JP3522221B2 - 比較的多数の内部データ・ラインを持つ高速メモリ回路用のアーキテクチャ - Google Patents

比較的多数の内部データ・ラインを持つ高速メモリ回路用のアーキテクチャ

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JP3522221B2 JP2001012953A JP2001012953A JP3522221B2 JP 3522221 B2 JP3522221 B2 JP 3522221B2 JP 2001012953 A JP2001012953 A JP 2001012953A JP 2001012953 A JP2001012953 A JP 2001012953A JP 3522221 B2 JP3522221 B2 JP 3522221B2
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    • H10BELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B12/00Dynamic random access memory [DRAM] devices
    • H10B12/50Peripheral circuit region structures

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、メモリ集積回路に
係り、特に、多数の内部データ・ラインを持つ高速メモ
リ集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】書込み/読出しメモリ集積回路は、書込
みというプロセスによりデータを記憶し、読出しという
プロセスにより、そのデータの以降の検索を可能にす
る。従来のメモリ回路の場合には、メモリ・セルの、ア
レイの形に配列された複数の記憶位置にデータが記憶さ
れる。各記憶位置は、行識別子および列識別子の両方を
含むアドレスにより識別される。メモリ集積回路のセル
に記憶することができるデータの量は、その回路の記憶
容量と呼ばれる。従来のメモリ回路の場合には、内部デ
ータ線は、書込みサイクル中にデータを記憶位置に移動
させ、読出しサイクル中に記憶位置から移動させる。
【0003】ある特定のタイプのメモリ回路は、ランダ
ム・アクセス・メモリ(「RAM」)回路と呼ばれる。
ランダム・アクセス・メモリ回路を使用した場合には、
記憶位置にランダムにアクセスすることができるし、デ
ータをメモリ回路の記憶位置からランダムに読み出すこ
ともできるし、記憶位置にランダムに書き込むこともで
きる。RAM回路は、通常、二つのタイプに分類され
る。第一のタイプのRAMは、スタティックRAM回路
(「SRAM」)と呼ばれる。SRAM回路の最も重要
な特徴は、回路に電力が供給されている限り、回路の記
憶位置が、その内部に記憶しているデータをいつまでも
保持するためにラッチを使用していることである。第二
のタイプのRAMは、ダイナミックRAM (「DRA
M」)回路と呼ばれる。DRAM回路の最も重要な特徴
は、この回路が、記憶位置に記憶したデータを保持する
ために、コンデンサのような電荷記憶素子を使用してい
ることであり、この回路の場合、データを保持するため
には、データを周期的に再充電(すなわち、リフレッシ
ュ)してやらなければならないことである。
【0004】当業者であれば理解できると思うが、多数
の内部データ・ラインを必要とする従来技術のメモリ集
積回路は、通常、大電力を必要とし、比較的速度が遅
く、通常、大電力とアース・ライン抵抗を持つ。この高
い抵抗により、望ましくない電力供給ノイズと、アース
・ノイズを発生する。そのため、回路の速度が制限され
る。埋設型DRAMマクロの形で、本発明を図示し、説
明するが、当業者であれば、本発明の原理をメモリ集積
回路全体に適用することができること、より詳細に説明
すると、多数の内部データ・ラインを必要とする高速メ
モリ集積回路に適用することができることを理解するこ
とができるだろう。
【0005】本明細書全体を通して、とりわけ、メモリ
集積回路の好適な実施形態が内蔵している入力、出力、
ラインおよびバスを頻繁に参照する。本明細書全体を通
して、データ・ラインのような上記入力等の中の一つを
参照し、そのデータ・ラインが、識別のための特定の参
照番号を持っている場合には、同じ参照番号を持ってい
るが、それに「B」がついている他のデータ・ライン
は、それと相補対をなすものであると理解されたい。例
えば、データ・ライン300Bは、データ・ライン30
0と相補対になるものであることを理解されたい。逆
に、データ・ライン300は、データ・ライン300B
と相補対になるものである。一般的にいって、これらの
相補対になるものが、(等化の場合のように)相互に結
合される場合、またはこれらの相補対になるものが、特
別の目的のために、同じロジック状態に駆動されない場
合であって、データ・ライン300が高レベルである場
合には、データ・ライン300Bは低レベルになる。反
対に、特殊な状態でない場合には、データ・ライン30
0は低レベルであり、データ・ライン300Bが高レベ
ルである。当業者であれば、この概念を理解することが
できるだろうし、参考のためにこの状況を本明細書に記
載した理由を理解することができるだろう。
【0006】図1は、従来のDRAMメモリ・マクロ用
のアーキテクチャである。より詳細に説明すると、図1
は、第一の横方向に延びる境界22、およびその対向側
面を形成する、関連する横方向に延びる境界24を持つ
埋設DRAMマクロ20Aを示す。マクロ20Aは、さ
らに、二つの対向する縦方向に延びる境界26、28を
含む。DRAMマクロ20Aは、複数のメモリ・セル・
アレイまたはバンク30を含むが、各メモリ・セル・ア
レイは、複数のメモリ・セル(すなわち、記憶位置)を
含む。各メモリ・セルは、識別のための一意の行アドレ
スおよび列アドレスを持つ。
【0007】列デコーダ・ロジック回路32は、境界2
6の全長にわたって、境界26に近接して配置されてい
る。図に示すように、数本の列選択ライン34が、列デ
コーダ・ロジック回路32から、マクロ20Aを横切っ
て、メモリ・セル・バンク30上を横方向に延びる。縦
方向に延びるバン36は、隣接するメモリ・セル・バ
ンク30を分離する。バンド36は、それぞれ、複数の
感知アンプ(図示せず)を含む。このため、当業者は、
通常、バンド36を感知アンプ・バンドと呼ぶ。図1に
示すように、従来のDRAMマクロの場合には、データ
・ライン38、電力ライン40、およびアース・ライン
42は、マクロ20Aを横切って感知アンプ・バンド3
6を通って縦方向に延びる。電力ライン40は、通常、
当業者がVccと呼ぶ電圧に設定される。また、アース
・ライン42は、通常、当業者がVssと呼ぶ電圧に設
定される。
【0008】今説明したように、この従来のアーキテク
チャの場合には、データ・ライン34および電力ライン
40、およびアース・ライン42は、感知アンプ・バン
ド36を通って延びる。さらに、列選択ライン34は、
通常、データ・ラインをほぼ横切る方向に、メモリ・ア
レイ30を横切って延びる。種々の用途に適してはいる
ものの、マクロ20A用のこの従来のアーキテクチャ
は、多数の内部データ・ライン38を持つメモリ回路用
には適していない。より詳細に説明すると、恐らく、2
〜4本のデータ・ラインのような少数のデータ・ライン
だけが、各感知アンプ・バンド36を横切って延びるこ
とができる。この制限は、チップ面積が限られているか
らであり、そのため、感知アンプ・バンド36の幅が制
限される。さらに、この従来のアーキテクチャの場合に
は、電力ライン40およびアース・ライン42は、比較
的大きい抵抗を持つ。特に、電力ラインおよびアース・
ラインは、感知アンプ・バンドを通って延びているの
で、これらのラインは、比較的狭いものでなければなら
ない。そのため、これらラインの抵抗は、比較的高くな
る。
【0009】図2は、比較的多数の内部データ・ライン
を収容する、DRAMマクロ・アーキテクチャである。
図2のDRAMマクロ・アーキテクチャは、マクロ20
Bを横切って、メモリ・アレイ30上を、マクロを横切
って延びる感知アンプ・バンド36をほぼ横切る方向
に、横方向に延びるグローバル・データ・ライン44を
含む。マクロ20Bは、さらに、感知アンプ・バンド3
6を通って縦方向に延びていて、グローバル・データ・
ライン44と接続している、ローカル・データ・ライン
46を含む。感知アンプ・バンド36が内蔵する、所定
の組の感知アンプは、これら各ローカル・データ・ライ
ン46を共有することができる。各ローカル・データ・
ライン46は、一組の感知アンプと正確に関連する。さ
らに、感知アンプの各組は、ただ一つのローカル・デー
タ・ライン46だけに正確に関連する。
【0010】読出し動作中は、複数の組の感知アンプの
中の、一組の内の感知アンプの中の選択した感知アンプ
が、その関連する列選択ライン34上に存在する信号に
より動作可能になる。それ故、その選択した感知アンプ
に関連する、メモリ・セル内に記憶しているデータが、
その選択した感知アンプに接続しているローカル・デー
タ・ライン46に移される。その後で、上記データは、
マクロ20Bの外部に位置する回路素子による以降の処
理のために、そのローカル・データ・ライン46に接続
しているグローバル・データ・ライン44に移される。
【0011】書込み動作中、データは、その内部のある
アドレスに記憶するために、外部回路素子(例えば、マ
イクロプロセッサ)からメモリ・マクロ20Bに送られ
る。データは、最初、グローバル・データ・ライン44
からローカル・データ・ライン46に移される。複数の
組の感知アンプの中の一組内の感知アンプの中から選択
されたものが、その関連する列選択ライン34上に存在
する信号により動作可能になる。その後で、選択した感
知アンプに接続している、ローカル・データ・ライン4
6上に位置するデータが、メモリ・アレイ30のその記
憶位置に記憶するために、その選択した感知アンプに関
連するメモリ・セルに送られる。
【0012】図2のアーキテクチャは、何等のエリア・
ペナルティなしに多数の内部データ・ラインを収容する
ことができるけれども、二つの大きな欠点がある。第一
の欠点は、グローバル・データ・ライン46のキャパシ
タンスが比較的大きく、そのため、性能が低下し、電力
消費が増大することである。第二の欠点は、上記グロー
バル・データ・ラインは、幅の狭い感知アンプ・バンド
36を貫通しているので、電力ライン40およびアース
・ライン42が比較的狭いことである。すでに説明した
ように、そのため、上記ラインの抵抗が高くなりすぎ
る。
【0013】図3の他のアーキテクチャについて説明す
ると、この図のマクロ20Cは、マクロを横切って、メ
モリ・アレイ30上を横方向に延びる列選択ライン34
と、同じ方向に延びるグローバル・データ・ライン44
と、感知アンプ・バンド36を通って縦方向に延びるロ
ーカル・データ・ライン46と、複数の電力ライン40
および複数のアース・ライン42とを含む。電力ライン
40およびアース・ライン42の内の数本は、アレイを
横切って横方向に延びるが、他の電力ラインおよびアー
ス・ラインは、感知アンプ・バンド36を通して縦方向
に延びる。マクロ20Cを横切って縦方向に延びるこれ
らの電力ライン40およびアース・ライン42の幅は、
上記の幅よりも広い。さらに、このアーキテクチャの場
合には、感知アンプ・バンド36を通って縦方向に延び
るこれらの電力ライン40およびアース・ライン42
は、電力バス容量およびアース・バス容量の実効幅を増
大する。従って、このアーキテクチャで使用されるバス
容量、およびアース・バス容量により抵抗が小さくな
り、それにより電力消費およびアース・ノイズが低減す
る。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図3のマクロ
20C用のアーキテクチャは、多数の内部データ・ライ
ンを必要とする高速メモリ集積回路用には最適なもので
はない。より詳細に説明すると、その列選択ライン3
4、グローバル・データ・ライン44、および電力ライ
ン40およびアース・ライン42は、マクロ20Cを横
切って横方向に延びるので、スペースの関係からマクロ
を小さなチップに装着するのが難しくなる。実際、この
アーキテクチャの横方向に延びるすべてのラインを収容
するために、追加の金属層を形成しなければならなくな
る。このような金属層を追加すると、メモリ回路の製造
コストが高くなり、列選択ライン34およびグローバル
・データ・ライン44のキャパシタンスも増大し、その
結果、性能が劣化し、電力消費が増大する。
【0015】上記の説明を読めば、当業者であれば、通
常、従来のメモリ回路と一緒に使用するアーキテクチャ
が、多数の内部データ・ラインを必要とするメモリ回路
には適していないことを理解することができるだろう。
さらに、当業者であれば、上記メモリ回路用の多くの可
能なアーキテクチャは、ある種の用途には適している
が、かなりの欠点があり、エレクトロニクス・デバイス
での、その使用が制限されることを理解することができ
るだろう。これらの欠点としては、性能が悪いこと(速
度が遅いこと)、電力消費が大きいこと、製造コストが
高いこと等がある。
【0016】本発明の好適な実施形態の一つの目的は、
比較的多数の内部データ・ラインを持つ高速メモリ回路
を提供することである。本発明の好適な実施形態のもう
一つの目的は、内部データ・ライン上のキャパシタンス
を比較的少なくして、それにより、データ伝送を高速で
行い、電力消費を少なくすることである。本発明の好適
な実施形態のさらにもう一つの目的は、比較的低い抵抗
電力およびアース・バスを持つことである。本発明の好
適な実施形態のさらにもう一つの目的は、独立している
読出しデータ経路回路、および独立している書込みデー
タ経路回路を持つことである。
【0017】本発明の好適な実施形態のこれらの目的
は、以下の説明を読めば明らかになるだろう。しかし、
ある装置は、以下の説明から手に入れることができるも
のを含めて、これら各目的およびすべての目的を達成し
ないでも、特許請求の範囲に記載する本発明に、依然と
して適当なものである。本発明の主題は、本発明の目的
のところではなく、添付の特許請求の範囲に記載してあ
る。任意のおよびすべての目的は、必ずしも本発明全体
を使用しないでも、本発明の好適な実施形態により達成
することができる。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明は、高速処理を行
うことができ、比較的多数の内部データ・ラインを必要
とするメモリ回路用のアーキテクチャに関する。図のア
ーキテクチャの場合には、グローバル・データ・ライン
および電力ラインおよびアース・ラインは、アレイを横
切って横方向に延びる。これらのラインは、好適には、
同じ金属層内に位置することが好ましいが、必ずしもそ
うでなくてもよい。最も好適には、第三の金属層(「3
MT」)内に位置することが好ましい。最も好適には、
メモリ・アレイ上の唯一の他の金属層が、ワード線をス
トラップするために使用される、第一の金属層(「1M
T])内に位置していることが好ましい。このような配
置にすると、グローバル・データ・ライン上のキャパシ
タンスが比較的小さくなり、それによりデータの転送速
度が速くなり、それと同時に電力消費が少なくなる。
【0019】従来のアーキテクチャの場合のように、数
本の感知アンプ・バンドが、マクロを横切って縦方向に
延びていて、メモリ・セル・バンクに隣接している。ロ
ーカル・データ・ラインは、感知アンプ・バンドを通っ
て縦方向に延び、複数の感知アンプを特定のグローバル
・データ・ラインに接続している。ローカル・データ・
ラインにより、アレイのグローバル・データ・ライン
と、メモリ・セルとの間で、データを送信することがで
きる。
【0020】好適には、電力ラインおよびアース・ライ
ンも、感知アンプ・バンドを通って縦方向に延びること
が好ましい。電力ラインおよびアース・ラインは、好適
には、縦方向に延びる電力ラインおよびアース・ライン
の金属層以外の、異なる金属層内に位置することが好ま
しいが、必ずしもそうでなくてもよい。縦方向に延びる
電力ラインおよびアース・ラインは、最も好適には、第
二の金属層(「2MT」)内に位置することが好まし
い。横方向に延びる電力ラインおよびアース・ライン
は、比較的低い抵抗電力およびアース・バス・グリッド
を形成するために、縦方向に延びる各電力ラインおよび
アース・ラインに短絡される。
【0021】好適には、列選択ラインも、感知アンプ・
バンドを通って縦方向に延びることが好ましい。各列選
択ラインは、感知アンプ・バンド内に位置する感知アン
プ、および列デコーダ回路に接続している。各列デコー
ダ回路は、好適には、そこを通ってその関連する列選択
ラインが延びる、感知アンプ・バンドに近接して、メモ
リ・アレイの縁部に位置することが好ましい。
【0022】好適な実施形態の場合には、アーキテクチ
ャは、独立している読出しグローバル・データ・ライ
ン、および書込みグローバル・データ・ライン、独立し
ている読出しローカル・データ・ライン、および書込み
ローカル・データ・ライン、および独立している読出し
列選択ライン、および書込み列選択ラインを含めて、独
立している読出しデータ通路回路、および書込みデータ
通路回路を使用する。このような設計の場合には、ある
メモリ・セルに書込みを行いながら、同時に他のメモリ
・セルから読出しを行うことができる。
【0023】他の好適な実施形態の場合には、アーキテ
クチャは、ローカル・データ・ラインからグローバル・
データ・ラインを分離するための、ローカル回路を含
む。このローカル回路は、さらに、グローバル・データ
・ライン上のキャパシタンスを少なくし、それにより、
メモリ回路の性能がさらに向上し、その電力消費がさら
に少なくなる。
【0024】上記の好適な機能を持っているので、好適
には、アーキテクチャは、ローカル読出しデータ・ライ
ンからグローバル読出しデータ・ラインを分離するロー
カル読出し回路、およびローカル書込みデータ・ライン
からグローバル書込みデータ・ラインを分離するローカ
ル書込み回路を含むことが好ましい。この場合、グロー
バル読出しデータ・ライン上のキャパシタンス、および
グローバル書込みデータ・ライン上のキャパシタンスが
少なくなり、上記の利点が得られる。
【0025】
【発明の実施の形態】添付の図面を参照しながら本発明
の好適な実施形態について説明するが、図面中、類似の
部品には類似の参照番号がつけてある。図4は、比較的
多数の内部データ・ラインを含み、本発明の種々の機能
により構成されている高速DRAMメモリ・アレイ用の
アーキテクチャである。DRAMまたは他のメモリの記
憶領域を形成するために、開示のメモリ・アレイを真似
することができることを理解することができるだろう。
上記アレイの他に、メモリ領域は、例えば、入力バッフ
ァおよび出力バッファ、アドレス・バッファ、電源、ピ
ン接続部、任意の基板バイアス回路、および他の従来の
周辺領域回路を含む、いわゆる、「周辺領域」により囲
まれている。
【0026】図4は、第一の横方向に延びる境界10
2、およびその対向側面を形成している関連する横方向
に延びる境界104を持つ埋設DRAMアレイ100で
ある。アレイ100は、さらに、二つの対向する縦方向
に延びる境界106、108を含む。DRAMアレイ1
00は、複数のメモリ・セル・バンク110を含み、各
メモリ・セル・バンクは、複数のメモリ・セル(すなわ
ち、記憶位置)を含む。各メモリ・セルは、識別のため
の、一意の行アドレスおよび列アドレスを持つ。
【0027】グローバル読出しおよび書込みデータ・ラ
イン112、113は、その対になるデータ・ライン1
12B、113B(図8参照)と一緒に、マクロ100
を横切って横方向に延びる。これらのラインは、好適に
は、同じ金属層内に位置することが好ましいが、必ずし
もそうでなくてもよい。これらラインは、最も好適に
は、第三の金属層(「3MT」)内に位置することが好
ましい(図7参照)。最も好適には、メモリ・セル・バ
ンク110上の唯一の他の金属相互接続部は、ワード線
をストラップするために使用される(図7参照)、第一
の金属層(「1MT」)内に位置することが好ましい。
このように配置すると、グローバル・データ・ライン1
12、113のキャパシタンスが比較的に小さくなり、
それにより、データ伝送速度を速くすることができ、電
力消費を少なくすることができる。理解していただける
と思うが、三つの金属層すべてが、アレイ100の所与
の領域内に位置していると仮定した場合、第二の金属層
(「2MT」)は、第一の金属層(「1MT」)上に位
置しているが、重畳はしていない。また、第三の金属層
(「3MT」)は、第二の金属層上に位置しているが、
重畳はしていない。しかし、今説明したように、また図
7に示すように、第二の金属層は、メモリ・セル・バン
ク110をほとんど横切っていないので、そのため、グ
ローバル読出しデータ・ライン112、112B、およ
びグローバル書込みデータ・ライン113、113Bの
キャパシタンスは少なくなる。電力ライン114および
アースライン116は、境界104を持つ埋設DRAM
アレイ100を横切って横方向に延びる。これらのライ
ンは、また、好適には、3MT内に位置することが好ま
しい(図6および図7参照)。
【0028】数本の感知アンプ・バンド118は、アレ
イ100を横切って縦方向に延びていて、メモリ・セル
・バンク110に隣接する。より詳細に説明すると、各
メモリ・セル・バンク110は、その二つの縦方向に延
びる各境界に沿って延びる、感知アンプ・バンド118
を含む。感知アンプ・バンド118は、グローバル読出
しデータ・ライン112およびグローバル書込みデータ
・ライン113、および水平方向の電力ライン114お
よびアース・ライン116が延びる方向に、ほぼ横方向
に延びる。感知アンプ・バンド118は、複数の感知ア
ンプ(図示せず)を含む。ローカル読出しデータ・ライ
ン120、およびローカル書込みデータ・ライン121
は、その対になるデータ・ライン120B、121B
(図8参照)と一緒に、感知アンプ・バンド118を通
って縦方向に延び、複数の感知アンプを、対応するグロ
ーバル読出しデータ・ライン112、およびグローバル
書込みデータ・ライン113に接続する。ローカル・デ
ータ・ライン120、121により、グローバル・デー
タ・ライン112、113と、アレイ100のメモリ・
セルとの間でデータを送信することができる。感知アン
プ・バンド118が内蔵する所定の組の感知アンプが、
各ローカル・データ・ライン120、121を共有す
る。各ローカル・データ・ライン120、121は、一
組の感知アンプと正確に関連する。さらに、感知アンプ
の各組は、一本のローカル・データ・ライン120、1
21に正確に関連する。
【0029】電力ライン122およびアース・ライン1
24も、感知アンプ・バンド118を通って縦方向に延
びる。これらの縦方向に延びる電力ライン122および
アース・ライン124は、好適には、その対になる横方
向に延びる電力ライン114およびアース・ライン11
6の金属層以外の、異なる金属層内に位置することが好
ましいが、必ずしもそうでなくてもよい(図6および図
7参照)。縦方向に延びる電力ライン122およびアー
ス・ライン124は、最も好適には、第二の金属層
(「2MT」)内に位置することが好ましい(図7参
照)。横方向に延びる電力ライン114、およびアース
・ライン116は、縦方向に延びる各電力ライン12
2、およびアース・ライン124に短絡され、図6およ
び図7に示すように、比較的抵抗の低い電力およびアー
ス・バス・グリッドを形成する。
【0030】読出し列選択ライン126および書込み列
選択ライン127も、感知アンプ・バンド118を通っ
て縦方向に延びる。各列選択ライン126、127は、
そこを通って列選択ラインが延びる、感知アンプ・バン
ド118内に位置する複数の感知アンプに接続する。各
列選択ライン126、127は、さらに、列デコーダ回
路128に接続する。各列デコーダ回路128は、好適
には、そこを通ってその関連列選択ライン126、12
7が延びる、感知アンプ・バンド118に近接した状態
で、アレイ100の縁部に位置することが好ましい。ア
レイ100は、さらに、行デコーダ回路130を含む
(図5参照)。各行デコーダ回路130は、特定のメモ
リ・セル・バンク110と関連し、好適には、その横方
向に延び境界に沿って位置することが好ましい。
【0031】すでに説明したように、その好適な実施形
態の場合には、アレイ100は、そのグローバル・デー
タ・ラインの何本かをグローバル読出しデータ・ライン
112として指定し、他のグローバル・データ・ライン
をグローバル書込みデータ・ライン113として指定す
る。同様に、この好適な実施形態の場合には、ローカル
・データ・ラインの中の何本かが、ローカル読出しデー
タ・ライン120として指定され、他のローカル・デー
タ・ラインは、ローカル書込みデータ・ライン121と
して指定される。さらに、列選択ラインの中の何本か
は、読出し列選択ライン126として指定され、他の列
選択ラインは、書込み列選択ライン127として指定さ
れる。それ故、その好適な実施形態の場合には、アーキ
テクチャは、あるメモリ・セルに書込みを行いながら、
同時に他のメモリ・セルから読出しを行うことができ
る。これら各ラインの対になるラインも、アレイ100
に内蔵されていることに留意されたい。
【0032】読出し動作中、メモリ・セル・バンク11
0内の、選択した一つの感知アンプが、その関連する選
択ライン(図示せず)上に存在する適当な信号により動
作可能になる。さらに、それ故、その動作可能になった
バンク110内の複数のメモリ・セルの中の一つの行
が、その動作可能になったバンクに関連する列デコーダ
回路130からの適当な信号により選択される。動作可
能になったバンク110に隣接する感知アンプ・バンド
118が内蔵する選択した感知アンプは、動作可能にな
ったバンクに関連する列デコーダ回路128が入手す
る、その関連する読出し列選択ライン126上に存在す
る信号により動作可能になる。
【0033】選択した行および選択した列に関連する感
知アンプ・ラッチ内に記憶しているデータは、その選択
した感知アンプに接続している、ローカル読出しデータ
・ライン120に送られる。その後で、上記データは、
メモリ回路の外部に位置する回路素子による以降の処理
のために、そのローカル読出しデータ・ライン120に
接続しているグローバル読出しデータ・ライン112に
送られる。
【0034】書込み動作中、データは、指定したアドレ
スを持つメモリ・セルに記憶するために、外部回路素子
(例えば、マイクロプロセッサ)からアレイ100に送
られる。メモリ・セル・バンク110の中から選択した
バンクは、その関連する選択ライン(図示せず)上に位
置する適当な信号により動作可能になる。さらに、上記
の動作可能になったバンク110内の複数のメモリ・セ
ルから選択した行は、上記の動作可能になったバンクに
関連する行デコーダ回路130による適当な信号の発生
により動作可能になる。
【0035】グローバル書込み・データ・ライン113
上に位置するデータは、メモリ・セルから選択した行に
関連するローカル書込みデータ・ライン121に送られ
る。その後で、上記の動作可能になったバンク110に
隣接する感知アンプ・バンド118が内蔵する感知アン
プが、上記動作可能になったバンクに関連する行デコー
ダ回路128が入手する、その関連する書込み列選択ラ
イン127上に位置する信号により動作可能になる。最
後に、選択した感知アンプに接続しているローカル書込
みデータ・ライン121上に位置するデータは、選択し
た行および選択した列に対応する、アドレス識別子を持
つメモリ・セルに送られる。
【0036】図5について説明すると、この図は、アレ
イ100の好適な実施形態である。この好適な実施形態
の場合には、マクロ131は、二つのメモリ・アレイ1
32を含む。各メモリ・アレイは、2メガバイトのデー
タ記憶容量を持つ。従って、マクロ131は、4メガバ
イトのデータ記憶容量を持つ。この好適な実施形態の場
合には、各アレイ132は、2,180マイクロメート
ルだけ横方向に延び、1,311マイクロメートルだけ
縦方向に延びる。各アレイ132は、4つのメモリ・バ
ンク110を含む。各メモリ・バンク110は、516
の行および1,056列のメモリ・セルを含み、それ
故、一つのバンクは、全部で544,896のメモリ・
セルを持つ。
【0037】当業者であれば、マクロ131は、集積回
路の製造プロセス中に発生するエラーおよび変動によ
り、メモリ・セルの喪失を考慮に入れて設計されること
を理解することができるだろう。より詳細に説明する
と、この設計は、一つのアレイ132当り、二つまでの
列素子修理が行われることを仮定して行われる。この場
合、各列素子は、16の列を表わす。さらに、一つのバ
ンク110当り、一つまでの行素子の修理が行われるも
のと仮定される。この場合、各行素子は、4つのワード
線を表わす。各メモリ・バンク110は、その縦方向に
延びる各境界に沿って延びる一つの感知アンプ・バンド
118を持つ。それ故、各アレイは、全部で8の感知ア
ンプ・バンド118を持ち、各感知アンプ・バンドは、
528の感知アンプ(図示せず)を含む。
【0038】8本の読出し列選択ライン126および8
本の書込み列選択ライン127は、各感知アンプ・バン
ド118を通って延びる。これらの読出し列選択ライン
126、および書込み列選択ライン127は、好適に
は、第二の金属層(「2MT」)内に位置することが好
ましい(図7参照)。これらの列選択ライン126、1
27は、任意の感知アンプ・バンド118近接して位
置する好ましい列デコーダ回路128に接続している。
【0039】図6に示すように、縦方向に延びる電力ラ
イン122および縦方向に延びるアース・ライン124
も各感知アンプ・バンド118を通って延びる。これら
の縦方向に延びる電力ライン122も、アース・ライン
124も、好適には、2MT層内に位置することが好ま
しい。また、図7に示すように、縦方向に延びる電力ラ
イン122およびアース・ライン124は、横方向に延
びる電力ライン114およびアース・ライン116に、
それぞれ短絡される。
【0040】図5について説明すると、行デコーダ回路
130は、各メモリ・バンク110の二つの側面の境界
の中の一方に沿って位置する。理解していただけると思
うが、これらの行デコーダ回路130は、読出しおよび
書込み動作中、その関連するメモリ・セル・バンク11
0内のメモリ・セルの特定の行を動作可能にする。2メ
ガバイトの各アレイ132は、メモリ・セル・バンク1
10を横切って横方向に延びる132のグローバル読出
しデータ・ライン112と、132のグローバル書込み
データ・ライン113とを含む。グローバル読出しデー
タ・ライン112、およびグローバル書込みデータ・ラ
イン113は、好適には、3MT層内に位置していて、
64ビットのレジスタ134に接続していることが好ま
しい。64ビットのデータ・ライン136は、64ビッ
トのレジスタ134を16:1のデータ・マルチプレク
サ138に接続し、上記データ・マルチプレクサは、電
子的に制御されている装置が内蔵する他の回路素子(図
示せず)にデータを送るために、4ビット・データ・ラ
イン140に接続している。
【0041】この好適な実施形態の場合には、メモリ・
セル・バンク110の上に2MTは存在しない。3MT
グローバル・データ・ライン112、113、および3
MT電力ライン114、および3MTアース・ライン1
16を除けば、メモリ・セル・バンク上に存在する他の
金属層は1MTだけである。この好適な実施形態の場合
には、 各ワード線は5つのタイをもつ。このアーキテ
クチャの場合には、グローバル・データ・ライン11
2、113のキャパシタンスが比較的少なくなり、それ
により回路100の性能が向上し、電力消費が少なくな
る。
【0042】図6について説明すると、この図は、各ア
レイ132の電力バスおよびアース・バスである。図に
示すように、各アレイ132が内蔵する回路に電力を供
給するために、66組の横方向に延びる電力ライン11
4、および横方向に延びるアース・ライン116が使用
されている。これらの横方向に延びる電力ライン11
4、およびアース・ライン116は、好適には、3MT
層内に位置することが好ましく、好適には、その幅は3
マイクロメートルであることが好ましい。その場合、全
部の実効幅は、198マイクロメートルになる。
【0043】この図は、さらに、一組の縦方向に延びる
電力ライン122、および縦方向に延びるアース・ライ
ン124が、各感知アンプ・バンド118を通って延び
ていることを示す。これらの縦方向に延びる電力ライン
122、およびアース・ライン124は、好適には、2
MT層内に位置することが好ましい。縦方向に延びる各
電力ライン122、およびアース・ライン124は、横
方向に延びる66本の各電力ライン114、およびアー
ス・ライン116のすべてに相互接続していて、さら
に、アレイ132に対する電力バスおよびアース・バス
の実効幅を広くしている。この相互接続は、感知アンプ
・バンド118により行われる。当業者であれば理解す
ることができると思うが、電力およびアース・バス・グ
リッドをこのように設計すると、回路の電力消費が少な
くなり、アース・ノイズが減少する。
【0044】その好適な実施形態の場合には、各アレイ
132は、さらに、ローカル読出し回路およびローカル
書込み回路を含み、これら回路は、さらに、メモリ回路
の性能を向上させ、それにより電力消費をさらに少なく
する。図8について説明すると、この図は、読出しデー
タ経路回路で使用される、回路構成部材の機能ブロック
図である。各列単位で、感知アンプが一緒にグループと
して形成され、その場合、各列は、8つの感知アンプを
含むことを理解することができるだろう。各列のすべて
の感知アンプは、列回路142に内蔵されている。各列
は、各列の8つの各列回路142を動作可能にする8つ
の読出し列選択ライン(YR0−YR7)126を含
む。
【0045】各列は、列回路142一部として、各感
知アンプを内蔵する。各列回路142は、上記の読出し
列選択ライン(YR)126、書込み列選択ライン(Y
W)127、ビット・ライン(BL)150、(BL
B)150B、予備充電基準ライン(BLREF)15
2、予備充電制御ライン(SH)154、ラッチ制御ラ
イン(LP)156、ラッチ制御ライン(LPB)15
6B、ラッチ制御ライン(LN)158、ラッチ制御ラ
イン(LNB)158B、アース・ライン(SAVS
S)159、および電力供給ラインVccを含む、数本
の入力ラインを含む。各列回路142は、さらに、ロー
カル読出しデータ・ライン(DRL)120、ローカル
読出しデータ・ライン(DRLB)120B、および二
つの入力ライン、すなわち、ローカル書込みデータ・ラ
イン(DWL)121、およびローカル書込みデータ・
ライン(DWLB)121Bを含む二本の出力ラインを
含む。
【0046】ローカル読出し回路164は、特定の列で
読出し動作が行われている場合を除いて、ローカル読出
しデータ・ライン120、120Bからグローバル読出
しデータ・ライン112、112Bを電気的に分離して
いる。上記動作が行われている間、ローカル読出し回路
164は、グローバル読出しデータ・ライン112、1
12Bをローカル読出しデータ・ライン120、120
Bに接続する。ローカル読出し回路164は、そこに入
力される読出し動作可能接続ライン144、144Bの
制御の下で動作する。
【0047】読出しデータ通路回路は、さらに、データ
読出しラッチ166を含む。データ読出しラッチ166
は、グローバル読出しデータ・ライン112、122
B、予備充電制御ライン167、およびその入力として
のラッチ制御ライン168を含む。データ読出しラッチ
166は、さらに、その出力としてのラッチされたデー
タ・ライン169、169Bを含む。
【0048】さらに、図8について説明すると、読出し
動作中、読出し列選択ライン126は、高レベルに駆動
される。高レベルに駆動された読出し列選択ライン12
6は、それに接続している列回路142に対して使用可
能ラインとしての働きをする。読出し動作を行う前に、
ビット・ライン150、150Bは、アクセスしたメモ
リ・セル内のデータにより、記憶しているデータを示す
小さな差電圧に駆動される。動作可能になった列回路1
42は、この差電圧をそれに接続しているビット・ライ
ン150、150Bの間に入力する。その後で、動作可
能になった列回路142は、一本のビット・ライン15
0、150Bが、電源電圧(Vcc)になるように、ま
た、他のビット・ライン150、150Bがアース電位
(Vss)になるように上記差電圧を増幅する。読出し
列選択ライン126が、高レベルに駆動されると、ビッ
ト・ライン150、150B上の電圧は、ローカル読出
しデータ・ライン120、120Bに送られ、その後
で、ローカル読出しデータ・ライン164に送られる。
ローカル読出し回路164は、読出しイネーブル制御ラ
イン144により動作可能になり、動作可能になると、
ローカル読出しデータ・ライン120、120B上の電
圧をグローバル読出しデータ・ライン112、112B
に送る。動作不能になった場合、ローカル読出し回路
64は、この列のローカル読出しデータ・ライン12
0、120Bからグローバル読出しデータ・ライン11
2、112Bを電気的に分離する。この分離により、グ
ローバル読出しデータ・ライン112、112Bのキャ
パシタンスは比較的小さくなり、それにより、メモリ回
路の電力消費が少なくなり、その性能が向上する。
【0049】グローバル読出しデータ・ライン112、
112Bに送られた後で、信号は、クロック制御されて
いるデータ読出しラッチ166に送られ、上記ラッチ
は、グローバル読出しデータ・ライン112、112B
の間の差電圧を増幅し、増幅した差電圧をラッチし、上
記ラッチした電圧をラッチされている読出しデータ・ラ
イン169、169Bに送る。その後で、ラッチされて
いる読出しデータ・ライン169、169B上の信号を
電子的に制御されている装置の機能に従ってさらに処理
するために、外部回路に送ることができる。
【0050】図9は、図8の列回路142が内蔵する好
適な電子構成部材である。1994年5月18日付のヨ
ーロッパ特許出願EP0 597 231 A2が、こ
の列回路の種々の機能を開示している。上記特許出願
は、引用によって本明細書の記載に援用する。1992
年8月2日付の米国特許第5,334,890号が、上
記列回路のいくつかの機能に対する、信号発生回路を開
示している。上記米国特許は、引用によって本明細書の
記載に援用する。
【0051】図9に示すように、ビット・ライン15
0、150Bは、参照番号170で示す予備充電および
等化回路に接続している。予備充電および等化回路17
0は、二つのパス・トランジスタ172、174および
等化トランジスタ176を含む。予備充電制御ライン1
54は、パス・トランジスタ172、174の制御電極
(ゲート)、および等化トランジスタ176のゲート電
極に接続している。好適には、Vccの約半分の電圧レ
ベル(Vcc/2)に設定することが好ましい、予備充
電基準ライン152は、パス・トランジスタ172、1
74のドレイン電極に接続している。
【0052】予備充電および等化回路の機能について説
明すると、感知動作が行われていない場合には、予備充
電制御ライン154は高レベルであり、そのため、パス
・トランジスタ172、174および等化トランジスタ
176はすべてオンになる。その結果、ビット・ライン
150、150Bは、予備充電基準ライン152上の電
圧に予備充電される。一方、感知動作が行われている場
合には、予備充電制御ライン154は、低レベルに切り
換えられ、パス・トランジスタ172、174および等
化トランジスタ176をオフにする。その後で、アクセ
スされたメモリ・セル内の電荷は、ビット・ライン15
0、150Bに移動し、これらビット・ライン間に差電
圧を供給する。列回路142は、さらに、全体を参照番
号178で示す感知アンプを含む。感知アンプ回路17
8は、三つのPチャネル・トランジスタ180〜18
2、および三つのNチャネル・トランジスタ184〜1
86を含む。
【0053】トランジスタ180は、ラッチ制御ライン
156Bにより制御され、ビット・ライン150、15
0Bの中の適当な一方を増幅し、Vccに駆動するため
に、感知動作中、オンになる。より詳細に説明すると、
ビット・ライン150は、トランジスタ180および1
81を通してVccに駆動されるか、または別の方法と
しては、ビット・ライン150Bは、トランジスタ18
0および182を通してVccに駆動される。この点に
関して、ビット・ライン150は、トランジスタ181
とトランジスタ184の間の接合点に接続していて、ト
ランジスタ182および185も直列に接続している。
【0054】トランジスタ186は、ラッチ制御ライン
158Bにより制御され、ビット・ライン150、15
0Bの中の一方をVssに駆動するために、感知動作中
オンになる。アース・ライン159が、Vssに設定さ
れていることを思いだしてほしい。ビット・ライン15
0は、トランジスタ186および184を通してVss
に駆動されるか、または別の方法としては、ビット・ラ
イン150Bは、トランジスタ186および185を通
して、Vssに駆動される。
【0055】Pチャネル・トランジスタ181、18
2、およびNチャネル・トランジスタ184、185
は、ラッチ回路を形成し、感知動作中、ビット・ライン
150、150Bの中の一方がVccに駆動され、これ
らラインの他方がVssに駆動された後で、ビット・ラ
イン150、150Bのところに存在する電圧をラッチ
する。この点に関して、ビット・ライン150は、トラ
ンジスタ182、185の制御(ゲート)電極に接続し
ていて、ビット・ライン150Bは、トランジスタ18
1、184のゲート電極に接続している。
【0056】列回路142は、さらに、ローカル読出し
アンプを含み、図ではNMOSデバイスであるトランジ
スタ188〜191を含む。ビット・ライン150は、
トランジスタ188の制御(ゲート)電極に接続してい
て、一方、ビット・ライン150Bは、パス・トランジ
スタ189のゲート電極に接続している。図に示すよう
に、この特定の感知アンプ用の感知列選択ライン126
は、上記感知アンプに対して、読出し動作中、導電性に
なるように、パス・トランジスタ190、191のゲー
ト電極に接続している。
【0057】各読出し動作を行う前に、また、図10を
参照しながら以下に説明するように、ローカル読出しデ
ータ・ライン120、120Bは等化される。読出し動
作中、ビット・ライン150がVccに駆動された場合
には、ローカル読出しデータ・ライン120Bは、トラ
ンジスタ188および190を通してVssに駆動され
る。別の方法としては、ビット・ライン150BがVc
cに駆動されると、ローカル読出しデータ・ライン12
0は、トランジスタ189および191を通してVss
に駆動される。
【0058】図10は、図8のローカル読出しデータ・
ライン164が内蔵する、好適な電子構成部材である。
図に示すように、ローカル読出しデータ・ライン120
は、等化トランジスタ194およびパス・トランジスタ
196のドレイン電極に接続している。ローカル読出し
データ・ライン120Bは、等化トランジスタ194の
ソース電極、およびパス・トランジスタ198のドレイ
ン電極に接続している。グローバル読出しデータ・ライ
ン112、112Bは、それぞれ、パス・トランジスタ
196、198のソース電極に接続している。読出動作
可能制御ライン144は、パス・トランジスタ196、
198のゲート電極に接続している。読出動作可能制御
ライン144Bは、等化トランジスタ194のゲート電
極に接続している。8つの列回路142は、ローカル読
出しデータ・ライン120、120Bを共有しているこ
とを理解することができるだろう。
【0059】動作中、メモリ回路が、図の列で感知アン
プのどれにも読出し機能を実行していない場合には、読
出しイネーブル制御ライン144は低レベルになり、そ
の結果、パス・トランジスタ196、198は非導電性
になり、それにより、グローバル読出しデータ・ライン
112、112Bからローカル読出しデータ・ライン1
20、120Bを分離する。同時に、読出しイネーブル
制御ライン144Bは高レベルになり、その結果、等化
トランジスタ194は導電性になり、それにより、ロー
カル読出しデータ・ライン120、120Bが両方とも
ショートし、これらのライン上の電圧が等化される。
【0060】読出し動作中、読出しイネーブル制御ライ
ン144は高レベルになり、読出し動作可能制御ライン
144Bは低レベルになる。この状況の下で、パス・ト
ランジスタ196、198は導電性になり、等化トラン
ジスタ194は非導電性になる。それにより、ローカル
読出しデータ・ライン120、120Bの一方は、上記
のように、図9の列回路に対してVssに駆動される。
【0061】図11は、図8のデータ読出しラッチ16
6が内蔵する好適な電子構成部材である。2000年2
月28日付けの、キム・カーバハーディおよびジョン
D.ハイトレイの、米国特許仮出願第60/185,3
00号が、この回路および関連回路について開示してい
る。上記米国特許出願は、引用によって本明細書の記載
に援用する。
【0062】データ読出しラッチ166は、読出し動作
中、グローバル読出しデータ・ライン112と、グロー
バル読出しデータ・ライン112Bとの間の差電圧を増
幅し、外部回路による以降の処理のために、この信号を
ラッチするように設計されている。データ読出しラッチ
166は、メモリ回路の外部に設置することができるこ
とを理解されたい。しかし、必ずしもそうしなくてもよ
い。データ読出しラッチ166は、好適には、4つのド
ライバ・トランジスタ202〜205、および一つの等
化トランジスタ206を持っていることが好ましい、予
備充電回路200を含む。予備充電回路200は、予備
充電制御ライン167により制御される。理解していた
だけると思うが、予備充電回路200は、グローバル・
データ・ライン112、およびグローバル・データ・ラ
イン112Bを、読出し動作が行われる前に、高レベル
にする働きをする。読出し動作中、予備充電制御ライン
167は低レベルになり、それにより、予備充電回路2
00は動作不能になる。データ読出しラッチ166は、
さらに、グローバル読出しデータ・ライン112、11
2Bの中の一方を高レベルに保持し、一方、他のグロー
バル読出しデータ・ライン112、112Bは低レベル
に駆動される。この図の場合、ドライバ・トランジスタ
208、209はPMOSデバイスである。
【0063】上記の他に、データ読出しラッチ166
は、一組のパス・トランジスタ212、213を含む。
この図の場合には、上記パス・トランジスタは、PMO
Sデバイスである。パス・トランジスタ212は、グロ
ーバル・データ・ライン112と、ラッチされた読出し
データ・ライン169の間に直列に接続している。パス
・トランジスタ213は、グローバル読出しデータ・ラ
イン112Bと、ラッチされた読出しデータ・ライン1
69Bの間に直列に接続している。パス・トランジスタ
212、213は、ラッチ制御ライン168により制御
され、ラッチ・サイクル中導電性になり、グローバル・
データ・ライン112、112Bの間の増幅した差電圧
信号をラッチされた読出しデータ・ライン169、16
9Bに送る。
【0064】データ読出しラッチ166は、さらに、N
チャネル・トランジスタ218〜220、およびPチャ
ネル・トランジスタ222、223を持つラッチ回路2
16を含む。ラッチ回路216は、ラッチ制御ライン1
68により制御される。ラッチ回路216の設計は、列
回路142の感知アンプが内蔵するラッチの設計に類似
している(図9参照)。ラッチ制御ライン168は、ラ
ッチ回路216を動作可能にし、ラッチされた読出しデ
ータ・ライン169と、ラッチされた読出しデータ・ラ
イン169Bとの間の差電圧は、一方のラインがVcc
電位に保持され、他方のラインがVss電位に保持され
た状態で増幅される。
【0065】図12について説明すると、この図は、図
8の数本のライン上の信号に対するタイミング・スキー
ムである。読出し動作が行われていない場合には、読出
し列選択ライン126上の信号(YR)は低レベルであ
り、予備充電制御ライン167上の信号(DPRE)、
およびラッチ制御ライン168上の信号(DRLAT)
は高レベルであり、ローカル読出しデータ・ライン12
0、120Bの上の信号(DRL、DRLB)は等化さ
れて、フローティング状態であり、グローバル読出しデ
ータ・ライン112、112B上の信号(DR、DR
B)は、Vcc電位に予備充電され、ラッチされた読出
しデータ・ライン169、169B上の信号(DRF
F、DRBFF)は、その前の状態に保持される。読出
し動作がスタートすると、YRは高レベルになり、図1
2の読出し列選択ライン126に関連する列に対する、
読出し動作をスタートする。同時に、RENが高レベル
になり、RENB、DRPREおよびDRLATが低レ
ベルになる。読出し動作に応じて、選択した列回路14
2に記憶されたデータを示す差電圧が、ローカル読出し
データ・ライン120、120Bに供給され、上記差信
号は、グローバル読出しデータ・ライン112、112
Bに送られる。データ読出しラッチ(図11参照)は、
グローバル読出しデータ・ライン112、112B間の
差電圧を増幅し、ラッチされた読出しデータ・ライン1
69、169B間の信号をラッチする。
【0066】図13および書込みデータ経路回路につい
て説明すると、上記回路のアーキテクチャは、好適に
は、メモリ回路の書込み速度を速くし、電力消費を少な
くするためには、グローバル書込みデータ・ライン11
3、113Bのキャパシタンスを制限することが好まし
い。図13に示すように、グローバル書込みデータ・ラ
イン113、113B、および書込みイネーブル制御ラ
イン218、218Bは、ローカル書込み回路220へ
の入力である。ローカル書込み回路220の出力は、ロ
ーカル書込みデータ・ライン121、121Bであり、
ビット・ライン150、150Bを出力として持つ8つ
の列回路が、上記ラインを共有している。
【0067】ローカル書込み回路220は、列で書込み
動作が行われていない場合には、ローカル書込みデータ
・ライン121からグローバル書込みデータ・ライン1
13、113Bを分離する。列で書込み動作が行われて
いる場合には、ローカル書込み回路は、ローカル書込み
データ・ライン121、121Bを、そうしたい場合に
は、Vcc(実際には、Vccからトランジスタしきい
値電圧(Vtn)を引いたもの)およびVssに駆動す
る。ローカル書込みデータ・ライン121、121Bか
らグローバル書込みデータ・ライン113、113Bを
分離すると、グローバル書込みデータ・ラインのキャパ
シタンスが少なくなる。さらに、単に信号を送るだけで
はなく、書込み動作中、ローカル書込みデータ・ライン
121、121Bを駆動することによって、ローカル書
込み回路220は、書込み動作をより高速で行うことに
よって、書込み動作中のアレイ100の性能を改善す
る。8本の書込み列選択ライン127が、対応する列回
路142を動作可能にする。その結果、ローカル書込み
回路220により、ローカル書込みデータ・ライン12
1、121B上に送られた差信号は、その中に記憶する
ために、適当なメモリ・セルに送られる。
【0068】図14(A)は、ローカル書込み回路22
0が内蔵する好適な電子構成部材である(図13参
照)。この図に示すように、ローカル書込み回路220
は、好適には、Nチャネル・トランジスタ226〜23
4、およびPチャネル・トランジスタ236〜237を
含む、数個のトランジスタを含んでいることが好まし
い。ローカル書込み回路220に関連する列で、書込み
動作が行われていない場合には、書込みイネーブル制御
ライン218は低レベルになり、書込みイネーブル制御
ライン218Bは高レベルになる。その結果、書込み動
作可能制御ライン218は、パス・トランジスタ22
6、230をオフにする。同時に、書込み動作可能制御
ライン218Bは、パス・トランジスタ236、237
をオフにし、それにより、グローバル書込みデータ・ラ
イン113、113B上の信号が、通過するのを防止す
る。書込み動作可能制御ライン218B上の高レベル信
号も、等化トランジスタ234をオンにして、それによ
り、ローカル書込みデータ・ライン121、121Bの
間の差電圧を制限する。さらに、書込み動作可能制御ラ
イン218B上の上記高レベル信号は、シンキング(プ
ルダウン)トランジスタ227、231をオンにし、そ
の後で、これらトランジスタは、ドライバ回路ソーシン
グ(プルアップ)トランジスタ228、232をオフに
し、ドライバ回路シンキング(プルダウン)トランジス
タ229、233をオフにする。
【0069】ローカル書込み回路220に関連する列の
ための書込み動作中、書込み動作可能制御ライン218
は高レベルになり、ライン218Bは低レベルになる。
その結果、パス・トランジスタ226、230、および
パス・トランジスタ236、237はすべてオンにな
り、グローバル書込みデータ・ライン113、およびグ
ローバル書込みデータ・ライン113B上のデータを送
ることができる。より詳細に説明すると、パス・トラン
ジスタ226、230は、書込みイネーブル制御ライン
218によりオンになり、パス・トランジスタ236、
237は、書込みイネーブル制御ライン218Bにより
オンになる。書込み動作可能制御ライン218Bは、ま
た、シンキング・トランジスタ227、231および等
化トランジスタ234をオフにして、書込み動作中、そ
の機能を停止させる。
【0070】グローバル書込みデータ・ライン113上
の信号が、パス・トランジスタ237、230を通過
し、グローバル書込みデータ・ライン113B上の信号
が、パス・トランジスタ226、236を通過した後
で、二つの状況が交互に発生する。グローバル書込みデ
ータ・ライン113が高レベルであり、グローバル書込
みデータ・ライン113Bが低レベルである場合には、
ドライバ回路の、ソーシング・トランジスタ232、お
よびシンキング・トランジスタ229がオンになり、一
方、ソーシング・トランジスタ228、およびシンキン
グ・トランジスタ233がオフになる。この状態で、ロ
ーカル書込みデータ・ライン121は、Vcc−Vtn
に高レベルに駆動され、ローカル書込みデータ・ライン
121BはVssに低レベルに駆動される。
【0071】別の方法としては、グローバル書込みデー
タ・ライン113が低レベルであり、グローバル書込み
データ・ライン113Bが高レベルである場合には、ド
ライバ回路のソーシング・トランジスタ228、および
シンキング・トランジスタ233はオンになり、一方、
ソーシング・トランジスタ232、およびシンキング・
トランジスタ229はオフになる。この交互の状況の下
で、ローカル書込みデータ・ライン121Bは、Vcc
−Vtnに高レベルに駆動され、ローカル書込みデータ
・ライン121はVssに低レベルに駆動される。
【0072】図14(B)について説明すると、この図
は、ローカル書込み回路220(図13参照)が内蔵す
る電子構成部材の他の実施形態である。図に示すよう
に、ローカル書込みデータ・ライン121は等化トラン
ジスタ300、およびパス・トランジスタ302のドレ
イン電極に接続している。ローカル書込みデータ・ライ
ン121Bは、等化トランジスタ300のソース電極、
およびパス・トランジスタ304のドレイン電極に接続
している。グローバル書込みデータ・ライン113、1
13Bは、それぞれ、パス・トランジスタ302、30
4のソース電極に接続している。書込みイネーブル制御
ライン218は、パス・トランジスタ302、304の
ゲート電極に接続している。書込みイネーブル制御ライ
ン218Bは、等化トランジスタ300のゲート電極に
接続している。8つの列回路142が、ローカル書込み
データ・ライン121、121Bを共有していることを
理解することができるだろう。
【0073】動作中、メモリ回路が、図の列の感知アン
プのどれに対しても、書込み機能を実行していない場合
には、書込みイネーブル制御ライン218は低レベルに
なり、パス・トランジスタ302、304を非導電性に
し、それにより、ローカル書込みデータ・ライン12
1、121Bからグローバル書込みデータ・ライン11
3、113Bを分離する。同時に、書込みイネーブル制
御ライン218Bが高レベルになり、等化トランジスタ
300が導電性になり、それにより、ローカル書込みデ
ータ・ライン121、121Bが一緒にショートし、こ
れらライン上の電圧を等化する。
【0074】書込み動作中、書込みイネーブル制御ライ
ン218は高レベルになり、書込みイネーブル制御ライ
ン218Bは低レベルになる。この状況の下で、パス・
トランジスタ302、304は導電性になり、等化トラ
ンジスタ300は非導電性になる。それにより、グロー
バル書込みデータ・ライン113上の信号は、ローカル
書込みデータ・ライン121に移動することができ、ま
た、グローバル書込みデータ・ライン113B上の信号
も、ローカル書込みデータ・ライン121Bに移動する
ことができる。当業者であれば理解することができると
思うが、ローカル書込み回路220用の好適な回路は、
図14(A)に示すような回路である。何故なら、上記
回路は、ローカル書込みデータ・ライン121、121
を駆動し、その結果、メモリ回路での書込み動作がも
っと速くなるからである。
【0075】図9に戻って説明すると、列回路142に
おいては、パス・トランジスタ240、242は、ロー
カル書込みデータ・ライン121、121Bと、ビット
・ライン150、150Bとの間に接続している。書込
み列選択ライン127は、ローカル書込みデータ・ライ
ン121、121B上に存在する信号を、その感知アン
プ で書込み動作が行われている間、ビット・ライン1
50、150Bに送る目的で、ローカル書込みデータ・
ライン121、121B上の信号を動作可能にするため
に、パス・トランジスタ240、242のゲート電極に
接続している。8つの列回路が、この好適な実施形態の
ローカル書込みデータ・ライン121、121Bを共有
していることを理解することができるだろう。
【0076】アレイ・アーキテクチャの場合には、チッ
プの性能は、書込み動作中、特定のメモリ・セルに書き
込まれたデータ信号のタイミングと、書込み列選択ライ
ン127上に位置するアドレス信号との間の電位のスキ
ューにより制限される場合がある。すでに説明したよう
に、書込み列選択ライン127上に位置するアドレス信
号は、そのメモリ・セルに関連する感知アンプを動作可
能にする。図4に戻って説明すると、グローバル書込み
データ・ライン113および113Bは、メモリ・セル
・バンク110を横切って横方向に延びていて、列選択
ライン126、127は、感知アンプ・バンド118を
通って縦方向に延びていることを思いだしてほしい。従
って、これらライン上を信号が移動した距離は、かなり
違っていて、それによる、これら信号のタイミングの任
意のスキューは、特に、メモリ回路が高速である場合に
は、回路の性能を制限する。回路の性能が制限される原
因は、書込み動作を正しく行うことができるのは、書込
みイネーブル制御ライン218、218B、および書込
み列選択ライン127が能動的になり、データ・ライン
上のデータが有効になる、重畳している時間だけだから
である。
【0077】図15について説明すると、書込み動作の
ための好適なタイミング・スキームの場合には、グロー
バル書込みデータ・ライン113、113Bは、クロッ
ク信号245のマイナスの縁部に応答し、書込みイネー
ブル制御ライン218、218B、および書込み列選択
ライン127は、クロック信号のプラスの縁部に応答す
る。このタイミング・スキームは、書込み動作中、タイ
ミングの感度を低くする。より詳細に説明すると、タイ
ミングは、もはやグローバル書込みデータ・ライン11
3、113Bに依存しない。それどころか、重要なタイ
ミングは、書込み列選択ライン127と、書込みイネー
ブル制御ライン218、218Bの間だけである。これ
らライン上の信号は、アレイの同じ領域内で局所的に発
生するので、また、これらのラインは、すべて、感知ア
ンプ・バンド118を通って縦方向に延びるので、任意
のタイミング・スキューは最小限度のものである。クロ
ック245の使用率は、50%に近いので、この好適な
タイミング・スキームは実行することができることを理
解することができるだろう。最も好適なのは、5%以内
である。
【0078】例示としての実施形態を参照しながら、本
発明を説明してきたが、上記説明は、本発明を制限する
ものでないことを理解することができるだろう。それど
ころか、下記の特許請求の範囲に記載する、本発明の真
の精神および範囲から逸脱することなしに、例示として
の実施形態を種々に変更および修正することができる。
さらに、任意の上記変更および修正は、当業者により、
下記の特許請求の範囲の一つまたはそれ以上の素子と等
しいものであると認識されるものであり、法律が許す最
大の範囲で、上記特許請求の範囲に含まれることを理解
することができるだろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のメモリ集積回路用のアーキテクチャの略
図である。
【図2】従来のメモリ回路に関連する問題の中の一つを
解決するメモリ集積回路用のアーキテクチャの略図であ
る。
【図3】従来のメモリ回路に関連する問題の中のいくつ
かを解決するメモリ集積回路用の他のアーキテクチャの
略図である。
【図4】本発明の原理に基づいて設計したメモリ集積回
路用のアーキテクチャの略図である。
【図5】図4のメモリ集積回路用のアーキテクチャの異
なる略図である。
【図6】図4のメモリ集積回路用の電力およびアース・
バス・グリッドの略図である。
【図7】図4のメモリ集積回路用のグローバル・データ
・ライン、および電力およびアース・バス・グリッドの
配置図である。
【図8】好適には、図4のメモリ集積回路に内蔵させる
のが好ましい読出しデータ経路の簡単なブロック図であ
る。
【図9】好適には、図4のメモリ集積回路に内蔵させる
のが好ましい列回路の略図である。
【図10】好適には、図4のメモリ集積回路の読出しデ
ータ経路回路に内蔵させるのが好ましいローカル読出し
回路の略図である。
【図11】好適には、図4のメモリ集積回路の読出しデ
ータ経路回路に内蔵させるのが好ましい読出しデータ・
ラッチの略図である。
【図12】図8の読出しデータ経路回路の特定のライン
上の信号に対する好適なタイミング・スキームを示すタ
イミング図である。
【図13】好適には、図4のメモリ集積回路に内蔵させ
るのが好ましい書込みデータ経路回路の簡単なブロック
図である。
【図14】(A)は、好適には、図4のメモリ集積回路
の書込みデータ経路回路に内蔵させるのが好ましいロー
カル書込み回路の略図であり、(B)は、好適には、図
4のメモリ集積回路の書込みデータ経路回路に内蔵させ
るのが好ましいローカル書込み回路のもっと簡単である
が、あまり好ましくない実施形態の略図である。
【図15】図4のメモリ集積回路内の記憶位置にデータ
を書き込むための、好適なタイミング・スキームを示す
タイミング図である。
【符号の説明】
100 アレイ 102,104,106,108 境界 110 メモリ・セル・バンク 112 グローバル読出しデータ・ライン 113 グローバル書込みデータ・ライン 114 電力ライン 116 アース・ライン 118 アンプ・バンド 120 ローカル読出しデータ・ライン 121 ローカル書込みデータ・ライン 122 電力ライン 124 アース・ライン 126 読出し列選択ライン 127 書込み列選択ライン 128 列デコーダ回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョン ディー ハイトレイ アメリカ合衆国 コロラド州80906 コ ロラドスプリングス ログホローピーテ ィー 1275 (56)参考文献 特開 平5−234362(JP,A) 特開 平2−246091(JP,A) 特開 平11−39875(JP,A) 特開 平9−55482(JP,A) 特開 平6−76567(JP,A) 特開2000−90670(JP,A) 特開2000−82290(JP,A) 特開 平8−31168(JP,A) 特開 平7−320480(JP,A) 特開 平11−330393(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11C 11/401 - 11/4099

Claims (27)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】(a)メモリ・セル・アレイ中の、一緒に
    関連する複数のメモリ・セルと、 (b)その内部に位置する複数の感知アンプを有し、前
    記メモリ・セル・アレイに関連し、第一の方向に延びる
    感知アンプ・バンドと、 (c)前記感知アンプの中の少なくともいくつかの感知
    アンプと関連し、その出力として、それに電気的に接続
    していて、前記感知アンプ・バンドを通って第一の方向
    に延びていて、さらに、前記感知アンプ・バンド内の前
    記感知アンプの中の一つに電気的に接続している列選択
    ラインを持つ、列デコーダ回路と、 (d)複数の前記感知アンプに接続し、前記感知アンプ
    ・バンドを通って、前記の第一の方向に延びているロー
    カル・データ・ラインと、 (e)前記ローカル・データ・ラインに接続し、前記メ
    モリ・セル・アレイを横切って、前記第一の方向を横
    する第二の方向にのびているグローバル・データ・ライ
    ンと、 (f)前記メモリ集積回路に対して電力を供給するため
    に、前記メモリ・セル・アレイを横切って前記第二の方
    向に延びる電力ラインと、 (g)前記メモリ集積回路に対して基準電圧を供給する
    ために、前記メモリ・セル・アレイを横切って、前記第
    二の方向に延びるアース・ラインとを備え、 前記メモリ集積回路が、第一の金属層と、その上に位置
    するが、第一の金属層と重畳しない状態で、感知アンプ
    ・バンドだけを横切って位置している第二の金属層と、
    第二の金属層の上に位置しているが、第二の金属層と重
    畳していない第三の金属層とを含み、 前記グローバル・データ・ラインが前記第三の金属層内
    に位置し、前記電力ラインが前記第三の金属層内に位置
    し、前記アース・ラインが前記第三の金属層内に位置す
    ることを特徴とするメモリ集積回路。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のメモリ集積回路におい
    て、さらに、前記グローバル・データ・ラインと前記ロ
    ーカル・データ・ラインとの間に直列に接続している前
    記メモリ集積回路の特定の動作中、前記ローカル・デー
    タ・ラインから前記グローバル・データ・ラインを分離
    する電子スイッチを備えることを特徴とするメモリ集積
    回路。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のメモリ集積回路におい
    て、前記グローバル・データ・ラインが、グローバル読
    出しデータ・ラインを備え、前記ローカル・データ・ラ
    インが、ローカル読出しデータ・ラインを備え、前記列
    選択ラインが、読出し列選択ラインを備え、さらに、 (h)前記列デコーダ回路、および前記感知アンプの中
    の一つに電気的に接続し、前記感知アンプ・バンドを通
    って、前記第一の方向に延びる書込み列選択ラインと、 (i)複数の前記感知アンプに接続し、前記感知アンプ
    ・バンドを通って、前記第一の方向に延びるローカル書
    込みデータ・ラインと、 (j)前記ローカル書込みデータ・ラインに選択的に接
    続し、前記メモリ・セル・アレイを横切って、前記第二
    の方向に延びるグローバル書込みデータ・ラインとを備
    えることを特徴とするメモリ集積回路。
  4. 【請求項4】 請求項3記載のメモリ集積回路におい
    て、さらに、前記感知アンプ・バンドを通って前記第一
    の方向に延び、前記感知アンプ・バンド内で、前記電力
    ラインに接続する第二の電力ラインと、前記感知アンプ
    ・バンドを通って前記第一の方向に延び、前記感知アン
    プ・バンド内で前記アース・ラインに接続する第二のア
    ース・ラインとを備えることを特徴とするメモリ集積回
    路。
  5. 【請求項5】 請求項3記載のメモリ集積回路におい
    て、さらに、前記グローバル読出しデータ・ライン、お
    よび前記ローカル読出しデータ・ラインに動作できるよ
    うに関連し、前記メモリ集積回路の読出し動作中以外の
    前記ローカル読出しデータ・ラインから前記グローバル
    読出しデータ・ラインを選択的に分離する第一の分離回
    路と、前記グローバル書込みデータ・ライン、および前
    記ローカル書込みデータ・ラインに動作できるように関
    連し、前記メモリ集積回路の書込み動作中以外の前記ロ
    ーカル書込みデータ・ラインから前記グローバル書込み
    データ・ラインを選択的に分離する第二の分離回路とを
    備えることを特徴とするメモリ集積回路。
  6. 【請求項6】 請求項5記載のメモリ集積回路におい
    て、前記第一の分離回路が、前記グローバル読出しデー
    タ・ラインと前記ローカル読出しデータ・ラインとの間
    に、直列に接続していることを特徴とするメモリ集積回
    路。
  7. 【請求項7】 請求項6記載のメモリ集積回路におい
    て、前記第一の分離回路が、電子スイッチを備えること
    を特徴とするメモリ集積回路。
  8. 【請求項8】 請求項5記載のメモリ集積回路におい
    て、前記第二の分離回路が、前記グローバル書込みデー
    タ・ラインと、前記ローカル書込みデータ・ラインとの
    間に直列に接続していることを特徴とするメモリ集積回
    路。
  9. 【請求項9】 請求項8記載のメモリ集積回路におい
    て、前記第二の分離回路が、電子スイッチを備えること
    を特徴とするメモリ集積回路。
  10. 【請求項10】 請求項1記載のメモリ集積回路におい
    て、さらに、前記感知アンプ・バンドを通って前記第一
    の方向に延び、前記感知アンプ・バンド内で前記電力ラ
    インに接続している第二の電力ラインと、前記感知アン
    プ・バンドを通って前記第一の方向に延び、前記感知ア
    ンプ・バンド内で前記アース・ラインに接続している第
    二のアース・ラインとを備えることを特徴とするメモリ
    集積回路。
  11. 【請求項11】 (a)第一のメモリ・セル・バンク内
    の、一緒に関連する第一の複数のメモリ・セルと、 (b)前記第一のメモリ・セル・バンクに隣接して位置
    する第二のメモリ・セル・バンク内の、一緒に関連する
    第二の複数のメモリ・セルと、 (c)前記第一のメモリ・セル・バンクと、前記第二の
    メモリ・セル・バンクとの間を前記第一の方向に延び、
    その内部に位置する複数の感知アンプを持つ感知アンプ
    ・バンドと、 (d)前記感知アンプの中の少なくともいくつかの感知
    アンプと関連し、その出力として、それに電気的に接続
    している、読出し列選択ラインと書込み列選択ラインと
    を持ち、前記各読出し列選択ラインと、各書込み列選択
    ラインとが、前記感知アンプ・バンドを通って第一の方
    向に延び、さらに、前記感知アンプ・バンド内の前記感
    知アンプの中の一つに電気的に接続している列デコーダ
    回路と、 (e)それぞれが、複数の前記感知アンプに接続し、前
    記感知アンプ・バンドを通って、前記の第一の方向に延
    びている複数のローカル・データ・ラインと、 (f)前記ローカル・データ・ラインの中の一つに接続
    し、前記バンクの中の少なくとも一つを横切って、前記
    第一の方向を横断する第二の方向にのびている複数のグ
    ローバル・データ・ラインと、 (g)前記メモリ集積回路に対して電力を供給するため
    に、前記バンクの中の少なくとも一つを横切って、前記
    第二の方向に延びる複数の第二の方向の電力ラインと、 (h)前記メモリ集積回路に対して基準電圧を供給する
    ために、前記バンクを横切って、前記第二の方向に延び
    る複数の第二の方向のアース・ラインと、 (i)前記感知アンプ・バンドを通って前記第一の方向
    に延び、前記感知アンプ・バンド内で複数の第二の方向
    の各電力ラインに接続している第一の方向の電力ライン
    と、 (j)前記感知アンプ・バンドを通って、前記第一の方
    向に延び、前記感知アンプ・バンド内で前記複数の第二
    の方向の各アース・ラインに接続している第一の方向の
    アース・ラインとを備え、 前記メモリ集積回路が、第一の金属層と、第一の金属層
    の上に位置するが、第一の金属層と重畳しない状態で、
    知アンプ・バンドだけを横切って位置している第二の
    金属層と、第二の金属層の上に位置しているが、第二の
    金属層と重畳していない第三の金属層とを含み、 前記グローバル・データ・ラインが前記第三の金属層内
    に位置し、前記第二の方向電力ラインが前記第三の金属
    層内に位置し、前記第二の方向アース・ラインが前記第
    三の金属層内に位置することを特徴とするメモリ集積回
    路。
  12. 【請求項12】 請求項11記載のメモリ集積回路にお
    いて、前記グローバル・データ・ラインはグローバル読
    出しデータ・ラインおよびグローバル書込みデータ・ラ
    インを有し、前記ローカル・データ・ラインはローカル
    読出しデータ・ラインおよびローカル書込みデータ・ラ
    インを有し、さらに、前記グローバル読出しデータ・ラ
    イン、および前記ローカル読出しデータ・ラインに動作
    できるように関連し、前記メモリ集積回路の読出し動作
    中以外の、前記ローカル読出しデータ・ラインから前記
    グローバル読出しデータ・ラインを選択的に分離する第
    一の分離回路と、前記グローバル書込みデータ・ライン
    および前記ローカル書込みデータ・ラインに動作できる
    ように関連し、前記メモリ集積回路の書込み動作中以外
    の前記ローカル書込みデータ・ラインから前記グローバ
    ル書込みデータ・ラインを選択的に分離する第二の分離
    回路とを備えることを特徴とするメモリ集積回路。
  13. 【請求項13】 請求項12記載のメモリ集積回路にお
    いて、前記第一の分離回路が、前記グローバル読出しデ
    ータ・ラインと前記ローカル読出しデータ・ラインとの
    間に、直列に接続していることを特徴とするメモリ集積
    回路。
  14. 【請求項14】 請求項13記載のメモリ集積回路にお
    いて、前記第一の分離回路が、電子スイッチを備えるこ
    とを特徴とするメモリ集積回路。
  15. 【請求項15】 請求項12記載のメモリ集積回路にお
    いて、前記第二の分離回路が、前記グローバル書込みデ
    ータ・ラインと前記ローカル書込みデータ・ラインとの
    間に直列に接続していることを特徴とするメモリ集積回
    路。
  16. 【請求項16】 請求項15記載のメモリ集積回路にお
    いて、前記第二の分離回路が、電子スイッチを備えるこ
    とを特徴とするメモリ集積回路。
  17. 【請求項17】 (a)第一のメモリ・セル・バンク内
    の、一緒に関連する第一の複数のメモリ・セルと、 (b)前記第一のメモリ・セル・バンクに隣接して位置
    する第二のメモリ・セル・バンク内の、一緒に関連する
    第二の複数のメモリ・セルと、 (c)前記第一のメモリ・セル・バンクと前記第二のメ
    モリ・セル・バンクとの間を延びていて、その内部に位
    置する複数の感知アンプを持つ感知アンプ・バンドと、 (d)前記感知アンプの中の少なくともいくつかの感知
    アンプと関連し、その出力として、それに電気的に接続
    している読出し列選択ラインと書込み列選択ラインとを
    持ち、前記各読出し列選択ラインと、各書込み列選択ラ
    インとが、前記感知アンプ・バンドを通って延び、さら
    に、前記感知アンプ・バンド内の前記感知アンプの中の
    一つに電気的に接続している列デコーダ回路と、 (e)それぞれが、複数の前記感知アンプに接続し、前
    記感知アンプ・バンドを通って延びている複数のローカ
    ル・データ・ラインと、 (f)それぞれが、前記ローカル・データ・ラインの中
    の一つに接続し、前記第一のメモリ・セル・バンク、お
    よび前記第二のメモリ・セル・バンクを横切って延びる
    複数のグローバル・データ・ラインと、 (g)前記メモリ集積回路に対して電力を供給するため
    に、前記第一のメモリ・セル・バンクと、前記第二のメ
    モリ・セル・バンクとを横切って延びる複数の第二の電
    力ラインと、 (h)前記メモリ集積回路に対して基準電圧を供給する
    ために、前記第一のメモリ・セル・バンクと、前記第二
    のメモリ・セル・バンクとを横切って延びる複数の第二
    のアース・ラインと、 (i)前記感知アンプ・バンドを通って延び、前記感知
    アンプ・バンド内で前記複数の各第二の電力ラインに接
    続している第一の電力ラインと、 (j)前記感知アンプ・バンドを通って延び、前記感知
    アンプ・バンド内で前記複数の各第二のアース・ライン
    に接続している第一のアース・ラインとを備え、 前記メモリ集積回路が、第一の金属層と、第一の金属層
    の上に位置するが、第一の金属層と重畳しない状態で、
    知アンプ・バンドだけを横切って位置している第二の
    金属層と、第二の金属層の上に位置しているが、第二の
    金属層と重畳していない第三の金属層とを含み、 前記グローバル・データ・ラインが前記第三の金属層内
    に位置し、前記第二の電力ラインが前記第三の金属層内
    に位置し、前記第二のアース・ラインが前記第三の金属
    層内に位置することを特徴とするメモリ集積回路。
  18. 【請求項18】 請求項17記載のメモリ集積回路にお
    いて、前記グローバル・データ・ラインはグローバル読
    出しデータ・ラインおよびグローバル書込みデータ・ラ
    インを有し、前記ローカル・データ・ラインはローカル
    読出しデータ・ラインおよびローカル書込みデータ・ラ
    インを有し、さらに、前記グローバル読出しデータ・ラ
    イン、および前記ローカル読出しデータ・ラインに動作
    できるように関連し、前記メモリ集積回路の読出し動作
    中以外の、前記ローカル読出しデータ・ラインから前記
    グローバル読出しデータ・ラインを選択的に分離する前
    記第一の分離回路と、前記グローバル書込みデータ・ラ
    イン、および前記ローカル書込みデータ・ラインに動作
    できるように関連し、前記メモリ集積回路の書込み動作
    中以外の前記ローカル書込みデータ・ラインから前記グ
    ローバル書込みデータ・ラインを選択的に分離する前記
    第二の分離回路とを備えることを特徴とするメモリ集積
    回路。
  19. 【請求項19】 請求項18記載のメモリ集積回路にお
    いて、前記第一の分離回路が、前記グローバル読出しデ
    ータ・ラインと前記ローカル読出しデータ・ラインとの
    間に直列に接続していることを特徴とするメモリ集積回
    路。
  20. 【請求項20】 請求項19記載のメモリ集積回路にお
    いて、前記第一の分離回路が、電子スイッチを備えるこ
    とを特徴とするメモリ集積回路。
  21. 【請求項21】 請求項18記載のメモリ集積回路にお
    いて、前記第二の分離回路が、前記グローバル書込みデ
    ータ・ラインと前記ローカル書込みデータ・ラインとの
    間に直列に接続していることを特徴とするメモリ集積回
    路。
  22. 【請求項22】 請求項21記載のメモリ集積回路にお
    いて、前記第二の分離回路が、電子スイッチを備えるこ
    とを特徴とするメモリ集積回路。
  23. 【請求項23】 メモリ・セルのアレイと、第一の方向
    に延びる第一の電力供給ラインと、前記第一の方向に延
    びる第一のアース・ラインと、感知アンプと、前記第一
    の方向に延びる列選択ラインとを持つタイプのメモリ集
    積回路において、 前記第一の方向を横切る第二の方向に延びる第二の電力
    供給ラインと、 前記第二の方向に延びる第二のアース・ラインと、 前記第二の方向に延びるデータ・ラインとを備え、 前記第一の電力供給ラインおよび前記第一のアース・ラ
    インが、前記感知アンプおよび前記列選択ラインが位置
    するバンド内に位置し、 前記メモリ集積回路が、第一の金属層と、第一の金属層
    の上に位置するが、第一の金属層と重畳しない状態で、
    記バンドだけを横切って位置している第二の金属層
    と、第二の金属層の上に位置しているが、第二の金属層
    と重畳していない第三の金属層とを含み、 前記データ・ラインが前記第三の金属層内に位置し、前
    記第二の電力供給ラインが前記第三の金属層内に位置
    し、前記第二のアース・ラインが前記第三の金属層内に
    位置していることを特徴とするメモリ集積回路。
  24. 【請求項24】 請求項23記載のメモリ集積回路にお
    いて、前記第一の電力供給ラインが、前記第二の電力供
    給ラインに接続し、前記第一のアース・ラインが、前記
    第二のアース・ラインに接続していることを特徴とする
    メモリ集積回路。
  25. 【請求項25】 請求項23記載のメモリ集積回路にお
    いて、前記第二の電力供給ラインおよび前記第二のアー
    ス・ラインが、少なくとも部分的に前記バンドを横切っ
    て延びることを特徴とするメモリ集積回路。
  26. 【請求項26】 請求項23記載のメモリ集積回路にお
    いて、前記第一の電力供給ラインが前記第二の金属層内
    に位置していて、前記第一のアース・ラインが前記第二
    の金属層内に位置していることを特徴とするメモリ集積
    回路。
  27. 【請求項27】 請求項26記載のメモリ集積回路にお
    いて、前記第一の電力供給ラインが前記第二の電力供給
    ラインに接続し、前記第一のアース・ラインが前記第二
    のアース・ラインに接続していることを特徴とするメモ
    リ集積回路。
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