JP3889746B2 - 光ファイバの製造方法 - Google Patents
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Description
ファイバレーザに用いられる光ファイバは通常、断面の中心にコア部材(シングルモードのレーザ光を透過させ、希土類元素(Nd、Er)等がドープされた直径2〜12[μm]程度のファイバ形状)を有している。そして、コア部材の周囲に、コア部材よりも低い屈折率を持つクラッド部材(第1クラッド部材であり、励起光を透過させる)を有することで、レーザ光をコア部材内に閉じ込めている。更に第1クラッド部材の周囲に、第1クラッド部材の屈折率よりも低い屈折率を持つ第2クラッド部材を有することで、励起光を第1クラッド部材内に閉じ込めている。
そして、この光ファイバに入射された励起光がコア部材を通ると(コア部材に衝突すると)コア部材内の希土類元素が励起されてレーザ光が発生し、コア部材内にはシングルモードのレーザ光が残る。このレーザ光は、小径(コア部材の径に依存する)であり、かつ広がり角が小さい(発生したレーザ光の波長、コア部材及び第1クラッド部材の屈折率等に依存する)ため、ビーム品質が非常によい(レーザ光のビーム品質は、出射光の半径と、出射光の広がり角の半角との積で表され、この積が小さい程ビーム品質が高い)。
この光ファイバ1aの長手方向に垂直な端面から励起光Linを入射すると、入射した励起光Linが第1クラッド部材10内を全反射しながら進行する。そして、第1クラッド部材10内を全反射しながら進行する励起光Linが(偶然的に)コア部材30に衝突すると、コア部材30内でレーザ光が励起される。
また、励起光Linは、比較的ビーム品質が劣るので、コア部材30に衝突するように狙って入射することは非常に困難である。
また、例えば光増幅器の分野では、図8(D)〜(G)に示すように、光ファイバの第1クラッド部材10内にコア部材30を少なくとも3本有し、長手方向に少なくとも2個所のモードフィールド径の変化した領域23を設け、利得が低いときだけでなく、利得が高いときであっても、利得波長特性を平坦にすることができる、マルチコアファイバ1bが提案されている(例えば特許文献2参照)。
また、特許文献1に記載のファイバレーザ発振装置では、プリズムを用いて励起光を入射し、円柱体の外周面を周回するように励起光を入射する必要があるため、より多くの励起光を入射しようとした場合、入射した励起光を全て周回させることは非常に困難である(例えば励起光の径を大きくすると、円柱体の外周面への入射角が円柱体の内部で全反射するための角度を満足しない励起光が多くなる可能性がある)。
また、特許文献2に記載のマルチコアファイバ1bでは、コア部材30を複数有しているが、図8(E)〜(G)に示すように、当該コア部材30が断面のほぼ中心に配置されているため、第1クラッド部材10の外周に沿って周回するような励起光が衝突する確率は低いと推定される。
本発明は、このような点に鑑みて創案されたものであり、ファイバレーザ発振において、より多くの励起光がコア部材を励起することができ、より効率よくレーザ光を得ることができる光ファイバを提供することを課題とする。
請求項1に記載の光ファイバの製造方法は、光ファイバの長手方向に垂直な断面において、クラッド部材の縁部に複数のコア部材が配置されている光ファイバの製造方法であって、クラッド部材の外周上に、且つ長手方向にコア部材を並べ、クラッド部材が流動可能状態になるまで加熱して、コア部材をクラッド部材に押し付ける方法である。
請求項2に記載の光ファイバの製造方法は、請求項1に記載した光ファイバの製造方法にて製造した光ファイバを、クラッド部材よりも低い屈折率を有する中空部材に挿入し、光ファイバ及び中空部材との間隙を、クラッド部材と同等の屈折率を有するセラミックス前駆体あるいは、クラッド部材の屈折率以上且つコア部材の屈折率未満の屈折率を有するセラミックス前駆体で充填する方法である。
このため、より多くの励起光がコア部材を励起することができ、より効率よくレーザ光を得ることができる。
このため、励起されたレーザ光は、1本のコア部材の内部で発生する。そして、当該1本のコア部材の出力端からレーザ光を取り出す際、取り出し口が1本であるので、より小径の、より高品質のレーザ光を得ることができる。
これにより、より大きな入射面からより多くの励起光を入射することができ、より多くの励起光がコア部材を励起することができる。
これにより、複数の方向からより多くの励起光を入射することができ、より多くの励起光がコア部材を励起することができる。
これにより、更に多くの励起光がコア部材を励起することができる。
●[光ファイバの構造(図1)]
図1(A)は、本実施の形態の光ファイバ1における、長手方向(図1におけるZ軸方向)に垂直な断面図の例を示している。光ファイバ1は、コア部材30を長手方向に有しており、コア部材30にはレーザ活性物質(希土類元素であるNd、Er等)がドープされている。また、コア部材30の少なくとも一部はクラッド部材10(以下、クラッド部材10を「第1クラッド部材10」と記載する)で覆われている。また、図1に示す例では、第1クラッド部材10の外周を更に第2クラッド部材20で覆っている。
また、各部材の屈折率の関係は、コア部材30の屈折率(n30)>第1クラッド部材10の屈折率(n10)>第2クラッド部材20の屈折率(n20)>空気の屈折率となるように設定されている。なお、第2クラッド部材20は省略してもよい。
そして、複数のコア部材30を光ファイバ1の長手方向に配置し、当該複数のコア部材30が、長手方向に垂直な断面において、第1クラッド部材10の縁部に配置されている(図1(A)〜(D)参照)。
なお、光ファイバ1に配置する複数のコア部材30は、図1(E)に示すように複数本のコア部材30を配置して構成してもよいし、図1(F)及び(G)に示すように1本または複数のコア部材を、光ファイバ1の長手方向に複数回往復するように配置して構成するようにしてもよい。
次に図2を用いて、上記に説明した光ファイバ1を用いたファイバレーザ発振装置の例を説明する。図2(B)は図2(A)における長手方向に垂直な断面BBを示しており、図2(C)は図2(A)における長手方向に垂直な断面CCを示している。
図2(A)の例では、光ファイバ1の左端面から励起光Linを入射し、右端面から出力レーザ光Loutを取り出している。なお、図2(A)の例では、光ファイバ1の右端面(出力レーザ光の取り出し側の端面)では、テーパ部Mtpにて光ファイバ1をテーパ形状に絞り、複数のコア部材30を束ねている。束ねることで、複数のコア部材30による径(長手方向に垂直な径であり、図2(C)のφbundleに相当する)を小さくすることができ、出力レーザ光Loutのビーム品質を、より向上させることができる。なお、図1(F)の例に示す光ファイバ1の場合は、出力レーザ光Loutが1個所から出力されるため、束ねる必要はない。また、図1(G)の例に示す光ファイバ1の場合は束ねることが好ましい。
なお、励起光Linがコア部材30を励起させる励起部Mfiberの長さは、励起光Linが全て励起に使用されるのに充分な長さを有する。また、図2(C)に示す断面では、第1クラッド部材10及び第2クラッド部材20を残した状態の図を示したが、断面CC部分では第1クラッド部材10が残らないようにしてもよいし、第2クラッド部材20が残らないようにしてもよい。テーパ部Mtpでは、第1クラッド部材10も第2クラッド部材20も特になくてもよい。
また、光ファイバ1における出力レーザ光Loutを取り出す側の端面(図2(A)の例では、光ファイバ1の右端面)には、出力レーザ光Loutを平行光に変換するコリメートレンズ42と、平行光に変換した出力レーザ光Loutをより小さな径に集光する集光レンズ44とを配置している。このように集光した出力レーザ光Loutは、より高いビーム品質にて高い出力と精度を有しており、レーザ加工、レーザ溶接等、種々の用途に用いることが可能である。
また、テーパ部Mtpにてコア部材30を束ねることで、従来のファイバレーザ用光ファイバ(図8(B)及び(C)に示すファイバレーザ用光ファイバ)を複数本束ねるよりも小径の出力レーザ光Loutを得ることができるので、ビーム品質をより高くすることができる。
次に図3(A)〜(E)を用いて、図1に説明した光ファイバ1の製造方法の例を説明する。
まず、図3(A)に示すように、第1クラッド部材10を形成する。なお、図3の例では便宜上、第1クラッド部材10を矩形に形成したが、円柱形状または多角柱形状等に形成してもよい。
次に図3(B)に示すように、第1クラッド部材10の側面に複数のコア部材30を長手方向に平行に並べて乗せる。更に第1クラッド部材10が流動可能な状態になるまで加熱する。
そして図3(C)に示すように、コア部材30を第1クラッド部材10の方向に押し付ける(ホットプレスHP等で第1クラッド部材10内にコア部材30を押し込む)。
第2クラッド部材20を省略する場合は、図3(D)に示す状態の光ファイバ1を用いればよい。また、第2クラッド部材20を省略しない場合は、図3(D)に示す状態において、外周を更に溶液状のセラミックス前駆体(ポリシラザン等のコーティング剤)で覆い、焼成して第2クラッド部材20を形成する。このときに用いるセラミックス前駆体は、第1クラッド部材10の屈折率よりも小さな屈折率を有するものを用いる。
以上に説明した工程にて、複数のコア部材30が第1クラッド部材10の縁部に配置された光ファイバ1を実現することが可能である。
次に図4(A)〜(D)を用いて、図1に説明した光ファイバ1の製造方法とは別の製造方法の例を説明する。
まず、図4(A)に示すように、第1クラッド部材10を形成する。なお、図4の例では便宜上、第1クラッド部材10を円柱形状に形成したが、矩形または多角柱形状等に形成してもよい。
次に図4(B)に示すように、第1クラッド部材10の側面に複数のコア部材30を長手方向に平行に並べる。
そして図4(C)に示すように、外周を更に溶液状のセラミックス前駆体(ポリシラザン等のコーティング剤)で覆い、焼成する。このときに用いるセラミックス前駆体は、第1クラッド部材10と同等の屈折率を有するセラミックス前駆体あるいは、第1クラッド部材10の屈折率以上且つコア部材30の屈折率未満の屈折率を有するものを用いる。これにより、焼成したセラミックス前駆体を図4(A)で用意した第1クラッド部材10と熱結合させ、図4(A)で用意した第1クラッド部材10と焼成したセラミックス前駆体とで、新たな第1クラッド部材10を構成するとともに、コア部材30を固着する。
もしくは、第1クラッド部材10よりも低い屈折率の第2クラッド部材20(中空のガラス棒等の中空部材)を形成し、当該第2クラッド部材20の中空部に、図3(D)または図4(B)または図4(C)の状態の光ファイバを挿入する。そして、光ファイバと第2クラッド部材20との間隙を、第1クラッド部材10と同等の屈折率を有する溶液状のセラミックス前駆体あるいは、第1クラッド部材10の屈折率以上且つコア部材30の屈折率未満の屈折率を有する溶液状のセラミックス前駆体で充填し、焼成して光ファイバ1を形成する。
以上に説明した工程にて、複数のコア部材30が第1クラッド部材10の縁部に配置された光ファイバ1を実現することが可能である。
図1に示す光ファイバ1は、入射した励起光Linがより高い確率でコア部材30に衝突及び励起する構造の例を示しているが、図5〜図6に示す光ファイバ1は、より多くの励起光Linを入射することができる光ファイバ1の構造の例を示している。この場合、コア部材30は従来の光ファイバのように、中心に1本配置してもよいし、図1に示すように第1クラッド部材10の外周に複数本配置するようにすれば更に高い効率で出力レーザ光Loutを得ることができる。
なお、図5及び図6では説明のため、コア部材30の記載を省略している。
図5(A)及び(B)に示すように、励起光Linを入射する端面S(以下、「励起光入射端面S」と記載する)を、長手方向に垂直な断面に対して所定の角度(図5(B)中の角度θ)を有するように斜めの面に形成する。なお、本実施の形態では、励起光入射端面Sの形状を平面としているが、励起光入射端面Sの形状を曲面に形成してレンズ効果を持たせるようにしてもよい。
なお、この場合、入射する励起光Linの入射角(励起光入射端面Sの垂線と励起光Linとが成す角度)が大きくなると第1クラッド部材10内に入射されずに励起光入射端面Sの表面で反射してしまう励起光Linが増加し易いので、励起光Linの入射角は、できるだけ小さいほうが好ましい(図5(B)の例では入射角が0°の例を示している)。
また、この場合、第1クラッド部材10内を進行する励起光Linと、第1クラッド部材10の側面との成す角θhが大きくなり易いので、第1クラッド部材10の外周を、励起光Linを全反射する部材(ミラー等)で覆うようにしてもよい。
他の実施例として、図5(C)及び(D)に示すように、励起光入射端面Sを、多角錐状(図5(C)及び(D)の例では四角錐)に形成する。以下、図5(A)及び(B)との相違点について説明する。
この場合、励起光入射端面Sの面積が増大するだけでなく、励起光入射端面Sの各平面の法線の方向にそれぞれ励起光Linの入射手段(励起光Linの発生装置等)を配置することができるので、より多くの励起光Linを、より容易に入射することができる。
更に他の実施例として、図6(A)〜(C)に示すように、光ファイバ1を励起光Linを入射する励起光入射部Minと、入射された励起光Linが全反射しながらコア部材30を励起する励起部Mfiberとに分けた場合、励起部Mfiberの長手方向に垂直な断面の面積Sfiberよりも、励起光入射部Minの一部における、長手方向に垂直な断面の面積Smaxの方が大きくなるように励起光入射部Minを構成する。
なお、励起光Linは、励起光入射端面Sに対して垂直(入射角は0°)に入射(図6(B)参照)してもよいし、励起部Mfiber内での反射角(図6(C)におけるθ7a、θ7c)が小さくなるような入射角(図6(C)におけるθ6a、θ6c)で入射するようにしてもよい。
以下、図5(A)〜(D)と同様であるので説明を省略する。
次に、図5(A)及び(B)に示す光ファイバ1を用いたファイバレーザ発振装置について説明する。
図7(A)に示すファイバレーザ発振装置の例は、コア部材30が複数本の場合の例であり、図7(B)に示すファイバレーザ発振装置の例は、コア部材30が1本の場合の例である。図2(A)に示すファイバレーザ発振装置とはダイクロイックミラー46の取り付け方法が異なっている。以下、この相違点について説明する。
なお、図7(A)の一点鎖線部分に示すように、励起光入射端面S側のコア部材30の端面を、連結するようにしてもよい(図7(A)中のC部分)。連結したコア部材30は端面を持たないので、出力レーザ光Loutを反射する部材を設ける必要がない。
本実施の形態の説明に用いた数値は一例であり、この数値に限定されるものではない。
本実施の形態では、励起光Linに半導体レーザを用いたが、励起光には種々のものを用いることができる。
10 第1クラッド部材
20 第2クラッド部材
30 コア部材
42 コリメートレンズ
44 集光レンズ
46 ダイクロイックミラー
Lin 励起光
Lout (出力)レーザ光
Claims (2)
- 光ファイバの長手方向に垂直な断面において、クラッド部材の縁部に複数のコア部材が配置されている光ファイバの製造方法であって、
クラッド部材の外周上に、且つ長手方向にコア部材を並べ、
クラッド部材が流動可能状態になるまで加熱して、コア部材をクラッド部材に押し付ける、
ことを特徴とする光ファイバの製造方法。 - 請求項1に記載した光ファイバの製造方法にて製造した光ファイバを、クラッド部材よりも低い屈折率を有する中空部材に挿入し、
前記光ファイバ及び中空部材との間隙を、クラッド部材と同等の屈折率を有するセラミックス前駆体あるいは、クラッド部材の屈折率以上且つコア部材の屈折率未満の屈折率を有するセラミックス前駆体で充填する、
ことを特徴とする光ファイバの製造方法。
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