JP2009128030A - 格子投影型モアレ装置、及び形状測定方法 - Google Patents
格子投影型モアレ装置、及び形状測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009128030A JP2009128030A JP2007300272A JP2007300272A JP2009128030A JP 2009128030 A JP2009128030 A JP 2009128030A JP 2007300272 A JP2007300272 A JP 2007300272A JP 2007300272 A JP2007300272 A JP 2007300272A JP 2009128030 A JP2009128030 A JP 2009128030A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lattice
- liquid crystal
- moire
- projection type
- grating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】 測定対象物の形状を測定するための格子投影型モアレ装置において、第1の液晶格子26の像を測定対象物42に投影する投影光学系20と、測定対象物42に形成された変形格子像を第2の液晶格子38上に結像させる結像光学系30と、前記結像により形成されたモアレ縞を撮像してモアレ縞画像を取得する撮像部32と、第1の液晶格子26及び第2の液晶格子38の格子パターンを制御する制御部50と、を含むことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
第1の液晶格子の像を前記測定対象物に投影する投影光学系と、
前記測定対象物に形成された変形格子像を第2の液晶格子上に結像させる結像光学系と、
前記結像により形成されたモアレ縞を撮像してモアレ縞画像を取得する撮像部と、
前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子の格子パターンを制御する制御部と、
を含むことを特徴とする。
前記制御部は、
前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子の格子パターンのピッチを変化させる制御を行うことを特徴とする。
前記制御部は、
前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子の格子パターンの強度分布を制御することを特徴とする。
前記制御部は、
前記撮像部によって前記モアレ縞画像が取得される期間内に、前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子の格子を、格子と直交する方向に少なくとも格子1ピッチ分の距離を移動させる制御を行うことを特徴とする。
前記モアレ縞画像に基づく演算処理により前記測定対象物の形状を測定する演算処理部を更に含むことを特徴とする格子投影型モアレ装置。
前記制御部は、
前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子のいずれか一方の格子の位相を変化させる制御を行い、
前記撮像部は、
前記制御部によって前記格子の位相が変化される毎に、前記モアレ縞を撮像して複数のモアレ縞画像を取得し、
前記演算処理部は、
位相を変えた前記複数のモアレ縞画像を位相解析し、前記測定対象物の形状を求める演算処理を行うことを特徴とする格子投影型モアレ装置。
前記制御部は、
前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子のいずれか一方の格子の位相をπ/2ずつ変化させる制御を行うことを特徴とする格子投影型モアレ装置。
前記制御部は、
前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子の格子パターンのピッチを変化させる制御を行い、
前記撮像部は、
前記制御部によって前記格子パターンのピッチが変化される毎に、前記モアレ縞を撮像して複数のモアレ縞画像を取得し、
前記演算処理部は、
ピッチを変えた前記複数のモアレ縞画像に基づく演算処理により前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする。
第1の液晶格子の像を前記測定対象物に投影するステップと、
前記測定対象物に形成された変形格子像を第2の液晶格子上に結像させるステップと、
前記結像により形成されたモアレ縞を撮像してモアレ縞画像を取得するステップと、
前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子の格子パターンを制御するステップと、
を含むことを特徴とする。
1.格子投影型モアレ装置の構成
図1は、本実施形態の格子投影型モアレ装置の構成の一例を示す図である。
そして格子投影型モアレ装置10は、投影光学系20により第1の液晶格子26の像を測定対象物42上に投影するとともに、この投影により測定対象物42上に形成された変形格子像を結像光学系30により第2の液晶格子38上に結像させ、この結像により形成されたモアレ縞をCCDカメラ32により撮像するように構成されている。
制御装置50は、CCDカメラ32により撮像されたモアレ縞画像に基づく演算処理により測定対象物42の形状を測定する処理を行う。また制御装置50は、第1の液晶格子26及び第2の液晶格子38の格子パターンを制御する。
図3は、本実施形態の格子投影型モアレ装置の機能ブロック図の一例である。なお、本実施形態の格子投影型モアレ装置は、図3の構成要素(各部)の一部を省略した構成としてもよい。本実施形態の格子投影型モアレ装置10は、処理部100、操作部140、記憶部150、表示部160、撮像部170、液晶格子駆動部180とを含む。なお、処理部100、操作部140、記憶部150及び表示部160は、図1に示す制御装置50を構成する。
次に、本実施形態の処理の一例について図4、図5のフローチャートを用いて説明する。
上記実施形態で説明した手法は、一例を示したに過ぎず、上記実施形態の手法と同様の効果を奏する均等な手法を採用した場合においても本発明の範囲に含めることができる。また本発明は、上記実施形態で説明したものに限らず、種々の変形実施が可能である。そして上記実施形態で説明した各種の手法や、変形例として後述する各種の手法は、本発明を実現する手法として適宜組み合わせて採用することができる。
20 投影光学系
26 第1の液晶格子
30 結像光学系
32 CCDカメラ
38 第2の液晶格子
42 測定対象物
50 制御部
100 処理部
110 液晶格子制御部
120 演算処理部
130 画像生成部
140 操作部
150 記憶部
160 表示部
170 撮像部
180 液晶格子駆動部
Claims (9)
- 測定対象物の形状を測定するための格子投影型モアレ装置において、
第1の液晶格子の像を前記測定対象物に投影する投影光学系と、
前記測定対象物に形成された変形格子像を第2の液晶格子上に結像させる結像光学系と、
前記結像により形成されたモアレ縞を撮像してモアレ縞画像を取得する撮像部と、
前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子の格子パターンを制御する制御部と、
を含むことを特徴とする格子投影型モアレ装置。 - 請求項1記載の格子投影型モアレ装置において、
前記制御部は、
前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子の格子パターンのピッチを変化させる制御を行うことを特徴とする格子投影型モアレ装置。 - 請求項1又は2記載の格子投影型モアレ装置において、
前記制御部は、
前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子の格子パターンの強度分布を制御することを特徴とする格子投影型モアレ装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の格子投影型モアレ装置において、
前記制御部は、
前記撮像部によって前記モアレ縞画像が取得される期間内に、前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子の格子を、格子と直交する方向に少なくとも格子1ピッチ分の距離を移動させる制御を行うことを特徴とする格子投影型モアレ装置。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の格子投影型モアレ装置において、
前記モアレ縞画像に基づく演算処理により前記測定対象物の形状を測定する演算処理部を更に含むことを特徴とする格子投影型モアレ装置。 - 請求項5記載の格子投影型モアレ装置において、
前記制御部は、
前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子のいずれか一方の格子の位相を変化させる制御を行い、
前記撮像部は、
前記制御部によって前記格子の位相が変化される毎に、前記モアレ縞を撮像して複数のモアレ縞画像を取得し、
前記演算処理部は、
位相を変えた前記複数のモアレ縞画像を位相解析し、前記測定対象物の形状を求める演算処理を行うことを特徴とする格子投影型モアレ装置。 - 請求項6記載の格子投影型モアレ装置において、
前記制御部は、
前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子のいずれか一方の格子の位相をπ/2ずつ変化させる制御を行うことを特徴とする格子投影型モアレ装置。 - 請求項5記載の格子投影型モアレ装置において、
前記制御部は、
前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子の格子パターンのピッチを変化させる制御を行い、
前記撮像部は、
前記制御部によって前記格子パターンのピッチが変化される毎に、前記モアレ縞を撮像して複数のモアレ縞画像を取得し、
前記演算処理部は、
ピッチを変えた前記複数のモアレ縞画像に基づく演算処理により前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする格子投影型モアレ装置。 - 測定対象物の形状を測定する形状測定方法において、
第1の液晶格子の像を前記測定対象物に投影するステップと、
前記測定対象物に形成された変形格子像を第2の液晶格子上に結像させるステップと、
前記結像により形成されたモアレ縞を撮像してモアレ縞画像を取得するステップと、
前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子の格子パターンを制御するステップと、
を含むことを特徴とする形状測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007300272A JP2009128030A (ja) | 2007-11-20 | 2007-11-20 | 格子投影型モアレ装置、及び形状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007300272A JP2009128030A (ja) | 2007-11-20 | 2007-11-20 | 格子投影型モアレ装置、及び形状測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009128030A true JP2009128030A (ja) | 2009-06-11 |
Family
ID=40819133
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007300272A Pending JP2009128030A (ja) | 2007-11-20 | 2007-11-20 | 格子投影型モアレ装置、及び形状測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009128030A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014025782A (ja) * | 2012-07-26 | 2014-02-06 | Toyota Central R&D Labs Inc | 形状測定装置 |
JP2014109452A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Keyence Corp | 光学顕微鏡 |
WO2020116028A1 (ja) * | 2018-12-04 | 2020-06-11 | Ckd株式会社 | 投影装置及び三次元計測装置 |
CN115790452A (zh) * | 2023-02-06 | 2023-03-14 | 西安知象光电科技有限公司 | 一种齿轮齿面三维形貌莫尔表征与测量方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000146543A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-05-26 | Nec Corp | 3次元形状測定装置、方法及び記録媒体 |
WO2001094880A1 (fr) * | 2000-06-07 | 2001-12-13 | Citizen Watch Co., Ltd. | Projecteur de motif de reseau utilisant un reseau de cristaux liquides |
JP2003097928A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Ricoh Co Ltd | 形状測定方法および形状測定装置 |
JP2003329425A (ja) * | 2002-05-13 | 2003-11-19 | Ricoh Co Ltd | 表面形状測定方法及びその装置 |
JP2005172459A (ja) * | 2003-12-08 | 2005-06-30 | Fujinon Corp | 格子パターン投影形状測定装置 |
JP2005181243A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-07 | Fujinon Corp | 格子投影型モアレ装置 |
JP2006275529A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Citizen Watch Co Ltd | 3次元形状測定方法及び測定装置 |
-
2007
- 2007-11-20 JP JP2007300272A patent/JP2009128030A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000146543A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-05-26 | Nec Corp | 3次元形状測定装置、方法及び記録媒体 |
WO2001094880A1 (fr) * | 2000-06-07 | 2001-12-13 | Citizen Watch Co., Ltd. | Projecteur de motif de reseau utilisant un reseau de cristaux liquides |
JP2003097928A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Ricoh Co Ltd | 形状測定方法および形状測定装置 |
JP2003329425A (ja) * | 2002-05-13 | 2003-11-19 | Ricoh Co Ltd | 表面形状測定方法及びその装置 |
JP2005172459A (ja) * | 2003-12-08 | 2005-06-30 | Fujinon Corp | 格子パターン投影形状測定装置 |
JP2005181243A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-07 | Fujinon Corp | 格子投影型モアレ装置 |
JP2006275529A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Citizen Watch Co Ltd | 3次元形状測定方法及び測定装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014025782A (ja) * | 2012-07-26 | 2014-02-06 | Toyota Central R&D Labs Inc | 形状測定装置 |
JP2014109452A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Keyence Corp | 光学顕微鏡 |
WO2020116028A1 (ja) * | 2018-12-04 | 2020-06-11 | Ckd株式会社 | 投影装置及び三次元計測装置 |
CN115790452A (zh) * | 2023-02-06 | 2023-03-14 | 西安知象光电科技有限公司 | 一种齿轮齿面三维形貌莫尔表征与测量方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4710078B2 (ja) | 表面形状の測定方法およびこれを用いた装置 | |
US10302422B2 (en) | Measurement system, measurement method, robot control method, robot, robot system, and picking apparatus | |
JP5385703B2 (ja) | 検査装置、検査方法および検査プログラム | |
JP5673017B2 (ja) | 振動測定システム、振動測定装置および振動測定方法 | |
CN105579809B (zh) | 测量方法、测量装置以及计算机可读记录介质 | |
JP5942847B2 (ja) | 高さ測定方法及び高さ測定装置 | |
JP2015087135A (ja) | 微小変位計測システム | |
JP2019158351A (ja) | 物体認識方法、高さ計測方法、及び、三次元計測方法 | |
JP2009128030A (ja) | 格子投影型モアレ装置、及び形状測定方法 | |
JPH1183454A (ja) | 格子パターン投影法を用いた3次元形状測定装置 | |
JP5956296B2 (ja) | 形状計測装置及び形状計測方法 | |
JP3536097B2 (ja) | 周波数変調格子による格子投影形状計測方法及び装置 | |
JP3921547B2 (ja) | ラインセンサ及びライン状プロジェクタによる形状計測方法と装置 | |
JP2010276540A (ja) | 生体組織表面解析装置、生体組織表面解析プログラム、および生体組織表面解析方法 | |
JP3265476B2 (ja) | リアルタイム形状変形計測方法 | |
KR100540192B1 (ko) | 3차원 형상 측정 장치 및 측정 방법 | |
WO2013035847A1 (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP4644595B2 (ja) | ディスプレイの評価装置、評価方法及びプログラム | |
JPWO2018193704A1 (ja) | 信号処理システム、信号処理装置、及び信号処理方法 | |
JP3855062B2 (ja) | 単調増加波形投影による連続物体の形状計測方法及び装置 | |
JP2017125707A (ja) | 計測方法および計測装置 | |
JP6086002B2 (ja) | 形状解析装置および形状解析方法 | |
JP2010210410A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP2006153636A (ja) | 3次元計測方法および3次元計測方法をコンピュータに実行させるプログラム | |
JP6942341B2 (ja) | 広測定レンジの変形測定方法およびそのプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Effective date: 20101118 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20101221 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20101221 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101221 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20101221 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20110217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110223 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110404 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110511 |