JP3948790B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電源電圧の共通給電線(Vss線) の電位変化がメモリセルの誤動作につながり難い配線を施したDRAM等の半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
大容量DRAM等の半導体記憶装置では、一般に、メモリアレイを複数のサブメモリアレイに分割し、高性能化(高速化、低消費電力化等)を図っている。
図10は、センスアンプをサブメモリアレイ間で共有するDRAMの要部構成を示すブロック図である。
このDRAM100では、隣り合う2つのサブメモリアレイ101,102の間に位置するセンスアンプアレイ領域103内に、多数のシェアードセンスアンプ(Shared sensing amplifier,以下単に“センスアンプSA”という) が配置されている。各センスアンプSAに対し、ビット対線BL,BL_がサブメモリアレイ101,102ごとに1対づつ、合計2対接続されている。このビット対線BL,BL_は、ビット線ごとに転送ゲートTG1 またはTG2 を介してセンスアンプSAに接続されている。そして、サブメモリアレイ101側の転送ゲートTG1 の各ゲートは、シェアード信号SHL1 が印加される信号線に接続されている。同様に、サブメモリアレイ102側の転送ゲートTG2 の各ゲートは、シェアード信号SHL2 が印加される信号線に接続されている。
【0003】
センスアンプSAは、CMOSアンプ構成であり、そのNMOSアンプの電源供給ノードが共通駆動線SNLに接続され、そのPMOSアンプの電源供給ノードが他の共通駆動線SPLに接続されている。2つの共通駆動線SNL,SPLは、センスアンプ領域103の外部に配置されたセンスアンプ駆動回路104に接続されている。また、センスアンプ駆動回路104間で共通化された電源電圧供給線(以下、“センスアンプ駆動回路の共通給電線Vssa ”という)が列方向に配線されている。
【0004】
一方、各サブメモリアレイ101,102内では、行方向に配線された多数のワード線WLとビット対線BL,BL_との各交点に、それぞれメモリセルを構成する選択トランジスタTRとメモリキャパシタCとが接続されている。選択トランジスタTRのゲートがワード線WLに接続され、ドレインがビット対線BL,BL_の一方に接続され、ソースと図示せぬ共通プレート線との間にメモリキャパシタCが接続されている。
各ワード線WLは、図示せぬ行デコーダからの行選択信号に応じて各ワード線WLを励起するワード線駆動回路105に接続されている。また、ワード線駆動回路105間で共通化された電源電圧供給線(以下、“ワード線駆動回路の共通給電線Vssw ”という)が列方向に配線されている。
【0005】
DRAM等の半導体記憶装置では、一般に、メモリセルや配線寸法を微細化し低電圧化のもとで高速化および大容量化すると、内部回路動作のS/N(信号対雑音比)は低下する。電源電圧を低くしたまま高速化するには大電流で負荷を駆動する必要があるが、この電流は微細化ならびにチップの大型化とともに増大する配線抵抗を介して流れるので、信号線や電源電圧供給線に発生するノイズは増大する一方、低電圧動作にともなってメモリセル信号の電圧振幅が低下する傾向にあるため、内部回路動作のS/Nは低下する。
【0006】
このS/N向上のためにノイズの発生自体を抑制する方法としては、図10に示すようにメモリアレイをサブメモリアレイに分割して一度に電流が流れる領域を限定し動作電流の低減を図る一方、ビット線やワード線等の負荷容量が高い配線を低抵抗化或いは階層化することで負荷容量を低減し或いは分散化する手法が一般的に採用されている。また、これらの手法を用いても完全なノイズ発生の防止は難しく、特にメモリセル信号が微弱な大容量DRAMにおいては、例えば配線の接続方法等を工夫して、ノイズが発生してもノイズの影響を受け難くすることが、S/N向上のために重要になってきている。
【0007】
この観点から、図10の大容量DRAMにおいては、ワード線WLに接続されたワード線駆動回路105の共通給電線Vssw と、ビット対線BL,BL_にセンスアンプSAおよび共通駆動線SNLを介して接続されるセンスアンプ駆動回路104の共通給電線Vssa との接続関係が重要である。なぜなら、ノイズは、ワード線やビット線の交点等における結合容量を介した誘導ノイズとしても伝達するが、より直接的には共通化されて用いられる電源電圧供給線を介して伝達しやすいからである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、よく知られているようにノイズには同期ノイズと非同期ノイズとがあり、非同期ノイズはノイズ伝搬が懸念される電源電圧供給線同士を単純に分離することにより遮断すればよいが、このとき同期ノイズも遮断されると却って誤動作に対する電圧マージンが低下することがある。
例えば、図10の大容量DRAMにおいては、ワード線駆動回路105の共通給電線Vssw と、センスアンプ駆動回路104の共通給電線Vssa とを短絡する場合、分離する場合の何れの場合でも、非選択メモリセルの記憶データを破壊する動作不良が起こるといった問題があった。
【0009】
本発明は、かかる実情に鑑みてなされたものであり、ワード線駆動回路の共通給電線とセンスアンプ駆動回路の共通給電線とを短絡しても、上述した非選択メモリセルの記憶データを破壊するといった動作不良が起きにくい半導体記憶装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上述した従来技術の問題点を解決し、上記目的を達成するために、本発明の半導体記憶装置は、複数のワード線と複数のビット線対との交点に複数のメモリセルがそれぞれ配置されているメモリセルアレイと、上記複数のワード線をそれぞれ駆動する複数のワード線駆動回路と、上記複数のビット線対にそれぞれ接続されている複数のセンスアンプと、上記複数のセンスアンプを駆動するセンスアンプ駆動回路とを含むメモリアレイ領域と、電源電圧を供給するための共通給電配線を含む周辺回路領域とを有し、上記複数のワード線駆動回路に電源電圧を供給するための第1の給電配線と、上記複数のセンスアンプ及び上記センスアンプ駆動回路に電源電圧を供給するための第2の給電配線とが、上記メモリアレイ領域内においては分離して配置されており、上記周辺回路領域内において上記共通給電配線に接続されている。
【0011】
本発明の半導体記憶装置では、好適に、上記複数のワード線駆動回路が上記メモリセルアレイに沿って列方向に配置されており、上記複数のセンスアンプが上記メモリセルアレイに沿って行方向に配置されており、上記共通給電配線が行方向に配置されており、上記第1の給電配線と上記第2の給電配線とが互いに平行に列方向に配置されている。
【0012】
本発明の半導体記憶装置では、好適に、上記複数のワード線駆動回路が共通のメインワード線とワード線選択信号線とに接続されており、上記メインワード線と上記ワード線選択信号線とにより上記ワード線が駆動される。
また、本発明の半導体記憶装置では、好適に、非選択状態の上記ワード線に対して上記ワード線駆動回路内の第1のトランジスタを介して接地電位が供給され、選択状態の上記ワード線に対して上記ワード線駆動回路内の第2のトランジスタを介して駆動電圧が供給される。
更には、本発明の半導体記憶装置では、好適に、上記第1の給電配線及び上記第2の給電配線が接地電位を供給するための配線である。
【0013】
一般に、ワード線駆動回路によって、非選択のワード線は接地電位に固定されている。このため、ワード線に接地電位を供給している給電配線に正のノイズが重畳される場合、又はビット対線に負のノイズが重畳される場合には、非選択のワード線に接続されたメモリセルの選択トランジスタが瞬間的に導通し、記憶データを破壊することがある。例えば、非選択のワード線に正のノイズか重畳した場合には非活性状態にあるメモリセルアレイのメモリセルの0データが破壊され、ビット対線に負のノイズが重畳した場合には活性化状態にあるメモリセルアレイのメモリセルの1データが破壊される。
【0014】
本発明の半導体記憶装置では、センスアンプ側で発生し、センスアンプ駆動回路の給電配線に重畳されたノイズ(非同期ノイズ)は、メモリアレイ領域の外部の周辺回路領域の共通給電配線に一旦迂回した後、ワード線駆動回路の給電配線に伝達されることになる。このため、上記非同期ノイズは、比較的に長い配線を伝搬する間にある程度減衰し、例え、非選択のワード線に伝搬したとしても記憶データを破壊するほどのノイズレベルにならない。
【0015】
一方、ワード線駆動回路等で発生したノイズ(同期ノイズ)は、センスアンプ駆動回路の給電配線を介して、非選択ワード線、並びにビット対線に重畳される。この同期ノイズは、上記した非同期ノイズと同様に、ある程度減衰してセンスアンプ駆動回路の給電配線に伝搬される。この場合、非選択ワード線に接続されているメモリセルの選択トランジスタのゲート端子とドレイン端子とが同様に変動するので、選択トランジスタの瞬間的な導通による記憶データの破壊が有効に防止される。
【0016】
このようにセンスアンプ駆動回路およびワード線駆動回路の給電配線をメモリアレイ領域内では分割し、周辺回路領域内の共通給電配線にて接続する構成としているので、センスアンプ側とワード線駆動回路側で発生した各種ノイズについて、ビット対線と非選択ワード線双方にノイズが伝搬されても、そのノイズレベルは緩和されている。この結果、記憶データの破壊を引き起こす非選択ワード線とビット対線の変動レベルが同期ノイズによる場合と非同期ノイズによる場合の双方とも問題の発生しない範囲内に調整される。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る半導体記憶装置を、メモリアレイが多分割された64Mb(メガビット)DRAMを例として、図面を参照しながら詳細に説明する。
図1(a)は、本発明の実施例に係る64MbDRAMの全体の構成を示す概略平面図である。また、図1(b)は、図1(a)のA部を拡大して示す概略平面図、図2は図1(b)のB部を拡大して示す機能ブロック図である。
【0018】
この64MbDRAM1は、図1(a)に示すように、それぞれ8Mbの記憶容量を有する8個のメモリアレイブロック2と、それらの間に設けられている周辺回路領域3とから構成されている。
一つのメモリアレイブロック2は、図1(b),図2に拡大して示すように、横8個、縦16個の合計128個のサブメモリアレイSMAx,y(x=0,1,…,i, …,7、y=0,1,…,j, …,15)を有している。各サブメモリアレイSMAx,y は、冗長メモリセルを多少含むものもあり一概にはいえないが、おおよそ64kb(キロビット)程度の記憶容量を有している。一つのメモリアレイブロック2内で、合計約2千のビット線対が列(縦)方向に配線されている。また、後述するように、一本のメインワード線MWLから複数のサブワード線SWLを分岐させてワード線を階層化し、一つのメモリアレイブロック2内において約4千のサブワード線SWLが行(横)方向に配線されている。
【0019】
サブメモリアレイSMAx,y の列と平行に、アレイコントローラ4が配置されている。また、このアレイコントローラ4とサブメモリアレイSMAx,y の短辺(列方向に沿った辺)との間には、16個のメインワード線駆動回路MWDがアレイコントローラ4に隣接して配置されている。
図2に示すように、サブメモリアレイSMAx,y の列方向の間隔内、及び列方向両端には、センスアンプアレイSAAが行列状に繰り返し配置されている。また、サブメモリアレイSMAx,y の行方向の間隔内、及び行方向両端には、サブワード線駆動回路SWDが行列状に繰り返し配置されている。
【0020】
図3は、センスアンプアレイSAAおよび列方向両側のサブメモリアレイSMAx,j 、SMAx,j+1 を部分的に拡大して示す回路図である。また、図4は、センスアンプアレイSAAの構成単位を示す回路図である。
サブメモリアレイSMAx,j は、列方向に配線された多数のビット対線BL,BL_と、行方向に配線された多数のサブワード線SWLとを有し、これらの信号線にメモリセルを構成する選択トランジスタSTと、メモリキャパシタCが接続されている。選択トランジスタSTは、そのゲートがサブワード線SWLに接続され、ドレインがビット対線BL,BL_の一方に接続され、ソースがメモリキャパシタCの記憶ノードに接続されている。メモリキャパシタMCの他方のノードは、図示せぬ共通プレート線に接続されている。
【0021】
サブメモリアレイSMAx,j のビット対線BL,BL_は、シェアード信号線SHL1 にゲートが接続されている転送ゲートTG1 を介して、センスアンプSAの一方の入力端子に接続されている。同様に、サブメモリアレイSMAx,j+1のビット対線BL,BL_は、シェアード信号線SHL2 にゲートが接続されている転送ゲートTG2 を介して、センスアンプSAの他方の入力端子に接続されている。
【0022】
センスアンプSAは、図4に示すように、PMOSアンプとNMOSアンプとからなるCMOSアンプである。PMOSアンプは、ドレインがビット線BLに接続されゲートがビット補線BL_に接続されている第1のPMOSトランジスタQ1 と、この第1のPMOSトランジスタQ1 とソース同士が相互接続され、ドレインがビット補線BL_に接続されゲートがビット線BLに接続されている第2のPMOSトランジスタQ2 とから構成されている。ソース同士が相互接続されているノードND1 は、共通駆動線SPLに接続されている。同様に、NMOSアンプは、ソースがビット線BLに接続されゲートがビット補線BL_に接続されている第1のNMOSトランジスタQ3 と、この第1のNMOSトランジスタQ3 とソース同士が相互接続され、ドレインがビット補線BL_に接続されゲートがビット線BLに接続されている第2のNMOSトランジスタQ4 とから構成されている。ソースが相互接続されているノードND2 は、共通駆動線SNLに接続されている。
【0023】
このセンスアンプSAと一方の転送ゲート対(例えば、TG1 ,TG1 )との間においては、ビット線イコライザEQがビット対線BL,BL_に接続されている。ビット線イコライザEQは、データ読出し又は書込み動作以外のときにビット対線BL,BL_を短絡して同電位にするための回路である。ビット線イコライザEQは、ソース又はドレインの一方がビット線BLに接続され他方がビット補線BL_に接続されているトランジスタQ5 と、ドレインが相互接続されソースがビット線BLとビット補線BL_にそれぞれ接続されているトランジスタQ6,Q7 とから構成されている。トランジスタQ6 ,Q7 の相互接続されたドレインには、VDL/2の電圧を供給する電圧供給線VBLR が接続されている。これら3つのトランジスタQ5 〜Q7 のゲートは共通化され、イコライザ駆動線EQLに接続されている。なお、このビット線イコライザEQおよびイコライザ駆動線EQLは、図3では省略されている。
【0024】
センスアンプSAと他方の転送ゲート対TG2 ,TG2 との間においては、列選択トランジスタ対YT1 ,YT2 が接続されている。列選択トランジスタYT1 は、そのソース又はドレインの一方がビット線BLに接続され他方がデータ線Dに接続され、ゲートが列選択信号線YSLに接続されている。また、列選択トランジスタYT2 は、そのソース又はドレインの一方がビット補線BL_に接続され他方がデータ補線D_に接続され、ゲートが列選択信号線YSLに接続されている。
【0025】
図2において、センスアンプアレイSSAとサブワード線駆動回路SWDとが四方に接するクロスエリア、およびアレイコントローラ4内には、センスアンプSAの共通駆動線SPL,SNLを電圧変化させてセンスアンプを駆動するセンスアンプ駆動回路SADが分散配置されている。
【0026】
図5は、このセンスアンプ駆動回路SADのうち、共通駆動線SNLを駆動する部分を示す。
このセンスアンプ駆動回路部分は、上記クロスエリアのそれぞれに配置されている駆動用トランジスタQ8 (図5(a))と、アレイコントローラ4内に配置され出力端子が駆動用トランジスタQ8 のゲートに接続されているインバータINV1 (図5(b))とから構成されている。駆動用トランジスタQ8 は、そのドレインが一つのセンスアンプアレイSSA内における複数のセンスアンプSA間に共通な共通駆動線SNLに接続され、ソースがセンスアンプ駆動回路用の共通給電線Vssa に接続されている。インバータINV1 は、PMOSトランジスタQ9 とNMOSトランジスタQ10とから構成されている。両MOSトランジスタQ9,Q10のドレイン同士は共通化され、その接続点がインバータINV1 の出力端子をなしている。また、両MOSトランジスタQ9,Q10のゲートは共通化されてインバータINV1 の入力端子をなし、PMOSトランジスタQ9 のソースが電源電圧の供給線VDDに接続され、NMOSトランジスタQ10のソースがアレイコントローラ用の共通給電線Vssc に接続されている。
【0027】
図2のクロスエリアおよびアレイコントローラ4には、ビット対線BL,BL_の短絡と開放を制御するビット線イコライザEQ(図4)の駆動回路EQDが分散配置されている。
【0028】
図6は、イコライザ駆動回路EQDを示す。
このイコライザ駆動回路EQDは、上記クロスエリアの行方向に一つ置きに配置されているイコライザ駆動用のNMOSトランジスタQ11(図6(a))と、アレイコントローラ4内に配置されているインバータINV2 およびイコライザ駆動用のPMOSトランジスタQ12(図6(b))とから構成されている。イコライザ駆動用のNMOSトランジスタQ11は、そのドレインが一つのセンスアンプアレイSSA内における複数のビット線イコライザEQ間に共通なイコライザ駆動線EQLに接続され、ソースがセンスアンプ駆動回路用の共通給電線Vssa に接続されている。インバータINV2 は、PMOSトランジスタQ13とNMOSトランジスタQ14とから構成されている。両MOSトランジスタQ13, Q14のドレイン同士は共通化され、その接続点がインバータINV2 の出力端子をなしている。また、両MOSトランジスタQ13, Q14のゲートは共通化されてインバータINV2 の入力端子をなし、PMOSトランジスタQ13のソースが電源電圧の供給線VDDに接続され、NMOSトランジスタQ14のソースがアレイコントローラ用の共通給電線Vssc に接続されている。イコライザ駆動用のPMOSトランジスタQ12は、そのソースが電源電圧の供給線VDDに接続され、ドレインが上記イコライザ駆動線EQLに接続され、ゲートがインバータINV2 の出力端子に接続されている。
【0029】
図7は、シェアード信号線SHL1,SHL2 を駆動するシェアード駆動回路を示す。
このシェアード駆動回路は、駆動用のインバータINV3 とプルアップ用のトランジスタQ15とから構成されている。駆動用のインバータINV3 は、PMOSトランジスタQ16とNMOSトランジスタQ17とから構成されている。両MOSトランジスタQ16, Q17のドレイン同士は共通化され、その接続点(INV3 の出力端子)は図4のシェアード信号線SHL1 またはSHL2 に接続されている。また、MOSトランジスタQ16, Q17のゲートは共通化されてインバータINV3 の入力端子をなし、PMOSトランジスタQ16のソースが電源電圧の供給線VPPに接続され、NMOSトランジスタQ17のソースがアレイコントローラ用の共通給電線Vssc に接続されている。プルアップ用のトランジスタQ15は、そのドレインが電源電圧の供給線VDDに接続され、ソースが上記シェアード信号線SHL1 またはSHL2 に接続され、ゲートがインバータINV3 の出力端子に接続されている。
【0030】
この64MbDRAM1は、特に詳示しないが、1本のメインワード線に複数の(例えば、8本の)サブワード線が分岐されてワード線が階層化されている。図8は、ワード線を階層化する分岐点ごとに配置されたサブワード線駆動回路を示す。このサブワード線駆動回路SWDは、駆動用のインバータINV4 とサブワード線SWLのプルダウン用のトランジスタQ18とから構成されている。駆動用のインバータINV4 は、PMOSトランジスタQ19とNMOSトランジスタQ20とから構成されている。両MOSトランジスタQ19, Q20のドレイン同士は共通化され、その接続点(INV4 の出力端子)は図3のサブワード線SWLに接続されている。また、MOSトランジスタQ19, Q20のゲートは共通化されてインバータINV4 の入力端子をなし、この入力端子にメインワード線MWLの反転信号MW_が入力される。また、NMOSトランジスタQ20のソースが、サブワード線駆動回路SWDの共通給電線Vssw に接続されている。プルダウン用のトランジスタQ18は、そのドレインがサブワード線SWLに接続され、ソースがサブワード線駆動回路SWDの共通給電線Vssw に接続されている。インバータINV4 を構成するPMOSトランジスタQ19のソースおよびプルダウン用のトランジスタQ18のゲートは、特に図示しないが、1本のメインワード線MWLに接続される複数のワード線駆動回路SWDに対し共通に設けられたFXドライバの出力端子に接続されている。このFXドライバは不図示の列デコーダに接続され、これによってPMOSトランジスタQ19のソースにサブワード線選択信号FXが印加され、プルダウン用のトランジスタQ18のゲートにサブワード線選択信号FXの反転信号FX_が印加される。
【0031】
このような回路構成のDRAM1は、センスアンプ駆動回路SADの共通給電線Vssa とサブワード線駆動回路SWDの共通給電線Vssw との接続関係に特徴を有する。
すなわち、図2に示すように、メモリアレイブロック2の外側に位置する周辺回路領域3に(図1参照)、共通電源電圧Vssを供給するボンディングパッド5と、このボンディングパッド5から周辺回路領域3内に配線されている共通給電線の幹線Vssoとを有している。そして、共通給電線の幹線Vssoから分岐するかたちで、図5(a)および図6(a)の回路に電源電圧を供給するセンスアンプ用の共通給電線Vssa が、サブメモリアレイSMAx,y の配置間隔内に配線されている。同様に共通給電線の幹線Vssoから分岐するかたちで、図8の回路に電源電圧を供給するワード線駆動回路用の共通給電線Vssw が、サブメモリアレイSMAx,y の配置間隔内に配線されている。なお、このような配線が回路動作に与える影響
(効果)については後述する。
【0032】
つぎに、このように構成されている64MbDRAM1のデータ読出し動作について、図9のタイミングチャートを用いて説明する。ここで図9は、図3のメモリセルMC1 に内部電源電圧VDL(≒2.2V)で電荷が保持され、この記憶データを読み出すときのタンミングチャートである。
データ読出し動作の前のスタンバイ状態においては、各ビット対線BL,BL_及び共通駆動線SNL,SPLはVBLR (=VDL/2≒1.1V)の電圧にプリチャージされている。即ち、図4において、シェアード信号線SHL1 ,SHL2 及びイコライザ駆動線EQLは“H”レベルであるから、転送ゲート対TG1 、TG1 及びTG2 ,TG2 、並びにトランジスタQ5 ,Q6 ,Q7 はオン(導通)状態であり、トランジスタQ1 ,Q2 ,Q3 ,Q4 はオフ(非導通)状態である。従って、各ビット対線BL,BL_はVBLR の電圧にプリチャージされる。
次に、データ読出し動作が開始されると、イコライザ駆動線EQLが“L”レベルに変化し、トランジスタQ5 ,Q6 ,Q7 がオフ(非導通)状態に遷移してビット対線BL,BL_のプリチャージが解除される。続いて、選択されるサブワード線SWLが存在するサブメモリアレイ側のシェアード信号線SHL1 ,SHL2 は“H”レベルを保持し、選択されるサブワード線SWLが存在しないサブメモリアレイ側のシェアード信号線SHL1 ,SHL2 は“L”レベルに変化する。従って、選択されるサブワード線SWLが存在しないサブメモリアレイ側のビット対線BL,BL_はセンスアンプSAから切り離されることになる。
【0033】
つぎにメインワード線MWLおよびサブワード線SWLが選択されるが、この選択の前では、図8のサブワード線駆動回路SWDにおいてサブワード線選択信号FXが“L”でインバータINV4 は起動されていない。また、反転信号FX_が“H”でありプルダウン用トランジスタQ18が導通状態なので、この非選択なサブワード線SWLは共通給電線Vssw に接続されている。
まず、メインワード線駆動回路MWDによって何れか1本のメインワード線MWLが選択され、メインワード線信号の反転信号MW_が“H”から“L”に引き下げられる。また、図示せぬ列デコーダおよびFXドライバによって、選択されたメインワード線MWLに接続された複数のサブワード線駆動回路SWDのうち何れか一つが駆動され、これに接続されているサブワード線SWLが励起される。具体的には、サブワード線選択信号FXが“H”となってインバータINV4 が起動される一方、反転信号FX_が“L”となってプルダウン用トランジスタQ18がオフ状態に遷移し、サブワード線SWLが共通給電線Vssw から切り離される。この結果、サブワード線SWLが所定電位(例えば、内部電源電圧VDL+α)に持ち上げられる。具体的には、このVDL+αは、サブワード線選択信号FXの“H”レベルの電圧VPP(≒3.8V)である。
【0034】
これによりメモリセルMC1 の選択トランジスタST1 がオン状態に遷移し、メモリキャパシタC1 の記憶ノードに保持されていた電荷がビット線BLに流れ、このビット線BLの電位が僅かに(数百mV程度)上昇する。
【0035】
つぎに図5のセンスアンプ駆動回路SADによって、センスアンプSAのNMOSアンプ及びPMOSアンプが駆動される。この駆動前においては、センスアンプ駆動回路SAD内のセンスアンプ駆動信号SANは“L”であることから、サブメモリアレイSMAx,y の間に分散配置された駆動用トランジスタQ8 がオフ状態であり、このため共通駆動線SNLは例えば電圧VDL/2に保持されている。また、共通駆動線SPLは、図示しないPMOSアンプ駆動部により、電圧VDL/2に保持されている。
センスアンプ駆動信号SANの反転信号SAN_が“H”から“L”に遷移すると、インバータINV1 によってセンスアンプ駆動信号SANが“L”から“H”に遷移し、駆動用トランジスタQ8 が導通して共通駆動線SNLが共通給電線Vssa に接続され、零電位に引き下げられる。これにより、センスアンプSAのNMOSアンプが駆動され、より低電位なビット補線BL_が零電位になるまで降下する。
【0036】
同時に、センスアンプ駆動回路SADの図示せぬPMOSアンプ駆動部によって、PMOSアンプに接続された共通駆動線SPLがVDLに引き上げられ、これにより、センスアンプSAのPMOSアンプが駆動され、より高電位なビット線BLが内部電源電圧VDLになるまで上昇する。この結果、メモリセルMC1 からの電荷流入によるビット線BLの電位変化(セルデータ信号)が、ビット対線BL,BL_上で内部電源電圧VDL(例えば、2.2V)の振幅まで増幅される。その後、列選択信号線YSLに列選択信号YSが印加されると、この増幅後のセルデータ信号は、列選択信号YSの印加に応じて導通する列選択トランジスタYT1,YT2 によってデータ対線D,D_に読みだされた後、外部に出力される。
【0037】
図2に示す本発明の実施例に係るDRAM1では、センスアンプ側で発生し、センスアンプ駆動回路SADの共通給電線Vssa に重畳されたノイズ(非同期ノイズ)が、メモリアレイの外側の周辺回路領域3に配線された共通給電線の幹線Vsso に一旦迂回した後、サブワード線駆動回路SWDの共通給電線Vssw に伝達される。このため、この非同期ノイズは、比較的に長い配線を伝搬する間にある程度減衰し、非選択のサブワード線SWLに達したときには記憶データを破壊するほどのノイズレベルにならない。
【0038】
一方、例えばサブワード線駆動回路SWD等で発生したノイズ(同期ノイズ)は、他のサブワード線駆動回路SWDを介して、非選択なサブワード線SWLに重畳される。この同期ノイズは、上記した非同期ノイズと同様に、サブワード線駆動回路SWDの共通給電線Vssw から共通給電線の幹線Vsso に一旦迂回した後にセンスアンプ駆動回路SADの共通給電線Vssa に重畳される。そして、この同期ノイズは、センスアンプSAの導通しているNMOSトランジスタQ4 を介して、減衰しているが確実に低電圧側のビット線(ビット補線BL_)に伝達される。これにより、非選択メモリセルの選択トランジスタTRのゲート電位の変動に同期して、そのドレイン電位も変動する。この結果、選択トランジスタの瞬間的な導通による記憶データの破壊が有効に防止される。
すなわち、このように共通給電線Vssa,Vssw を迂回して配線することによって、センスアンプSA側またはサブワード線駆動回路SWDで発生し、センスアンプを介して共通給電線Vssa に接続されるビット線と非選択サブワード線との相互間で伝達される各種ノイズについて、確実に伝達しながらもノイズレベルについては緩和される。この結果、記憶データの破壊を引き起こす非選択ワード線またはビット線の変動レベルが、同期ノイズによる場合と非同期ノイズによる場合の双方とも問題がない範囲内に調整される。
【0039】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明に係るによれば、ワード線駆動回路の共通給電線とセンスアンプ駆動回路の共通給電線とを短絡しても、非選択メモリセルの記憶データを破壊するといった動作不良が起きにくい半導体記憶装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)は、本発明の実施例に係る64MbDRAMの全体の構成を示す概略平面図、図1(b)は図1(a)のA部を拡大して示す概略平面図である。
【図2】図2は、図1(b)のB部を拡大して示す機能ブロック図である。
【図3】図3は、センスアンプアレイおよび列方向両側のサブメモリアレイを部分的に拡大して示す回路図である。
【図4】図4は、センスアンプアレイの構成単位を示す回路図である。
【図5】図5は、センスアンプ駆動回路のうち、共通駆動線を駆動する部分を示す回路図である。
【図6】図6は、イコライザ駆動回路を示す回路図である。
【図7】図7は、シェアード信号線を駆動するシェアード駆動回路を示す回路図である。
【図8】図8は、ワード線の階層化構造における分岐点ごとに配置されたサブワード線駆動回路を示す回路図である。
【図9】図9は、本実施例に係る64MbDRAMのデータ読出し動作を示す各信号のタイミングチャートである。
【図10】図10は、従来のDRAMの要部構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1…DRAM(半導体記憶装置)、2…メモリアレイブロック、3…周辺回路領域(外側領域)、4…アレイコントローラ、5…共通電源のボンディングパッド、BLEQ…イコライザ駆動信号、EQ…ビット線イコライザ、EQL…イコライザ駆動線、MW_…メインワード線信号の反転信号、MWD…メインワード線駆動回路、MWL…メインワード線、SA…センスアンプ、SAA…センスアンプアレイ、SAN…センスアンプ駆動信号、SHL1 、SHL2 …シェアード信号、SMAx,y …サブメモリアレイ、SNL…センスアンプのNMOS側の共通駆動線、SPL…センスアンプのPMOS側の共通駆動線、SWD…サブワード線駆動回路、SWL…サブワード線、TGi,TGi+1 …転送ゲート、Vss…共通給電線、Vssa …センスアンプの共通給電線、Vssc …アレイコントローラの共通給電線、Vsso …共通給電線の幹線、Vssw …ワード線駆動回路の共通給電線、YSD…列選択トランジスタの駆動回路、YSL…列選択信号線、YT1,YT2 …列選択トランジスタ。
Claims (5)
- 複数のワード線と複数のビット線対との交点に複数のメモリセルがそれぞれ配置されているメモリセルアレイと、上記複数のワード線をそれぞれ駆動する複数のワード線駆動回路と、上記複数のビット線対にそれぞれ接続されている複数のセンスアンプと、上記複数のセンスアンプを駆動するセンスアンプ駆動回路とを含むメモリアレイ領域と、
電源電圧を供給するための共通給電配線を含む周辺回路領域と、
を有し、
上記複数のワード線駆動回路に電源電圧を供給するための第1の給電配線と、上記複数のセンスアンプ及び上記センスアンプ駆動回路に電源電圧を供給するための第2の給電配線とが、上記メモリアレイ領域内においては分離して配置されており、上記周辺回路領域内において上記共通給電配線に接続されている
半導体記憶装置。 - 上記複数のワード線駆動回路が上記メモリセルアレイに沿って列方向に配置されており、上記複数のセンスアンプが上記メモリセルアレイに沿って行方向に配置されており、上記共通給電配線が行方向に配置されており、上記第1の給電配線と上記第2の給電配線とが互いに平行に列方向に配置されている
請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 上記複数のワード線駆動回路が共通のメインワード線とワード線選択信号線とに接続されており、上記メインワード線と上記ワード線選択信号線とにより上記ワード線が駆動される
請求項1又は2に記載の半導体記憶装置。 - 非選択状態の上記ワード線に対して上記ワード線駆動回路内の第1のトランジスタを介して接地電位が供給され、選択状態の上記ワード線に対して上記ワード線駆動回路内の第2のトランジスタを介して駆動電圧が供給される
請求項3に記載の半導体記憶装置。 - 上記第1の給電配線及び上記第2の給電配線が接地電位を供給するための配線である
請求項1乃至4の何れかに記載の半導体記憶装置。
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