JP3942878B2 - 半導体装置の作製方法 - Google Patents
半導体装置の作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3942878B2 JP3942878B2 JP2001363483A JP2001363483A JP3942878B2 JP 3942878 B2 JP3942878 B2 JP 3942878B2 JP 2001363483 A JP2001363483 A JP 2001363483A JP 2001363483 A JP2001363483 A JP 2001363483A JP 3942878 B2 JP3942878 B2 JP 3942878B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- film
- metal element
- amorphous semiconductor
- semiconductor film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は非晶質構造を有する半導体膜の結晶化工程を含む半導体装置の作製工程に関し、特に本発明は、薄膜トランジスタ及び当該薄膜トランジスタを搭載するアクティブマトリックス型表示装置に代表される電気光学装置、及びその電気光学装置を部品として搭載した電気機器の作製方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、絶縁表面を有する基板上に形成された半導体薄膜を用いて薄膜トランジスタ(以下、TFTという)を形成し、このTFTで形成した大面積集積回路を有する半導体装置の開発が進んでいる。
【0003】
半導体装置の代表例として、液晶モジュールを備えた液晶表示装置、エレクトロルミネセンスモジュール、および密着型イメージセンサ、三次元IC(集積回路)等が知られている。
【0004】
液晶表示装置においては、高品位な画像を得るために、画素電極をマトリクス上に配置して、画素電極の各々に接続するスイッチング素子としてTFTを用いたアクティブマトリックス型液晶表示装置が注目を集めている。
【0005】
液晶表示装置に搭載される液晶モジュールには、画像表示を行う画素部や、CMOS回路を基本としたシフトレジスタ回路、レベルシフタ回路、バッファ回路、サンプリング回路などの画素部を制御するための駆動回路が一枚の基板上に形成される。
【0006】
画素部は数十から数百万個の各画素にTFTが配置され、そのTFTのそれぞれには画素電極が接続されている。液晶を挟んで対向基板側には対向電極が設けられており、液晶を誘電体とした一種のコンデンサを形成している。そして、各画素に印可する電圧をスイッチング機能により制御して、コンデンサへの電荷を制御することで液晶を駆動し、透過光量を制御して画像を表示する仕組みになっている。
【0007】
従来では非晶質シリコン膜を用いてTFTが形成されてきたが、より高性能を求めるために結晶質シリコン膜(ポリシリコン膜)を活性層にしたTFTを作製することが試みられている。このポリシリコンTFTは、電界効果移動度が高いことから、いろいろな機能を備えた回路を形成することも可能である。
【0008】
この結晶質シリコン膜をガラス基板上に形成する技術として特開平8−78329号公報記載の技術が開示されている。同公報記載の技術は非晶質シリコン膜に対して結晶化を助長する触媒元素(代表的にはニッケル)を選択的に添加し、加熱処理を行うことで添加領域を起点として広がる結晶質シリコン膜を形成するものであり、得られる結晶粒のサイズは非常に大きい。
【0009】
また、上記公報技術は、触媒元素を用いないで結晶化を行う場合と比べて触媒元素の作用により非晶質シリコン膜の結晶化温度を50〜100℃程度下げることが可能であり、結晶化に要する時間触媒元素を用いないで結晶化を行う場合に比べ1/5〜1/10に低減することができ、生産性に置いても優れている。
【0010】
さらに、非晶質シリコン膜の一部に選択的に触媒元素を導入して加熱することで他の部分を非晶質シリコン膜の状態として残したまま、触媒元素が導入された領域のみを選択的に結晶化し、そして加熱時間を延長することで、その導入領域から横方向(基板と平行方向)に結晶成長を行わせる技術が特開平10−247735号公報に開示されている。この成長領域では成長方向が揃った柱状結晶が集まっており、触媒元素が導入されてランダムに結晶核の発生が起こった領域と比べると結晶性が良好になっている。そのため、この横方向結晶成長領域を活性層としてTFTを形成することによって高性能化を行うことができる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、触媒元素を導入した領域のみを選択的に結晶化するとき、加熱温度が高温であるほど短時間で結晶化しやすくなるが、触媒元素が導入されない非晶質シリコン部でも結晶質シリコンの結晶核が発生してしまうことがある。その結晶核発生により、横方向に柱状結晶が成長するのを妨げる原因になるだけでなく、その部分が活性層として用いられることにより特性を悪化させる原因にもなり、表示不良をもたらすことになりうる。そのため、短時間化をするために加熱温度を必要以上に高くすることはできない。
【0012】
また、触媒元素を導入する部分としない部分を分けるための工程が必要となる。例えば、導入しない部分の非晶質シリコン膜上に酸化シリコン膜などを形成してマスクすることが上げられるが、この工程を行うためには酸化シリコン膜の成膜、触媒元素の添加を行うためのスリット状の開孔するための酸化シリコン膜のパターニング、結晶化後の酸化シリコン膜除去など多数の工程が必要となり、長い工程がかかることとなる。
【0013】
このような問題点を解決するために、本発明は、非晶質シリコン膜に触媒元素の導入された場所のみを確実に結晶化し、かつ工程を簡略化できる方法を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の表示装置の製造方法は、絶縁表面を有する基板上に非晶質シリコン膜を形成し、上記非晶質シリコン膜に結晶化を促進する触媒元素を導入する工程と、レーザー光を照射して選択的に上記非晶質シリコン膜を結晶化する工程と、非晶質シリコン膜に導入された触媒元素を選択的に除去する工程と、加熱処理を行いレーザー光を照射して選択的に上記非晶質シリコン膜を結晶化した第1領域から上記基板と平行に上記非晶質シリコン膜を結晶化させる工程と、レーザー光を照射した場所以外で加熱処理を行ったときに結晶化した結晶質シリコン膜の第2領域にTFTの活性層を形成する工程を備えることを特徴としている。
【0015】
上記構成によれば、上記非晶質シリコン膜に結晶化を促進する触媒元素を導入し、レーザー光を照射して選択的に上記非晶質シリコン膜を結晶化することにより、触媒元素は結晶化したシリコンに一部は固溶し、一部はシリサイドを形成する。レーザー照射を使って結晶化をしているため、未照射部分である第2領域は完全な非晶質シリコン膜の状態が保たれる。
【0016】
レーザー照射を行うときは、後のパターニング時のアライメント基準となるマーカーを形成しておくことで正しい位置に活性層を形成することができる。導入した触媒元素を除去するにあたり、非晶質シリコン膜である第2領域は触媒元素が膜表面に付着している状態であるため、容易に除去できる。しかし、結晶質シリコン膜である第1領域は膜中にニッケルが導入されて除去することは困難である。そのため、触媒元素を選択的に除去できる。
【0017】
第1領域から第2領域へ結晶化させる加熱処理は触媒元素の導入されない第2領域において結晶質シリコンの結晶核が発生しない温度より低い温度で行うのが望ましい。
【0018】
非晶質シリコン膜の横方向への結晶成長においては、上記触媒元素が結先端部に局在して非晶質シリコン膜の結晶化を促進している。したがって、隣接する第1領域の間隔が狭く、その間の第2領域が完全に結晶質シリコンとなる場合は、第2領域で両側からの結晶成長が衝突する領域が存在し触媒元素が偏析するため、その場所へのTFTの活性層のチャネル部形成は信頼性や電気的安定性を阻害する可能性があり、特性の悪化から考えて避けるのが望ましい。
【0019】
この工程は成膜、パターニング、エッチングなどの多数の工程を必要とせず、レーザー照射と触媒元素の除去を行うだけで済むため、工程短縮をはかることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。
【0021】
絶縁表面を有する基板上に非晶質半導体膜を形成し、非晶質半導体膜に結晶化を促進する触媒元素を導入する工程と、レーザー光を照射して選択的に非晶質半導体膜を結晶化する工程と、非晶質半導体膜に導入された触媒元素を選択的に除去する工程と、加熱処理を行いレーザー照射して選択的に上記非晶質半導体膜を結晶化した第1領域から上記基板と平行に上記非晶質半導体膜を結晶化させる工程と、レーザー光を照射した場所以外で加熱処理を行ったときに結晶化した結晶質半導体膜の第2領域にTFTの活性層を形成する工程を備えることを特徴としている。
【0022】
絶縁性表面を有する基板は、ガラス基板、石英基板、サファイア基板等500℃以上の耐熱性のある基板であれば、他の基板であっても良い。
【0023】
非晶質半導体膜は減圧熱CVD法、プラズマCVD法、スパッタ法等で得られる半導体材料、例えば、シリコンまたはシリコンを主成分とする合金を用いることが可能である。
【0024】
レーザー照射前に添加する触媒元素は触媒元素を含む溶液を塗布する方法でも良いし、スパッタ法やCVD法で薄い膜を形成する方法でもよい。
【0025】
レーザー光としてはパルス発振型または連続発振型のエキシマレーザーやYAGレーザーの第2高調波または第3高調波、YVO4レーザーの第2高調波を用いることができる。レーザー光の照射される領域の形状は、線状であっても矩形であっても円形であってもよく、特定するものではない。
【0026】
レーザー光を照射するときに、後に活性層パターンとなる位置を特定するため、マーカーを形成しておくことが望ましい。
【0027】
レーザー照射後の触媒元素の除去は触媒元素をエッチングする方法は、ドライエッチング、ウエットエッチングを用いることができる。例えば、希フッ酸で洗浄することで表面上に存在している触媒元素を除去できる。このときレーザー照射をした結晶質半導体膜中に固溶した触媒元素やシリサイド化した触媒元素はほとんど除去されない。
【0028】
第1領域から上記基板と平行に上記非晶質半導体膜を結晶化させる工程は、例えば窒素雰囲気下等の不活性雰囲気下において熱処理を行うが、半導体膜の物性のばらつき要因になるため、触媒元素起因以外の結晶質シリコンの核発生がしない程度の温度で行うことが望ましい。
【0029】
触媒元素は結晶化後にゲッタリングを行い結晶質半導体膜中から除去または触媒元素による電気的影響が表れない程度に低減することが望ましい。ゲッタリングの手法としては、結晶質半導体の一部にリンまたは希ガス(代表的にはアルゴン)などを添加してゲッタリングサイトを形成し熱処理を行って触媒元素を移動させる方法、若しくはリンまたは希ガスなどを含有した非晶質半導体、もしくは結晶質半導体を酸化膜を介して積層し、ゲッタリングサイトとすることで、熱処理を行って触媒元素を移動させる方法を用いればよい。
【0030】
活性層の配置はレーザー照射した第1領域以外で結晶質シリコン膜が形成されている第2領域に行う。ただし、隣接する第1領域の間隔が狭く、その間の第2領域が完全に結晶質シリコンとなる場合は、第2領域で両側からの結晶成長が衝突する領域が存在し触媒元素が偏析するため、その場所への活性層のチャネル部の形成は信頼性や電気的安定性を阻害する可能性があり、特性の悪化から考えて避けるのが望ましい。
【0031】
【実施例】
[実施例1]
本実施例では石英基板(厚さ1.1mm)を用い、減圧熱CVD法で得られる非晶質半導体膜を用いてTFTを作製する例を図1に示す。
【0032】
まず、減圧熱CVD法で厚さ50nmの非晶質シリコン膜101と厚さ50nmの酸化シリコン膜102を石英基板100に成膜する。(図1(A))
【0033】
次いで、裏面側に形成された非晶質シリコン膜および酸化シリコン膜を除去するためにレジスト膜103を形成する。次いで、裏面側に形成された酸化シリコン膜をフッ酸を含む溶液で除去し、非晶質シリコン膜をSF6とHeとの混合ガスを用いて除去する。(図1(B))
【0034】
次いで、レジスト膜を除去し、酸化シリコン膜102を除去し、基板を希フッ酸で洗浄した後、オゾン水により非晶質シリコン膜の表面に酸化膜(図示しない)を形成する。次いで、ニッケルを含む溶液(5ppm)をスピンコートして薄い金属膜104を形成する。(図1(C))
【0035】
次いで、楕円状レーザー光を基板の表面側から所望の場所に照射する。(図1(D))レーザー光の形状は円状でも線状でも良く、結晶化するパターンに適した形に整形すればよい。ここでは連続発振型のYVO4レーザーの第2高調波(532nm)を用いる。レーザー光の照射条件は、エネルギー密度を0.1mW/μm2〜1mW/μm2、スキャン速度を10cm/sec〜100cm/secとすればよい。ここでは、レーザー光の照射条件はエネルギー密度を0.5mW/μm2、スキャン速度を50cm/secとする。このレーザー光により結晶核を発生させて、非晶質シリコン膜の一部を結晶化する。こうして、結晶質シリコン膜105となる。このとき結晶質シリコン膜には表面のNiが膜中に拡散して結晶核となるシリサイドが形成されている。
【0036】
次いで、シリコン膜の表面をフッ酸を含むエッチャントで洗浄し、シリコン膜表面のニッケルを除去する。このとき、レーザー照射されて結晶化したシリコン膜中に含まれるニッケルやニッケルシリサイドはほとんど除去されない。
【0037】
次いで、加熱処理で結晶化を行い、レーザー照射されて結晶化したシリコン膜105から非晶質シリコン膜へ横方向に結晶化を行い、結晶質シリコン膜106を形成する。(図1(E))ここでは450℃、1時間の熱処理の後、570℃、14時間の熱処理行う。
【0038】
次いで、得られた結晶質シリコン膜106をパターニングして活性層107を形成する。(図1(F))
【0039】
次いで、半導体層の表面をフッ酸を含むエッチャントで洗浄した後、ゲート絶縁膜108となるシリコンを主成分とする絶縁膜を形成する。
【0040】
次いで、ゲート絶縁膜表面を洗浄した後、ゲート電極109を形成し、半導体にn型を付与する不純物元素(P、As等)、ここではリンを適宜添加して、ソース領域110及びドレイン領域111を形成する。添加した後、不純物元素を活性化するために加熱処理、強光の照射、またはレーザー光の照射を行う。また、活性化と同時にゲート絶縁膜へのプラズマダメージやゲート絶縁膜と半導体層との界面へのプラズマダメージを回復することができる。特に、室温〜300℃の雰囲気中において、表面または裏面からYAGレーザーの第2高調波を照射して不純物元素を活性化させることは非常に有効である。YAGレーザーはメンテナンスが少ないため好ましい活性化手段である。
【0041】
また、活性化の手段として熱処理とした場合、活性化と同時にゲッタリングを行うことができる。ここでのゲッタリングはソース領域またはドレイン領域に添加したリンによるゲッタリングである。また、結晶化の前に添加した結晶成長を助長させる金属元素は、結晶化後にゲッタリングを行い結晶質半導体膜中から除去または低減することが望ましい。
【0042】
以降の工程は、層間絶縁膜112を形成し、水素化を行って、ソース領域、ドレイン領域に達するコンタクトホールを形成し、ソース電極113、ドレイン電極114を形成してTFTを完成させる。(図1(G))
【0043】
また、本発明は図1の構造に限定されず、必要があればチャネル形成領域とドレイン領域(またはソース領域)との間にLDD領域を有する低濃度ドレイン構造としてもよい。この構造はチャネル形成領域と、高濃度に不純物元素を添加して形成するソース領域またはドレイン領域との間に低濃度に不純物元素を添加した領域を設けたものであり、この領域をLDD領域と呼んでいる。さらにゲート絶縁膜を介してLDD領域をゲート電極と重ねて配置させた、いわゆるGOLD構造としてもよい。
【0044】
また、ここではnチャネル型TFTを用いて説明したが、n型不純物元素に代えてp型不純物元素を用いることによってpチャネル型TFTを形成することができることは言うまでもない。
【0045】
また、ここではトップゲート型TFTを例として説明したが、TFT構造に関係なく本発明を適用することが可能であり、例えばボトムゲート型(逆スタガ型)TFTや順スタガ型TFTに適用することが可能である。
【0046】
[実施例2]
ここでは、画素部を有するアクティブマトリクス基板を用いた液晶表示装置を作製する方法について図2〜図7を用いて説明する。
【0047】
TFTをスイッチング素子として用いるアクティブマトリクス型液晶表示装置は、画素電極がマトリクス状に配置された基板(アクティブマトリクス基板)と、対向電極が形成された対向基板とを液晶層を介して対向配置した構造となっている。両基板間はスペーサ等を介して所定の間隔に制御され、画素部の外周部にシール材を用いることで液晶層を封入している。
【0048】
以下にアクティブマトリクス基板の作製例を示す。
【0049】
まず、絶縁表面を有する基板201上に導電膜を形成し、パターニングを施すことにより走査線202を形成する。(図2(A))この走査線202は後に形成される活性層を光から保護する遮光層としても機能する。ここでは基板201として石英基板を用い、走査線202としてポリシリコン膜(膜厚75nm)とタングステンシリサイド(W−Si)膜(膜厚150nm)の積層構造を用いる。
【0050】
次いで、走査線202を覆う絶縁膜203a、203bを膜厚100〜1000nmで形成する。ここではプラズマCVD法を用いた膜厚100nmの酸化シリコン膜と減圧熱CVD法を用いた膜厚480nmの酸化シリコン膜を積層させる。
【0051】
また、絶縁膜203bを形成した後、絶縁膜表面を化学的及び機械的に研磨する処理(代表的にはCMP技術)等)により平坦化してもよい。(図2(B))例えば、絶縁膜表面の最大高さ(Rmax)が0.5μm以下、好ましくは0.3μm以下となるようにする。
【0052】
次いで、非晶質半導体膜を膜厚10〜100nmで形成する。ここでは減圧熱CVD法を用いて膜厚50nmの非晶質シリコン膜を形成する。さらに非晶質シリコン膜上に減圧熱CVD法で膜厚50nmの酸化シリコン膜を形成する。減圧熱CVD法では基板の両面に成膜されるため、基板表面側にレジスト膜を形成した後、裏面側の酸化シリコン膜をフッ酸を含む溶液で除去し、さらに裏面側の非晶質シリコン膜をSF6とHeの混合ガスを用いて除去する。裏面側の膜を除去した後は、レジスト膜を除去し、さらに酸化シリコン膜を除去する。
【0053】
次いで、この非晶質半導体膜を結晶化させる。本実施例では、非晶質シリコン膜に対して結晶化を助長する金属元素を全面に添加し、レーザー光を一部に照射する。(図2(C1))ここではオゾンを含む溶液で非晶質シリコン膜の表面に酸化膜を形成した後、結晶化を助長する触媒元素としてニッケルを用い、ニッケルを1ppm〜100ppm含有する溶液、ここでは5ppm含有する溶液を塗布した後、連続発振型のYVO4レーザーの第2高調波(532nm)をエネルギー密度0.1mW/μm2〜1.0mW/μm2、ここでは0.5mW/μm2、スキャン速度10cm/sec〜100cm/sec、ここでは50cm/secで照射する。このレーザー光により結晶核を発生させて、非晶質シリコン膜の一部を結晶化する。こうして、結晶質シリコン膜205となる。このとき結晶質シリコン膜には表面のニッケルが膜中に拡散して結晶核となるシリサイドが形成されている
【0054】
レーザー照射のときに後の活性層パターン形成における位置合わせのためアライメントマーカーを形成しておく。
【0055】
次いで、シリコン膜の表面をフッ酸を含むエッチャントで洗浄し、シリコン膜表面のニッケルを除去する。このとき、レーザー照射されて結晶化したシリコン膜中に含まれるニッケルやニッケルシリサイドはほとんど除去されない。
【0056】
次いで、脱水素化のための熱処理として450℃1時間を行い、結晶化のための熱処理を530℃〜600℃、ここでは570℃14時間を行う。この加熱処理によりレーザー照射部分の結晶質シリコン膜から非晶質シリコン膜へ横方向(基板と水平方向)に結晶化が進行し、結晶成長方向の揃った結晶質シリコン膜204が得られる。なお、図2(C2)は画素上面図であり、点線A−A’で切断した断面図が図2(C1)に相当する。
【0057】
次いで、TFTの活性層とする領域からニッケルをゲッタリングする。TFTの活性層とする領域を酸化シリコン膜207で覆い、結晶質シリコン膜の一部にアルゴン(代表的にはリン、希ガス)を添加し、ゲッタリングサイト206とする。(図3(A))その後、窒素雰囲気下で熱処理を600℃〜800℃、ここでは700℃12時間行い、ゲッタリングサイトのシリコン膜を除去する。活性層とする領域に残るニッケルがTFT特性に影響を与えないほど少ない場合は、このゲッタリング処理を行わなくても良い。
【0058】
次いで、活性層の薄膜化を熱酸化により行う。熱酸化を行う前に安定性のため減圧熱CVD法により酸化シリコン膜209を20nmで形成(図3(B))し、酸素雰囲気に塩化水素を3%導入した混合ガスにより950℃50分加熱処理を行う。この熱酸化処理により50nmの結晶質シリコン膜は30nmまで薄膜化され、より緻密な結晶質シリコン膜となる。
【0059】
次いで、レーザー照射によって形成したアライメントマーカーで位置合わせをしてパターニングを行い、結晶質シリコン膜の不要な部分を除去して活性層210を形成する。(図3(C1))なお、活性層210を形成した後の画素上面図を図3(C2)に示す。図3(C2)において、点線B−B’で切断した断面図が図3(C1)に相当する。
【0060】
次いで、減圧熱CVD法によりゲート絶縁膜の一部となる酸化シリコン膜211aを30nmで形成する。(図4(A))その後、保持容量を形成するため、マスク212を形成して酸化シリコン膜211aをエッチングし、結晶質シリコン膜の一部(保持容量とする領域)213にリンをドーピングする。(図4(B))
【0061】
次いで、マスク212を除去し、減圧熱CVD法で酸化シリコン膜211bを50nmで形成する。(図4(C))この酸化シリコン膜は容量絶縁膜となる。また、図4(A)に示した酸化シリコン膜211aと図4(C)に示した酸化シリコン膜211bの積層膜がゲート絶縁膜となり、最終的には80nmとなる。ここでの画素上面図を図4(C2)に示す。図4(C2)において、点線C−C’で切断した断面図が図4(C1)に相当する。また、図4中の1点鎖線内で示した領域は、薄い絶縁膜211bが形成されている部分である。
【0062】
次いで、TFTのチャネル領域となる領域にp型またはn型の不純物元素を低濃度に添加するチャネルドープ工程を全面または選択的に行う。このチャネルドープ工程は、TFTしきい値電圧を制御するための工程である。なお、ここではジボラン(B2H6)を質量分離しないでプラズマ励起したイオンドープ法でボロンを添加する。もちろん、質量分離を行うイオンインプランテーション法を用いてもよい。
【0063】
次いで、絶縁膜211a、及び211b上にマスク214を形成し、走査線202に達するコンタクトホールを形成する。(図5(A))そして、コンタクトホールの形成後、マスクを除去する。
【0064】
次いで、導電膜を形成し、パターニングを行ってゲート電極215および容量配線216を形成する。(図5(B))ここでは、リンがドープされた結晶質シリコン膜(膜厚150nm)とタングステンシリサイド(膜厚150nm)との積層構造を用いた。なお、保持容量は、絶縁膜211bを誘電体とし、容量配線216と結晶質シリコン膜の一部213とで構成されている。
【0065】
次いで、ゲート電極215および容量配線216をマスクとして自己整合的にリンを低濃度に添加する。(図5(C1))ここでの画素上面図を図5(C2)に示す。図5(C2)において、点線D−D’で切断した断面図が図5(C1)に相当する。この低濃度に添加された領域のリンの濃度が、1×1016〜5×1018atoms/cm 3 (代表的には3×1017〜3×1018atoms/cm3)となるように調整する。
【0066】
次いで、マスク220を形成してリンを高濃度に添加し、ソース領域またはドレイン領域となる高濃度不純物領域218を形成する。(図6(A))この高濃度不純物領域のリンの濃度が1×1020〜1×1021atoms/cm 3 (代表的には2×1020〜5×1020atoms/cm3)となるように調整する。なお、活性層210のうち、ゲート電極215と重なる領域はチャネル形成領域219となり、マスク220で覆われた領域は低濃度不純物領域217となりLDD領域として機能する。そして、不純物元素の添加後、マスク220を除去する。
【0067】
次いで、ここでは図示しないが、画素と同一基板上に形成される駆動回路に用いるpチャネル型TFTを形成するために、マスクでnチャネル型TFTとなる領域を覆い、ボロンを添加してソース領域またはドレイン領域を形成する。
【0068】
次いで、マスク220を除去した後、ゲート電極215および容量配線216を覆うパッシベーション膜221を形成する。このパッシベーション膜は、ゲート電極の酸化を防ぐとともに、後の平坦化の工程でエッチングストッパーとして機能する。ここでは、酸化シリコン膜を70nmの膜厚で形成した。その後、活性層にそれぞれの濃度で添加されたn型またはp型不純物元素を活性化するための熱処理工程を500℃〜1050℃、ここでは950℃30分の加熱処理を行う。
【0069】
次いで、有機樹脂材料またはシリコン材料からなる層間絶縁膜222を形成する。ここでは膜厚1μmの酸化窒化シリコン膜を用い、エッチバックを行って平坦化を行った。次いで、活性層に達するコンタクトホールを形成した後、電極223及びソース配線224を形成する。本実施例では電極223及びソース配線224を、チタン膜を60nm、窒化チタン膜を40nm、チタンを含むアルミニウム膜を300nm、タングステン膜100nmをスパッタ法で連続して形成した4層構造の積層膜とした。(図6(B1))なお、図6(B2)において点線E−E’で切断した断面図が図6(B1)に相当する。
【0070】
次いで、水素化処理をおこなった後、層間絶縁膜225を形成する。(図7(A1))ここではアクリル樹脂1μmを成膜する。次いで、層間絶縁膜225上に遮光性を有する導電膜を成膜して、パターニングを行って遮光層226を形成する。ここでは、チタンを含むアルミニウムを100nm形成し、アクリル樹脂500nmからなる層間絶縁膜227を成膜する。次いで、電極223に達するコンタクトホール形成し、100nmの透明導電膜、ここでは酸化インジウム・スズ(ITO)膜を成膜した後、パターニングして画素電極228、229を形成する。図7(A2)において、点線F−F’で切断した断面図が図7(A1)に相当する。
【0071】
こうして画素部には、表示領域の面積(画素サイズ26μm×26μmのとき開口率76.5%)を確保しつつ、nチャネル型TFTでなる画素TFTが形成され、十分な保持容量(40fF)を得ることができる。
【0072】
なお、図7で示した画素部はあくまで一例に過ぎず、特に上記構成に限定されないことはいうまでもない。
【0073】
なお、本実施例は一例であって本実施例の工程に限定されないことはいうまでもない。例えば、各導電膜としては、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、クロム(Cr)、シリコン(Si)から選ばれた元素、または前記元素を組み合わせた合金膜(代表的には、Mo−W合金、Mo−Ta合金)を用いることができる。また、各絶縁膜としては、酸化シリコン膜や窒化シリコン膜や酸化窒化シリコン膜や有機樹脂材料(ポリイミド、アクリル、ポリアミド、ポリイミドアミド、BCB(ベンゾシクロブテン)等)膜を用いることができる。
【0074】
また、本実施例では、画素電極に透明導電膜を用いて透過型表示装置用のアクティブマトリクス基板を作製する例を示したが、画素電極に反射性を有する材料膜を用いて反射型表示装置用のアクティブマトリクス基板を作製してもよい。
【0075】
[実施例3]
本実施例では、実施例3のアクティブマトリクス基板から、アクティブマトリクス型液晶表示装置を作製する工程を以下に説明する。説明には図8を用いる。
【0076】
まず、上記実施例2に従い、図7の状態のアクティブマトリクス基板を得た後、図7のアクティブマトリクス基板上に配向膜を形成しラビング処理を行う。なお、本実施例では配向膜を形成する前に、アクリル樹脂膜等の有機樹脂膜をパターニングすることによって基板間隔を保持するための柱状のスペーサを所望の位置に形成する。また、柱状のスペーサに代えて、球状のスペーサを基板全面に散布してもよい。
【0077】
次いで、対向基板を用意する。この対向基板には、遮光層が各画素に対応して設けられている。また、駆動回路の部分にも遮光層を設けた。この遮光層の上に透明導電膜からなる対向電極を画素部に形成し、対向基板の全面に配向膜を形成し、ラビング処理を施した。
【0078】
そして、画素部と駆動回路が形成されたアクティブマトリクス基板と対向基板とをシール材で貼り合わせる。シール材にはフィラーが混入されていて、このフィラーと柱状スペーサによって均一な間隔を持って2枚の基板が貼り合わせられる。その後、両基板の間に液晶材料を注入し、封止剤(図示せず)によって完全に封止する。液晶材料には公知の液晶材料を用いれば良い。このようにしてアクティブマトリクス型液晶表示装置が完成する。そして、必要があれば、アクティブマトリクス基板または対向基板を所望の形状に分断する。さらに、公知の技術を用いて偏光板等を適宜設けた。そして、公知の技術を用いてFPCを貼りつけた。
【0079】
こうして得られた液晶モジュールの構成を図8の上面図を用いて説明する。
【0080】
アクティブマトリクス基板801の中央には、画素部804が配置されている。画素部804の上側には、ソース信号線を駆動するためのソース信号線駆動回路802が配置されている。画素部804の左右には、ゲート信号線を駆動するためのゲート信号線駆動回路803が配置されている。本実施例に示した例では、ゲート信号線駆動回路803は画素部に対して左右対称配置としているが、これは片側のみの配置でも良く、液晶モジュールの基板サイズ等を考慮して、設計者が適宜選択すれば良い。ただし、回路の動作信頼性や駆動効率等を考えると、図8に示した左右対称配置が望ましい。
【0081】
各駆動回路への信号の入力は、フレキシブルプリント基板(FPC)805から行われる。FPC805は、基板801の所定の場所まで配置された配線に達するように、層間絶縁膜および樹脂膜にコンタクトホールを開口し、接続電極809を形成した後、異方性導電膜等を介して圧着される。本実施例においては、接続電極はITOを用いて形成した。
【0082】
駆動回路、画素部の周辺には、基板外周に沿ってシール剤807が塗布され、あらかじめアクティブマトリクス基板上に形成されたスペーサ810によって一定のギャップ(基板801と対向基板806との間隔)を保った状態で、対向基板806が貼り付けられる。その後、シール剤807が塗布されていない部分より液晶素子が注入され、封止剤808によって密閉される。以上の工程により、液晶モジュールが完成する。
【0083】
また、ここでは全ての駆動回路を基板上に形成した例を示したが、駆動回路の一部に数個のICを用いてもよい。
【0084】
[実施例4]
本発明を実施して形成されたTFTは様々なモジュール(アクティブマトリクス型液晶モジュール、アクティブマトリクス型ELモジュール、アクティブマトリクス型ECモジュール)に用いることができる。即ち、それらを表示部に組み込んだ電子機器全てに本発明を実施できる。
【0085】
その様な電子機器としては、ビデオカメラ、デジタルカメラ、ヘッドマウントディスプレイ(ゴーグル型ディスプレイ)、カーナビゲーション、プロジェクター、カーステレオ、パーソナルコンピュータ、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話または電子書籍等)などが挙げられる。それらの一例を図9に示す。
【0086】
図9(A)はフロント型プロジェクターであり、投射装置2601、スクリーン2602等を含む。本発明は投射装置2601の一部を構成する液晶モジュール2808に適用することができる。
【0087】
図9(B)はリア型プロジェクターであり、本体2701、投射装置2702、ミラー2703、スクリーン2704等を含む。本発明は投射装置2702の一部を構成する液晶モジュール2808に適用することができる。
【0088】
なお、図9(C)は、図9(A)及び図9(B)中における投射装置2601、2702の構造の一例を示した図である。投射装置2601、2702は、光源光学系2801、ミラー2802、2804〜2806、ダイクロイックミラー2803、プリズム2807、液晶モジュール2808、位相差板2809、投射光学系2810で構成される。投射光学系2810は、投射レンズを含む光学系で構成される。本実施例は三板式の例を示したが、特に限定されず、例えば単板式であってもよい。また、図9(C)中において矢印で示した光路に実施者が適宜、光学レンズや、偏光機能を有するフィルムや、位相差を調節するためのフィルム、IRフィルム等の光学系を設けてもよい。
【0089】
また、図9(D)は、図9(C)中における光源光学系2801の構造の一例を示した図である。本実施例では、光源光学系2801は、リフレクター2811、光源2812、レンズアレイ2813、2814、偏光変換素子2815、集光レンズ2816で構成される。なお、図9(D)に示した光源光学系は一例であって特に限定されない。例えば、光源光学系に実施者が適宜、光学レンズや、偏光機能を有するフィルムや、位相差を調節するフィルム、IRフィルム等の光学系を設けてもよい。
【0090】
ただし、図9に示したプロジェクターにおいては、透過型の電気光学装置を用いた場合を示しており、反射型の電気光学装置での適用例は図示していない。
【0091】
以上の様に、本発明の適用範囲は極めて広く、あらゆる分野の電子機器の作製方法に適用することが可能である。また、本実施例の電子機器は実施の形態、または実施例1乃至6のうち、いずれか一つとどのような組み合わせからなる構成を用いても実現することができる。
【0092】
【発明の効果】
本発明により、活性層は触媒元素による結晶質シリコン膜のみで形成され、ばらつきの少ない半導体装置を得ることができる。また、本発明により、従来よりも結晶化工程を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の作製工程を示す図。
【図2】 本発明のアクティブマトリクス型表示装置の作製工程を示す図。
【図3】 本発明のアクティブマトリクス型表示装置の作製工程を示す図。
【図4】 本発明のアクティブマトリクス型表示装置の作製工程を示す図。
【図5】 本発明のアクティブマトリクス型表示装置の作製工程を示す図。
【図6】 本発明のアクティブマトリクス型表示装置の作製工程を示す図。
【図7】 本発明のアクティブマトリクス型表示装置の作製工程を示す図。
【図8】 液晶モジュールを示す図。
【図9】 電子機器を示す図。
Claims (7)
- 絶縁表面上に非晶質半導体膜を形成し、
前記非晶質半導体膜の全面に結晶化を助長する金属元素を添加し、
前記非晶質半導体膜の一部にレーザー光を照射することで、結晶化され且つ前記金属元素が導入された第1領域と、前記レーザー光未照射部分である第2領域を形成し、
前記第2領域の表面から前記金属元素を除去し、
前記第1領域及び前記第2領域を加熱して、前記第1領域から前記第2領域へと横方向に結晶成長させ、結晶化された前記第2領域を形成し、
前記金属元素の添加は、前記金属元素を含む溶液を塗布する、または、スパッタ法若しくはCVD法で前記金属元素を含む薄い膜を形成することにより行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 絶縁表面上に非晶質半導体膜を形成し、
前記非晶質半導体膜の全面に結晶化を助長する金属元素を添加し、
前記非晶質半導体膜の一部にレーザー光を照射することで、結晶化され且つ前記金属元素が導入された第1領域と、前記レーザー光未照射部分である第2領域を形成し、
前記第2領域の表面から前記金属元素を除去し、
前記第1領域及び前記第2領域を加熱して、前記第1領域から前記第2領域へと横方向に結晶成長させ、結晶化された前記第2領域を形成し、
前記第2領域をパターニングすることにより、前記第2領域に薄膜トランジスタのチャネル形成領域を形成し、
前記金属元素の添加は、前記金属元素を含む溶液を塗布する、または、スパッタ法若しくはCVD法で前記金属元素を含む薄い膜を形成することにより行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 絶縁表面上に非晶質半導体膜を形成し、
前記非晶質半導体膜の全面に結晶化を助長する金属元素を添加し、
前記非晶質半導体膜の一部にレーザー光を照射することで、結晶化され且つ前記金属元素が導入された複数の第1領域と、前記レーザー光未照射部分である第2領域を形成し、
前記第2領域の表面から前記金属元素を除去し、
前記第1領域及び前記第2領域を加熱して、前記第1領域から前記第2領域へと横方向に結晶成長させ、結晶化された前記第2領域を形成し、
前記第2領域をパターニングすることにより、隣接する前記第1領域からの前記結晶成長同士が衝突する領域を避けて前記第2領域に薄膜トランジスタのチャネル形成領域を形成し、
前記金属元素の添加は、前記金属元素を含む溶液を塗布する、または、スパッタ法若しくはCVD法で前記金属元素を含む薄い膜を形成することにより行うことことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、前記非晶質半導体膜はシリコン膜またはシリコン膜を主成分とする膜であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項1乃至4のいずれか一において、前記レーザー光はエキシマレーザー発振装置、YAGレーザー発振装置、またはYVO4レーザー発振装置を光源とすることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項1乃至5のいずれか一において、結晶化された前記第2領域を形成後、前記第2領域から前記金属元素をゲッタリングすることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項1乃至6のいずれか一において、前記非晶質半導体膜の表面をフッ酸を含むエッチャントで洗浄することにより、前記第2の領域の表面から前記金属元素の除去を行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001363483A JP3942878B2 (ja) | 2001-11-28 | 2001-11-28 | 半導体装置の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001363483A JP3942878B2 (ja) | 2001-11-28 | 2001-11-28 | 半導体装置の作製方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003163165A JP2003163165A (ja) | 2003-06-06 |
JP2003163165A5 JP2003163165A5 (ja) | 2005-06-23 |
JP3942878B2 true JP3942878B2 (ja) | 2007-07-11 |
Family
ID=19173814
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001363483A Expired - Fee Related JP3942878B2 (ja) | 2001-11-28 | 2001-11-28 | 半導体装置の作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3942878B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100342493C (zh) * | 2003-06-26 | 2007-10-10 | 铼宝科技股份有限公司 | 薄膜晶体管的多晶硅制造方法 |
KR100666564B1 (ko) | 2004-08-04 | 2007-01-09 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막트랜지스터의 제조 방법 |
KR100721555B1 (ko) | 2004-08-13 | 2007-05-23 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막트랜지스터 및 그 제조 방법 |
KR100611764B1 (ko) * | 2004-08-20 | 2006-08-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막트랜지스터의 제조 방법 |
KR100659758B1 (ko) | 2004-09-22 | 2006-12-19 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막트랜지스터 제조 방법 |
JP2020098867A (ja) * | 2018-12-18 | 2020-06-25 | 株式会社ブイ・テクノロジー | レーザアニール方法および薄膜トランジスタの製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2707654B2 (ja) * | 1988-11-22 | 1998-02-04 | セイコーエプソン株式会社 | 薄膜トランジスタの製造方法 |
JPH05102035A (ja) * | 1991-10-04 | 1993-04-23 | Sony Corp | 半導体結晶の成長方法 |
JP3464287B2 (ja) * | 1994-09-05 | 2003-11-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JPH08139331A (ja) * | 1994-11-14 | 1996-05-31 | Sony Corp | 薄膜トランジスタの製造方法 |
JPH08236443A (ja) * | 1995-02-28 | 1996-09-13 | Fuji Xerox Co Ltd | 半導体結晶の成長方法および半導体製造装置 |
JP4364314B2 (ja) * | 1995-03-24 | 2009-11-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 薄膜トランジスタの作製方法 |
JP3889073B2 (ja) * | 1995-09-13 | 2007-03-07 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 結晶性半導体作製方法 |
JP3032801B2 (ja) * | 1997-03-03 | 2000-04-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP3927756B2 (ja) * | 2000-05-16 | 2007-06-13 | シャープ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
2001
- 2001-11-28 JP JP2001363483A patent/JP3942878B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003163165A (ja) | 2003-06-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5025057B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
US7449376B2 (en) | Method of manufacturing a semiconductor device | |
US6281552B1 (en) | Thin film transistors having ldd regions | |
US6396147B1 (en) | Semiconductor device with metal-oxide conductors | |
US6777713B2 (en) | Irregular semiconductor film, having ridges of convex portion | |
US20010015441A1 (en) | Semiconductor device and a method of manufacturing the same | |
US6337235B1 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
JPH11112002A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2003229578A (ja) | 半導体装置、表示装置およびその作製方法 | |
JPH11251600A (ja) | 半導体装置およびその作製方法 | |
JP2000315798A (ja) | 半導体装置およびその作製方法 | |
JP3942878B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4776773B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4024341B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP2005322935A (ja) | 半導体装置およびその作製方法 | |
JP4080168B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP5600764B2 (ja) | 電気光学装置 | |
JP2012022335A (ja) | 半導体装置 | |
JP4818288B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
US20030062546A1 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
JP4776759B2 (ja) | 液晶表示装置およびその作製方法 | |
JP5760102B2 (ja) | 表示装置 | |
JP4758000B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP6466614B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
JP4993802B2 (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041006 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041006 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060714 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061017 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070403 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070404 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100413 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100413 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110413 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110413 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120413 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130413 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130413 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140413 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |