JP3900768B2 - パワーモジュール - Google Patents

パワーモジュール Download PDF

Info

Publication number
JP3900768B2
JP3900768B2 JP2000005764A JP2000005764A JP3900768B2 JP 3900768 B2 JP3900768 B2 JP 3900768B2 JP 2000005764 A JP2000005764 A JP 2000005764A JP 2000005764 A JP2000005764 A JP 2000005764A JP 3900768 B2 JP3900768 B2 JP 3900768B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lid
partition plate
power module
semiconductor element
module according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000005764A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001196487A (ja
Inventor
佐織 内田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2000005764A priority Critical patent/JP3900768B2/ja
Publication of JP2001196487A publication Critical patent/JP2001196487A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3900768B2 publication Critical patent/JP3900768B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48137Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate

Landscapes

  • Casings For Electric Apparatus (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電力用半導体素子を内包したケースおよび該ケースの開口部を塞ぐ蓋を備えたパワーモジュールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のパワーモジュールとして、樹脂製のケース内に電力用半導体素子を内包してシリコンゲルで封入し、上面に樹脂製の蓋で覆う構造のものがある。そして、上記パワーモジュールを、負荷回路の駆動装置(図示せず)に用いた場合においては、通常、上記パワーモジュールが放熱フィンに取付けられ、上記パワーモジュールの上側に駆動回路を配置する駆動用基板(図示せず)等が配置される。
【0003】
この種のパワーモジュールにおいて、短絡事故等によって上記電力用半導体素子が導通破壊し、その短絡電流により上記電力用半導体素子およびその周辺の上記シリコンゲル等が急激に昇温して急激な膨張現象を生じ、上記パワーモジュールのケースにおける機械強度が最も弱い上記蓋に衝撃が加わることになる。この衝撃で、万一、上記蓋が破損すると、その破片や上記ケース内の上記シリコンゲル等の部材片が周囲に飛散して上記駆動用基板上の部品等を破損若しくは汚染する。このような場合には、上記駆動装置の修理に際し、破損した上記パワーモジュールの交換だけでなく、上記駆動用基板上の部品や上記駆動用基板そのものの交換も必要となることがある。
【0004】
この対策として、例えば、特開平9−130064号公報に、パワーモジュールのケースの側壁に溝で囲われた限定領域を形成し、上記ケースの内圧の急激な昇圧時に上記限定領域を開口させてガス抜きを行ない、実害を低く押える例が開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
従来のパワーモジュールは、以上のようにケースの側壁に溝で囲われた限定領域を形成し、電力用半導体素子の破壊時に上記限定領域を開口させて内部ガス圧の上昇を回避しており、上記側壁側にガス抜きが行われるので実害を低く押える効果が認められるが、やはり、上記限定領域から飛散したゲル等で上記パワーモジュールの周辺を汚染する被害を防止することが困難であり、その修理に際し、破損した上記パワーモジュールの交換だけでなく、上記パワーモジュールの周辺の清掃作業を必要とする。
【0006】
本発明は、上記のような課題を解消するためになされたものであり、内包する電力用半導体素子の導通破壊により、ケースの蓋が破損し難い構造のパワーモジュールを得ることを目的とする。
【0007】
また、上記ケースの蓋を破損し難くするための構造が簡単で、かつ安価なパワーモジュールを得ることを目的とする。
【0008】
さらに、上記ケースの外形寸法を大型化することなく、その蓋が破損し難い構造のパワーモジュールを得ることを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
第1の発明に係るパワーモジュールは、電力用半導体素子と、該電力用半導体素子が載置されたベース板と、該ベース板が底部に固着され上記電力用半導体素子を内包する枠体と、該枠体の上部開口部を塞ぐ樹脂製の蓋と、衝撃緩衝板として上記電力用半導体素子から離間され、該電力用半導体素子と上記蓋との間を仕切る仕切板とを備えたものである。
【0010】
第2の発明に係るパワーモジュールは、第1の発明に係るパワーモジュールにおいて、枠体の内側壁に仕切板を位置決めする段部が形成され、蓋および上記仕切板の少なくとも何れかにおける相対向する面に突起を設け、上記仕切板が上記蓋と上記段部との間に上記突起を介して挟持されているものである。
【0011】
第3の発明に係るパワーモジュールは、第1の発明に係るパワーモジュールにおいて、枠体の内側壁に仕切板を位置決めする段部が形成され、上記仕切板と蓋との間にスペーサを備え、上記仕切板は上記スペーサを介して上記段部と上記蓋との間に挟持されているものである。
【0012】
第4の発明に係るパワーモジュールは、第3の発明に係るパワーモジュールにおいて、スペーサが弾性体にて形成されているものである。
【0013】
第5の発明に係るパワーモジュールは、第1の発明に係るパワーモジュールにおいて、蓋と仕切板とが一体に構成されているものである。
【0014】
第6の発明に係るパワーモジュールは、第5の発明に係るパワーモジュールにおいて、蓋および仕切板の少なくとも何れかにおける相対向する面の周縁に突出する突起を備え、該突起により上記蓋と上記仕切板との間に空隙部を形成しているものである。
【0015】
第7の発明に係るパワーモジュールは、第5の発明に係るパワーモジュールにおいて、仕切板が蓋の電力用半導体素子と対向する主面に接合されているものである。
【0016】
第8の発明に係るパワーモジュールは、第1の発明に係るパワーモジュールにおいて、枠体の側壁の略平行する対向箇所に幅広の一対の孔を形成し、その一方の孔を貫通孔とし、仕切板を上記貫通孔に挿入することにより、上記一対の孔で位置決めさせたものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
この発明の実施の形態1を図1〜図3により説明する。図1は実施の形態1および以下に記載の実施の形態2乃至実施の形態5に共通するパワーモジュールの平面図、図2、図3は夫々、図1に示したパワーモジュールのII−II断面を示す図およびIII−III断面を示す部分図である。図1〜図3において、1は銅製のベース板であり、その4隅に放熱フィン(図示せず)への取付け穴1Aを備える。2はセラミック製の絶縁板、3はベース板1と絶縁板2とを接合する接合材、4は銅薄膜からなる導電パターン、5は絶縁板2上に導電パターン4を介して半田付けされた電力用半導体素子、6は略矩形の開口断面を有する樹脂製の枠体であり、その内壁面のほぼ全周囲にわたって段部6Aが形成されている。
【0018】
そして、7は枠体6にインサートされた導体であり、枠体6の内壁側へ露出した一端に内部端子7Aが、枠体6の外部へ露出した他端に外部端子7Bが形成されている。8は内部端子7Aと導電パターン4若しくは電力用半導体素子5とを接続するボンディングワイヤ、9は電力用半導体素子5およびボンディングワイヤ8を覆うように封入されたシリコンゲルである。
【0019】
そして、10は裏面側に突起10Aが形成された非金属材である樹脂製の蓋であり、ねじ11により枠体6にねじ止されている。なお、突起10Aは、蓋10が枠体6にねじ止された状態において枠体6の開口部に嵌挿可能に、その全周囲が連なるように形成されている。12は枠体6の内壁側に形成された段部6Aをストッパーとしてこの段部6Aと蓋10の突起10A間に端縁の全周囲を挟まれた状態にて支持された樹脂製の仕切板である。なお、ベース板1、枠体6および蓋10にてケース13を形成している。
【0020】
以上のように構成されたパワーモジュールを、負荷回路の駆動装置(図示せず)に使用した場合においては、通常、放熱フィンに上記パワーモジュールが取付けられ、該パワーモジュールの上側にはその駆動用基板(図示せず)が配置される。そして、この駆動用基板に形成された駆動回路(図示せず)からの駆動信号の入力により上記パワーモジュールにて直交変換された交流電力が上記負荷回路に供給される。
【0021】
そして、上記負荷回路の短絡事故等により電力用半導体素子5が導通破壊して短絡電流が流れた場合において、この短絡電流により電力用半導体素子5およびその周縁のシリコンゲル9等が急激に昇温して急激な膨張現象を生じ、その衝撃はケース13における機械強度が最も弱い樹脂製の蓋10を破損させる程度の破壊エネルギーを有することがある。
【0022】
しかし、上記構成のパワーモジュールにおいては、電力用半導体素子5と蓋10との間に仕切板12を配設すると共に、蓋10と仕切板12との間に蓋10の突起10Aにより所定の間隔を設けたので、また、仕切板12の端縁の全周囲を枠体6の段部6Aと蓋10の突起10Aとで挟持したので、上記衝撃は仕切板12を変形させることにより吸収、緩和されると共に、全周囲が連なるように形成された突起10Aを介して蓋10の周縁部近傍に分散されて伝達され、蓋10の破損を防止できる。
【0023】
上述のように、上記パワーモジュールは、緩衝板として作用する仕切板12と、蓋10に形成した突起10Aの存在により、上記衝撃による樹脂製の蓋体10の破壊を防止できるので、従来のパワーモジュールのごとく、破壊した蓋10の破片や、シリコンゲル9等の部材片が飛散することがなく、従って、上記駆動用基板上の部品等を蓋10の破片等にて破損させたり、上記駆動装置のケースの内部をシリコンゲル9で汚染させることがなく、上記駆動装置の修理に際し、破損した上記パワーモジュールの交換だけでよく、上記駆動用基板上の部品や上記駆動用基板そのものの交換が不要となり、修理時間およびコスト低減に優れる。
【0024】
なお、上記例においては、蓋10の裏面のほぼ全周囲が連なる突起10Aを形成したが、逆に、仕切板12の周縁に全周囲に連なる突起(図示せず)を形成し、該突起の先端に蓋10の裏面を押圧するようにしたものであっても、同様な作用、効果を有するものが得られる。また、蓋10の裏面、若しくは仕切板12の周縁に形成する上記突起は必ずしも全周囲に連なる必要はなく、例えば、図4に示すように、仕切板12の相対する辺に平行に、一対の突起12Aを対向配置したものであっても、実用上十分な作用、効果を有するものが得られる。
【0025】
実施の形態2.
この発明の実施の形態2を図5により説明する。図5は実施の形態2としてのパワーモジュールの断面を示す部分図であり、図1におけるII−II断面を示す。図2に示した実施の形態1とは、蓋10に突起10Aが存在しない代りに、蓋10と仕切板12との間に全周縁が連なるリング状のスペーサ14が挿入され、蓋10を枠体6にねじ11によりねじ止め固定することにより、仕切板12は蓋10によりスペーサ14を介して枠体6の段部6Aに挟まれる状態で支持される点が相違する。
【0026】
即ち、スペーサ14により蓋10と仕切板12とが互いに間隔をおいて配設されるので、蓋10や仕切板12に突起を形成する必要がなく、従って、蓋10として従来品を併用でき、また、仕切板12として板材から切断加工でき、何れにしても特別に成形加工不要であり、結果的に安価なパワーモジュールを提供できる。
【0027】
なお、スペーサ14として、ゴム等の弾性体を用いれば、仕切板12の全周縁がスペーサ14を介して均等な押圧で段部6Aに支持されているので、上述の衝撃による仕切板12の変形を比較的小さく押えることができると共に、仕切板12が受けた上記衝撃を吸収、緩和してスペーサ14を介して蓋10の周縁にほぼ均等に分散して伝達でき、蓋10の破損を防止することができる。従って、緩衝板としての仕切板12をより安価な緩衝材にて形成でき、結果的に安価なパワーモジュールを提供できる。
【0028】
また、スペーサ14として、必ずしも全周縁が連なるリング状のものを用いる必要はなく、例えば、仕切板12の相対する辺に平行に、一対のスペーサ14を対向配置したものであっても、実用上十分な作用、効果を有するものが得られる。
【0029】
なお、図1から図5に示した実施の形態1および実施の形態2としてのパワーモジュールにおいて、枠体6の内壁面のほぼ全周囲にわたって段部6Aを形成したが、必ずしも枠体6の内壁面のほぼ全周囲にわたって形成する必要はなく、例えば、4隅に部分的に形成したものであっても、上記実施の形態のものと実質的に同様な効果が得られる。
【0030】
実施の形態3.
図6は実施の形態3としてのパワーモジュールの断面を示す部分図であり、図1におけるIII−III断面を示す。図において、仕切板12の周縁に全周囲に連なる突起12Aが存在し、突起12Aの先端が蓋10の裏面に接合されて一体化され、蓋10と仕切板12との間に空隙が形成されており、図2、図5に示した実施の形態1、実施の形態2としてのパワーモジュールとは、これらに存在した段部6Aが存在しない点が相違する。
【0031】
即ち、蓋10を枠体6にねじ11によりねじ止め固定した状態において、蓋10と仕切板12とが上記空隙を介して互いに間隔を保持され、上述の衝撃を仕切板12を変形させることにより吸収、緩和すると共に、全周囲が連なるように形成された突起12Aを介して蓋10の周縁部近傍に分散されて伝達され、蓋10の破損を防止できる。従って、緩衝板としての仕切板12をより安価な緩衝材にて形成でき、かつ、仕切板12を含む蓋10のケース13への取り付けが簡単であり、結果的に安価なパワーモジュールを提供できる。
【0032】
なお、図6に示した実施の形態3においては、仕切板12の周縁に全周囲に連なる突起12Aを形成し、突起12Aの先端を蓋10の裏面に接合して一体化し、蓋10と仕切板12との間に空隙を形成したが、逆に、蓋10の裏面に全周囲が連なる突起(図示せず)を形成し、その先端を仕切板12と接合してこれらを一体化したものであっても、また、上記突起を形成する代わりに、スペーサ(図示せず)の両面を、夫々、蓋10と仕切板12の対向面に接合してこれらを一体化したものであっても、同様な作用、効果を有するものが得られる。
【0033】
また、蓋10の裏面、若しくは仕切板12の周縁に形成する突起12Aは必ずしも全周囲に連なる必要はなく、例えば、仕切板12の相対する辺に平行に、一対の突起12Aを対向配置したものであっても、実用上十分な作用、効果を有するものが得られる。
【0034】
さらに、図7に示すように、蓋10と仕切板12とを、これらの間に空隙が存在するように同一樹脂により一体成形することにより、蓋10の中央部10Aを薄く、周縁部10Bを厚く構成した極めて軽量で、製造が容易、かつケース(図示せず)への取り付けが簡単なものが得られる。
【0035】
実施の形態4.
図8は実施の形態4としてのパワーモジュールの蓋の断面を示す図であり、図1におけるIII−III断面で示されるものに相当し、蓋10と仕切板12とを直接接合したものである。そして、仕切板12は、その緩衝効果を高めるように、柔軟性と強靭性に優れた発泡樹脂にて比較的厚く形成されており、仕切板12の表面で局部的に受けた、上述の衝撃を緩和して蓋10に伝達する。図6に示した実施の形態3としてのパワーモジュールと比較して、蓋10と仕切板12との間に空隙が存在しないが、実用上充分な緩衝板として機能し、その製法が簡略であり、安価で実用的なものが得られる。
【0036】
なお、図1乃至図8に示した実施の形態1乃至実施の形態4としての上記パワーモジュールにおいて、図示しない制御端子が枠体6の上面の開口部から蓋10を貫通して外部に突出るタイプの場合には、仕切板12における蓋10に形成された上記制御端子の貫通孔に対応する位置に、同じく上記制御端子の貫通孔を形成し、蓋10と同様に枠体6の開口部の上面から上記制御端子を避けて挿入、配設する。
【0037】
実施の形態5.
この発明の実施の形態5を図9により説明する。図9は実施の形態5としてのパワーモジュールの断面を示す図であり、図1におけるIX−IX断面を示す。図において、6B、6Cは枠体6の側壁に形成された水平方向に幅広の一対のスリット状孔であり、貫通孔であるスリット状孔6Bから挿入した仕切板12の先端部が盲孔であるスリット状孔6Cへ挿入可能に形成されている(図1における枠体6の紙面上側の側壁にスリット状孔6Bが、紙面下側の側壁にスリット状孔6Cが形成されている)。そして、枠体6に挿着された仕切板12の端縁は、スリット状孔6B、6Cに嵌挿されて係止される。なお、仕切板12は樹脂製である。
【0038】
上記構成のパワーモジュールは、仕切板12の表面で受けた上述の衝撃を仕切板12自身の弾性変形により吸収、緩和すると共に、仕切板12が受けた圧力の反作用を枠体6の一対のスリット状孔6B、6Cで受止めるので、蓋10は上記衝撃の影響を受けない。
【0039】
なお、上記パワーモジュールの図示しない制御端子が枠体6の上面の開口部から蓋10を貫通して外部に突出るタイプの場合には、上記制御端子を仕切板12の挿入方向に平行に、枠体6の内壁側に寄せて1列若しくは2列に整列配置することにより、仕切板12を上記制御端子を避けて挿入する。若しくは、図10に示すごとく、仕切板12にスリット12Bを形成することにより、上記制御端子をスリット12Bで避けて枠体6へ挿入できるものが得られる。
【0040】
また、図11(A)に示すごとく、軟質ゴム板製の蓋板15で枠体6の内側からスリット状孔6Bを塞ぐことにより、即ち、蓋板15の枠体6との非当接面におけるスリット状孔6Bに対応する位置にスリット状孔6Bに平行に深溝15Aを形成し、かつ、枠体6との当接面における深溝15Bと平行な両端縁近傍に端縁に沿って接着剤16を塗布して蓋板15を枠体6の内側に接着剤16で接着することにより、図11(B)に示すごとく、スリット状孔6Bに仕切板12を差し込む押し圧で蓋板15を溝15Aに沿って破る構成とし、仕切板12を差し込まない状態においては閉じて塵埃等の侵入を防ぎ、仕切板12の挿入により開く弁の働きを得ることができる。
【0041】
なお、図1乃至図7に示した実施の形態1乃至実施の形態3および図9乃至図11に示した実施の形態5としてのパワーモジュールにおいて、緩衝板としての仕切板12の材質を樹脂製としたが、仕切板12の材質は樹脂製に限定する必要はなく、石綿若しくはガラス繊維材を素材とする成形品、または、比較的硬度の高いゴム製であっても上記実施の形態のものと同様な効果が得られる。
【0042】
また、仕切板12をガラス繊維を骨材とする強化樹脂製とすれば、強靭なものが得られ、薄型化を図れるので、仕切板12を配設したパワーモジュールであっても、そのケース13の外形寸法を従来品と同一にすることが可能であり、従来品と互換性のある物が得られる。
【0043】
なお、図8に示した実施の形態4としてのパワーモジュールにおいて、緩衝板としての仕切板12の材質を発泡樹脂製としたが、仕切板12の材質は発泡樹脂製に限定する必要はなく、柔軟性と強靭性に優れたものであればよく、石綿若しくはガラス繊維材を素材とする成形品、または、比較的硬度の低いゴム製であっても上記実施の形態のものと同様な効果が得られる。
【0044】
【発明の効果】
この発明は、以上のように構成されているので、以下に示すような効果を奏する。
【0045】
電力用半導体素子と、該電力用半導体素子が載置されたベース板と、該ベース板が底部に固着され上記電力用半導体素子を内包する枠体と、該枠体の上部開口部を塞ぐ樹脂製の蓋と、衝撃緩衝板として上記電力用半導体素子から離間され、該電力用半導体素子と上記蓋との間を仕切る仕切板を備えたので、上記電力用半導体素子が導通破壊して短絡電流が流れても、発生する破壊エネルギーに起因する衝撃を上記仕切板で緩和して上記蓋の破壊を防止でき、ひいては、上記蓋の破壊に伴う破片の周囲への飛散を防止できるパワーモジュールが得られる効果がある。
【0046】
また、枠体の内側壁に仕切板を位置決めする段部が形成され、蓋および上記仕切板の少なくとも何れかにおける相対向する面に突起を設け、上記仕切板を上記蓋と上記段部との間に上記突起を介して挟持したので、上記仕切板の取り付け構造が簡単でその取付け作業が容易なパワーモジュールを提供できる効果がある。
【0047】
さらに、枠体の内側壁に仕切板を位置決めする段部が形成され、上記仕切板と蓋との間にスペーサを備え、上記仕切板は上記スペーサを介して上記段部と上記蓋との間に挟持されているので、上記蓋は従来品と互換性を有し、上記仕切板は板材から切断加工でき、安価なパワーモジュールを提供できる効果がある。
【0048】
また、スペーサを弾性体にて形成したので、仕切板を蓋により上記スペーサを介して段部に押圧することにより確実に固定でき、緩衝効果の安定するために仕切板の素材に対する制約が少なく、安価なパワーモジュールを提供できる効果がある。
【0049】
さらに、蓋と仕切板とを一体に構成したので、その取付け作業が容易であると共に、安価なパワーモジュールを提供できる効果がある。
【0050】
また、蓋および仕切板の少なくとも何れかにおける相対向する面の周縁に突出する突起を備え、該突起により上記蓋と上記仕切板との間に空隙部を形成しているので、その取付け作業が容易であると共に、緩衝効果の優れたパワーモジュールを提供できる効果がある。
【0051】
さらに、仕切板を蓋の電力用半導体素子と対向する主面側に接合したので、上記仕切板の取付け構造が極めて簡単でその取付け作業も容易であると共に、安価なパワーモジュールを提供できる効果がある。
【0052】
さらに、枠体の側壁の略平行する対向箇所に幅広の一対の孔を形成し、その一方の孔を貫通孔とし、仕切板上記貫通孔に挿入することにより、上記一対の孔で位置決めさせたので、上述の衝撃の蓋への影響がなく、該蓋の薄肉化の可能なパワーモジュールを提供できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施の形態1としてのパワーモジュールの平面図である。
【図2】 図1に示したパワーモジュールのII−II断面図である。
【図3】 図1に示したパワーモジュールのIII−III断面図である。
【図4】 図1に示したパワーモジュールにおける仕切板の別の例を示す斜視図である。
【図5】 実施の形態2としてのパワーモジュールの断面図である。
【図6】 実施の形態3としてのパワーモジュールの断面図である。
【図7】 図6に示したパワーモジュールにおける蓋と一体構成の仕切板の別の例としての一体成形されたものの断面図である。
【図8】 実施の形態4としてのパワーモジュールの断面図である。
【図9】 実施の形態5としてのパワーモジュールの断面図である。
【図10】 図10に示したパワーモジュールにおける蓋の別の例を示す斜視図である。
【図11】 図10に示したパワーモジュールにおけるスリット状孔を塞ぐ蓋板を示す断面図である。
【符号の説明】
1 ベース板、2 絶縁板、5 電力用半導体素子、6 枠体、6A 段部、6B、6C スリット状孔、9 シリコンゲル、10 蓋、10A 突起、12 仕切板、12A 突起、12B スリット、13 ケース、14 スペーサ、15 蓋板

Claims (8)

  1. 電力用半導体素子と、該電力用半導体素子が載置されたベース板と、該ベース板が底部に固着され上記電力用半導体素子を内包する枠体と、該枠体の上部開口部を塞ぐ樹脂製の蓋と、衝撃緩衝板として上記電力用半導体素子から離間され、該電力用半導体素子と上記蓋との間を仕切る仕切板とを備えたことを特徴とするパワーモジュール。
  2. 枠体はその内側壁に仕切板を位置決めする段部が形成され、蓋および上記仕切板の少なくとも何れかは、これらの相対向する面に突起を設け、上記仕切板は上記蓋と上記段部との間に上記突起を介して挟持されていることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール。
  3. 枠体はその内側壁に仕切板を位置決めする段部が形成され、上記仕切板と蓋との間にスペーサを備え、上記仕切板は上記スペーサを介して上記段部と上記蓋との間に挟持されていることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール。
  4. スペーサは弾性体にて形成されていることを特徴とする請求項3に記載のパワーモジュール。
  5. 蓋と仕切板とは一体に構成されていることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール。
  6. 蓋および仕切板の少なくとも何れかは、これらの相対向する面の周縁に突出する突起を備え、該突起により上記蓋と上記仕切板との間に空隙部を形成していることを特徴とする請求項5に記載のパワーモジュール。
  7. 仕切板は、蓋の電力用半導体素子と対向する主面に接合されていることを特徴とする請求項5に記載のパワーモジュール。
  8. 枠体はその側壁の略平行する対向箇所に幅広の一対の孔を形成し、その一方の孔を貫通孔とし、仕切板を上記貫通孔に挿入することにより、上記一対の孔で位置決めさせたことを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール。
JP2000005764A 2000-01-06 2000-01-06 パワーモジュール Expired - Fee Related JP3900768B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000005764A JP3900768B2 (ja) 2000-01-06 2000-01-06 パワーモジュール

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000005764A JP3900768B2 (ja) 2000-01-06 2000-01-06 パワーモジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001196487A JP2001196487A (ja) 2001-07-19
JP3900768B2 true JP3900768B2 (ja) 2007-04-04

Family

ID=18534387

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000005764A Expired - Fee Related JP3900768B2 (ja) 2000-01-06 2000-01-06 パワーモジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3900768B2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4382030B2 (ja) 2005-11-15 2009-12-09 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 半導体装置及びその製造方法
JP5233195B2 (ja) * 2007-07-27 2013-07-10 株式会社豊田中央研究所 プレート積層体とその製造方法
CN102576706B (zh) 2010-03-16 2015-07-22 富士电机株式会社 半导体器件
WO2017119937A1 (en) 2016-01-07 2017-07-13 Xilinx, Inc. Stacked silicon package assembly having enhanced stiffener

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001196487A (ja) 2001-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7034395B2 (en) Power semiconductor module with cooling element and pressing apparatus
JP4533152B2 (ja) 半導体装置
US6337796B2 (en) Semiconductor device mount structure having heat dissipating member for dissipating heat generated from semiconductor device
JP5881860B2 (ja) パワーモジュール
JP4432319B2 (ja) 半導体装置
WO2011158615A1 (ja) 電子機器の放熱構造
KR20020093999A (ko) 차량 전자 제어모듈
US20120113603A1 (en) Electronic circuit device
JP2000068446A (ja) パワー半導体モジュール
JP4702451B2 (ja) 圧縮機用電子回路装置
WO2010004609A1 (ja) 電力用半導体装置
JP5069876B2 (ja) 半導体モジュールおよび放熱板
JP4081611B2 (ja) 半導体装置
JP3900768B2 (ja) パワーモジュール
JP2010212727A (ja) 半導体装置
JP4046623B2 (ja) パワー半導体モジュールおよびその固定方法
JP2019009183A (ja) 半導体装置
JP2003324219A (ja) 熱電モジュール取付構造
JPH11330328A (ja) 半導体モジュール
JP4070531B2 (ja) 半導体装置
JP2005302882A (ja) 半導体装置
KR20000011229A (ko) 반도체장치
JP2006031955A (ja) 熱応動スイッチ
JPH09213852A (ja) 発熱電子部品の放熱構造
JPWO2014073311A1 (ja) 半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20040630

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050811

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060301

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060919

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061117

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20061212

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20061225

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100112

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130112

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130112

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees