JP3890953B2 - 積層型電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層型電子部品の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種の積層型電子部品として、従来より、図7に示す構成の積層型LCノイズフィルタ1が知られている。この積層型LCノイズフィルタ1は、コイル用電極パターン60〜62,66〜68、コンデンサ電極パターン63〜65およびビアホール30〜50等を設けた長方形あるいは正方形の絶縁シート2〜22などにて構成されている。
【0003】
引出し用ビアホール30〜32,47〜50は、連接して引出し用ビア導体T1,T2を構成している。コイル用電極パターン60〜62は、中継用ビアホール33,34を介して電気的に直列に接続され、螺旋状コイルL1を構成している。コイル用電極パターン66〜68は、中継用ビアホール45,46を介して電気的に直列に接続され、螺旋状コイルL2を構成している。ホット側コンデンサ電極パターン63,65は、それぞれ絶縁シート11,12を挟んでグランド側コンデンサ電極パターン64に対向することにより、貫通コンデンサCを構成している。ホット側コンデンサ電極パターン63,65は、中心電極用ビアホール39〜41を連接して構成した中心電極用ビア導体T3に電気的に接続している。さらに、中継用ビアホール36〜38,42〜44は、それぞれ連接して中継用ビア導体T4,T5を構成している。
【0004】
絶縁シート2〜22は積み重ねられた後、一体的に焼成されることにより、図8に示す積層体70とされる。積層体70には、入力端子71、出力端子72およびグランド端子73が形成されている。入力端子71には、引出し用ビア導体T1を介して、螺旋状コイルL1の一端が電気的に接続されている。出力端子72には、引出し用ビア導体T2を介して、螺旋状コイルL2の一端が電気的に接続されている。グランド端子73には、グランド側コンデンサ電極パターン64が電気的に接続されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ビアホール30〜50は、絶縁シート2〜22に金型やレーザ等で穴を明け、導電体材料をこの穴に充填することにより形成される。しかし、従来の積層型LCノイズフィルタ1は全ての穴に導電体材料が充填されるため、充填された導電体材料の量が多すぎて過充填となり、焼成時の導電体材料の膨張収縮によって積層体に亀裂が生じる場合があった。
【0006】
また、一般に、導電体材料を穴に充填する際には、導電体材料が穴の周囲に滲み出る。従って、グランド側コンデンサ電極パターン64を設けた絶縁シート12の穴に導電体材料を充填してビアホール40を形成すると、導電体材料の滲みのため、ビアホール40とグランド側コンデンサ電極パターン64との間の絶縁距離が短くなり、絶縁破壊電圧が低下するという不具合があった。また、焼成時に、絶縁シート12の表面上に滲んだ導電体材料が絶縁シート11〜13相互間のセラミック同士の接合を遮り、絶縁シート11〜13相互間でデラミネーションを発生させ易いという不具合もあった。
【0007】
そこで、本発明の目的は、信頼性の高い積層型電子部品を得ることができる製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段および作用】
前記目的を達成するため、本発明に係る積層型電子部品の製造方法は、
(a)ビアホールを設けた絶縁層でビアホールの径より大きな空孔を設けた絶縁層を挟むように積み重ねて、ビアホールと空孔を絶縁層の積み重ね方向に連接する工程と、
(b)積み重ねられた絶縁層を圧着して積層体を形成するとともに、ビアホール内の導電体材料をビアホールの径より大きな空孔内に延在させかつ電気的にビアホールどうしを接続させてビア導体を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする。ここに、ビアホールは、絶縁層に設けた穴にスクリーン印刷等の方法で導電体材料を充填したものを意味する。また、空孔は、絶縁層に設けた穴に導電体材料を充填していないもの、あるいは、絶縁層に設けた穴の内周壁にめっき等の方法で導電体材料を付与したもので穴が塞がっていないものを意味する。
【0009】
以上の構成により、ビアホール内に充填された導電体材料のうち、余分な導電体材料は空孔内に延在する。従って、導電体材料の過充填が防止され、焼成時の導電体材料の熱収縮による亀裂が積層体に発生しない。このとき、空孔を設けた絶縁層が2層以上連接されていてもよいし、空孔を設けた絶縁層の間にビアホールを設けた絶縁層が2層以上連接されていてもよい。
【0010】
また、内部電極として少なくともホット側内部電極と該ホット側内部電極に対向して設けられるグランド内部電極を有し、ビアホールはホット側内部電極を表面に設けた絶縁層に設けられ、空孔はグランド内部電極を表面に設けた絶縁層に設けている。そして、グランド内部電極を表面に設けた絶縁層を、ホット側内部電極を表面に設けた絶縁層の間に配設し、グランド内部電極を設けた絶縁層の空孔を、積層方向においてホット側内部電極を設けた絶縁層のビアホールの間に配設している。これにより、グランド内部電極を設けた絶縁層の穴に導電体材料を充填する作業がなくなり、導電体材料が穴の周囲に滲むおそれがなくなる。
【0011】
さらに、空孔を設けた絶縁層の厚みを50μm以下に設定することが好ましい。これにより、絶縁層の積み重ね方向に隣接するビアホールの導電体材料が空孔を通してより一層確実に接続する。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る積層型電子部品の製造方法について添付図面を参照して説明する。
【0013】
[第1実施形態、図1〜図3]
第1実施形態は、図7および図8に示した従来の積層型LCノイズフィルタ1に本発明を適用したものである。図1に示すように、第1実施形態の積層型LCノイズフィルタ1Aは、従来の積層型LCノイズフィルタ1の絶縁シート3,9,12,15,21にそれぞれ設けたビアホール31,37,40,43,49の代わりに、空孔31A,37A,40A,43A,49Aを設けたものである。絶縁シート2〜22は、誘電体粉末や磁性体粉末を結合剤と一緒に混練したものをシート状にしたものである。
【0014】
コイル用電極パターン60〜62,66〜68およびコンデンサ電極パターン63〜65は、Ag,Pd,Cu,Ni,Au,Ag−Pd等からなり、スパッタリング法、蒸着法などの薄膜形成法、あるいは、フォトリソグラフィ法やパターン印刷法により形成される。ビアホール30,32〜36,38,39,41,42,44〜48,50は、絶縁シート2,4〜8,10,11,13,14,16〜20,22に金型、レーザ等で穴を明け、スクリーン印刷等の方法でAg,Pd,Cu,Ni,Au,Ag−Pd等の導電体材料をこの穴に充填することにより形成される。
【0015】
一方、空孔31A,37A,40A,43A,49Aは、絶縁シート3,9,12,15,21に金型、レーザ等で穴を明けることにより形成される。必要であれば、空孔31A〜49Aの内周壁に印刷やめっき等の方法でAg,Pd,Cu,Ni,Au,Ag−Pd等の導電体材料を付与する(ただし、穴は塞がっていない)。
【0016】
コイル用電極パターン60〜62は、中継用ビアホール33,34を介して電気的に直列に接続され、絶縁シート2〜22の積み重ね方向に対して平行な軸を有する螺旋状コイルL1とされる。コイル用電極パターン66〜68は、中継用ビアホール45,46を介して電気的に直列に接続され、絶縁シート2〜22の積み重ね方向に対して平行な軸を有する螺旋状コイルL2とされる。
【0017】
ホット側コンデンサ電極パターン63,65は、それぞれ絶縁シート11,12を挟んでグランド側コンデンサ電極パターン64に対向することにより、貫通コンデンサCを構成している。グランド側コンデンサ電極パターン64の中央部は円形に電極が除去されており、グランド側コンデンサ電極パターン64と空孔40Aとの間に所定の間隔が確保されている。なお、ホット側コンデンサ電極パターンとグランド側コンデンサ電極パターンの枚数、面積、間隔は所望の静電容量となるように適宜設定される。
【0018】
引出し用ビアホール30,32は、空孔31Aを間に挟んで、シート2〜22の積み重ね方向に連接される。引出し用ビアホール48,50は、空孔49Aを間に挟んで、シート2〜22の積み重ね方向に連接される。貫通コンデンサCの中心電極用ビアホール39,41は、空孔40Aを間に挟んで連接される。さらに、中継用ビアホール36,38、42,44はそれぞれ、空孔37A,43Aを間に挟んで連接される。
【0019】
各シート2〜22は、積み重ねられてプレスされた後、一体的に焼成されることにより、図2に示すような直方体形状の積層体70Aとされる。このとき、隣接する引出し用ビアホール30,32内に充填された導電体材料のうち、余分な導電体材料はそれぞれ空孔31A内に延在する。これにより、引出し用ビアホール30,32の導電体材料は空孔31Aを通して電気的に接続し、引出し用ビア導体T1を形成する。
【0020】
同様にして、引出し用ビアホール48,50の導電体材料は空孔49Aを通して電気的に接続し、引出し用ビア導体T2を形成する。中心電極用ビア導体39,41の導電体材料は空孔40Aを通して電気的に接続し、中心電極用ビア導体T3を形成する。この中心電極用ビア導体T3に、ホット側コンデンサ電極パターン63,65が電気的に接続している。さらに、中継用ビアホール36,38の導電体材料、並びに、中継用ビアホール42,44の導電体材料はそれぞれ、空孔37A、43Aを通して電気的に接続し、中継用ビア導体T4,T5を形成する。
【0021】
次に、積層体70Aの右側面部には入力端子71が設けられ、左側面部には出力端子72が設けられ、中央部にはグランド端子73が設けられる。積層体70Aの下面75は、積層型LCノイズフィルタ1Aをプリント基板等にはんだ付けする際の実装面として利用される。実装面75に対して、シート2〜22の積み重ね方向は平行であり、コイルL1,L2のコイル軸方向も平行である。つまり、積層型LCノイズフィルタ1Aは横巻き構造である。図3は、積層型LCノイズフィルタ1Aの電気等価回路図である。
【0022】
入力端子71には、引出し用ビア導体T1を介して、螺旋状コイルL1の一端(コイル用電極パターン60)が電気的に接続されている。出力端子72には、引出し用ビア導体T2を介して、螺旋状コイルL2の一端(コイル用電極パターン68)が電気的に接続されている。グランド端子73には、グランド側コンデンサ電極パターン64が電気的に接続されている。
【0023】
以上の構成からなる積層型LCノイズフィルタ1Aは、ビアホール30,32、ビアホール36,38、ビアホール39,41、ビアホール42,44、およびビアホール48,50のそれぞれの内部に充填された導電体材料のうち、余分な導電体材料が空孔31A〜49A内に延在するので、導電体材料の過充填が防止され、焼成時の導電体材料の熱収縮による亀裂が積層体70Aに発生しない。
【0024】
さらに、ホット側コンデンサ電極パターン63,65をそれぞれ設けた絶縁シート11,13にビアホール39,41を設け、グランド側コンデンサ電極パターン64を設けた絶縁シート12に空孔40Aを設けたので、グランド側コンデンサ電極パターン64を設けた絶縁シート12の穴に導電体材料を充填する作業がなくなり、導電体材料が穴の周囲に滲むおそれがなくなる。この結果、グランド側コンデンサ電極パターン64と中心電極用ビア導体T3との間の絶縁距離を十分に確保することができる。
【0025】
また、本第1実施形態では、空孔31A〜49Aをそれぞれ設けた絶縁シート3,9,12,15,21の厚みを50μm以下(5μm以上)に設定している。さらに、空孔31A〜49Aの穴径を、該空孔31A〜49Aに接するビアホール30,32,36,38,39,41,42,44,48,50の穴径より大きく(3倍以下)設定している。これにより、絶縁シート2〜22の積み重ね方向に隣接するビアホール30と32の導電体材料を空孔31Aを通してより一層確実に接続させることができる。同様に、ビアホール36と38の導電体材料、ビアホール39と41の導電体材料、ビアホール42と44の導電体材料、並びにビアホール48と50の導電体材料をそれぞれ、空孔37A,40A,43A,49Aを通してより一層確実に接続させることができる。
【0026】
[第2実施形態、図4および図5]
図4に示す多層基板81は、信号線用電極パターン161〜169、ビアホール101,103,122,124,132,134,152,154等および空孔102,123,133,153等をそれぞれ設けた絶縁シート82〜96などにて構成されている。ビアホール101,103,122,124,132,134,152,154等は、絶縁シート82,84〜86,88〜90,92〜94,96に金型、レーザ等で穴を明け、スクリーン印刷等の方法でAg,Pd,Cu,Ni,Au,Ag−Pd等の導電体材料をこの穴に充填することにより形成される。
【0027】
一方、空孔102,123,133,153等は、絶縁シート83,87,91,95に金型、レーザ等で穴を明けることにより形成される。必要であれば、空孔102,123,133,153等の内周壁にめっき等の方法でAg,Pd,Cu,Ni,Au,Ag−Pd等の導電体材料を付与する(ただし、穴は塞がっていない)。
【0028】
引出し用ビアホール101,103は、空孔102を間に挟んで、シート82〜96の積み重ね方向に連接される。引出し用ビアホール105,107、111,113、115,117はそれぞれ、空孔106,112,116を間に挟んで連接される。また、引出し用ビアホール151,152,154、155,156,158はそれぞれ、空孔153,157を間に挟んで連接される。さらに、中継用ビアホール121,122,124、125,126,128、131,132,134、135,136,138、141,142,144、145,146,148はそれぞれ、空孔123,127,133,137,143,147を間に挟んで連接される。
【0029】
各シート82〜96は、積み重ねられてプレスされた後、一体的に焼成されることにより、図5に示すような多層基板81とされる。このとき、隣接する引出し用ビアホール101,103内に充填された導電体材料のうち、余分な導電体材料はそれぞれ空孔102内に延在する。これにより、引出し用ビアホール101,103の導電体材料は空孔102を通して電気的に接続し、引出し用ビア導体T11を形成する。引出し用ビア導体T11の開口端面が外部接続電極となる。引出し用ビアホール105,107の導電体材料は空孔106を通して電気的に接続し、引出し用ビア導体T12を形成する。引出し用ビアホール111,113の導電体材料は空孔112を通して接続し、引出し用ビア導体T13を形成する。引出し用ビアホール115,117の導電体材料は空孔116を通して接続し、引出し用ビア導体T14を形成する。引出し用ビアホール151,152,154は、ビアホール152,154の導電体材料が空孔153を通して電気的に接続することにより、引出し用ビア導体T21を形成する。引出し用ビアホール155,156,158は、ビアホール156,158の導電体材料が空孔157を通して電気的に接続することにより、引出し用ビア導体T22を形成する。
【0030】
同様にして、中継用ビアホール121,122,124と空孔123とで中継用ビア導体T15を形成する。中継用ビア導体T15は信号線用電極パターン161,164間を電気的に接続する。中継用ビアホール125,126,128と空孔127とで中継用ビア導体T16を形成する。中継用ビアホール131,132,134と空孔133とで中継用ビア導体T17を形成する。中継用ビアホール135,136,138と空孔137とで中継用ビア導体T18を形成する。中継用ビアホール141,142,144と空孔143とで中継用ビア導体T19を形成する。中継用ビアホール145,146,148と空孔147とで中継用ビア導体T20を形成する。また、多層基板81の表面には、電子部品161,162がはんだ付けにより実装される。
【0031】
以上の構成からなる多層基板81は、ビアホール101,103、ビアホール122,124、ビアホール132,134、ビアホール152,154等のそれぞれの内部に充填された導電体材料のうち、余分な導電体材料が空孔102,123,133,153等に延在するので、導電体材料の過充填が防止され、焼成時の導電体材料の熱収縮による亀裂が多層基板81に発生しない。
【0032】
また、本第2実施形態では、空孔102,123,133,153等をそれぞれ設けた絶縁シート83,87,91,95の厚みを50μm以下(3μm以上)に設定している。さらに、空孔102,123,133,153等の穴径を、該空孔102,123,133,153等に接するビアホール101,103、122,124、132,134、152,154等の穴径より大きく(3倍以下)設定している。これにより、絶縁シート82〜96の積み重ね方向に隣接するビアホール101と103の導電体材料を空孔102を通してより一層確実に接続させることができる。他のビアホール122と124などの導電体材料も、それぞれ、空孔123などを通してより一層確実に接続させることができる。
【0033】
[他の実施形態]
なお、本発明に係る積層型電子部品の製造方法は、前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。例えば、本発明は、積層型LCノイズフィルタや多層基板の他に、ビアホールを連接して構成したビアインダクタを用いた積層型LCフィルタ(低域通過フィルタ、帯域通過フィルタ、帯域阻止フィルタ、高域通過フィルタなど)や、連接したビアホールを用いたコンデンサや、カプラ、バラン、ディレイラインなどの単体又は前述の積層型電子部品を組み合わせて構成される高周波モジュールにも適用することができる。
【0034】
また、前記第1実施形態や第2実施形態では、ビアホールと空孔は交互に連接され、空孔はビアホールの間に配設されているが、図6に示すように、空孔48A,49Aを2個以上連接してもよい。あるいは、空孔を二つ以上のビアホール毎に挿入するようにしてもよい。また、ビアホールと空孔は規則的に(交互や何層毎)連接されていてもよいし、不規則に連接(例えば外層近傍のビアホールの数に対する空孔の数の割合を多くしたり、中央部の空孔の数の割合を多くしたり)してもよい。
【0035】
また、前記第1実施形態の積層型LCノイズフィルタは横巻きLCL構造(T型)であるが、コイル軸が実装面に対して直交する縦巻きCLC構造(π型)であってもよい。
【0036】
【発明の効果】
以上の説明からも明らかなように、本発明によれば、ビアホール内に充填された導電体材料のうち、余分な導電体材料は空孔内に延在する。従って、導電体材料の過充填が防止され、焼成時の導電体材料の熱収縮による亀裂が積層体に発生しない。さらに、グランド側コンデンサ電極パターンを設けた絶縁層には空孔を設けることにより、グランド側コンデンサ電極パターンを設けた絶縁層に対して導電体材料を充填する作業がなくなり、導電体材料が穴の周囲に滲むおそれがなくなる。この結果、グランド側コンデンサ電極パターンとビア導体との間の絶縁距離を十分に確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る積層型電子部品の製造方法の第1実施形態を示す分解斜視図。
【図2】図1に示した積層型電子部品の外観斜視図。
【図3】図2に示した積層型電子部品の電気等価回路図。
【図4】本発明に係る積層型電子部品の製造方法の第2実施形態を示す分解断面図。
【図5】図4に示した積層型電子部品の断面図。
【図6】本発明に係る積層型電子部品の製造方法の他の実施形態を示す一部分解斜視図。
【図7】従来の積層型電子部品の製造方法を示す分解斜視図。
【図8】図7に示した積層型電子部品の外観斜視図。
【符号の説明】
1A…積層型LCフィルタ
2〜22…絶縁シート
30,32〜36,38,39,41,42,44〜48,50…ビアホール
31A,37A,40A,43A,49A…空孔
60〜62,66〜68…コイル用電極パターン
63,65…ホット側コンデンサ電極パターン
64…グランド側コンデンサ電極パターン
T1,T2…引出し用ビア導体
T3…中心電極用ビア導体
T4,T5…中継用ビア導体
81…多層基板
82〜96…絶縁シート
101,103,105,107,111,113,115,117,121,122,124〜126,128,131,132,134〜136,138,141,142,144〜146,148,151,152,154〜156,158…ビアホール
102,106,112,116,123,127,133,137,143,147,153,157…空孔
T11〜T14,T21,T22…引出し用ビア導体
T15〜T20…中継用ビア導体
Claims (6)
- 絶縁層を積み重ねて構成した積層体内に、ビア導体と内部電極を設けた積層型電子部品の製造方法において、
ビアホールを設けた絶縁層で前記ビアホールの径より大きな空孔を設けた絶縁層を挟むように積み重ねて、前記ビアホールと前記空孔を前記絶縁層の積み重ね方向に連接する工程と、
積み重ねられた前記絶縁層を圧着して前記積層体を形成するとともに、前記ビアホール内の導電体材料を前記ビアホールの径より大きな前記空孔内に延在させかつ電気的に前記ビアホールどうしを接続させてビア導体を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 - 前記内部電極として少なくともホット側内部電極と該ホット側内部電極に対向して設けられるグランド内部電極を有し、前記ホット側内部電極を表面に設けた絶縁層にはビアホールを設け、前記グランド内部電極を表面に設けた絶縁層には空孔を設けたことを特徴とする請求項1に記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記グランド内部電極を表面に設けた絶縁層を、前記ホット側内部電極を表面に設けた絶縁層の間に配設し、前記グランド内部電極を設けた絶縁層の空孔を、積層方向において前記ホット側内部電極を設けた絶縁層のビアホールの間に配設したことを特徴とする請求項2に記載の積層型電子部品の製造方法。
- 空孔を設けた絶縁層を2層以上連接していることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 空孔を設けた絶縁層の間にビアホールを設けた絶縁層が2層以上連接していることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 空孔を設けた絶縁層の厚みが50μm以下であることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
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