JP3921547B2 - ラインセンサ及びライン状プロジェクタによる形状計測方法と装置 - Google Patents
ラインセンサ及びライン状プロジェクタによる形状計測方法と装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3921547B2 JP3921547B2 JP2004249151A JP2004249151A JP3921547B2 JP 3921547 B2 JP3921547 B2 JP 3921547B2 JP 2004249151 A JP2004249151 A JP 2004249151A JP 2004249151 A JP2004249151 A JP 2004249151A JP 3921547 B2 JP3921547 B2 JP 3921547B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line
- distance
- lens
- reference plane
- line sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
(y1−y2)/l=h/(H−h) (1)
基準面上の格子の位相値をφ0、物体上の格子の位相値をφ 1 とし、格子のピッチをpとする。ここで、位相差Δφ=φ1−φ0とすると、以下の式(2)が得られる。
y1−y2=Δφ・p/(2π) (2)
式(1)と式(2)から、以下の式(3)が得られる。
hl=(H−h)・Δφ・p/(2π) (3)
式(3)をhについて解けば、以下の式(4)が得られる。
h=H/(1+2πl/(Δφ・p)) (4)
これにより、ラインセンサカメラで撮影される各画素について基準面を撮影して得られる位相と計測対象物体を撮影して得られる位相の差を求めることで、計測対象物体の高さを得ることができる。
I0=T{IL+(π/2−φ)(IH−IL)/(π/2)}
I1=TIL
I2=T{IL+φ(IH−IL)/(π/2)}
I3=TIH (5)
このときX,Yを以下の式(6)のように定義すると、式(5)から以下の式(7)が得られる。
X=I0−I2,Y=I3−I1 (6)
X=T(IH−IL)(1−4φ/π)
Y=T(IH−IL) (7)
式(7)より、φはX、Yから以下の式(8)のように得られる。同様に、I0、I1、I2が最大となるときのφはそれぞれ以下の式(9)のように得られる。
φ=(π/4)(1−X/Y) (8)
φ=(π/4)(3−X/Y) (I0が最大のとき)
φ=(π/4)(5−X/Y) (I1が最大のとき)
φ=(π/4)(7−X/Y) (I2が最大のとき) (9)
φc=4(φ1−φ2) (φ1≧φ2)
φc=4(φ1−φ2+2π) (φ1<φ2) (10)
他に、不等間隔のピッチをもった周波数変調格子を用いた位相接続法、エイリアシングを用いた位相接続法を用いて位相接続を行うことも可能である。なお、上記例ではライン状格子パターンを一定速度でシフトさせて等間隔で撮影しているが、一定でない速度でシフトさせ、不等間隔で撮影しても同様に位相接続することができる。
2 計測対象物体
3 ライン状プロジェクタ
4 ドライバ
5 レンズ
6 ラインセンサカメラ
7 画像入力部
8 コンピュータ
Claims (8)
- 計測対象物体の形状を計測する形状計測方法において、
(a) 基準面から垂直方向に第1の距離で配置されたライン状プロジェクタによって、長手方向に疑似矩形波強度分布を持つ格子パターンを、前記基準面から垂直方向に第2の距離で保持される第1のレンズを経て照射し、長手方向に疑似正弦波強度分布を持つライン状格子パターンとして前記基準面に投影するステップと、
(b) 前記第1のレンズに対して所定の距離で保持され、且つ、前記基準面から垂直方向に前記第2の距離で保持される第2のレンズ、及び、前記基準面から垂直方向に第3の距離で配置されるラインセンサを有する、前記ライン状プロジェクタの投影視野のつくる平面と同一面を撮影視野として配置されたラインセンサカメラによって、前記第2のレンズを経て、前記ラインセンサにより前記基準面に投影された前記ライン状格子パターンを撮影するステップと、
(c) 前記ライン状プロジェクタによって、前記基準面上に配置された前記計測対象物体に、前記ライン状格子パターンを投影するステップと、
(d) 前記ラインセンサカメラによって、前記計測対象物体に投影された前記ライン状格子パターンを撮影するステップと、
(e) 前記ステップ(b)及び前記ステップ(d)により撮影して生成した画像データを解析するコンピュータによって、前記基準面に投影され撮影されたライン状格子パターンに対する前記計測対象物体に投影され撮影されたライン状格子パターンの位相変化から前記計測対象物体の形状を決定するステップとを含むことを特徴とする形状計測方法。 - 請求項1に記載の形状計測方法において、前記ステップ(a)及び前記ステップ(c)は、前記第1の距離として、前記第1のレンズの前記第2の距離に対応する焦点位置からシフトした距離に配置される前記ライン状プロジェクタによって、前記ライン状格子パターンをぼかして投影するステップを更に含むことを特徴とする形状計測方法。
- 請求項2に記載の形状計測方法において、前記ステップ(b)及び前記ステップ(d)は、前記第3の距離として、前記第2のレンズの前記第2の距離に対応する焦点位置からシフトした距離に配置される前記ラインセンサを有する前記ラインセンサカメラによって、前記ライン状格子パターンをぼかして撮影するステップを更に含むことを特徴とする形状計測方法。
- 請求項1、2又は3に記載の形状計測方法において、前記ステップ(e)は、前記コンピュータによって、前記ステップ(b)と前記ステップ(d)から得られる画像データを解析することにより得られる位相差Δφから、前記計測対象物体の高さhを計算するステップを更に含むことを特徴とする形状計測方法。
- 計測対象物体の形状を計測する形状計測装置において、
基準面から垂直方向に第1の距離で配置され、長手方向に疑似矩形波強度分布を持つ格子パターンを、前記基準面から垂直方向に第2の距離で保持される第1のレンズを経て照射し、長手方向に疑似正弦波強度分布を持つライン状格子パターンとして前記基準面及び前記基準面上に配置された計測対象物体に投影するように構成されたライン状プロジェクタと、
前記第1のレンズに対して所定の距離で保持され、且つ、前記基準面から垂直方向に前記第2の距離で保持される第2のレンズ、及び、前記基準面から垂直方向に第3の距離で配置されるラインセンサを有する、前記ライン状プロジェクタの投影視野のつくる平面と同一面を撮影視野として配置され、前記第2のレンズを経て、前記ラインセンサにより前記ライン状格子パターンを撮影するラインセンサカメラと、
前記基準面に投影され撮影されたライン状格子パターンに対する前記計測対象物体に投影され撮影されたライン状格子パターンの位相変化から前記計測対象物体の形状を決定するための、前記ラインセンサカメラにより撮影して生成した画像データを解析するコンピュータとを備えることを特徴とする形状計測装置。 - 請求項5に記載の形状計測装置において、前記第1の距離として、前記第1のレンズの前記第2の距離に対応する焦点位置からシフトした距離に配置される前記ライン状プロジェクタは、前記ライン状格子パターンをぼかして投影することを特徴とする形状計測装置。
- 請求項6に記載の形状計測装置において、前記第3の距離として、前記第2のレンズの前記第2の距離に対応する焦点位置からシフトした距離に配置される前記ラインセンサを有する前記ラインセンサカメラは前記ライン状格子パターンをぼかして撮影することを特徴とする形状計測装置。
- 請求項5、6又は7に記載の形状計測装置において、前記コンピュータは、前記ラインセンサから得られる画像データを解析することにより得られる位相差Δφから、前記計測対象物体の高さhを計算するように構成されたことを特徴とする形状計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004249151A JP3921547B2 (ja) | 2004-08-27 | 2004-08-27 | ラインセンサ及びライン状プロジェクタによる形状計測方法と装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004249151A JP3921547B2 (ja) | 2004-08-27 | 2004-08-27 | ラインセンサ及びライン状プロジェクタによる形状計測方法と装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006064590A JP2006064590A (ja) | 2006-03-09 |
JP3921547B2 true JP3921547B2 (ja) | 2007-05-30 |
Family
ID=36111197
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004249151A Active JP3921547B2 (ja) | 2004-08-27 | 2004-08-27 | ラインセンサ及びライン状プロジェクタによる形状計測方法と装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3921547B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101001894B1 (ko) | 2008-10-13 | 2010-12-17 | 한국표준과학연구원 | 컬러 투사 모아레 기법을 이용한 3차원 형상 측정 장치 및 방법 |
DE102009017465B4 (de) * | 2009-04-03 | 2011-02-17 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche an einem Gegenstand |
JP5478122B2 (ja) * | 2009-06-04 | 2014-04-23 | ヤマハ発動機株式会社 | 位相シフト画像撮像装置、部品移載装置および位相シフト画像撮像方法 |
EP2456613A1 (fr) * | 2009-07-24 | 2012-05-30 | Bobst Sa | Dispositif de topographie d'une surface d'un substrat |
JP5667891B2 (ja) * | 2011-01-19 | 2015-02-12 | 一般社団法人モアレ研究所 | 形状計測方法 |
TWI490481B (zh) * | 2013-05-27 | 2015-07-01 | 中原大學 | On - line Inspection Method for Panel 3D Defects |
KR101613829B1 (ko) | 2014-05-08 | 2016-04-20 | 조춘식 | 미분 모아레를 이용한 3차원 형상 측정방법 및 장치 |
CN105579809B (zh) * | 2014-06-30 | 2020-04-07 | 4维传感器有限公司 | 测量方法、测量装置以及计算机可读记录介质 |
WO2017175341A1 (ja) | 2016-04-06 | 2017-10-12 | 4Dセンサー株式会社 | 計測方法、計測装置、計測プログラム及び計測プログラムを記録した、コンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
US11662433B2 (en) * | 2017-12-22 | 2023-05-30 | Denso Corporation | Distance measuring apparatus, recognizing apparatus, and distance measuring method |
CN112229342B (zh) * | 2020-09-14 | 2022-06-03 | 桂林电子科技大学 | 一种相位测量轮廓术中投影光栅的快速自校正方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2765151B2 (ja) * | 1989-07-03 | 1998-06-11 | 株式会社デンソー | 3次元形状測定方法 |
JPH1096611A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-04-14 | N S D Kk | 形状測定装置 |
JP3265476B2 (ja) * | 1999-06-25 | 2002-03-11 | 和歌山大学長 | リアルタイム形状変形計測方法 |
-
2004
- 2004-08-27 JP JP2004249151A patent/JP3921547B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006064590A (ja) | 2006-03-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8199335B2 (en) | Three-dimensional shape measuring apparatus, three-dimensional shape measuring method, three-dimensional shape measuring program, and recording medium | |
JP5443303B2 (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
JP3937024B2 (ja) | モアレ縞を用いたずれ、パタ−ンの回転、ゆがみ、位置ずれ検出方法 | |
JP4077754B2 (ja) | 3次元形状測定装置 | |
JP3921547B2 (ja) | ラインセンサ及びライン状プロジェクタによる形状計測方法と装置 | |
TWI589838B (zh) | Three-dimensional measuring device | |
JP2002257528A (ja) | 位相シフト法による三次元形状測定装置 | |
US7525669B1 (en) | High-speed, scanning phase-shifting profilometry using 2D CMOS sensor | |
JP5385703B2 (ja) | 検査装置、検査方法および検査プログラム | |
JP2008190962A (ja) | 3次元計測装置 | |
JP2011064482A (ja) | 高速三次元計測装置及び高速三次元計測方法 | |
JP2005520142A (ja) | 物体の絶対座標測定方法および装置 | |
JP5956296B2 (ja) | 形状計測装置及び形状計測方法 | |
JP3536097B2 (ja) | 周波数変調格子による格子投影形状計測方法及び装置 | |
CN109900249B (zh) | 距离测量装置和距离测量方法 | |
JP2003050112A (ja) | 三次元形状入力装置及び投影装置 | |
JP2017125707A (ja) | 計測方法および計測装置 | |
JP2009128030A (ja) | 格子投影型モアレ装置、及び形状測定方法 | |
JP3921432B2 (ja) | モアレ光学系を用いた形状測定装置及び形状測定方法 | |
KR20050045511A (ko) | 3차원 형상 측정 장치 및 측정 방법 | |
TW201643370A (zh) | 三維測量裝置 | |
JP2008170282A (ja) | 形状測定装置 | |
JP4402849B2 (ja) | 表面形状測定方法及び表面形状測定装置 | |
JP2005265816A (ja) | 非接触形状計測方法及び装置 | |
JP2005091284A (ja) | 単調増加波形投影による連続物体の形状計測方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060602 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060728 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060808 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061006 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061121 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070123 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |