JP3922027B2 - 圧力増幅装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、供給流体圧と入力流体圧とを受けこの入力流体圧の変化に応じて出力流体圧を変化させて、流体の圧力を増幅する圧力増幅装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図4は、従来の圧力増幅装置の断面図である。図5は、従来の圧力増幅装置における入力流体圧の変化と出力流体圧の変化とを示すグラフである。図6は、従来の圧力増幅装置のヒステリシスを示すグラフである。
従来の圧力増幅装置101は、図4に示すように、弁本体(ベース)102と、この弁本体102内を移動する移動体(ディスク)103と、供給流体圧PS を受ける供給圧室104及びバイアス室105と、入力流体圧PN を受ける入力圧室106と、入力流体圧PN が増加すると一定倍率で出力流体圧PO が減少する出力圧室107と、出力圧室107から空気が排出する排気圧室108と、供給圧室104と出力圧室107とを接続する流路109,110と、この流路109を開閉する弁プラグ(ポペット)111と、この弁プラグ111を付勢するばね112と、弁本体102と移動体103とを連結するダイヤフラム113,114と、弁本体102と移動体103との間に挟み込まれるOリング115,116とを備えている。
【0003】
弁本体102は、供給圧室104及びバイアス室105に空気を供給する供給口102a,102bと、入力圧室106に空気が流入する入力口102cと、図示しないアクチュエータに空気が流出する出力口102dと、大気中に空気が排出する排気口102eとを有する。移動体103は、空気を排出する流路103aを有する。バイアス室105は、ダイヤフラム113とダイヤフラム114とによって区画されており、入力圧室106はダイヤフラム113とOリング115とによって区画されており、排気圧室108はダイヤフラム114とOリング116とによって区画されている。弁プラグ111は、流路103aを開閉し、ばね112は流路103aを閉じるように弁プラグ111を付勢する。
【0004】
次に、従来の圧力増幅装置の動作を説明する。
図4に示すように、供給口102a,102bから供給圧室104及びバイアス室105に空気が流入して供給流体圧PS が加わると、流路110を通過した空気が出力圧室107に流入する。そして、弁プラグ111と移動体103との間の隙間を通過して流路103aから排気圧室108に流入し排気口102eから排出される。また、出力圧室107が出力流体圧PO を受けて出力口102dを通じて図示しないアクチュエータに空気圧力が加わる。入力口102cから入力圧室106に空気が流入して入力流体圧PN が増加すると、ダイヤフラム113とOリング115との受圧面積の差分に相当する加圧力が入力圧室106側からダイヤフラム113側に作用する。
【0005】
その結果、入力圧室106の入力流体圧PN が増加すると移動体103がA方向に移動して、弁プラグ111と流路103aとの間の間隔が大きくなる。その結果、出力圧室107から流路103aを通過して排気圧室108に空気が流入して、排気口102eから大気中に空気が排出されるとともに、出力圧室107内の出力流体圧PO が低下する。
【0006】
一方、入力圧室106の入力流体圧PN が低下すると、移動体103に作用する加圧力が低下して、バイアス室105側からの加圧力によって移動体103がB方向に移動する。その結果、弁プラグ111と流路103aとの間の間隔が狭くなり、出力圧室107の出力流体圧PO が増加する。このように、従来の圧力増幅装置101では、図5に示すように、入力圧室106の入力流体圧PN を増加させることによって出力圧室107の出力流体圧PO を一定倍率で低下させて、図示しないアクチュエータに加わる空気圧力を増幅させている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来の圧力増幅装置101では、ダイヤフラム113とOリング115との受圧面積の差分が大きいため、入力流体圧PN に対する出力流体圧PO のゲインを大きくすることができるとともに、Oリング115を使用することで装置の外径寸法を小さく設計することができる。しかし、従来の圧力増幅装置101では、移動体103が移動するとこの移動体103とOリング115,116との間に摩擦力が発生するため、図6に示すように出力流体圧PN を減少させ増加させると大きな不感帯が発生していた。また、従来の圧力増幅装置101では、長時間使用するとOリング115,116が磨耗して部品の交換や点検などの作業が必要となり問題があった。
【0008】
この発明の課題は、低ヒステリシスで高ゲインを得ることができるとともに、低コスト化を図ることができる圧力増幅装置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。
請求項1の発明は、弁本体とこの弁本体に内蔵された移動体との間がダイアフラムによって複数に仕切られた部屋に供給流体と入力流体とが供給され、入力流体の圧力の変化に応じて出力流体の圧力を変化させる圧力増幅装置において、前記供給流体が供給される供給圧室と、この供給圧室に隣接され、前記移動体と第1ダイアフラムとで仕切られた出力圧室と、この出力圧室に隣接され、前記移動体と第2ダイアフラムとで仕切られた排気圧室と、この排気圧室に隣接され、前記移動体と第3ダイアフラムとで仕切られた入力圧室と、この入力圧室に隣接され、前記移動体と第4ダイアフラムとで仕切られたバイアス室と、このバイアス室に隣接され、前記移動体と第4ダイアフラムとで設けられたフィードバック室と、前記入力圧室に供給される入力流体に応じて移動する前記移動体に追従して前記出力圧室と前記供給圧室との間を移動し、前記出力圧室から出力される圧力を変化させる弁プラグとを具備したことを特徴とする圧力増幅装置である。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明の実施形態について詳しく説明する。
図1は、この発明の実施形態に係る圧力増幅装置の断面図である。
圧力増幅装置1は、供給流体圧PS と入力流体圧PN とを受けこの入力流体圧PN の変化に応じて出力流体圧PO を変化させて、流体の圧力を増幅する装置である。圧力増幅装置1は、空気式バルブの空気圧を制御するバルブポジショナなどの構成要素であり、開度を調整可能なコントロールバルブ(調節弁)などを外乱に抗して正確に駆動するために、入力流体圧PN の変化量に対して出力流体圧PO の変化量を一定倍率に制御するパイロットリレーなどである。圧力増幅装置1は、図1に示すように、弁本体2と、移動体3と、ダイアフラム4〜7と、供給圧室8と、バイアス室9と、入力圧室10と、出力圧室11と、排気圧室12と、フィードバック室13と、弁プラグ14と、ばね15などを備えている。
【0013】
弁本体2は、装置本体を構成する収容部(ケーシング)である。弁本体2には、空気などの流体を供給圧室8に供給する供給口2aと、空気などの流体を入力圧室10に流入させる入力口2bと、出力圧室11から流体を流出させる出力口2cと、排気圧室12から流体を排出させる排気口2dと、供給圧室8とバイアス室9とを接続する流路2eと、出力圧室11とフィードバック室13とを接続する流路2fと、供給圧室8と出力圧室11とを接続する流路2gと、供給圧室8と出力圧室11とを接続する流入孔(ブリード孔)2hとが形成されている。弁本体2には、移動体3、ダイヤフラム4〜7、弁プラグ14及びばね15などが収容されている。
【0014】
移動体3は、ダイヤフラム4〜7の弾性変形によって移動する部材である。移動体3には、出力圧室11と排気圧室12とを接続する流路3a,3bが形成されている。移動体3は、ダイアフラム4〜7によって弁本体2内に移動自在に支持されており、ダイヤフラム4〜7が弾性変形するとA方向及びB方向に移動する。
【0015】
ダイアフラム4〜7は、弁本体2と移動体3とを連結しこの移動体3を移動自在に支持する膜板である。ダイアフラム4は、一方の表面側に出力流体圧PO を受け他方の表面側に供給流体圧PS を受けて弾性変形する。ダイアフラム5は、一方の表面側に供給流体圧PS を受け他方の表面側に入力流体圧PN を受けて弾性変形し、ダイアフラム4よりも受圧面積が小さく形成されている。ダイアフラム6は、一方の表面側に入力流体圧PN を受け他方の表面側に排気流体圧PE を受けて弾性変形する入力ダイアフラムであり、ダイアフラム5よりも受圧面積が大きく形成されている。ダイアフラム7は、一方の表面側に排気流体圧PE 又は大気圧を受け他方の表面側に出力流体圧PO を受けて弾性変形するフィードバックダイアフラムである。ダイアフラム7は、ダイアフラム4よりも受圧面積が大きいために、ダイアフラム7とダイアフラム4との受圧面積の差分に相当する力が移動体3に作用したときに、移動体3をB方向に移動させるように機能する。
【0016】
供給圧室8は、供給流体圧PS を受ける空間である。供給圧室8は、供給口2aに接続されており、この供給口2aから空気が供給されると供給流体圧PS を内部に受ける。供給圧室8は、弁本体2の端部側に形成されており、内部にばね15を収容する。
【0017】
バイアス室9は、供給流体圧PS を受ける部屋である。バイアス室9は、一対のダイアフラム4,5によって仕切られており、供給圧室8と流路2eを通じて接続されているために供給圧室8と同じ大きさの供給流体圧PS を内部に受ける。バイアス室9は、入力圧室10とフィードバック室13との間に位置しこれらに隣接して配置されている。バイアス室9は、ダイアフラム4がダイアフラム5よりも受圧面積が大きいために、ダイアフラム4とダイアフラム5との受圧面積の差分に相当する付勢力を移動体3に常時作用させ、移動体3をB方向に付勢する空気ばねとして機能する。バイアス室9は、図1に示すように、入力ダイアフラム6及び弁プラグ14の外側に位置する。
【0018】
入力圧室10は、入力流体圧PN を受ける部屋である。入力圧室10は、一対のダイアフラム5,6によって仕切られており、入力口2bから空気が流入すると入力流体圧PN を内部に受ける。入力圧室10は、バイアス室9と排気圧室12との間に位置しこれらに隣接して配置されるとともに、バイアス室9と弁プラグ14との間に位置する。入力圧室10は、ダイアフラム(入力ダイアフラム)6がダイアフラム5よりも受圧面積が大きいために、ダイアフラム5とダイアフラム6との受圧面積の差分に相当する力が移動体3に作用したときに、この移動体3をA方向に移動させるように機能する。
【0019】
出力圧室11は、入力流体圧PN が変化すると出力流体圧PO が変化する空間である。出力圧室11は、ダイアフラム7、移動体3及び弁本体2によって仕切られる空間である。出力圧室11は、弁プラグ14が流路2gを開くと弁プラグ14と流路2gとの間の隙間を通じて供給圧室8から空気が流入し出力流体圧PO を内部に受ける。出力圧室11は、図示しないアクチュエータに出力口2cから空気を排出する。出力圧室11は、供給圧室8と排気圧室12との間に位置しこれらに隣接して配置されている。また、図1に示すように、入力圧室10と出力圧室11との間には排気圧室12が配置されており、入力圧室10と出力圧室11とは離間して配置されている。
【0020】
排気圧室12は、空気を排出させる空間である。排気圧室12は、一対のダイアフラム6,7によって仕切られており、流路3a,3bから流入した空気を排気口2dから大気中に排出させる。排気圧室12は、入力圧室10と出力圧室11との間に位置し、これらに隣接して配置されている。
【0021】
フィードバック室13は、出力流体圧PO を受けるダイアフラム4を有する部屋である。フィードバック室13は、弁本体2とダイアフラム4とによって仕切られており、出力圧室11と流路2fを通じて接続されているために出力圧室11と同じ大きさの出力流体圧PO を内部に受ける。バイアス室9及びフィードバック室13は、入力ダイアフラム6及び弁プラグ14の外側に位置する。
【0022】
弁プラグ14は、供給圧室8と出力圧室11とを接続する流路2gを開くポペットである。弁プラグ14には、流路3aを開閉する先端突起部14aと、流路2gを開閉する後端突起部14bとが形成されている。弁プラグ14は、流路2gを貫通した状態で供給圧室8と出力圧室11との間に配置され収容されている。弁プラグ14は、入力流体圧PN が増加して移動体3がA方向に移動したときに、出力流体圧PO が増加するように流路2gを開く。
【0023】
ばね15は、弁プラグ14を付勢する付勢部材である。ばね15は、弁プラグ14の先端突起部14aが流路3aを閉鎖し後端突起部14bが流路2gを閉鎖するように、この弁プラグ14をB方向に常時付勢する。ばね15は、入力流体圧PN が増加して弁プラグ14を加圧しながら移動体3がA方向に移動すると圧縮される。
【0024】
次に、この発明の実施形態に係る圧力増幅装置の動作を説明する。
(平衡状態)
図1に示すように、供給口2aから供給圧室8に空気が供給されると、供給圧室8とバイアス室9とが流路2eによって接続されているため、供給圧室8及びバイアス室9が供給流体圧PS を受ける。また、入力口2bから入力圧室10に空気が流入して、入力圧室10が入力流体圧PN を受ける。供給圧室8から流路2hを通じて出力圧室11に僅かに空気が流入すると、出力圧室11とフィードバック室13とが流路2fによって接続されているため、出力圧室11及びフィードバック室13が出力流体圧PO を受ける。このとき、弁プラグ14をばね15がB方向に付勢して後端突起部14bが流路2gを閉鎖しているが、先端突起部14aと流路3aとの間には僅かに隙間が形成されている。その結果、供給圧室8から流路2hを通じて出力圧室11に流入する空気が先端突起部14aと流路3aとの間の隙間から排気圧室12に流入して、力学的に安定した平衡状態になっている。
【0025】
(出力増加)
図2は、この発明の実施形態に係る圧力増幅装置において出力流体圧が増加したときの状態を示す断面図である。
入力口2bから入力圧室10に流入する空気圧力が増加すると、入力圧室10が受ける入力流体圧PN が増加する。ダイアフラム5の受圧面積よりもダイアフラム6の受圧面積が大きいため、こられの受圧面積の差分に相当する力によってダイアフラム5,6が撓み移動体3がA方向に移動する。一方、バイアス室9が供給流体圧PS を受けると、ダイアフラム5の受圧面積よりもダイアフラム4の受圧面積が大きいため、これらの受圧面積の差分に相当する力がB方向に抵抗力として移動体3に作用する。そして、ばね15の付勢力に抗してこのばね15を圧縮しながら移動体3が弁プラグ14を加圧して、先端突起部14aが流路3aを閉鎖して移動体3と弁プラグ14とが一体となってA方向に移動する。その結果、弁プラグ14が流路2gを徐々に開き、後端突起部14bと流路2gとの間の隙間を通じて供給圧室8から出力圧室11に空気が流入して、出力圧室11が受ける出力流体圧PO が増加する。
【0026】
流路2gから出力圧室11に流入する空気圧力が増加するとフィードバック室13が受ける出力流体圧PO も増加して、この出力流体圧PO の増加分がフィードバック室13にフィードバックされる。ダイアフラム4の受圧面積よりもダイアフラム7の受圧面積が大きいため、こられの受圧面積の差分に相当する力がB方向に抵抗力として移動体3に作用する。このように、入力流体圧PN が増加すると一定倍率で出力流体圧PO が増加する。
【0027】
(出力減少)
図3は、この発明の実施形態に係る圧力増幅装置において出力流体圧が減少したときの状態を示す断面図である。
入力口2bから入力圧室10に流入する空気圧力が減少して、入力圧室10が受ける入力流体圧PN が減少すると、ダイアフラム5,6の受圧面積の差分に相当する力が低下して移動体3をA方向に移動する力が低下する。一方、バイアス室9は供給流体圧PS を受けており、ダイアフラム4,5の受圧面積の差分に相当する力がB方向に作用するため移動体3がB方向に移動する。このため、弁プラグ14と移動体3とが離間して先端突起部14aが流路3aを開く。その結果、出力圧室11から流路3a,3bを通じて排気圧室12に空気が流入し、排気圧室12内の空気が排気口2dから大気中に排出されて、出力圧室11及びフィードバック室13が受ける出力流体圧PO が減少する。
【0028】
この発明は、以上説明した実施形態に限定するものではなく、種々の変形又は変更が可能であり、これらもこの発明の範囲内である。例えば、この実施形態では、バルブポジショナを例に挙げて説明したが、空気回路や圧力伝達が可能な機器などにもこの発明を適用することができる。また、この実施形態では、一種類の入力流体圧(信号)PN に対して一種類の出力流体圧(信号)PO を発生する圧力増幅装置1を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば、一種類の入力流体圧PN に対して二種類の出力流体圧PO を発生するように二つの圧力増幅装置1を一体化して、これらの出力流体圧PO の差圧によってバルブを駆動制御する複動型ポジショナについてもこの発明を適用することができる。
【0029】
【発明の効果】
この発明の実施形態に係る圧力増幅装置には、以下に記載するような効果がある。
(1) この実施形態では、供給流体圧PS を受ける一対のダイアフラム4,5をバイアス室9が有するとともに、入力流体圧PN を受ける一対のダイアフラム5,6を入力圧室10が有し、これらのダイアフラム4〜7の弾性変形によって移動体3が移動する。その結果、図4に示す従来の圧力増幅装置101のようなOリング118,119と移動体103とが摩擦接触する部分がなくなって、低ヒステリシス化を実現することができる。また、この実施形態では、一対のダイアフラム4,7の受圧面積が異なるとともに、一対のダイアフラム5,6の受圧面積が異なり、一対のダイアフラム4,7の受圧面積の差を小さくすることにより、ゲイン{(一対のダイアフラム5,6の受圧面積の差)/(一対のダイアフラム4,7の受圧面積の差)}を高くすることができる。
【0030】
(2) この実施形態では、入力圧室10と出力圧室11とが離間して配置されている。例えば、入力圧室と出力圧室とを隣接させてこれらの間をダイアフラムによって仕切る構造の圧力増幅装置では、入力流体圧が変化して出力流体圧が変化すると、ある時点で入力流体圧と出力流体圧の大小が逆転するため、ダイアフラムが入力圧室側に突出したり出力圧室側に突出したりする。その結果、ダイアフラムに繰返し応力が加わりダイアフラムの耐久性が低下するおそれがある。この実施形態では、出力圧室10と出力圧室11とが離間しているためダイアフラムに繰り返し応力が加わらない。その結果、ダイアフラムの点検作業などが軽減されるとともに、ダイアフラムを長時間使用することができる。
【0031】
以上説明したように、この発明によると、低ヒステリシスで高ゲインを得ることができるとともに、低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施形態に係る圧力増幅装置の断面図である。
【図2】この発明の実施形態に係る圧力増幅装置において出力流体圧が増加したときの状態を示す断面図である。
【図3】この発明の実施形態に係る圧力増幅装置において出力流体圧が減少したときの状態を示す断面図である。
【図4】従来の圧力増幅装置の断面図である。
【図5】従来の圧力増幅装置における入力流体圧の変化と出力流体圧の変化とを示すグラフである。
【図6】従来の圧力増幅装置のヒステリシスを示すグラフである。
【符号の説明】
1 圧力増幅装置
2 弁本体
2a 供給口
2b 入力口
2c 出力口
2d 排気口
2e,2f,2g,2h 流路
3 移動体
3a,3b 流路
4,5,6,7 ダイアフラム
8 供給圧室
9 フィードバック室
10 入力圧室
11 出力圧室
12 排気圧室
13 フィードバック室
14 弁プラグ
14a 先端突起部
14b 後端突起部
15 ばね
PS 供給流体圧
PN 入力流体圧
PO 出力流体圧
PE 排気流体圧
Claims (1)
- 弁本体とこの弁本体に内蔵された移動体との間がダイアフラムによって複数に仕切られた部屋に供給流体と入力流体とが供給され、入力流体の圧力の変化に応じて出力流体の圧力を変化させる圧力増幅装置において、
前記供給流体が供給される供給圧室と、
この供給圧室に隣接され、前記移動体と第1ダイアフラムとで仕切られた出力圧室と、
この出力圧室に隣接され、前記移動体と第2ダイアフラムとで仕切られた排気圧室と、
この排気圧室に隣接され、前記移動体と第3ダイアフラムとで仕切られた入力圧室と、
この入力圧室に隣接され、前記移動体と第4ダイアフラムとで仕切られたバイアス室と、
このバイアス室に隣接され、前記移動体と第4ダイアフラムとで設けられたフィードバック室と、
前記入力圧室に供給される入力流体に応じて移動する前記移動体に追従して前記出力圧室と前記供給圧室との間を移動し、前記出力圧室から出力される圧力を変化させる弁プラグと
を具備したことを特徴とする圧力増幅装置。
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