JP3557051B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体記憶装置に関し、特に、高速で読みだしおよび書き込みを行う半導体記憶装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の半導体記憶装置、たとえばDRAMのセル領域では、基板から見て、ビット線を構成する第2層ポリシリコン層よりも上の配線層はキャパシタを除いて2層メタル配線が用いられ、基板表面により近い第1層メタル配線はワード線の裏打ち用として使用され、最上層である第2層メタル配線は、電源線と、複数のセンスアンプに読み出されたデータのうちどのデータを選択するかを決定するための信号線であるCSL線、またはセンスアンプに読み出されたデータをセンスアンプ外に転送するデータ線であるDQ線等に割り当てていた。
【0003】
また、従来の半導体記憶装置のうち、DRAMには3層メタル配線が用いられているものもあるが、この場合も最上層メタル配線は電源線に割り当てていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
半導体記憶装置のデータのアクセススピードに対する要求はさらに大きくなっている。たとえばDRAMでは例えば画像情報の読み出しの場合などにおいて、全てのメモリセルを高速に順次読みだし、センスアンプを連続的に動作させる、いわゆるページモード読みだし機能が広く用いられている。記憶装置へのこのような高速アクセスにおいては、前述したCSL線、DQ線等は高速で繰り返し駆動される結果、その下の第1層メタル配線であるセル選択のワード線等にノイズを与え、非選択のワード線が選択されるというような誤動作を引き起こし、動作を不安定にするという問題点があった。
【0005】
本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その目的とするところは、メモリセルに対して悪影響を及ぼす、CSL線またはDQ線等の駆動に基づくノイズを低減し、高速アクセスを可能とする半導体記憶装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体記憶は、基板上に配列された複数個のメモリセルと、これらのメモリセルに接続されたビット線およびワード線と、前記ビット線に接続され、前記メモリセルの記憶内容を読みだすセンスアンプと、このセンスアンプにより読みだされたデータを転送するデータ線と、前記センスアンプによる読みだしを制御する制御線と、前記メモリセルおよびセンスアンプに動作電位を供給するための電源線とを備え、前記ビット線およびワード線、前記データ線、制御線および電源線が前記基板上に配列された複数個のメモリセルの上方において多層配線される半導体記憶装置において、前記基板表面を基準として、前記ビット線あるいはワード線を第1層、前記電源線を第2層、前記データ線あるいは制御線を第3層に形成するとともに、前記電源線は、前記データ線あるいは制御線からのノイズに対して前記ビット線あるいはワード線をシールドするために、両者の間に介在配置されていることを特徴とするものである。
【0013】
また、本発明の半導体記憶装置は、基板上に配列された複数個のメモリセル部と、これらのメモリセルに接続されたビット線およびワード線と、前記ビット線に接続され、前記メモリセルの記憶内容を読みだす複数個のセンスアンプと、これらのセンスアンプにより読みだされたデータのうちいずれかのセンスアンプに読みだされたデータを選択する複数本の制御線と、前記センスアンプにより読みだされたデータを転送するデータ線と、前記基板に対して垂直方向に積層された複数層の低抵抗配線層とを備え、これらの低抵抗配線層のうち上層を前記制御線またはデータ線に割り当て、前記上層に隣接する下層に前記メモリセル部あるいはセンスアンプに所定の電位を供給する電源線を割り当て、さらにその下層に前記ビット線あるいはワード線を割り当てるとともに、前記電源線は、前記データ線あるいは制御線からのノイズに対して前記ビット線あるいはワード線をシールドするために、両者の間に介在配置されていることを特徴とするものである。
【0016】
【実施例】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
【0017】
図1は、本発明の一実施形態である半導体記憶装置の断面図である。この図は、DRAMの実施例を示す断面図であるが、メモリセル部分1およびセンスアンプその他周辺回路部分2から構成されている。半導体基板3上に拡散層4、ゲート酸化膜5、第1層ポリシリコン7をゲートとするMOSトランジスタが形成されている。拡散層4は、トランジスタのソース、ドレインを形成している。セル部分は通常、P型基板またはP型のウェルの中のNMOSを使用していて、拡散層4は、N型半導体になっている。拡散層4はトランジスタのソース、ドレインだけでなく、ウェル等の電位を与える濃度の濃い拡散層であることもある。素子分離酸化膜6は、トランジスタ素子を分離している厚い酸化膜である。
【0018】
ストレージノ一ドである第3層ポリシリコン9、キャパシタ酸化膜10、プレートである第4層ポリシリコン11によって、キャパシタを構成している。第3層ポリシリコン9は第3層ポリシリコン用コンタクト8により拡散層4にコンタクトしている。第3層ポリシリコン用コンタクト8は、第2層ポリシリコン13の配線の間をくぐって第3層ポリシリコン9に接続されている。この図ではキャパシタはスタック型を想定しているが、トレンチ型でも構成できる。
【0019】
第2層ポリシリコン13はビット線を構成しており、紙面の左右方向に伸びセンスアンプ部2に接続されている。第2層ポリシリコン13には、より低抵抗であるWSi等の材料も用いられる。第2層ポリシリコン13は基板3面に対して垂直方向に設けられている第2層ポリシリコン用コンタクト12により、拡散層4に接続されている。
【0020】
ワード線を構成する第1層ポリシリコン7は紙面に垂直方向に伸びているが、高抵抗のため多くのメモリセルがつながるとワード線を駆動する速度が落ちてしまう。このため、低抵抗材料の第1層メタル配線16で裏打ちされている。第1層メタル配線16も紙面に垂直方向に伸びている。第1層メタル配線16は図示しないがシャント部と呼ばれる部分でワード線を構成する第1層ポリシリコン7とコンタクト15を介して接続されている。
【0021】
第2層メタル配線18は図2に示されるように、基板3に平行な平面内に複数本並列に配列され、それぞれVcc、Vss、プレート電位VPL、ビット線のプリチャージ電位VBL等の電源線に使用されている。これらの電源線は、セル部やセンスアンプ部等に電位を供給したり、セル部やセンスアンプ部をまたいで電源電位を供給したりするのに使用している。電源線は、セル動作の間でも変動が少なく、また容量も大きい。図1では、電源線である第2層メタル配線18は、ビット線13と同じ方向に伸びているがワード線7と同じ方向に伸びるように配置してもよい。第2層メタル配線18はセンスアンプやその他周辺回路の部分2では、拡散層4や、第1層ポリシリコン7へ接続されている。すなわち、第2層メタル配線18から第1層メタル配線16まではコンタクト17を通して接続され、第1層メタル配線16から、拡散層4または第1層ポリシリコン7へはコンタクト14または、コンタクト15を介して接続されている。
【0022】
第3層メタル配線20は、センスアンプに読み出したデータのうちどのデータをセンスアンプ外に読み出すかを選択する信号線であるCSL線、センスアンプに読み出したデータを外部に転送するDQ線とに使用されており、図面の左右方向に伸びている。周辺回路部分のセンスアンプ部で、CSL線はCSLゲートにDQ線はDQの拡散層にコンタクトしている。すなわち、第3層メタル配線20から第2層メタル配線18まではコンタクト19で接続されており、第2層メタル配線18から、拡散層4または第1層ポリシリコン7へはコンタクト14または、コンタクト15を通して接続されている。
【0023】
配線層間絶縁酸化膜21は上述した各配線層間に介在してそれらを相互に絶縁分離している。また、図1の図面に垂直な方向は図示しないが素子分離酸化膜によって分離された、図1に示された素子あるいは配線層が繰り返し配置されている。
【0024】
図2は上記本発明の半導体記憶装置を図1の一点鎖線X−Yに沿って切断した断面を示す図である。同図から明らかなように、電源線として用いられる第2層メタル配線18は基板3の表面に対して平行な面内に並列配置され、CSL線あるいはDQ線として用いられる第3層メタル配線20と、ワード線を裏打ちしている第1走メタル配線16およびそれより下側の層25、たとえば、ビット線を構成する第2層ポリシリコン、ワード線を構成する第1層ポリシリコン7、16などの下層配線層あるいはMOSトランジスタやキャパシタンスなどの素子とを分離している。すなわち、電源線として用いられる第2層メタル配線18は、他の配線に比べて線幅が広く、その厚さも同等かあるいはやや大きく、内部を流れる電流はメモリセルの動作期間においても変動が少ないため、その上層にある信号電流の変化の激しいCSL線あるいはDQ線から発生するノイズに対して、下層の配線や素子をシールドする効果がある。
【0025】
なお、図2はメモリセル部分1の断面図であるが、センスアンプその他周辺回路部分2も同様な構成になっている。
【0026】
図3は図1に示した半導体記憶装置の回路図である。図のほぼ中央から左側はセル部1で、右側はセンスアンプ部2である。図中、NS、ND、N1〜N7はNMOSトランジスタであり、P1〜P3はPMOSトランジスタである。
【0027】
セル部1の各メモリセルはセルトランジスタNSとセルキャパシタCSからなっている。セルトランジスタNSは図1の半導体基板3、拡散層4、ゲート酸化膜5、ゲートである第1層ポリシリコン7から構成されている。セルキャパシタCSは図1のストレージノ一ドである第3層ポリシリコン9、キャパシタ酸化膜10、プレートである第4層ポリシリコン11によって構成されている。トランジスタNDは、キャパシタCDとともにダミーセルを構成するトランジスタである。これらのトランジスタND、キャパシタCDの構造はセルトランジスタNSとセルキャパシタCSと同じである。
【0028】
セル部1の各メモリセルを構成するセルトランジスタNSのゲートに接続されるワード線ペア101、/101は、図1の第1層ポリシリコンが用いられており、前述したように第1層メタル配線16で裏打ちされている。セル部1の各ダミーセルを構成するトランジスタNDのゲートに接続されるダミーワード線ペア102、/102は、ワード線ペア101、/101と同じ構造を有している。ビット線ぺア110、/110は図1の第2層ポリシリコン13で構成されており、コンタクト12によってセルトランジスタNSおよびダミートランジスタNDの拡散層4にされている。
【0029】
メモリセルあるいはダミーセルを構成するキャパシタCS、CDのプレートノ一ドは図1においては第4層ポリシリコン11で形成されているが、ここにプレート電位VPLが配線120により与えられている。これはセル部の端部において、第2層メタル配線18から与えられている。
【0030】
トランジスタN1はΦtゲートと呼ばれるトランジスタで、Φt線103をハイ“H”゛にすることにより、セル部のビット線110、/110とセンスアンプ部のビット線111、/111を接続する。Φt線103もワード線101と同様にゲートである第1層ポリシリコン7を第1層メタル配線16で裏打ちされている。
【0031】
トランジスタN2はDQゲートトランジスタで、CSL線113が、“H”になるとセンスアンプ部のビット線111、/111をLDQ線104、105に接続し、センスアンプのデータをセンスアンプ外部に転送する。
【0032】
LDQ線104、105は、DQ線112、/112に接続されている。CSL線113は、図1の第3層メタル配線20より構成されており、図1において説明したように、コンタクト19、第2層メタル配線18、コンタクト17、第1層メタル配線16、コンタクト15を通してCSLゲートである第1層ポリシリコン7に接続されている。また、DQ線112、/112は、図1の第3層メタル配線20より構成されており、コンタクト19、第2層メタル配線18、コンタクト17を通してLDQ線104、105である第1層メタル配線16に接続される。105、104である第1層メタル配線16は、コンタクト14によりN2の拡散層4に接続されている。
【0033】
トランジスタN3、N4はクロスカップルしたNMOSトランジスタで、NMOSのセンスアンプを構成している。トランジスタN3、N4のドレインノ一ドは互いに他方のトランジスタのゲートと、センスアンプ部のビット線111、/111に接続されているが、ソースノ一ドはセンスアンプ駆動用の電位を付与するための/SAN線106に接続されている。/SAN線106は、第1層メタル配線16により構成されており、ビット線110、/110と垂直方向、すなわち、図1の紙面に対して垂直な方向に伸びており、トランジスタN3、N4のソースノ一ドである拡散層4にコンタクト14を通して接続されている。/SAN線106には複数個のセンスアンプが接続されているが、ワード線のシャント部に当たる部分では、/SANドライバトランジスタN7が配置されており、そのドレインは/SAN線106に接続されている。/SAN線106は、図1においてはトランジスタN7のドレインノ一ドである拡散層4にコンタクト14を通して接続している。
【0034】
トランジスタN7のゲートにはセンスアンプ駆動用のSANST信号を供給するためのSANST信号線116が接続されている。SANST信号線116は、/SAN線106と同様に第1層メタル配線16により、ビット線と垂直方向、図1での紙面に対して垂直な方向に伸びている。しかしこれを第2層メタル配線18によって、ビット線と同方向に配線してもかまわない。SANST信号線116を第1層メタル配線16により、ビット線と垂直方向に配線したときは、SANST信号線116はコンタクト15によりトランジスタN7のゲートである第1層ポリシリコン7に接続される。また、SANST信号線116を第2層メタル配線18によって、ビット線と同方向に配線した時は、SANST信号線116はコンタクト17、第1層メタル配線16、コンタクト15を介してN7のゲートである第1層ポリシリコン7に接続される。トランジスタN7のソースノ一ドは、電源の1つであるVSS線114に接続されている。VSS線114は第2層メタル配線18により与えられていて、コンタクト17、第一層メタル配線16、コンタクト14を通して、N7のソースノ一ドの拡散層4に接続されている。
【0035】
トランジスタPl、P2はクロスカップルしたPMOSトランジスタで、PMOSのセンスアンプを構成している。トランジスタP1とP2のドレインノ一ドは互いに他方のトランジスタのゲートと、センスアンプ部のビット線111、/111とに接続されており、ソースノ一ドはセンスアンプを駆動するためのSAP線107に接続されている。SAP線107は、第1層メタル配線16により、ビット線と垂直方向、すなわち、図1では紙面に対して垂直な方向に伸びており、トランジスタP1、P2のソースノ一ドである拡散層4にコンタクト14を通して接続されている。SAP線107には複数個のセンスアンプが接続されているが、ワード線のシャン卜部に当たる部分では、SAPドライバトランジスタP3が配置されており、そのドレインはSAP線107に接続されている。SAP線107は、トランジスタP3のドレインノ一ドである拡散層4にコンタクト14を通して接続されている。トランジスタP3のゲートには、センスアンプ駆動用のSAPST信号を供給するためのSAPST信号線117が接続されている。 SAPST信号線117は、SANST信号線116と同様に第1層メタル配線16により、ビット線と垂直方向、すなわち、図1においては紙面に対して垂直な方向に伸びるように配線されている。しかし、SAPST信号線117は、また、第2層メタル配線18によって、ビット線と同方向に配線してもかまわない。SAPST信号線117を第1層メタル配線16により、ビット線と垂直方向に配線したときは、SAPST信号線117はコンタクト15によりトランジスタP3のゲートである第1層ポリシリコン7に接続される。SAPST信号線117を第2層メタル配線18によって、ビット線と同方向に配線した時はコンタクト15、17、第1層メタル配線16およびコンタクト15を介してトランジスタP3のゲートである第1層ポリシリコン7に接続される。トランジスタP3のソースノ一ドは、電源の1つであるVDD線115に接続されている。このVDD線115は第2層メタル配線18により構成されており、図1に示したように、コンタクト17、第一層メタル配線16およびコンタクト14を通して、P3のソースノ一ドの拡散層4に接続されている。
【0036】
トランジスタN5、N6はセンスアンプ部のビット線111、/111をイコライズする回路である。イコライズ信号線/EQL109が“H”になるとトランジスタN6はビット線111を/111と接続し、トランジスタN5はビット線111と/111の電位をビット線プリチャージ電位VBLにする。電位VBLはVBL線108により与えられるが、このVBL線108は、図1においては、第1層メタル配線16により構成され、ビット線111/111に対して垂直に伸びて、トランジスタN5のソースノ一ドである拡散層4にコンタクト14を介して接続されている。このVBL線108はコンタクト17によって電源線を構成する第2層メタル配線18に接続されている。
【0037】
/EQL信号線109は、図1においては、第1層メタル配線16により構成され、ビット線111/111に垂直に伸びて、トランジスタN5、N6のゲートノ一ドにコンタクト15を介して接続される。この/EQL信号線109は、また、コンタクト17によってビットに平行に伸びる第2層メタル配線18に接続されている。
【0038】
図4は、図3に示した記憶装置であるDRAMの動作波形を示している。以下同図に従ってその動作を説明する。
【0039】
スタンバイ状態では/EQL信号線109、Φt線103は“H”になっており、ビット線110、/110、111、/111は、VBL線108から供給されるビット線プリチャージ電位VBLになっている。動作状態に入ると、同図(A)に示されるように、先ず始めにイコライズ信号線/EQL109が、ロウ“L”になり、同時に、ワード線101とダミーワード線102が、同図(B)に示されるように、“H”になり、セルキャパシタCS、ダミーキャパシタCDに蓄えられた電荷が、同図(E)に示されるように、ビット線110、/110に読み出される。その後、同図(C)に示されるように、Φt線103が“L”になり、同図(D)に示されるように、それまで“L”だったSANST信号線116、118を“H”に、また、それまで“H”だったSAPST信号線117、119を“L”にすることにより、/SAN線106をVSSに、/SAP線107をVDDにする。この動作で、同図(F)に示されるように、ビット線111、/111に読み出された微小振幅を増幅する。その後、同図(G)に示されるように、選択されたCSL線113を“H”にすることにより、ビット線111、/111に読み出された信号をLDQ線104、105、DQ線112、/112に転送する。ここまでが、読み出し動作であり、図4の横軸の左半分の部分に示されている。
【0040】
書き込み動作は、図4の横軸の右半分の部分に示されているように、逆にDQ線112、/112、LDQ線104、105からのデータをCSL線113を同図(G)に示されるように、“H”にすることにより選択されたセンスアンプに書き込む。センスアンプ内に書き込みが終ると、CSL線113を“L”にしてLDQ線104、105をセンスアンプより切り離し、Φt線103を同図(C)に示されるように、“H”にしてセル内にデータを書き込む。その後書き込まれたセルのワード線101を同図(B)に示されるように、下げる。その後、同図(A)に示されるように、/EQL線109を“H”にしてビット線110、/110をイコライズする。最後にダミーワード線102“L”にして、プリチヤージ電位をダミーセルのキャパシタCDに書き込む。
【0041】
本発明の記憶装置の1つであるDRAMは以上のような読みだし書き込み動作を行うが、ページモードなどにおいて、連続して何回もデータを読み出し書き込みを行うと、CSL線113、LDQ線104、105、DQ線112、/112は、電位変動を繰り返すことになる。そうするとこれらの線と結合容量を持つ配線は、ノイズを受けやすくなる。一回にアクセスするデータ量が多くなったり、高速にデータをアクセスする程この傾向は強まる。本発明ではこのような状況に対処するため、DQ線112、/112、CSL線113をセル部分では最上の配線層である第3層メタル配線20を用いて配線し、これらの線と結合容量の多いその下の配線層である第2層メタル配線18を容量が大きく変動の少ない電源線に用いることにより、それより下層の配線、たとえば、第1層メタル配線20により配線されるワード線等に対して、CSL線113、DQ線112、/112からのノイズの混入を抑えている。
【0042】
このようにCSL線、DQ線に第3層メタル配線20を用い、第2層メタル配線18を電源線にすることにより、セル動作の時に変動するCSL線、DQ線のノイズが、変動が少なく容量の大きい電源線である第2層メタル配線18により、シールドされ第1層メタル配線16より下に影響を与えなくなる。これにより、高速で安定に動作する半導体記憶装置を提供することが可能となる。メモリーを高速動作するとCSL線、DQ線の変動量は多くなるので、これによるノイズは無視できなくなるので、上記の効果は絶大なものとなる。
【0043】
また、ポリシリコン等の配線は、プロセス的に可能になればより低抵抗のメタル配線にかえることもできるので、上記の第n層(n=1,2,...)ポリシリコン、メタル配線等は必ずしもこれらの材料に限定する必要はない。
【0044】
図5は本発明の半導体記憶装置の他の実施形態を示す断面図である。すなわち、同図は本発明をEEPROMに適用した実施形態を示す断面図であるである。なお、同図においては図1と同一または類似の構成部分には同一符号を付し、詳細な説明は省略する。
【0045】
このEEPROM半導体装置はメモリセル部分1、センスアンプやロウデコーダ、カラムデコーダその他の周辺回路部分2から構成されている。半導体基板3上には拡散層4、ゲート酸化膜5、第1層ポリシリコン7をゲートとするMOSトランジスタが形成されている。拡散層4は、トランジスタのソース、ドレインを形成している。セル部分は通常、P型基板またはP型のウェルの中のNMOSを使用していて、拡散層4は、N型半導体になっている。拡散層4はトランジスタのソース、ドレインだけでなく、ウェル等の電位を与える濃度の濃い拡散層であることもある。素子分離酸化膜6は、トランジスタ素子を分離している厚い酸化膜である。上記拡散層4、ゲート酸化膜5、第1層ポリシリコン7をゲートとするMOSトランジスタはさらに、フローティングゲート22およびセレクティブゲートであるワード線23を含んでいる。
【0046】
第2層ポリシリコン13はビット線を構成し、紙面の左右方向に伸びセンスアンプ部2に接続されている。第2層ポリシリコン13の代わりに、より低抵抗であるWSi等の材料も用いられる。コンタクト12は第2層ポリシリコン13と拡散層4間を基板3面に対して垂直方向に接続している。
【0047】
第1層メタル配線18は、Vcc、Vss、プレート電位VPL、ビット線のビット線のプリチャージ電位VBL等の電源線に使用している。この電源線は、セル部1やセンスアンプ部2等に電位を供給したり、セル部1やセンスアンプ部2をまたいで電源電位を供給したりするのに使用している。電源線は、セル動作の間でも変動が少なく、また容量も大きい。図5では、電源線である第1層メタル配線18は、ビット線を構成する第2層ポリシリコン13と同じ方向に伸びているが、ワード線23方向に伸びるようにアレンジしてもよい。
【0048】
第1層メタル配線18はセンスアンプやその他の周辺回路の部分2では、拡散層4や、第1層ポリシリコン7に接続されている。すなわち、第1層メタル配線18から拡散層4または第1層ポリシリコン7へはコンタクト14または、コンタクト15を通して接続されている。
【0049】
第2層メタル配線20は、センスアンプに読み出したデータのうちどのデータをセンスアンプ外に読み出すかを選択する信号線CSL線、センスアンプに読み出したデータを外部に転送するDQ線とに使用されており、図面左右方向に伸びている。CSL線は、周辺回路部分2のセンスアンプ部で、CSLゲートに、また、DQ線も同様にDQゲートの拡散層にコンタクトしている。すなわち、第2層メタル配線20から第1層メタル配線18まではコンタクト19で接続されており、第1層メタル配線18から、拡散層4または第1層ポリシリコン7へはコンタクト14または、コンタクト15を通して接続されている。
【0050】
配線層間絶縁酸化膜21は上述した各配線層間に介在してそれらを相互に絶縁分離している。また、図5の図面に垂直な方向は図示しないが素子分離酸化膜によって分離された、図5に示された素子あるいは配線層が繰り返し配置されている。
【0051】
この実施形態においても第1の実施形態の場合と同様に、ポリシリコン等の配線は、プロセス的に可能になればより低抵抗のメタル配線にかえることもできる。
【0052】
また、上記の実施形態においては、本発明をDRAMおよびEEPROMに適用したが、本発明はこれらに限定されることはなく、SRAM等その他のメモリセルの上層にDQ線やCSL線が配線される多層配線構造の半導体記憶装置にも適用可能である。
【0053】
図6および図7は本発明のさらに他の実施形態を示す図で、半導体記憶装置のセル部およびセンスアンプ部の断面図であるである。
【0054】
図6に示される半導体記憶装置においては、5つの低抵抗配線層201〜205からなり、中間層203に変動の大きいCSL線やDQ線を配置し、その下層202と上層204に電源線を配置している。最下層201、最上層205はワード線等他の信号線である。このようにすることにより、中間層203は、下層202および上層204によりシールドされるため、最下層201、最上層205の受けるノイズは低減される。本発明はこのような構造をいずれかの層で用いていればよく最上層205より上層に配線層を設けても本発明の趣旨には逸脱しない。
【0055】
図7示される半導体記憶装置においては、4つの低抵抗配線層201〜204からなり、上層203および204に、変動の大きいCSL線やDQ線を配置し(204a、 203a)さらに、その両隣を電源線(204b、203b)でシールドすることによりDQ線間、CSL線間、およびDQ線とCSL線の線間ノイズもシールドしている。また、図6と同じくその下層202に電源線を配置してシールドするため、最下層201の受けるノイズは低減される。
【0056】
本発明はこれらの構造をいずれかの層で用いていればよく最上層204より上層に配線層を設けても本発明の趣旨には逸脱しない。
【0057】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、メモリセル領域あるいはその周辺領域でで複数層の低抵抗メタル配線を実現し、その最上層メタル配線をセンスアンプに読み出されたデータのうちどのデータを選択するかの信号線であるCSL線、またはセンスアンプからデータをセンスアンプ外に転送するデータ線DQ線等に割り当て、その下の第2層メタル配線は、動作時に変動の少なく、容量の大きい電源線として使用することで、動作時のCSL線、DQ線の変動によるノイズをさらにその下のワード線、ビット線あるいはメモリセルに対してシールドしその影響を低減した半導体記憶装置を実現できる。
【0058】
【図の簡単な説明】
【0059】
【図1】本発明の一実施形態である半導体記憶装置の断面図である。
【0060】
【図2】図1の一点鎖線X−Yに沿って切断した断面を示す図である。
【0061】
【図3】図1に示した半導体記憶装置の回路図である。
【0062】
【図4】図3に示した記憶装置であるDRAMの動作波形を示している。
【0063】
【図5】本発明の半導体記憶装置の他の実施形態を示す断面図である。
【0064】
【図6】本発明のさらに他の実施形態を示す図で、半導体記憶装置のセル部およびセンスアンプ部の断面図であるである。
【0065】
【図7】本発明のさらに他の実施形態を示す図で、半導体記憶装置のセル部およびセンスアンプ部の断面図であるである。
【0066】
【符号の説明】
1...セルアレイ部分
2...センスアンプ周辺回路部分
3...半導体基板
4...拡散層
5...ゲート酸化膜
6...素子分離酸化膜
7...第1層ポリシリコン
8...第3層ポリシリコン用コンタクト
9...第3層ポリシリコン
10...キャパシタ用酸化膜
11...第4層ポリシリコン
12...第2層ポリシリコン用コンタクト
13...第2層ポリシリコン
14...第1層メタル配線用コンタクト
15...第1層メタル配線および第1層ポリシリコン間コンタクト
16...第1層メタル配線
17...第1層メタル配線および第2層メタル配線間コンタクト
18...第2層メタル配線
19...第2層メタル配線および第3層メタル配線問コンタクト
20...第3層メタル配線
21...層間酸化膜
25...第1層メタル配線より下の素子部分
101、/101...ワード線
102、/102...ダミーワード線
103...Φt線
104、105...LDQ線
106.../SAN線
107...SAP線
108...VBL線
109.../EQL線
110、/110...セル領域のビット線
111、/111...センスアンプ領域のビット線
112、/112...DQ線
113...CSL線
114...VSS電源線
115...VDD電源線
116...SANST線
117...SAPST線
118...VPL電源線
Claims (10)
- 基板上に配列された複数個のメモリセルと、これらのメモリセルに接続されたビット線およびワード線と 、 前記ビット線に接続され 、 前記メモリセルの記憶内容を読みだすセンスアンプと、このセンスアンプにより読みだされたデータを転送するデータ線と、前記センスアンプによる読みだしを制御する制御線と、前記メモリセルおよびセンスアンプに動作電位を供給するための電源線とを備え、前記ビット線およびワード線、前記データ線、制御線および電源線が前記基板上に配列された複数個のメモリセルの上方において多層配線される半導体記憶装置において、前記基板表面を基準として、前記ビット線あるいはワード線を第 1 層、前記電源線を第 2 層、前記データ線あるいは制御線を第 3 層に形成するとともに 、 前記電源線は 、 前記データ線あるいは制御線からのノイズに対して前記ビット線あるいはワード線をシールドするために 、 両者の間に介在配置されていることを特徴とする半導体記憶装置。
- 前記電源線は、前記データ線あるいは制御線の直下に配置されていることを特徴とする請求項 1 記載の半導体記憶装置。
- 前記複数個のメモリセル配列と前記センスアンプとを接続するビット線あるいはワード線は前記電源線の下側に配置されていることを特徴とする請求項 1 または 2 記載の半導体記憶装置。
- 前記多層配線構造の半導体記憶装置は、前記基板表面から上方に向かって第 1 層乃至第 3 層メタル配線を備え、前記第 1 層メタル配線は前記ワード線の裏打ち配線として用い、前記第 2 層メタル配線は前記電源線として用い、前記第 3 層メタル配線は前記データ線あるいは制御線として用いることを特徴とする請求項 3 記載の半導体記憶装置。
- 前記多層配線構造の半導体記憶装置は、前記基板表面から上方に向かって第 1 層乃至第 4 層ポリシリコンを備え、前記第 1 層ポリシリコンは前記ワード線として用い、前記第 2 層ポリシリコンは前記ビット線として用い、前記第 3 層および第 4 層ポリシリコンは前記メモリセルのキャパシタとして用いることを特徴とする請求項 4 記載の半導体記憶装置。
- 前記多層配線構造の半導体記憶装置は、前記第 3 層ポリシリコン および前記基板上に配列された複数個のメモリセルに含まれるトランジスタの一方の電極問を接続する前記基板表面に対して垂直方向に延長された第 1 のコンタクトと、前記第 2 層ポリシリコンおよび前記基板上に配列された複数個のメモリセルに含まれるトランジスタの他方の電極問を接続する前記基板表面に対して垂直方向に延長された第 2 のコンタクトと、前記第 1 層メタル配線および前記第 1 層ポリシリコンを接続する前記基板表面に対して垂直方向に延長された第 3 のコンタクトとを備えたことを特徴とする請求項5記載の半導体記憶装置。
- 前記電源線は前記基板表面に対して平行に複数本並列配置され、前記基板表面に対して垂直方向に延長された第 4 のコンタクトにより、前記第 1 層あるいは第 3 層メタル配線と相互に接続されることを特徴とする請求項 6 記載の半導体記憶装置。
- 基板上に配列された複数個のメモリセル部と、これらのメモリセルに接続されたビット線およびワード線と 、 前記ビット線に接続され 、 前記メモリセルの記憶内容を読みだす複数個のセンスアンプと、これらのセンスアンプにより読みだされたデータのうちいずれかのセンスアンプに読みだされたデータを選択する複数本の制御線と、前記センスアンプにより読みだされたデータを転送するデータ線と、前記基板に対して垂直方向に積層された複数層の低抵抗配線層とを備え、これらの低抵抗配線層のうち上層を前記制御線またはデータ線に割り当て、前記上層に隣接する下層に前記メモリセル部あるいはセンスアンプに所定の電位を供給する電源線を割り当て 、 さらにその下層に前記ビット線あるいはワード線を割り当てるとともに 、 前記電源線は 、 前記データ線あるいは制御線からのノイズに対して前記ビット線あるいはワード線をシールドするために 、 両者の間に介在配置されていることを特徴とする半導体記憶装置。
- 前記メモリセル部は前記基板表面部に形成されたトランジスタと、前記基板表面上方に積層形成されたキャパシタからなることを特徴とする請求項 8 記載の半導体記憶装置。
- 前記電源線に割り当てられた低抵抗配線層よりさらに下層の低抵抗配線層は 、 前記メモリセル部を構成するトランジスタの電極に接続されたワード線あるいはビット線に割り当てられることを特徴とする請求項9記載の半導 体記憶装置。
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