異なる平面上に別の上部電極を有する場合等も、本実施形態の変形例として考えられる。
【００６８】
また、第１上部電極６２２及び第２上部電極６３２がそれぞれ電極対として同一平面上になく、第１上部電極６２２及び第２上部電極６３２以外にさらに誘電体層中の異なる平面上に別の上部電極を有する場合ない場合等の特殊な形態においては、これらの上部電極のうち最も近接する上部電極対が面放電の主体となることになり、誘電体層が少なくともこの上部電極対の上を覆う形に形成される構成となる。
【００６９】
次に、本発明のプラズマディスプレイの製造方法について図１８、１９を参照して説明する。図１８、１９は、本発明のプラズマディスプレイの製造方法の実施形態の一例を示す断面図である。
【００７０】
まず、平坦な第１ガラス基板１１に下部電極１２１を所望の形状に形成し（図１８（ａ））、その上に所望の形状に誘電体層材料ペーストを配置し、焼成することによって下部電極１２１と上部電極１２２とを分離する下部誘電体層２３とし（図１８（ｂ））、下部誘電体層２３の上に上部電極１２２を下部電極１２１に対応して形成し（図１８（ｃ））、この下部誘電体層２３の上に上部電極１２２及び下部電極１２１を接続し、且つ、上部電極１２２及び下部電極１２１の引き出し配線の抵抗値を下げるための低抵抗配線材料からなる低抵抗化配線２２０を形成し（図１９（ａ））、第１ガラス基板１１全体を覆うように上部誘電体層２４を概ね平坦に形成（図１９（ｂ））した後、ＭｇＯ膜等の保護膜１５を形成する（図１９（ｃ））ことにより、第１ガラス基板１１側の構成を完成させており、本発明のプラズマディスプレイの構造を容易に作製することができる。
【００７１】
次に、上記本発明のプラズマディスプレイの製造方法について、図８、９の例を中心に、さらに詳細に説明する。
【００７２】
まず、第１ガラス基板１１の上に可視光を透過する望ましくは透明な導体により下部電極１２１を形成し（図１８（ａ））、この下部電極１２１の少なくとも面放電電極対の放電ギャップ側端部１２５により挟まれる領域を覆うように低融点ガラスを主成分とする誘電体ペーストをスクリーン印刷法により塗布し、焼成することによって下部誘電体層１３を形成した（図１８（ｂ））。この下部誘電体層１３をより高い位置精度で形成するには、厚膜感光フィルムをパターニングし、その開口部に下部誘電体層材料を埋め込んで形成する方法、あるいは感光性誘電体層材料を直接露光現像してパターニングする方法を用いることができた。
【００７３】
次に、第１ガラス基板１１全面に感光性材料を形成し、下部誘電体層１３上の上部電極１２２を形成する領域の感光性材料を除去するように露光現像処理し、リフトオフ法によって透明導電材料からなる上部電極１２２を形成した（図１８（ｃ））。上部電極１２２は、金属あるいは金属微粒子からなる導体材料であってもよく、これらを全面に薄膜形成あるいは塗布した後、露光現像処理により所望の形状の上部電極１２２を得ることも可能である。また、スクリーン印刷法などパターン化された所望の形状に形成することも可能である。
【００７４】
次に、下部電極１２１及び上部電極１２２の引き出し配線抵抗を低抵抗化するために、アルミニウム、銅、クロム、銀などを少なくとも含む金属材料の薄膜、あるいはこれらの金属微粒子、あるいは金属微粒子と低融点ガラスの混合物を焼成したもの等の低抵抗材料からなる導通用配線２２３を、図８、９に示した放電セル１００の周辺部、望ましくは、第２ガラス基板隔壁領域３１と重なるかその幅より小さくなるように、下部電極１２１と上部電極１２２とを接続すべく形成する。
【００７５】
この製造方法においては、導通用配線２２３は、低抵抗化配線２２０と同時に形成される場合を例としており、低抵抗化配線２２０は、面放電電極対の放電ギャップ側端部１２５とは反対側の放電セル端部に下部電極１２１と並置されるように形成される（図１９（ａ））。
【００７６】
次に、放電セル１００全体を覆うように低融点ガラスを主成分とする誘電体ペーストをスクリーン印刷法により塗布し、焼成することによって上部誘電体層２４を形成した（図１９（ｂ））。
【００７７】
この上部誘電体層２４は下部誘電体層２３より焼成温度と軟化点が低いほうが望ましい。更に、この上部誘電体層２４は焼成処理により下部誘電体層２３などによる基板上の凹凸を吸収し、平坦化されることが望ましい。
【００７８】
最後に、上部誘電体層２４上にＭｇＯ膜等の保護膜１５を形成し、プラズマディスプレイパネルの第１ガラス基板１１側の素子を完成させた（図１９（ｃ））。
【００７９】
第２ガラス基板７２１の方の構成は、図２０に示す従来のプラズマディスプレイパネルの製造方法と同じである。
【００８０】
即ち、第２ガラス基板７２１に、放電を発生する単位となる表示セルを分離するように隔壁７２５を形成し、第１ガラス基板上を走査する１つの維持電極７１２の対と互いに直交し、表示セルの放電を制御する選択電極７４２を形成する。各表示セルには、ＲＧＢ３原色の発光色を示すように、各表示色の表示セルの隔壁７２５に囲まれたセル内面に蛍光体７４４を塗布し焼成する。
【００８１】
最後に、第２ガラス基板７２１と第１ガラス基板１１とを向かい合わせて張り合わせて封着し、真空排気したのち基板間に形成される放電空間にキセノンなど蛍光体を励起する紫外光を発生するガスを混合した放電ガスを充填し、カラープラズマディスプレイパネルとした。
【００８２】
図２０は、本発明のプラズマディスプレイパネルの効果を実証するための比較用に作製した従来のプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【００８３】
第１ガラス基板７１１に蛍光体を励起するための紫外光を発生する主要な放電を維持するための維持電極７１２を電極対の形状に形成し、その上に誘電体層７２４及び放電空間と接する領域にＭｇＯ膜等の保護膜７１５を形成した。
【００８４】
一方、第２ガラス基板７２１には、放電を発生する単位となる表示セルを分離するように隔壁７２５を形成し、第１ガラス基板上を走査する１つの維持電極７１２の対と互いに直交し表示セルの放電を制御する選択電極７４２を形成する。
各表示セルは、ＲＧＢ３原色の発光色を示すように、各表示色の表示セルの隔壁７２５に囲まれたセル内面に蛍光体７４４を塗布し焼成する。
【００８５】
最後に、第２ガラス基板７２１を第１ガラス基板７１１と向かい合わせて張り合わせて封着し、真空排気したのち基板間に形成される放電空間にキセノンなど蛍光体を励起する紫外光を発生するガスを混合した放電ガスを充填し、カラープラズマディスプレイパネルとした。
【００８６】
本発明の第２の実施形態を示す図８、９において、放電対の電極を２層とした時、下部誘電体層２３の厚さを１０μｍから５０μｍまで変化させ、また、上部誘電体層２４の厚さも１０μｍから５０μｍまで変化させた。
【００８７】
下部誘電体層２３及び上部誘電体層２４の膜厚をこのように変化させたときの第１の実施形態のプラズマディスプレイパネルと、維持電極７２１上の誘電体層と厚さが、第１の実施形態の下部誘電体層２３と上部誘電体層２４との厚さの合計値と等しくなるような誘電体層７２４を持つ従来型構造のプラズマディスプレイパネルと特性を比較した。
【００８８】
図２２は、上下誘電体層の厚さが等しい場合、上下誘電体層の厚さの和と等しい厚さの誘電体層を有する従来型構造パネルとの発光効率を１．０とし、下部電極１２１及び上部電極１２２の合計面積のうちに上部電極１２２が占める面積比率ｒを変化させて、本発明のプラズマディスプレイパネルの発光効率を比較した結果である。
【００８９】
上部電極の面積比率が大きい場合、結果的に誘電体層の厚さが薄い場合と同様なため、従来型のパネルに比べて発光効率が低下する。しかし、面積比率が０．５以下になると発光効率が従来がより大きくなり、特に０．２以下では著しい発光効率改善効果が認められた。
【００９０】
同様な評価を種々の放電ガス組成を用いて実験したところ、蛍光体を励起する紫外線の主な発生源となるＸｅ、Ｋｒ、ＡｒあるいはＮ2の分圧が１００ｈＰａ以上の時、望ましくは３００ｈＰａ以上の時、本発明の構成による発光効率改善効果がより顕著であった。
【００９１】
また、従来型では１００ｈＰａ以上の分圧のＸｅ、Ｋｒ、ＡｒあるいはＮ2を有する放電ガスを用いた場合、放電開始電圧が著しく上昇するだけではなく、放電に不安定性が生じ、安定な表示放電の維持が困難であった。しかし、本発明の構成ではこれらの電圧上昇と放電不安定性を実用的な範囲で抑制することが可能であった。
【００９２】
第２の実施形態では、下部誘電体層２３が下部電極１２１上の一部に形成されている場合であるが、下部誘電体層１３を放電セル内全面に形成し、低抵抗化のための配線も２層にし、表示領域外でこれらを接続する第１の実施形態（図６、７）の構成にしても同様な効果が認められた。
【００９３】
また、上部電極１２２の幅を１００μｍ以下、望ましくは、５０μｍ以下の金属あるいは金属微粒子からなる導体により構成しても同様な効果が認められた。
【００９４】
更に、上部電極と低抵抗化のための配線を同一の材料を用い、同時に形成しても同様な効果及び製造工程の簡易化が図れた。
【００９５】
また、図２１に示す従来例では誘電体層の厚さにばらつきが生じたのに対し、本発明の構成では、誘電体層の厚さムラは実用的な表示可能な範囲で無視することができた。これは本発明の構成が、上部電極幅をパネル全体に均一に形成することが可能且つ容易なためである。
【００９６】
以上、本発明の実施形態を主な放電を発生する面放電電極を用いて説明したが、本発明の効果は概ね同一平面上に形成される電極対について得られることである。例えば、電極対が形成される面の高さが異なっていても、電極幅が異なっていても、誘電体層の薄い領域が非対称であっても本発明の効果が見られるのは明らかである。
【００９７】
最後に、本発明のプラズマディスプレイパネルは、単層電極が対向することにより得られる面放電電極対ではなく、複数の層からなる電極が対向することにより得られる面放電電極対を形成し、上層に位置する電極の上の誘電体層の膜厚を薄くすることにより発光効率を高くしているのであり、以上に述べてきた実施形態及びその変形例により、複数の層からなる電極が対向することにより得られる面放電電極対のあらゆる構造を網羅するものである。
【００９８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のプラズマディスプレイパネルは、複数の層からなる電極が対向することにより得られる面放電電極対を形成し、上層に位置する電極の上の誘電体層の膜厚を薄くすることにより、低い放電維持電圧を保ち、且つ、高い発光効率を得ることが可能となり、ひいては表示品位を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電極対及び誘電体層の実施例の模式断面図である。
【図２】本発明の電極対及び誘電体層の実施例の模式断面図である。
【図３】本発明の電極対及び誘電体層の実施例の模式断面図である。
【図４】本発明の電極対及び誘電体層の実施例の模式断面図である。
【図５】本発明の電極対及び誘電体層の実施例の模式断面図である。
【図６】本発明の第１の実施形態の上面図及び断面図である。
【図７】本発明の第１の実施形態の上面図及び図６とは異なる領域の断面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態の上面図及び断面図である。
【図９】本発明の第２の実施形態の上面図及び図８とは異なる領域の断面図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態の上面図及び断面図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態の上面図及び図１０とは異なる領域の断面図である。
【図１２】本発明の第４の実施形態の上面図及び断面図である。
【図１３】本発明の第４の実施形態の上面図及び図１２とは異なる領域の断面図である。
【図１４】本発明の第５の実施形態の上面図及び断面図である。
【図１５】本発明の第５の実施形態の上面図及び図１４とは異なる領域の断面図である。
【図１６】本発明の第６の実施形態の上面図及び断面図である。
【図１７】本発明の第６の実施形態の上面図及び図１６とは異なる領域の断面図である。
【図１８】本発明の実施形態の製造方法を、第２の実施形態を取り上げて説明する製造工程順の断面図である。
【図１９】図１８に続く製造工程を示す断面図である。
【図２０】従来のプラズマディスプレイパネルによる放電セルの上面図及び断面図である。
【図２１】プラズマディスプレイパネルの別の従来例による放電セルを示す断面図である。
【図２２】本発明の効果を説明するためのグラフである。
【符号の説明】
１１、７１１、８１１、９１１ 第１ガラス基板
１２ 電極対
１３、２３ 下部誘電体層
１４、２４ 上部誘電体層
１５、７１５、８１５、９１５ 保護膜
１６ 下部電極対向領域
１７ 上部電極対向領域
３１、７３１ 第２ガラス基板隔壁領域
１００、７００ 放電セル
１１６ 下部電極対向領域中心線
１１７ 上部電極対向領域中心線
１２１ 下部電極
１２２ 上部電極
１２５ 放電ギャップ側端部
２２０、３２０、４２０、５２０、６２０ 低抵抗化配線
２２１ 第１低抵抗化配線
２２２ 第２低抵抗化配線
２２３、４２３、５２３、６２３ 導通用配線
５２２、６２２ 第１上部電極
５３２、６３２ 第２上部電極
６２４ 中間誘電体層
７１２、８１２、９１２ 維持電極
７２１ 第２ガラス基板
７２４、７４３、８２４、９２４ 誘電体層
７２５ 隔壁
７４２ 選択電極
７４４ 蛍光体
Claims (41)
- 誘電体層で覆われた複数の電極対を有する第１基板と、前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に充填されたガスとを有し、放電セル内の前記電極対間に電圧を印加して前記放電セル内のガスを放電させるプラズマディスプレイパネルであって、前記電極対のうち少なくとも一つの電極が、前記誘電体層の厚さ方向で上下に分離されていると共に、互いに同電位となるように電気的に接続された下部電極及び上部電極を有し、前記上部電極の放電ギャップ側の側面が前記下部電極の放電ギャップに位置することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
- 前記上部電極の非放電ギャップ側の側面が前記下部電極側の非放電ギャップ側の側面より放電ギャップ側に位置することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記電極対の一方の電極及び他方の電極は前記基板の上に相対向して併走し、前記複数の電極対は互いに離間して併走する形にそれぞれ形成される請求項１又は２記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記上部電極は、前記誘電体層中に位置する１層以上の上部電極からなり、前記上部電極が複数のときは、それぞれの上部電極は、前記誘電体層の厚さ方向の途中の異なる位置に位置する請求項１乃至３の何れか一項に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、一方の上部電極及び他方の上部電極は、それぞれの上部電極の層数が同じであり、それぞれの互いに対応する層は、前記誘電体層の厚さ方向の途中の同じ位置に相対向して形成される請求項１乃至４の何れか一項に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記電極対の一方の下部電極と他方の下部電極とに挟まれる領域を下部電極対向領域とするとき、前記一方の上部電極及び前記他方の上部電極は、前記下部電極対向領域の中心に関して略対称に形成される請求項５記載のプラズマディスプレイパネル。
- 誘電体層で覆われた複数の電極対を有する第１基板と、前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に充填されたガスとを有し、放電セル内の前記電極対間に電圧を印加して前記放電セル内のガスを放電させるプラズマディスプレイパネルであって、前記電極対のうち少なくとも一つの電極が、前記誘電体層の厚さ方向で上下に分離されていると共に、互いに同電位となるように電気的に接続された下部電極及び上部電極を有し、前記上部電極は、前記誘電体層中に位置する１層以上の上部電極からなり、前記上部電極が複数のときは、それぞれの上部電極は、前記誘電体層の厚さ方向の途中の異なる位置に位置し、前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、一方の下部電極と他方の下部電極とに挟まれる領域を下部電極対向領域とし、前記上部電極において、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極のうち互いに最も近接する一方の上部電極と他方の上部電極とに挟まれる領域を上部電極対向領域とするとき、前記上部電極対向領域が前記下部電極対向領域と一致するか、或いは、前記上部電極対向領域が前記下部電極対向領域の内側にあるか、或いは、前記下部電極対向領域が前記上部電極対向領域の内側にあるかのいずれかであることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
- 前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極が共に単層であり、前記上部電極対向領域が前記下部電極対向領域の内側にあるとき、前記一方の上部電極及び前記他方の上部電極が共に前記下部電極対向領域の内側にある請求項７記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極が共に単層であるとき、前記上部電極対向領域が前記下部電極対向領域と一致するか、或いは、前記下部電極対向領域が前記上部電極対向領域の内側にある請求項７記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、一方の下部電極と他方の下部電極とに挟まれる領域を下部電極対向領域とし、前記上部電極において、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極のうち互いに最も近接する一方の上部電極と他方の上部電極とに挟まれる領域を上部電極対向領域とするとき、前記上部電極対向領域及び前記下部電極対向領域は、互いに一部重畳する領域を有する請求項４又は５記載のプラズマディスプレイパネル。
- 誘電体層で覆われた複数の電極対を有する第１基板と、前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に充填されたガスとを有し、放電セル内の前記電極対間に電圧を印加して前記放電セル内のガスを放電させるプラズマディスプレイパネルであって、前記電極対のうち少なくとも一つの電極が、前記誘電体層の厚さ方向で上下に分離されていると共に、互いに同電位となるように電気的に接続された下部電極及び上部電極を有し、前記上部電極は、前記誘電体層中に位置する１層以上の上部電極からなり、前記上部電極が複数のときは、それぞれの上部電極は、前記誘電体層の厚さ方向の途中の異なる位置に位置し、前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、一方の下部電極と他方の下部電極とに挟まれる領域を下部電極対向領域とし、前記上部電極において、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極のうち互いに最も近接する一方の上部電極と他方の上部電極とに挟まれる領域を上部電極対向領域とするとき、前記上部電極対向領域及び前記下部電極対向領域は、互いに一部重畳する領域を有し、前記電極対の一方の上部電極及び他方の上部電極が共に単層であるとき、前記一方の上部電極及び前記他方の上部電極のうちいずれかの上部電極が、前記下部電極対向領域の内側にあることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
- 誘電体層で覆われた複数の電極対を有する第１基板と、前記第１基板と対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に充填されたガスとを有し、放電セル内の前記電極対間に電圧を印加して前記放電セル内のガスを放電させるプラズマディスプレイパネルであって、前記電極対のうち少なくとも一つの電極が、前記誘電体層の厚さ方向で上下に分離されていると共に、互いに同電位となるように電気的に接続された下部電極及び上部電極を有し、前記電極対の両方が前記上部電極及び下部電極を有し、少なくとも一方の下部電極に対応する一方の上部電極の横に、前記一方の上部電極と同一平面上において前記他方の下部電極から遠ざかる方向に前記一方の上部電極と同電位の少なくとも一つの分割電極が設けられていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
- 前記上部電極は、その幅が前記下部電極の幅の２分の１以下である請求項１乃至１２のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記上部電極は、その幅が前記下部電極の幅の５分の１以下である請求項１乃至１２のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記上部電極は、導通用配線により前記下部電極と接続されて前記下部電極と同電位となり、前記下部電極と共に低抵抗配線により配線される請求項１乃至１４のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記第２基板の上には、前記第１基板の上を併走する前記電極対と直交して併走する隔壁が形成されており、前記第１基板が、前記隔壁及び併走する複数の電極対を離間する離 間領域により均等に区画される領域を放電セル領域とし、前記電極対に対応する前記上部電極の間の領域を電極対向領域とするとき、前記導通用配線が、前記電極対向領域を除く領域において、前記放電セル領域毎に形成される請求項１５記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記導通用配線が、前記隔壁に対向する領域に形成される請求項１６記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記低抵抗配線は、前記第１基板の上を併走する前記電極対から離れた位置で前記電極対と併走する請求項１５、１６又は１７記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記上部電極は、金属、或いは、金属微粒子を主成分とする導体からなる請求項１乃至１８のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記低抵抗配線が、前記上部電極と同じ材料により形成される請求項１５、１６、１７又は１８記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記上部電極の膜厚は、前記下部電極の膜厚及び前記低抵抗配線の膜厚よりも薄い請求項２０記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記低抵抗配線が、前記上部電極と異なる材料により形成される請求項１５、１６、１７又は１８記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記低抵抗配線が、前記下部電極と同じ基板の上、或いは、前記上部電極が位置する前記誘電体層中の厚さ方向の途中の位置と同じ位置に形成される請求項１５乃至１８又は２０乃至２２のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記低抵抗配線が、前記下部電極と同じ基板の上及び前記上部電極が位置する前記誘電体層中の厚さ方向の途中の位置と同じ位置にそれぞれ形成される請求項１５乃至１８又は２０乃至２２のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記低抵抗配線及び前記導通用配線は、同時に形成される配線である請求項１５乃至１８又は２０乃至２４のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記上部電極が単層の上部電極であるとき、前記誘電体層は、前記上部電極の下敷きとなり、かつ、前記基板の上に堆積された第１誘電体層と、前記第１誘電体層を含む前記基板を覆う第２誘電体層とを有する請求項１乃至２５のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記上部電極が単層の上部電極であり、前記単層の上部電極が前記電極対にそれぞれ対応して単層の上部電極対を構成し、前記単層の上部電極対に挟まれた領域を上部電極対向領域とするとき、前記誘電体層が、少なくとも前記上部電極対向領域の下には敷かれている請求項２６記載のプラズマディスプレイパネル。
- 前記ガスは、蛍光体を励起する紫外光を発生させる成分としてＸｅ，Ｋｒ，Ａｒ，窒素のうち少なくとも一つの励起ガスを含み、かつ、Ｘｅ，Ｋｒ，Ａｒ，窒素のうちいずれかを前記ガスの励起ガスとするときの前記励起ガスの分圧が１００ｈＰａ以上である請求項１乃至２７のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル。
- 基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの 間に複数の電極対を形成する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程が、前記基板の表面に下部電極となる第１電極対を形成する工程と、前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程と、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程と、前記第１誘電体層を含む前記基板を覆って第２誘電体層を堆積させる工程とを有し、前記上部電極の放電ギャップ側の側面が前記下部電極の放電ギャップ側の側面より放電ギャップ側に位置するように、前記上部電極及び前記下部電極を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記上部電極の非放電ギャップ側の側面が前記下部電極側の非放電ギャップ側の側面より放電ギャップ側に位置するように、前記上部電極及び前記下部電極を形成することを特徴とする請求項２９記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程が、前記下部電極対向領域を少なくとも覆う形に前記誘電体膜をパターニングすることにより行われる請求項２９又は３０記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程が、前記下部電極対向領域を少なくとも覆う形に前記基板の上に誘電体膜をスクリーン印刷することにより行われる請求項２９又は３０記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記第１誘電体層及び前記第２誘電体層は、共にガラス材料からなり、前記第２誘電体層のガラス材料の軟化点は、前記第１誘電体層のガラス材料の軟化点よりも低い請求項２９、３０、３１又は３２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記基板の表面に下部電極となる第１電極対を形成する工程と、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程との間に、前記第１電極の引き出し配線抵抗を下げる第１電極配線を形成する工程を有する請求項２９、３０、３１、３２又は３３記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程の後に、前記第２電極の引き出し配線抵抗を下げる第２電極配線を形成する工程を有する請求項２９、３０、３１、３２、３３又は３４記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程の後に、前記第２電極を前記第２電極と対応する第１電極に接続する導通用配線を形成する工程を有する請求項２９、３０、３１、３２又は３３記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程が、前記基板の表面に下部電極となる第１電極対を形成する工程と、前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程と、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程と、前記第１誘電体層を含む前記基板を覆って第２誘電体層を堆積させる工程とを有し、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程の後に、前記第２電極を前記第２電極と対応する第１電極に接続する導通用配線及び前記第１電極及び前記第２電極の引き出し配線抵抗を下げる共通電極配線を同時に形成する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程が、前記第２電極の形成と同時に、前記第２電極を前記第２電極と対応する第１電極に接続する導通用配線を形成することにより行われる請求項２９、３０、３１、３２又は３３記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記基板の表面を覆う誘電体層を形成して、前記基板の表面から前記誘電体層の表面までの間に複数の電極対を形成する工程が、前記基板の表面に下部電極となる第１電極対を形成する工程と、前記第１電極対が挟む下部電極対向領域を少なくとも覆う第１誘電体層を形成する工程と、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程と、前記第１誘電体層を含む前記基板を覆って第２誘電体層を堆積させる工程とを有し、前記第１誘電体層の上に上部電極を構成する第２電極を形成する工程が、前記第２電極の形成と同時に、前記第２電極を前記第２電極と対応する第１電極に接続する導通用配線及び前記第１電極及び前記第２電極の引き出し配線抵抗を下げる共通電極配線を形成することにより行われるプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記導通用配線は、金属、或いは、金属微粒子からなる請求項３６、３７、３８又は３９記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記上部電極が透明導電膜であるとき、前記導通用配線が前記上部電極と同じ材料により形成される請求項３６、３７、３８又は３９記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
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