JP3920555B2 - 接合剤および接合方法 - Google Patents
接合剤および接合方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3920555B2 JP3920555B2 JP2000328330A JP2000328330A JP3920555B2 JP 3920555 B2 JP3920555 B2 JP 3920555B2 JP 2000328330 A JP2000328330 A JP 2000328330A JP 2000328330 A JP2000328330 A JP 2000328330A JP 3920555 B2 JP3920555 B2 JP 3920555B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- bonding
- compound
- oxide
- aluminum oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/10—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
- C04B35/111—Fine ceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
- G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/34—Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3409—Boron oxide, borates, boric acids, or oxide forming salts thereof, e.g. borax
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/44—Metal salt constituents or additives chosen for the nature of the anions, e.g. hydrides or acetylacetonate
- C04B2235/441—Alkoxides, e.g. methoxide, tert-butoxide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/76—Crystal structural characteristics, e.g. symmetry
- C04B2235/762—Cubic symmetry, e.g. beta-SiC
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/76—Crystal structural characteristics, e.g. symmetry
- C04B2235/762—Cubic symmetry, e.g. beta-SiC
- C04B2235/763—Spinel structure AB2O4
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/80—Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属酸化物からなる接合剤に関し、特にサファイアなどの金属酸化物と他部材とを接合する接合剤に関する。
【0002】
【従来の技術】
静電容量を検出することで圧力を検出する容量式の圧力センサチップがある。この圧力センサチップは、所定の空間を備えた基体と、基体の空間上に配置されたダイヤフラムとから筐体が構成され、基体に配置された固定電極と、ダイヤフラムに固定された可動電極とを備えている。ここで、ダイヤフラムが圧力を受けて変形することで、可動電極と固定電極の間隔が変化してこれらの間の静電容量が変化する。この静電容量の変化に基づき、ダイヤフラムの受けた圧力が測定できる。
【0003】
このような圧力センサチップにおいて、筐体を構成している基体およびダイヤフラムに、サファイアを用いたものが提案されている。サファイア、すなわちコランダム(酸化アルミニウム,α相)は、熱的にきわめて安定であり、酸,アルカリにほとんど溶解せず、耐火物,絶縁体,研磨剤などのような広い用途がある。このような特性のサファイアを筐体に用いることで、測定対象が腐食性を有している流体であっても、流体を直接ダイヤフラムに受けてこの圧力を測定することが可能となる。
【0004】
上記圧力センサチップは、図5に示すように台座に固定されて圧力センサとして用いられる。図5に示すように、圧力センサのチップ501は、例えばガラスからなる台座502の中央部に形成された凹部503に、ダイヤフラム部を図面上方に向けて載置される。台座502の凹部503底面には、台座502底面に貫通する電極ピン504の端子505があり、チップ501の基台裏面に引き出されている各電極の配線と接続している。また、凹部503底面には、台座502底面に連通する通気口506が形成されている。
【0005】
チップ501は、中央部に開口部を備えたカバープレート507により、上面の周辺部が押さえられ、凹部503に固定されている。カバープレート507は、台座502上面に一度溶融させたガラスにより接合されて台座502に固定されている。また、カバープレート507とチップ501の当接箇所は、チップ501上面に接触する測定対象の流体が、チップ501周囲の凹部503内に侵入しないように、気密封止された状態に接続されている。
【0006】
カバープレート507は、圧力測定の精度を確保するため、チップ501の温度による変形の状態を同一にしてチップ501に応力が発生しないようにするため、チップ501と同一材料のサファイアから形成されている。また、異種間接合を極力排除して上記気密封止状態を得るため、チップ501との当接面は、直接接合により接合されている。このような、サファイア同士の接合では、互いの接合面を鏡面研磨して当接し、接合する2つのサファイア部材間に圧力をかけた状態で加熱することで、接合剤などを用いることなく、強固な接合状態を得ている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記直接接合では、サファイアからなる2つの部材の当接面の表面荒さが0.3nm以下になるまで鏡面研磨する必要があるため、部材(カバープレート)が非常に高価なものとなってしまうという問題があった。一般的にある接合剤などを用いれば、接合面を鏡面にする必要はなくなるが、異なる材料が間に介在するため、応力が発生したり、また、接合箇所がサファイアほどの耐食性や熱的安定性が得られない状態となり、用途が限られたものとなってしまう。
【0008】
以上示したように、従来では、サファイアなどの金属酸化物からなる2つ以上の部材を接合して部品を形成する場合、部材を構成する材料の特性を100%発揮させるためには、直接接合により部材間を接合することになるが、直接接合はコストが高いという問題があった。これに対し、従来よりある接合剤を利用して部材間を接合する場合、安価に部品を形成できるが、部材を構成する材料の特性を100%生かせないという問題があった。
【0009】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、サファイアなどの金属酸化物からなる部材間を、部材の特性を損なうことなく安価に接合できるようにすることを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の接合剤は、α相の酸化アルミニウムより不安定でより低いエネルギーレベルに変化しやすい中間体相の酸化アルミニウムと、アモルファス状態の酸化ホウ素との混合物から構成されたものである。
この発明によれば、酸化ホウ素の融点以上に加熱することで、接合剤が、酸化アルミニウムとAl18B4O33との混合体になる。
また、本発明の接合剤は、酸化アルミニウムとAl18B4O33とから構成されたものである。
この発明によれば、接合剤は、1000℃以上の耐熱性を備えている。
【0011】
本発明の接合方法は、 金属酸化物からなる基体の接合面上に、アルミニウムと酸素とを含む第1の化合物とホウ素と酸素とを含む第2の化合物とが溶解した溶液からなる溶液層を形成する第1の工程と、この溶液層を加熱し、第1の化合物をα相の酸化アルミニウムより不安定でより低いエネルギーレベルに変化しやすい酸化アルミニウムの中間体相の状態にし、かつ第2の化合物を酸化ホウ素にし、酸化アルミニウムの中間体相と酸化ホウ素とを含む接合剤からなる接合層が、基体の接合面上に形成された状態とする第2の工程と、第2の工程の後、接合層上に他部材を配置し、所定の時間、接合層を酸化ホウ素の融点以上に加熱する第3の工程とを備えたものである。
この発明によれば、第3の工程により、接合層の接合剤が酸化アルミニウムとAl18B4O33との混合体になり、これらにより基体と他部材とが接合される。
【0012】
上記発明において、金属酸化物はα相の酸化アルミニウムである。また、第1の化合物は、アルミニウムの有機金属化合物であり、第2の化合物は、例えばアルコキシドなどのホウ素の有機金属化合物であればよく、また、第1の化合物は、例えばベーマイトなどのアルミニウムの水酸化物であり、第2の化合物は、ホウ酸であってもよい。なお、酸化アルミニウムの中間体相は、γ相,θ相,ι相,κ相,ε相,χ相,δ相,σ相のいずれかまたは混合物もしくはアモルファス状態であればよい。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
<実施の形態1>
図1は、本発明の実施の形態における接合方法を説明する工程図である。本実施の形態では、サファイア基板同士を接合する場合を例に説明する。
まず、図1に示すように、サファイアからなる基板101上に、Al(OC2H5)3とB(OCH3)3とをキシレンに溶解して作製した接合剤を塗布して塗布膜102を形成する。つぎに、基板101を450℃程度に加熱し、かつ、塗布膜102に例えば波長172nmの紫外線を照射する。このことにより、塗布膜102中のキシレンを気化させると共に、Al(OC2H5)3とB(OCH3)3を熱分解させる。
【0014】
以上のことにより、基板101上に、アモルファス状態もしくはγ相のアルミナ(Al2O3)とアモルファス状態の酸化ホウ素(B2O3)からなる接合剤からなる接合層103が形成された状態とする(図2)。この加熱温度は、酸化ホウ素の融点である470℃より低い温度とする。
前述した溶液を塗布することで形成した接合層103表面は、基板101表面の凹凸を吸収して平坦な状態になっている。また、熱分解して形成された接合層103中のアルミナの一部は、サファイアからなる基板101表面と接合した状態となっている。
【0015】
アルミナは、コランダム型の結晶構造(α相)をとることにより、サファイアなどのコランダムとして非常に安定した状態となる。これに対し、立法晶系スピネル型の結晶構造となっているγ−アルミナでは、結晶構造に無理があるためなどにより酸素原子が欠落している格子欠陥が多数存在した状態となっている。また、アモルファス状態のアルミナにおいては、この格子欠陥がより多く存在した状態となっている。このように、酸素原子が欠落している格子欠陥が多数存在した状態の層がサファイアなどの金属酸化物結晶体の上に形成されると、表面の酸素が上記格子欠陥内に入り込み、安定した状態を形成しようとする。このことにより、基板101とこの表面に形成された接合層103は、化学的に結合した状態となって接合された状態となる。
【0016】
つぎに、図3に示すように、新たなサファイアからなる基板104を用意し、基板101上の接合層103上に基板104を載置し、これらを470℃以上例えば480℃に加熱する。この加熱温度は、酸化ホウ素が融解する温度以上とする。480℃程度では、γ−アルミナはまったく融解しないが、溶解して液体となっている酸化ホウ素には、一部が溶解する平衡状態となる。すなわち、接合層103においては、液体となった酸化ホウ素に、一部のγ−アルミナが溶解した状態となる。
【0017】
上記状態において、融解して液体となった酸化ホウ素と、これに溶解しているγ−アルミナとが反応してAl2B2O6が形成される。
480℃の加熱状態では、Al2B2O6の融点以上なので、Al2B2O6は、融解して液体の状態となっている。すると、融解しているAl2B2O6に対しても、残っているγ−アルミナの一部が溶解して反応し、Al4B4O9を形成する。このAl4B4O9も、480℃では融解しているので、引き続いて、残っているγ−アルミナの一部がこの融液に溶解して反応し、最終的にAl18B4O33が形成される。Al18B4O33は、融点が1950℃であるので、480℃の加熱状態では、溶融せずに固体の状態となる。
【0018】
以上のことにより、接合層103を、480℃に加熱した状態を保持していると、初期段階では酸化ホウ素の部分が融解した状態となるが、融解した酸化ホウ素とアルミナとの化学反応の結果、融点が1950℃のAl18B4O33が形成される。この結果、図4に示すように、基板101と基板104とが、アルミナとAl18B4O33とからなる接合層103aにより、強固に接合した状態が得られる。また、接合層103aは、熱的にきわめて安定であり、酸,アルカリにほとんど溶解せず、サファイアなどと同程度の特性である。
【0019】
なお、前述では、Al(OC2H5)3とB(OCH3)3とを用いるようにしたが、これに限るものではない。例えば、ベーマイトゾルなどのアルミニウムの水酸化物とホウ酸とを用いるようにしても、これらが溶解した塗布膜を加熱することで、基板101上に、アモルファス状態もしくはγ相のアルミナ(Al2O3)とアモルファス状態の酸化ホウ素(B2O3)からなる接合剤からなる接合層103が形成された状態とすることが可能である。
【0020】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、サファイアからなる圧力センサチップに、サファイアからなる板部材を直接接合と同様の状態に接合できるようになり、サファイアからなる圧力センサを、サファイアの持つ特性を損なうことなく安価に形成できるようになるという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明実施の形態における接合方法を説明するための工程図である。
【図2】 図1に続く、接合方法を説明するための工程図である。
【図3】 図2に続く、接合方法を説明するための工程図である。
【図4】 図3に続く、接合方法を説明するための工程図である。
【図5】 圧力センサの構成を示す構成図である。
【符号の説明】
101,104…基板、102…塗布膜、103,103a…接合層。
Claims (9)
- α相の酸化アルミニウムより不安定でより低いエネルギーレベルに変化しやすい中間体相の酸化アルミニウムと、アモルファス状態の酸化ホウ素との混合物から構成されたことを特徴とする接合剤。
- 酸化アルミニウムとAl18B4O33とから構成されたことを特徴とする接合剤。
- 金属酸化物からなる基体の接合面上に、アルミニウムと酸素とを含む第1の化合物とホウ素と酸素とを含む第2の化合物とが溶解した溶液からなる溶液層を形成する第1の工程と、
この溶液層を加熱し、前記第1の化合物をα相の酸化アルミニウムより不安定でより低いエネルギーレベルに変化しやすい酸化アルミニウムの中間体相の状態にし、かつ前記第2の化合物を酸化ホウ素にし、酸化アルミニウムの中間体相と酸化ホウ素とを含む接合剤からなる接合層が、前記基体の前記接合面上に形成された状態とする第2の工程と、
前記第2の工程の後、前記接合層上に他部材を配置し、所定の時間、前記接合層を酸化ホウ素の融点以上に加熱する第3の工程と
を備えたことを特徴とする接合方法。 - 請求項3の接合方法において、
前記金属酸化物はα相の酸化アルミニウムであることを特徴とする接合方法。 - 請求項3または4に記載の接合方法において、
前記第1の化合物は、アルミニウムの有機金属化合物であり、前記第2の化合物は、ホウ素の有機金属化合物であることを特徴とする接合方法。 - 請求項5記載の接合方法において、
前記第2の化合物は、ホウ素のアルコキシドであることを特徴とする接合方法。 - 請求項3または4に記載の接合方法において、
前記第1の化合物は、アルミニウムの水酸化物であり、前記第2の化合物は、ホウ酸であることを特徴とする接合方法。 - 請求項7記載の接合方法において、
前記第1の化合物は、ベーマイトから構成されたものであることを特徴とする接合方法。 - 請求項3記載の接合方法において、
前記酸化アルミニウムの中間体相は、γ相,θ相,ι相,κ相,ε相,χ相,δ相,σ相のいずれかまたは混合物もしくはアモルファス状態であることを特徴とする接合方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000328330A JP3920555B2 (ja) | 2000-10-27 | 2000-10-27 | 接合剤および接合方法 |
EP01978916A EP1338584B1 (en) | 2000-10-27 | 2001-10-25 | Jointing material and joining method |
DE60130242T DE60130242T2 (de) | 2000-10-27 | 2001-10-25 | Verbindungsmaterial und verbindungsverfahren |
CNB018180698A CN100427436C (zh) | 2000-10-27 | 2001-10-25 | 一种嵌缝材料和接合方法 |
US10/415,238 US7198666B2 (en) | 2000-10-27 | 2001-10-25 | Jointing material comprising a mixture of boron oxide and aluminum oxide and method of jointing utilizing said jointing material |
PCT/JP2001/009397 WO2002036521A1 (fr) | 2000-10-27 | 2001-10-25 | Materiau de jointoiement et procede associe |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000328330A JP3920555B2 (ja) | 2000-10-27 | 2000-10-27 | 接合剤および接合方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002137973A JP2002137973A (ja) | 2002-05-14 |
JP3920555B2 true JP3920555B2 (ja) | 2007-05-30 |
Family
ID=18805200
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000328330A Expired - Lifetime JP3920555B2 (ja) | 2000-10-27 | 2000-10-27 | 接合剤および接合方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7198666B2 (ja) |
EP (1) | EP1338584B1 (ja) |
JP (1) | JP3920555B2 (ja) |
CN (1) | CN100427436C (ja) |
DE (1) | DE60130242T2 (ja) |
WO (1) | WO2002036521A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3920551B2 (ja) * | 2000-09-29 | 2007-05-30 | 株式会社山武 | 接合方法 |
US7910525B2 (en) | 2005-04-20 | 2011-03-22 | Ntn Corporation | Grease composition, grease-enclosed bearing, and rotation-transmitting apparatus with built-in one way clutch |
CN104144875B (zh) * | 2012-02-28 | 2016-12-21 | 旭化成株式会社 | 层积复合体 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS585157A (ja) * | 1981-06-29 | 1983-01-12 | Oomori Kikai Kogyo Kk | 練状体のエア−抜き方法及び装置 |
JPS5869784A (ja) | 1981-10-20 | 1983-04-26 | 日本セメント株式会社 | セラミツクスの接着方法 |
JPS5988851A (ja) * | 1982-11-12 | 1984-05-22 | Ibiden Co Ltd | 電子回路用炭化珪素質基板の製造方法 |
JPS59112133A (ja) | 1982-12-20 | 1984-06-28 | Toshiba Corp | 電子制御装置付き電子レンジ |
JPS59112133U (ja) * | 1983-01-17 | 1984-07-28 | 株式会社島津製作所 | 圧力センサ |
JPS59141464A (ja) * | 1983-01-29 | 1984-08-14 | 日本碍子株式会社 | セラミツク管の封着材料 |
JPS6110736A (ja) * | 1984-06-25 | 1986-01-18 | Shimadzu Corp | 圧力センサの製造方法 |
JPS6110376A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-01-17 | Hitachi Ltd | 情報再生装置 |
JPS61270267A (ja) * | 1985-05-23 | 1986-11-29 | 株式会社日本触媒 | セラミツク部材の接合方法 |
CN87100243B (zh) * | 1987-03-24 | 1988-08-10 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 湿化学共沉淀氧化锆(Mg-PSZ)的封接工艺 |
JP3068829B2 (ja) * | 1989-06-01 | 2000-07-24 | 株式会社リコー | 熱転写記録媒体 |
JPH0368829A (ja) * | 1989-08-08 | 1991-03-25 | Nippon Soken Inc | 圧力検出器およびその製造方法 |
JP2527844B2 (ja) * | 1990-11-22 | 1996-08-28 | 日本碍子株式会社 | ガラス接合体およびその製造法 |
JPH04275984A (ja) * | 1991-03-01 | 1992-10-01 | Mitsui Mining Co Ltd | 多孔質マシナブルセラミックス及びその製造方法 |
JPH05170479A (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-09 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス組成物 |
JP3268817B2 (ja) | 1992-04-22 | 2002-03-25 | 新日本製鐵株式会社 | 自動車排ガス浄化触媒用メタル担体 |
US6012303A (en) * | 1997-06-11 | 2000-01-11 | Saphikon, Inc. | Eutectic bonding of single crystal components |
JP3904746B2 (ja) * | 1998-11-02 | 2007-04-11 | 京セラ株式会社 | 半導体製造装置用部材およびその製造方法 |
-
2000
- 2000-10-27 JP JP2000328330A patent/JP3920555B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-10-25 US US10/415,238 patent/US7198666B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-10-25 EP EP01978916A patent/EP1338584B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-10-25 CN CNB018180698A patent/CN100427436C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2001-10-25 WO PCT/JP2001/009397 patent/WO2002036521A1/ja active IP Right Grant
- 2001-10-25 DE DE60130242T patent/DE60130242T2/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1471500A (zh) | 2004-01-28 |
EP1338584B1 (en) | 2007-08-29 |
JP2002137973A (ja) | 2002-05-14 |
US20040026485A1 (en) | 2004-02-12 |
US7198666B2 (en) | 2007-04-03 |
DE60130242T2 (de) | 2008-05-21 |
WO2002036521A1 (fr) | 2002-05-10 |
CN100427436C (zh) | 2008-10-22 |
EP1338584A4 (en) | 2006-12-06 |
EP1338584A1 (en) | 2003-08-27 |
DE60130242D1 (de) | 2007-10-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4091241B2 (ja) | 圧力センサおよび圧力センサの製造方法 | |
JP2896725B2 (ja) | 静電容量式圧力センサ | |
US4671846A (en) | Method of bonding crystalline silicon bodies | |
JP3920551B2 (ja) | 接合方法 | |
EP0657718B1 (en) | Capacitance sensor and method of manufacturing the same | |
JPH03506100A (ja) | 固体素子上への密封シール形成方法 | |
TW201542309A (zh) | 用於將二個載體裝置作共晶結合的方法 | |
JP3920555B2 (ja) | 接合剤および接合方法 | |
CN101823341A (zh) | 用于将液晶聚合物的模制品和玻璃基体彼此熔融结合的方法和由该方法得到的复合制品 | |
JP3866501B2 (ja) | 接合方法 | |
JP2650307B2 (ja) | 半導体圧力センサの製造方法 | |
JPH0533338B2 (ja) | ||
JPH02148768A (ja) | ガラスパッケージ小型圧力センサ | |
JPH10160606A (ja) | 半導体圧力センサ及びその製造方法 | |
TW418493B (en) | Integrated micro-channel sensor and manufacturing method thereof | |
JP3377874B2 (ja) | 薄膜センサエレメント及びその製造方法 | |
JPS61191038A (ja) | 薄膜部を有するSiキヤビテイ構造の製造方法 | |
US8980669B2 (en) | Method and structure for a micro-mechanical device containing liquid thereon | |
JPH0641145U (ja) | 電子部品素子封止用蓋材 | |
JP2002005865A (ja) | ガス検知チップとその製造方法 | |
JPH10160605A (ja) | 半導体圧力センサの製造方法 | |
CN116553471A (zh) | 一种压力传感器芯片及制造方法 | |
JPH0289375A (ja) | 半導体圧力センサの製造方法 | |
JPH0521814A (ja) | 圧力センサ及び製造方法 | |
JPH0246768A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040601 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061024 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070213 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3920555 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100223 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110223 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120223 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130223 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140223 Year of fee payment: 7 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |