JP3957670B2 - 進行波管用電源供給回路、進行波管装置、および進行波管用電源装置 - Google Patents

進行波管用電源供給回路、進行波管装置、および進行波管用電源装置 Download PDF

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Description

本発明は、進行波管へ電源を供給するための構成に関する。
進行波管には、ヒータ電圧、カソード電圧、ヘリックス電圧、コレクタ電圧のように様々な電圧を供給する必要がある。また、過電流を防止するために、各電圧はアノードシーケンスと呼ばれる所定の手順にしたがって順次印加される。ヒータ電圧の印加によりヒータが十分に加熱された後(例えば数分後)に、ヘリックス電圧が印加される。そして、アノードシーケンスによれば、アノード電圧はヘリックス電圧よりも遅延して印加される。
このようなアノードシーケンスに従って進行波管に電源を供給するために、従来、リレーを含む回路が必要とされ、様々な構成の進行波管用電源装置が用いられてきた(例えば、特許文献1参照)。
図4は、従来の進行波管用電源装置の構成例を示すブロック図である。図4を参照すると、従来の進行波管用電源装置90は、コレクタ電源91、ヘリックス電源92、ヒータ電源93、およびアノード電源94を有している。アノード電源94は、抵抗95、98、制御回路96、およびリレー97を有している。
進行波管99のプラス側のヒータ電極とカソード電極が共通となっており、以下、その電極をヒータ・カソード電極と称する。また、進行波管99のマイナス側のヒータ電極を単にヒータ電極と称する。
ヒータ電源93は、進行波管99のヒータ・カソード電極とヒータ電極の間にヒータ電圧を供給する。コレクタ電源91は、進行波管99のコレクタ電極とヒータ・カソード電極の間にコレクタ電圧を供給する。ヘリックス電源92は、進行波管99のヘリックス電極とヒータ・カソード電極の間にヘリックス電圧を供給する。
アノード電源94は、進行波管99のヘリックス電極とヒータ・カソード電極の間に制御回路96と抵抗95が直列接続され、アノード電極とヒータ・カソード電極の間に抵抗98が接続され、制御回路96と抵抗95の接続点がリレー97を介してアノード電極に接続された構成である。アノード電源94は、ヘリックス電圧に基づいてアノード電圧を生成し、進行波管99のアノード電極とヒータ・カソード電極の間に供給する。
制御回路96は、シリーズレギュレータ(不図示)を含んでおり、ヘリックス電圧を降下させ、かつ安定化し、制御回路96と抵抗95の接続点の電圧を、アノード電圧またはリレー97の最大開閉電圧以下の電圧のいずれかに設定する。
このように、従来の進行波管用電源装置は、ヘリックス電圧の立上り、立下りを検出し、所定の処理によってアノード電圧のオンオフ制御を行う。従来の進行波管用電源装置は、この制御により、アノードシーケンスに従ってアノード電圧をヘリックス電圧より遅らせて印加し、ヘリックス電極を通じて進行波管に過大電流が流れるのを防止している。
特開平11−149880号公報
図4に示した進行波管用電源装置90では、ヘリックス電圧を検出し、所定の処理を行うために制御回路96が必要であり、またリレー97を駆動するためにリレー駆動用電源(不図示)が必要である。また、低電圧で動作する制御回路96と高電圧で動作するリレー97との間は、真空リレーなどによって絶縁される必要がある。そのため、従来の進行波管用電源装置は大型化し、また高コストになるという問題があった。また、一般にリレーは振動や衝撃により破壊されやすいので、進行波管用電源装置は振動や衝撃に弱いという問題があった。
本発明の目的は、小型、低コスト、かつ振動や衝撃に強い構成で進行波管に電源を供給する回路を提供することである。
上記目的を達成するために、本発明の進行波管用電源供給回路は、ヘリックス電極、プラス側のヒータ電極、マイナス側のヒータ電極、およびカソード電極に電源装置から電圧が印加される進行波管のアノード電極に電圧を印加するための進行波管用電源供給回路であって、
前記進行波管の前記ヘリックス電極と前記プラス側のヒータ電極または前記マイナス側のヒータ電極との間に直列接続された第1および第2の抵抗と、
半導体からなり、第1の端子、第2の端子、および第1の制御端子を有し、前記第1の端子が前記マイナス側のヒータ電極に接続され、前記第1の制御端子が前記第1の抵抗と前記第2の抵抗の接続点に接続され、前記プラス側のヒータ電極または前記マイナス側のヒータ電極の電位に対して前記ヘリックス電極の電位が前記第1の抵抗と前記第2の抵抗の値の比で決まる所定の閾値まで立ち上がるとオンし、前記第1の端子と前記第2の端子を導通する第1の制御素子と、
半導体からなり、第3の端子、第4の端子、および第2の制御端子を有し、前記第2の制御端子が前記第1の制御素子の前記第2の端子と接続され、前記第3の端子が前記進行波管の前記アノード電極に接続され、前記第4の端子が前記プラス側のヒータ電極または前記マイナス側のヒータ電極に接続され、前記第1の制御素子がオフのときオンして前記アノード電極と前記カソード電極を同電位に保っており、前記第1の制御素子がオンするとオフして前記アノード電極と前記カソード電極の間に電位差を生じさせることにより前記アノード電極に電圧を印加する第2の制御素子とを有している。
したがって、進行波管のヘリックス電極に電圧が印加されない状態では、第1の制御素子がオフし、第2の制御素子がオンしており、ヘリックス電極に電圧が印加され所定の閾値まで立ち上がると第1の制御素子がオンして第2の制御素子がオフし、進行波管にアノード電極に電圧が印加される構成なので、リレー駆動用電源のような電源を別途必要とせず進行波管に本来必要な電圧のみを用い、また大型のリレーを用いることなく半導体素子で構成した回路によってアノードシーケンスを実現することができ、小型、低コストの構成で進行波管に電源供給が可能であり、かつ振動や衝撃に強い進行波管を提供できる。また、特に、電圧安定性の要求が低いヒータ電極への電圧を用いてアノードシーケンスを実現しているので、アノードシーケンス実現のために電圧安定性の要求される他の電極への電圧に影響を与えることがない。
また、前記第2の制御素子はデプレション型FETであり、前記第2の制御端子がゲートであり、前記第3の端子がドレインであり、前記第4の端子であるソースが前記プラス側のヒータ電極に接続されていてもよい。
したがって、進行波管にヘリックス電圧が印加されない状態では、デプレション型FETである第2の制御素子はゲートとソースが同電位でオンしており、ヘリックス電圧が印加され所定の閾値まで立ち上がると第2の制御素子はゲートの電位がソースの電位より低くなるのでオフし、進行波管にアノード電圧が印加される。
また、前記第2の制御素子はエンハンスメント型FETであり、前記第2の制御端子がゲートであり、前記第3の端子がドレインであり、前記第4の端子であるソースが前記マイナス側のヒータ電極に接続されていてもよい。
したがって、進行波管にヒータ電圧だけが印加され、ヘリックス電圧が印加されない状態では、第1の制御素子がオフし第2の制御素子がオンしており、ヘリックス電圧が印加され所定の閾値まで立ち上がると第1の制御素子がオンし、第1の制御素子がオンすると第2の制御素子のゲートがソースと同電位となるので第2の制御素子がオフし、進行波管にアノード電圧が印加される。
また、前記第2の制御素子はバイポーラ型トランジスタであり、前記第2の制御端子がベースであり、前記第3の端子がコレクタであり、前記第4の端子であるエミッタが前記マイナス側のヒータ電極に接続されていてもよい。
したがって、進行波管にヒータ電圧だけが印加され、ヘリックス電圧が印加されない状態では、第1の制御素子がオフし第2の制御素子がオンしており、ヘリックス電圧が印加され所定の閾値まで立ち上がると第1の制御素子がオンし、第1の制御素子がオンすると第2の制御素子のベースがエミッタと同電位となるので第2の制御素子がオフし、進行波管にアノード電圧が印加される。
本発明によれば、進行波管のヘリックス電極に電圧が印加されない状態では、第1の制御素子がオフし、第2の制御素子がオンしており、ヘリックス電極に電圧が印加され所定の閾値まで立ち上がると第1の制御素子がオンして第2の制御素子がオフし、進行波管にアノード電極に電圧が印加される構成なので、リレー駆動用電源のような電源を別途必要とせず進行波管に本来必要な電圧のみを用い、また大型のリレーを用いることなく半導体素子で構成した回路によってアノードシーケンスを実現することができ、小型、低コストの構成で進行波管に電源供給が可能であり、かつ振動や衝撃に強い進行波管を提供できる。また、特に、電圧安定性の要求が低いヒータ電極への電圧を用いてアノードシーケンスを実現しているので、アノードシーケンス実現のために電圧安定性の要求される他の電極への電圧に影響を与えることがなく、進行波管の動作が安定する。
本発明の一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の一実施形態の進行波管装置の構成を示すブロック図である。図1を参照すると、本実施形態の進行波管装置10は、抵抗12〜15、FET16、17、および進行波管18を有している。
進行波管18のプラス側のヒータ電極とカソード電極が共通となっており、以下、その電極をヒータ・カソード電極と称する。また、進行波管18のマイナス側のヒータ電極を単にヒータ電極と称する。
本実施形態の進行波管装置10には電源11から各種電圧が供給されている。電源11は進行波管用の高圧電源であり、コレクタ電圧(COL電圧)を進行波管18のコレクタ電極(図中のC)に、ヘリックス電圧(HEL/A電圧)をヘリックス電極(図中のHEL)に、ヒータ・カソード電圧(HK電圧)をヒータ・カソード電極(図中のHK)に、ヒータ電圧(H電圧)をヒータ電極(図中のH)に供給している。
抵抗12と抵抗13が進行波管18のヘリックス電極とヒータ電極の間に直列接続されている。抵抗12と抵抗13の接続点にFET16のゲートが接続されている。FET16のソースは進行波管18のヘリックス電極に接続されている。FET16のドレインにはFET17のゲートと抵抗14の一方の端子が接続されている。FET17のソースと抵抗14の他方の端子が進行波管18のヒータ・カソード端子に接続されている。FET17のドレインは抵抗15の一方の端子と進行波管18のアノード電極に接続されている。抵抗15の他方の端子は進行波管18のヘリックス電極に接続されている。
FET16、17は、半導体からなる制御素子であり、ゲートを制御端子としてドレインとソースの2つの端子間の導通をオンオフする。本実施形態では、FET17はデプレション型FETであり、ゲートをマイナス電位で制御可能である。ヘリックス電圧が90%程度まで立ち上がったときに抵抗12と抵抗13による分圧によりFET16がオンするように、抵抗12および抵抗13の値が定められている。また、FET16、17は図1では1つの素子として示されているが、所定の耐圧が得られるように複数のFETを直列接続した構成であってもよい。
図2は、本実施形態の進行波管装置の動作を示すタイミングチャートである。進行波管の動作は、一般的にはヘリックスを基準に示されるが、図2ではヒータ・カソード電位が基準として示されている。
まず、電源11がヒータ電極にヒータ電圧を印加する。ヒータ電位はマイナス数ボルトである。数分間のヒータ予熱時間の後、電源11は、ヘリックス電圧およびコレクタ電圧を印加する。ヘリックス電圧およびコレクタ電圧は数キロボルトである。ヘリックス電圧が90%まで立ち上がると、それまでオフだったFET16がオンする。ヘリックス電圧の立上りが開始され、90%まで立上るまでの時間がアノード立上り遅延時間である。FET16がオンするとFET17のゲートの電位がヒータ電圧になるので、それまでオンだったFET17がオフになる。FET17がオフすると、進行波管18のアノード電極にはアノード電圧が印加される。アノード電圧はヘリックス電圧とほぼ同電位の数キロボルトである。このように、アノード立上り遅延時間によってアノードシーケンスが確保される。
以上説明したように、進行波管18にヘリックス電圧が印加されない状態では、FET16がオフしており、デプレション型のFET17がゲートとソースが同電位でオンしており、ヘリックス電圧が印加され90%まで立ち上がるとFET16がオンし、FET16がオンするとFET17のゲートの電位がソースの電位より低くなるのでFET17がオフし、進行波管18にアノード電圧が印加される構成なので、リレー駆動用電源のような電源を別途必要とせず進行波管18に本来必要な電圧のみを用い、また大型のリレーを用いることなく半導体素子で構成した回路によってアノードシーケンスを実現することができ、小型、低コストの構成で進行波管18に電源供給が可能であり、かつ振動や衝撃に強い進行波管18を提供できる。また、特に、電圧安定性の要求が低いヒータ電圧を用いてアノードシーケンスを実現しているので、アノードシーケンス実現のために電圧安定性の要求される他の電極への電圧に影響を与えることがなく、進行波管の動作が安定する。
なお、ここでは進行波管装置10に抵抗12〜15、FET16、17が内蔵された構成例を示したが、本発明はそれに限定されない。例えば、抵抗12〜15、FET16、17が進行波管用電源11と共に進行波管電源装置に含まれる構成としてもよい。また、抵抗12〜15、FET16、17は、進行波管装置および電源装置のいずれにも含まれない独立した回路装置であってもよい。
また、ここではヘリックス電圧が90%まで立ち上がったことによりアノード電圧の印加を開始する例を示したが、本発明は90%に限定されるものではない。アノード電圧がヘリックス電圧より遅延して印加されることが確保されればよく、その条件内で分圧の比は選択可能である。
また、ここでは、抵抗12および抵抗13がヘリックス電極とヒータ電極の間に直列接続された例を示したが、ヘリックス電極とヒータ・カソード電極の間に直列接続されてもよい。
また、ここでは、進行波管18のプラス側のヒータ電極とカソード電極が共通となっている構成を例示したが、本発明はそれに限定されない。ヒータ電極とカソード電極が互いに独立していてもよい。
また、ここでは、進行波管18のコレクタ電極、ヘリックス電極、ヒータ・カソード電極、ヒータ電極に対して1つの電源11から電圧が印加される構成を例示したが、本発明はそれに限定されない。カソード電極とプラス側のヒータ電極とが互いに独立した構成において、プラス側およびマイナス側のヒータ電極に電圧を印加する電源と、他の電極に電圧を印加する電源とを別個に設けてもよい。さらに、コレクタ電極、ヘリックス電極、カソード電極の各々に対して1つづつ電源を設けてもよい。
また、ここでは、抵抗12と抵抗13は進行波管18のヘリックス電極とヒータ電極の間に直列接続されているが、ヘリックス電極とヒータ・カソード電極の間に直列接続されてもよい。
また、ここでは、FET17が1つの場合を例示したが、ヘリックス電圧、アノード電圧がFET17のドレイン−ソース間の最大定格電圧を越える場合には、複数のFET17を直列接続する構成とすればよい。
また、ここでは、ヘリックス電圧とアノード電圧が同一電圧である場合を図2に例示したが、アノード電圧がヘリックス電圧より低い場合には抵抗15をヘリックス電圧とアノード電圧の比に比例した2つの抵抗に置き換え、2つの抵抗の接続点をアノード電極に接続する構成とすればよい。
本発明の他の実施形態について説明する。
図3は、本発明の他の実施形態の進行波管装置の構成を示すブロック図である。図3を参照すると、本実施形態の進行波管装置30は、抵抗12〜15、FET16、31、および進行波管18を有している。
図1に示した実施形態と同様に、電源11は、コレクタ電圧(COL電圧)を進行波管18のコレクタ電極(図中のC)に、ヘリックス電圧(HEL/A電圧)をヘリックス電極(図中のHEL)に、ヒータ・カソード電圧(HK電圧)をヒータ・カソード電極(図中のHK)に、ヒータ電圧(H電圧)をヒータ電極(図中のH)に供給している。
抵抗12と抵抗13が進行波管18のヘリックス電極とヒータ電極の間に直列接続されている。抵抗12と抵抗13の接続点にFET16のゲートが接続されている。FET16のソースは進行波管18のヘリックス電極に接続されている。FET16のドレインにはFET31のゲートと抵抗14の一方の端子が接続されている。抵抗14の他方の端子が進行波管18のヒータ・カソード端子に接続されている。FET31のドレインは抵抗15の一方の端子と進行波管18のアノード電極に接続されている。抵抗15の他方の端子は進行波管18のヘリックス電極に接続されている。ここまでは、図1に示した実施形態と同じ接続であるが、FET31のソースは進行波管18のヒータ電極に接続されている。また、FET31はデプレション型FETではなく、通常のエンハンスメント型FETである点で図1のものと異なる。
ヘリックス電圧が90%程度まで立ち上がったときに抵抗12と抵抗13による分圧によりFET16がオンするように、抵抗12および抵抗13の値が定められている。また、FET16、31は図1では1つの素子として示されているが、所定の耐圧が得られるように複数のFETを直列接続した構成であってもよい。
本実施形態の進行波管装置の動作は図2に示したものと同様である。
まず、電源11がヒータ電極にヒータ電圧を印加する。ヒータ電位はマイナス数ボルトである。FET31は、ヒータ・カソード電圧およびヒータ電圧の印加が開始されると同時にオンする。数分間のヒータ予熱時間の後、電源11は、ヘリックス電圧およびコレクタ電圧を印加する。ヘリックス電位およびコレクタ電位は数キロボルトである。ヘリックス電圧が90%まで立ち上がると、それまでオフだったFET16がオンする。ヘリックス電圧の立上りが開始され、90%まで立上るまでの時間がアノード立上り遅延時間である。FET16がオンするとFET31のゲートの電位がヒータ電圧になるので、それまでオンだったFET31がオフになる。FET31がオフすると、進行波管18のアノード電極にはアノード電圧が印加される。アノード電圧はヘリックス電圧とほぼ同電位の数キロボルトである。このように、アノード立上り遅延時間によってアノードシーケンスが確保される。
以上説明したように、進行波管18にヒータ電圧だけが印加され、ヘリックス電圧が印加されない状態では、FET16がオフしFET31がオンしており、ヘリックス電圧が印加され90%まで立ち上がるとFET16がオンし、FET16がオンするとFET31のゲートがソースと同電位となるのでFET31がオフし、進行波管18にアノード電圧が印加される構成なので、デプレション型FETを用いなくとも図1の構成と同様に、リレー駆動用電源のような電源を別途必要とせず進行波管18に本来必要な電圧のみを用い、また大型のリレーを用いることなく半導体素子で構成した回路によってアノードシーケンスを実現することができるので、小型、低コストの構成で進行波管18に電源供給が可能であり、かつ振動や衝撃に強い進行波管18を提供できる。
なお、本実施形態では、FET31としてエンハンスメント型FETを用いることとしたが、本発明はそれに限定されない。例えば、FET31の代わりにバイポーラ型トランジスタを用いてもよい。その場合、図3のFET31のゲートはバイポーラ型トランジスタのベースとなり、FET31のドレインはバイポーラ型トランジスタのコレクタとなり、FET31のソースはバイポーラ型トランジスタのエミッタとなればよい。
本発明の一実施形態の進行波管装置の構成を示すブロック図である。 本実施形態の進行波管装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の他の実施形態の進行波管装置の構成を示すブロック図である。 従来の進行波管用電源装置の構成例を示すブロック図である。
符号の説明
10、30 進行波管装置
11 電源
12〜15 抵抗
16、17、31 FET
18 進行波管

Claims (12)

  1. ヘリックス電極、プラス側のヒータ電極、マイナス側のヒータ電極、およびカソード電極に電源装置から電圧が印加される進行波管のアノード電極に電圧を印加するための進行波管用電源供給回路であって、
    前記進行波管の前記ヘリックス電極と前記プラス側のヒータ電極または前記マイナス側のヒータ電極との間に直列接続された第1および第2の抵抗と、
    半導体からなり、第1の端子、第2の端子、および第1の制御端子を有し、前記第1の端子が前記マイナス側のヒータ電極に接続され、前記第1の制御端子が前記第1の抵抗と前記第2の抵抗の接続点に接続され、前記プラス側のヒータ電極または前記マイナス側のヒータ電極の電位に対して前記ヘリックス電極の電位が前記第1の抵抗と前記第2の抵抗の値の比で決まる所定の閾値まで立ち上がるとオンし、前記第1の端子と前記第2の端子を導通する第1の制御素子と、
    半導体からなり、第3の端子、第4の端子、および第2の制御端子を有し、前記第2の制御端子が前記第1の制御素子の前記第2の端子と接続され、前記第3の端子が前記進行波管の前記アノード電極に接続され、前記第4の端子が前記プラス側のヒータ電極または前記マイナス側のヒータ電極に接続され、前記第1の制御素子がオフのときオンして前記アノード電極と前記カソード電極を同電位に保っており、前記第1の制御素子がオンするとオフして前記アノード電極と前記カソード電極の間に電位差を生じさせることにより前記アノード電極に電圧を印加する第2の制御素子とを有する進行波管用電源供給回路。
  2. 前記第2の制御素子はデプレション型FETであり、前記第2の制御端子がゲートであり、前記第3の端子がドレインであり、前記第4の端子であるソースが前記プラス側のヒータ電極に接続されている、請求項1記載の進行波管用電源供給回路。
  3. 前記第2の制御素子はエンハンスメント型FETであり、前記第2の制御端子がゲートであり、前記第3の端子がドレインであり、前記第4の端子であるソースが前記マイナス側のヒータ電極に接続されている、請求項1記載の進行波管用電源供給回路。
  4. 前記第2の制御素子はバイポーラ型トランジスタであり、前記第2の制御端子がベースであり、前記第3の端子がコレクタであり、前記第4の端子であるエミッタが前記マイナス側のヒータ電極に接続されている、請求項1記載の進行波管用電源供給回路。
  5. 外部の電源装置からヘリックス電極、プラス側のヒータ電極、マイナス側のヒータ電極、およびカソード電極に電圧が印加される進行波管と、
    前記進行波管の前記ヘリックス電極と前記プラス側のヒータ電極または前記マイナス側のヒータ電極との間に直列接続された第1および第2の抵抗と、
    半導体からなり、第1の端子、第2の端子、および第1の制御端子を有し、前記第1の端子が前記マイナス側のヒータ電極に接続され、前記第1の制御端子が前記第1の抵抗と前記第2の抵抗の接続点に接続され、前記プラス側のヒータ電極または前記マイナス側のヒータ電極の電位に対して前記ヘリックス電極の電位が前記第1の抵抗と前記第2の抵抗の値の比で決まる所定の閾値まで立ち上がるとオンし、前記第1の端子と前記第2の端子を導通する第1の制御素子と、
    半導体からなり、第3の端子、第4の端子、および第2の制御端子を有し、前記第2の制御端子が前記第1の制御素子の前記第2の端子と接続され、前記第3の端子が前記進行波管のアノード電極に接続され、前記第4の端子が前記プラス側のヒータ電極または前記マイナス側のヒータ電極に接続され、前記第1の制御素子がオフのときオンして前記アノード電極と前記カソード電極を同電位に保っており、前記第1の制御素子がオンするとオフして前記アノード電極と前記カソード電極の間に電位差を生じさせることにより前記アノード電極に電圧を印加する第2の制御素子とを有する進行波管装置。
  6. 前記第2の制御素子はデプレション型FETであり、前記第2の制御端子がゲートであり、前記第3の端子がドレインであり、前記第4の端子であるソースが前記プラス側のヒータ電極に接続されている、請求項5記載の進行波管装置。
  7. 前記第2の制御素子はエンハンスメント型FETであり、前記第2の制御端子がゲートであり、前記第3の端子がドレインであり、前記第4の端子であるソースが前記マイナス側のヒータ電極に接続されている、請求項5記載の進行波管装置。
  8. 前記第2の制御素子はバイポーラ型トランジスタであり、前記第2の制御端子がベースであり、前記第3の端子がコレクタであり、前記第4の端子であるエミッタが前記マイナス側のヒータ電極に接続されている、請求項5記載の進行波管装置。
  9. 進行波管のヘリックス電極、プラス側のヒータ電極、マイナス側のヒータ電極、カソード電極、およびアノード電極に電圧を印加する進行波管用電源装置であって、
    前記進行波管の前記ヘリックス電極、前記プラス側のヒータ電極、前記マイナス側のヒータ電極、前記カソード電極に電圧を供給する電源と、
    前記進行波管の前記ヘリックス電極と前記プラス側のヒータ電極または前記マイナス側のヒータ電極との間に直列接続される第1および第2の抵抗と、
    半導体からなり、第1の端子、第2の端子、および第1の制御端子を有し、前記第1の端子が前記マイナス側のヒータ電極に接続され、前記第1の制御端子が前記第1の抵抗と前記第2の抵抗の接続点に接続され、前記プラス側のヒータ電極または前記マイナス側のヒータ電極の電位に対して前記ヘリックス電極の電位が前記第1の抵抗と前記第2の抵抗の値の比で決まる所定の閾値まで立ち上がるとオンし、前記第1の端子と前記第2の端子を導通する第1の制御素子と、
    半導体からなり、第3の端子、第4の端子、および第2の制御端子を有し、前記第2の制御端子が前記第1の制御素子の前記第2の端子と接続され、前記第3の端子が前記進行波管の前記アノード電極に接続され、前記第4の端子が前記プラス側のヒータ電極または前記マイナス側のヒータ電極に接続され、前記第1の制御素子がオフのときオンして前記アノード電極と前記カソード電極を同電位に保っており、前記第1の制御素子がオンするとオフして前記アノード電極と前記カソード電極の間に電位差を生じさせることにより前記アノード電極に電圧を印加する第2の制御素子とを有する進行波管用電源装置。
  10. 前記第2の制御素子はデプレション型FETであり、前記第2の制御端子がゲートであり、前記第3の端子がドレインであり、前記第4の端子であるソースが前記プラス側のヒータ電極に接続されている、請求項9記載の進行波管用電源装置。
  11. 前記第2の制御素子はエンハンスメント型FETであり、前記第2の制御端子がゲートであり、前記第3の端子がドレインであり、前記第4の端子であるソースが前記マイナス側のヒータ電極に接続されている、請求項9記載の進行波管用電源装置。
  12. 前記第2の制御素子はバイポーラ型トランジスタであり、前記第2の制御端子がベースであり、前記第3の端子がコレクタであり、前記第4の端子であるエミッタが前記マイナス側のヒータ電極に接続されている、請求項9記載の進行波管用電源装置。
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