JP3903773B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は切削装置に係り、特に半導体や電子部品材料等のワークに溝加工や切断加工を行う切削装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体や電子部品材料等のワークに溝加工や切断加工を行う切削装置においては、高速で回転するブレードと称する薄型砥石で切削水をかけながらワークを加工するため、切削装置の加工部は水の飛沫やミストが充満している。このため、切削作業の終了後ワークテーブルから加工されたワークを取り外す際、ワークの裏面には水滴が付着している。
【0003】
このため、オペレータがエアが吹き出されるエアガンを用いて、あるいはワークをクランプするアームでワークを搬送する途中で、エアが吹き出されるノズルの上を通過させることにより、ワークの裏面を乾燥する作業を行う。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ワークの裏面を乾燥する作業について、エアガンを用いるとオペレータが作業を行うことによる手間が掛かり、搬送アームを用いると加工部に取り付けるためのスペースが必要となるという問題がある。
【0005】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ワークをワークテーブルから取り外す際に、ワークの裏面に付着している水滴を容易に乾燥することができる切削装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係わる発明は、前記目的を達成するために、回転刃によりワークテーブルに載置された半導体や電子部品材料のワークに溝加工や切断加工を行う加工部と、前記ワークテーブルに設けられたリフタにより水平のまま上方に持ち上げられたワークの裏面に付着している水滴を乾燥する乾燥手段とを有する切削装置において、前記乾燥手段は、複数の穴が設けられた2本のノズルと、前記2本のノズルをそれぞれ保持する2個のホルダと、前記2個のホルダを螺合し、中央部を境に右ネジと左ネジとが形成されたリードスクリューと、前記リードスクリューを回転させるモーターとを備え、前記2本のノズルは、前記ワークの裏面に向けてエアを吹き出すと共に、予め定められた距離を互いに近づき、または離れるように往復移動して前記ワークの裏面を乾燥することを特徴としている。
【0009】
本発明によれば、ワークの裏面に付着している水滴を乾燥するため、ワークを水平のまま上方に持ち上げるリフタと、持ち上げられたワークの裏面に向けてエアを吹き出すノズルとを設けたので、ワークをワークテーブルから取り外す際には付着している水滴が既に乾燥されているので、オペレータの手間を要しない。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係る切削装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【0011】
図1は、本発明に係る切削装置10の外観斜視図である。図2は、切削装置10の内部構成を示す斜視図である。
【0012】
図1、2に示すように、本発明に係る切削装置10は、主として操作・表示部11と、撮像部12と、CRTモニタ13と、コントローラ15と、加工部20と、ノズル32と、ミストカバー50等から構成されている。切削装置10は、架台内部に格納されているコントローラ15により、各動作は統括制御される。
【0013】
ミストカバー50は、加工部20を覆うように設けられて、上端部がヒンジ手段(図示せず)を介して切削装置10本体と回転自在に支持され、上下方向に回転して開閉される。
【0014】
加工部20は、図3に示すように、ワークWの溝加工や切断加工を行う回転刃21が、高周波モータ(図示せず)が内臓されているエアーベアリングスピンドルに取付けられ、30,000rpm〜60,000rpmの高速で回転すると共に、送り機構(図示せず)により、Y方向(紙面直交方向)のインデックス送りとZ方向(上下方向)の切り込み送りとがされる。
【0015】
回転刃21は、薄い円盤状に形成され、手前側と下方が開口しているフランジカバー22により周囲を覆われている。尚、回転刃21は、例えば、ダイヤモンド砥粒、CBN砥粒をニッケルで電着した電着ブレードや、樹脂で結合したレジンブレード等が用いられる。切削ノズル23は、フランジカバー22に設けられ、切削水を回転刃21とワークWとの加工ポイントに供給する。洗浄ノズル24は、回転刃21の右側に設けられ、切削作業の際、洗浄水をワークWに供給する。
【0016】
Xテーブル27(搬送手段)は、Xガイド(図示せず)にガイドされて、駆動機構によりX方向に移動する。Xテーブル27に載置されているθテーブル26は、上部にワークテーブル25が連結され、時計回り及び反時計回り方向に回転するようになっている。加工部20にて加工されるワークWは、真空吸着等によりワークテーブル25の上面に保持され、θテーブル26によりθ回転されると共に、Xテーブル27によりX方向に切削送りされるようになっている。
【0017】
ワークテーブル25に設けられたリフタ40は、図4に示すように、4個のホルダ42、42、…がワークテーブル25に固定して設置され、各ホルダ42には夫々エアで駆動するシリンダ44が固定され、シリンダ44のシリンダシャフト46の先端には吸着機構(図示せず)を備えたパッド48が取付けられた構造になっている。ワークWは、図4に示すように、上面に粘着材を有するシートSを用いてフレームFと一体的に貼着されている。ワークWと一体的に貼着されたフレームFとシートSは、パッド48の減圧により吸着保持される。また、シリンダ44の動作に従ってシリンダシャフト46を矢印A−B方向に付勢することにより、ワークWを水平のまま上下に動作する。また、Xテーブル27がX方向に移動することにより、パッド48に吸着保持されたワークWはノズル32が設けられる位置に搬送される。
【0018】
図4に示すように、2本のノズル32、32は、エアを吹き出すための複数の孔が設けられ、エアをノズル32、32に供給するための供給手段(図示せず)が取り付けられる。ノズル32、32は、モータ38に接続され、中央部を境に右ネジと左ネジとが形成されているリードスクリュー36に夫々螺合するホルダ36A、36Bに保持されており、モータ38の回転により、ノズル32、32はレール34に沿って矢印C−D方向に互いに近づき、あるいは互いに離れるように往復動作する。
【0019】
操作・表示部11は、切削装置10の各部の操作を行うスイッチや表示手段が設けられている。撮像部12は、顕微鏡、照明装置、及びCCDカメラ等から構成され、ワークWの表面を撮像する。CRTモニタ13に撮像された画像を映し出すことにより、ワークWのアライメントや加工状態の評価を行う。尚、撮像部12の顕微鏡からでもワークWのパターンの確認を行うことができる。表示灯14は、オペレータが遠くから判明できるように高い位置に取付けられ、切削装置10の稼動中、待機中、及び異常警告等を表示する。
【0020】
前記のごとく構成された本実施の形態の切削装置10の作用は次のとおりである。
【0021】
先ずオペレータがミストカバー50を上方に回転させて開き、加工部20のスピンドルに回転刃21をセットし、ミストカバー50を下方に回転させて閉じる。この時ワークテーブル25は、回転刃21の取付けに支障をきたさないように、撮像部12の顕微鏡の下に位置している。次にワークWがワークテーブル25に載置され、真空吸着される。次いで顕微鏡の下で、ワークWの表面に形成されているパターンが撮像され、その画像がCRTモニタ13に映し出される。ここでオペレータはCRTモニタ13に映し出された画像を見ながら操作・表示部11のスイッチを操作して、ワークWのアライメントを行う。アライメントが完了したワークWは、Xテーブル27の移動により加工部20に搬入され、高速回転する回転刃21とXテーブル27による切削移動とにより溝加工や切断加工がなされる。加工中は切削ノズル23から切削水が加工ポイントに供給され、洗浄ノズル24からは洗浄水が供給される。1ラインの加工が終了すると、回転刃21はY方向にインデックス送りされ、次に加工するラインに位置付けられ、Xテーブル27による切削移動でこのラインも加工される。このような動作が繰り返されて、ワークWの一方向の全ラインの加工が終了すると、θテーブル26がワークWを90度回転させ、先ほどのラインと直交するラインに合わせて加工が行われる。全加工が終了するとワークWは次に述べる裏面乾燥がなされた後、顕微鏡の位置まで搬送され、表示灯14の加工完了を知らせるランプが点滅する。ここでオペレータは必要に応じ、撮像部12でワークWの加工部分を撮像して加工状態を観察し、観察後はワークWをワークテーブル25から取り外す。
【0022】
次に、乾燥手段のワークの裏面乾燥作用の詳細について説明する。
【0023】
図4に示すように、ワークWの切削作業が終了後、コントローラ15から切削装置10の各構成要素に指令信号が発せられる。指令信号が発せられるとシリンダ44を動作するエアが供給され、フレームF及びシートSで保持されたワークWは、リフタ40のパッド48により真空吸着した状態で矢印A方向に水平に持ち上げられる。続いて、持ち上げられたワークWは、Xテーブル27によりノズル32、32が設けられる位置に搬送されて、下方にノズル32、32が位置付けられて停止する。次いで、ワークWの裏面に向けて、供給手段により供給されたエアがノズル32、32の複数の孔から所定の時間吹き出されると共に、モータ38が回転してノズル32、32が互いに予め定められた距離を往復移動する。このような動作によってワークWの裏面に付着している水滴が吹き飛ばされてワークWの裏面は乾燥する。エアを所定時間吹き出した後、コントローラ15に制御され、供給手段からのエアの供給が終了すると共に、ノズル32、32の往復動作も終了し、ワークWは下降されてワークテーブル25上に戻される。
【0024】
尚、ノズル32、32が矢印C−D方向に動作するストロークは、ワークWのサイズに従って自動で決定することができる。
【0025】
また、本実施の形態では、ワークWの裏面を乾燥するために、2本のノズル32、32を設ける例を説明したが、ノズル32は1本、あるいは2本より多くてもよい。
【0026】
更に、ノズル32、32を設けるのではなく、別の形状の乾燥手段によりワークWの裏面を乾燥してもよい。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係る切削装置によれば、ワークの裏面に付着している水滴を乾燥する乾燥手段を設けることにより、乾燥した状態でワークをワークテーブルから取り外すことができるので、オペレータの手間を要しない。
【0028】
更に、ワークをノズルの上に搬送する搬送アームを、加工部に取付ける必要がなく、切削装置のスペースを有効に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る切削装置の外観斜視図
【図2】本発明に係る切削装置の内部構成を示す斜視図
【図3】本発明に係る切削装置の加工部の詳細図
【図4】本発明に係る切削装置の乾燥手段の動作を示す斜視図
【符号の説明】
W…ワーク、10…切削装置、20…加工部、21…回転刃、25…ワークテーブル、27…Xテーブル、32…ノズル、40…リフタ
Claims (1)
- 回転刃によりワークテーブルに載置された半導体や電子部品材料のワークに溝加工や切断加工を行う加工部と、前記ワークテーブルに設けられたリフタにより水平のまま上方に持ち上げられたワークの裏面に付着している水滴を乾燥する乾燥手段とを有する切削装置において、
前記乾燥手段は、複数の穴が設けられた2本のノズルと、前記2本のノズルをそれぞれ保持する2個のホルダと、前記2個のホルダを螺合し、中央部を境に右ネジと左ネジとが形成されたリードスクリューと、前記リードスクリューを回転させるモーターとを備え、
前記2本のノズルは、前記ワークの裏面に向けてエアを吹き出すと共に、予め定められた距離を互いに近づき、または離れるように往復移動して前記ワークの裏面を乾燥することを特徴とする切削装置。
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