JP3863168B2 - 加振型接触検出センサ - Google Patents
加振型接触検出センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3863168B2 JP3863168B2 JP2005256369A JP2005256369A JP3863168B2 JP 3863168 B2 JP3863168 B2 JP 3863168B2 JP 2005256369 A JP2005256369 A JP 2005256369A JP 2005256369 A JP2005256369 A JP 2005256369A JP 3863168 B2 JP3863168 B2 JP 3863168B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stylus
- vibration
- type contact
- detection sensor
- leaf spring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
- G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
- G01B7/016—Constructional details of contacts
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/20—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring workpiece characteristics, e.g. contour, dimension, hardness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
スタイラス102は、略柱状に形成され、その先端には被測定物と接触する接触部121が設けられている。
図12中上側に配置される圧電素子103の下面および下側に配置される圧電素子103の上面には、共通電極が形成され、図中上側に配置される圧電素子103の上面には、スタイラス取付部112の2つの支持点間の中央に対応した位置で、加振手段131および検出手段132に二分されている。また、図中下側に配置される圧電素子103の下面も同様に二分されている。
これに対して、スタイラス102が、その軸方向から被測定物に接近して接触した場合、スタイラス102と被測定物の相対移動が瞬時停止出来ずにオーバーランを生じると、このオーバーランによってスタイラス102にはその軸方向に対して過大な応力がかかり、スタイラス102が塑性変形又は折損して損傷することがある。
請求項1に記載の発明は、略柱状に形成されかつ先端側に被測定物と接触する接触部を有するスタイラスと、このスタイラスを軸方向に直接的もしくは間接的に共振状態で振動させる加振手段と、前記接触部と前記被測定物との接触に際して生じる前記スタイラスの共振状態の変化から当該接触を検出する検出手段とを含んで構成される加振型接触検出手段と、ホルダとを備えた加振型接触検出センサであって、前記ホルダには、複数の板ばねを含んで構成される平行板ばねが設けられるとともに、前記加振型接触検出手段の前記加振手段および検出手段のうちの少なくとも加振手段が前記平行板ばねに支持され、前記スタイラスは、その軸方向が前記平行板ばねの弾性変形可能な方向に略沿う状態で配置され、かつ、当該スタイラスの振動の節をはさんで前記スタイラスの軸方向に沿って略等距離離隔した少なくとも一対の点において、または、前記少なくとも一対の点および前記節において、前記加振手段および検出手段のうちの少なくとも検出手段により支持され、前記平行板ばねと前記スタイラスとが互いに非接触な構成とされ、前記平行板ばねは、前記スタイラスの軸方向振動を許容しつつ、前記スタイラスが被測定物に接触して前記スタイラスに対して軸方向の力がかかった際に弾性変形して前記加振型接触検出手段を前記スタイラスの軸方向へ変位させることを特徴とするものである。
また、平行板ばねとしては、2つの板ばねで構成されたものであってもよく、または、3つ以上の板ばねから構成されたものであってもよく、2つ以上の板ばねから構成された平行板ばねを用いることによって、加振型接触検出手段のスタイラスの支持安定性を必要に応じて増すことができる。
また、軸方向に伸縮振動を行う略柱状のスタイラスにおける振動の節をはさんで等距離だけスタイラスの軸方向に離隔した少なくとも一対の点において、または、少なくとも一対の点および節において、スタイラスは、複数(支持する位置の数に対応した数)の平行な板ばねによって支持される構成であるため、スタイラスの軸方向の振動は板ばねの弾性変形によって許容される。従って、スタイラスが振動状態であっても、確実な支持が可能であるとともに、加振手段による振動が減衰することがない。なお、振動の節を挟んで略等距離だけスタイラスの軸方向に隔離した対となる点は、一対の点であってもよく、また、二対以上の複数対の点であってもよい。
また、スタイラスの接触部が被測定物と接触することによる振動状態の変化は、検出手段へ伝えられるが、板ばねはスタイラスの振動方向に対して弾性を有するので、板ばねの振動状態の変化は、スタイラスの振動状態の変化に容易に追従できる。従って、スタイラスの振動状態の変化を、確実に検出手段に伝達することができる。
さらに、スタイラスの振動の節をはさんで等距離だけスタイラスの軸方向に離隔した対となる点のみならず、必要に応じて振動の節においても板ばねによってスタイラスを支持しているので、スタイラスの振動状態を損なわずに、より確実にスタイラスの支持が可能となる。
また、前記平行板ばねには、前記加振手段および検出手段のうちの少なくとも加振手段が支持され、前記スタイラスは、前記加振手段および検出手段のうちの少なくとも検出手段により支持され、前記平行板ばねと前記スタイラスとが互いに非接触な構成になっているから、加振手段によってスタイラスを直接的もしくは間接的に共振状態で振動させ、接触部と被測定物との接触の際に生じるスタイラスの共振状態の変化を検出手段によって検出することで、スタイラスと被測定物との接触を検出できる。
検出手段に直接スタイラスを装着し、このような検出手段をたとえば平行板ばねに直接装着することで、ホルダあるいは平行板ばねとスタイラスとを互いに非接触の状態で、かつスタイラスと検出手段とを接触の状態で加振型接触検出センサを構成している。
ホルダあるいは平行板ばねとスタイラスとが互いに非接触の状態にあるため、ホルダあるいは平行板ばねによるスタイラスの振動および状態変化(振動変化)の減衰を回避でき、検出手段によるスタイラスの振動および状態変化の検出をより高感度にできる。従って、スタイラスの接触部と被測定物との接触に際して生じるスタイラスの状態変化を高感度にできるので、被測定物との接触を高感度に検出できる。
また、スタイラスの振動および状態変化は、ホルダあるいは平行板ばねによって減衰されることがないので、たとえば振動の減衰が顕著なスタイラス、アスペクト比が大きいスタイラスや、軟質材料から形成されたスタイラス等を加振型接触検出センサに用いたとしてもスタイラスの振動および状態変化を確実に検出できる。従って、測定機の種類や測定対象の種類に合わせて様々な形状や材質のスタイラスを用いることで、本発明の加振型接触検出センサの使用範囲を広めることができる。
一方、スタイラスと検出手段とが互いに接触の状態にあるため、スタイラスの振動および状態変化が検出手段に直接伝搬される。これにより、スタイラスと被測定物との接触の際に生じるスタイラスの振動変化がわずかであったとしても、検出手段で確実に検出できる。従って、スタイラスの接触部形状による検出感度の劣化を防止できる。
この発明によれば、ホルダに設けられたばね支持部により、複数の板ばねが平行に橋渡しした状態で支持されるとともに、加振型接触検出手段がこの橋渡しした状態の複数の板ばねの略中央で支持されるため、加振型接触検出手段のスタイラスの軸方向への変位可能量を犠牲にすることなく、スタイラスの支持安定性を向上させることができる。
この発明によれば、平行板ばねにおける複数の板ばねの各一端がばね支持部によって支持され、各他端が加振型接触検出手段を支持する構造であるから、板ばねを弾性変形させるために必要な応力、つまり、加振型接触検出手段をスタイラスの軸方向へ変位させるために必要な力が小さくて済む。このため、剛性の低い、たとえば通常のものより細いスタイラスを使用し、当該スタイラスの軸方向に力が加えられたとしても、小さな力で平行板ばねが弾性変形可能であるから、加振型接触検出手段をスタイラスの軸方向に変位させて逃がすことができる。これにより、スタイラスに過度の力がかかることによるスタイラスの損傷を防止することが出来る。
この発明によれば、ホルダのばね支持部と板ばね(平行板ばね)とを同一部材から、たとえば削り出しによって製作できるため、ばね支持部と板ばねの接続部の肉厚をばね支持部から板ばねにかけて徐々に薄くしていく(あるいは、ばね支持部と板ばねとでなす隅部にRをつける)等することで、ばね支持部と板ばねとの接続部分の強化を容易に図ることができる。
また、ばね支持部および平行板ばねを一体に形成しているので、両者を締結する締結手段が不要となって軽量化が図れる。
さらに、ホルダおよび加振型接触検出手段の全体の形状寸法が小さい場合には、前述の締結手段を用いることが困難となるが、ばね支持部および平行板ばねが一体形成される構造であることにより、製造が容易となる。
この発明によれば、板ばねの材質として、ばね用ステンレス、ばね用りん青銅、ばね用洋白、ベリリウム銅などの弾性能力の高いものが使用できるので、加振型接触検出手段の加振手段による常時加振や、スタイラスと被測定物との相対移動のオーバーラン(オーバートラベル)が繰り返し発生しても、板ばねの劣化を防止でき、加振型接触検出センサの長寿命化が期待できる。
また、ヤング率が30000N/mm2以上の材質を板ばねに採用すれば、平行板ばねの共振周波数および剛性が、通常の外乱(本発明の加振型接触検出センサを、たとえば測定機に装着した場合には、当該加振型接触検出センサを移動させる際に生じる振動等)の影響を大きく受けずに済む。
一方、ヤング率が110000N/mm2以下の材質を板ばねに採用すれば、スタイラスの軸方向への変位(逃げ)を十分に許容できるようになる。
この発明によれば、入手、製造共容易であるとともに、経年変化が少なくて長寿命化が可能で、かつ安価で小型な加振手段および検出手段を構成することが出来る。
この発明によれば、スタイラスの接触部が被測定物に軸方向に相対的に押込まれるような、いわゆる過大なオーバーランが生じた場合において、スタイラスを弾性変形の範囲で湾曲させることによって、オーバーラン量(つまり、軸方向の押込み量)を許容することが可能となり、スタイラスの塑性変形や折損といった損傷を防止することが出来る。特にスタイラス径に比べてスタイラス長さが長い、いわゆるアスペクト比の大きなスタイラスの場合において、特に顕著な効果がある。
この発明によれば、スタイラスに部分的に剛性が異なる部分を設けることで、スタイラスを一定の方向へ湾曲しやすくなるように形成しているので、スタイラスの軸方向において過大な外力がかかった場合、スタイラスが一定の方向へ容易に湾曲して、外力を許容できるようになり、スタイラスの塑性変形や折損などによる損傷を防止することが出来る。
この発明によれば、スタイラスが軸方向において被測定物に過大に押込まれた場合、すなわち、スタイラスの軸方向において過大な力がかかった場合、スタイラスの軸に直交する面内の特定角度領域の剛性が低くされているため、その方向にスタイラスの湾曲が容易に発生して、オーバーラン量を許容することが容易となり、スタイラスの塑性変形や折損などによる損傷を防止することが出来る。
この発明によれば、ホルダを介して加振型接触検出センサを、移動部材、例えば三次元測定機のZ軸スピンドルへ取り付けた場合において、この三次元測定機のZ軸とスタイラスの軸との間に若干の傾斜を持たせておくことにより、スタイラスがZ軸方向へ被測定物に対して過大に押込まれた場合に、スタイラスにかかる力の成分はスタイラスの軸に対して傾斜しているため、スタイラスの湾曲が容易に発生してオーバーラン量を許容することが容易となり、スタイラスの塑性変形や折損などによる損傷を防止することが出来る。
この発明によれば、スタイラスの中心軸上には、接触部の被測定物との接触点が配置されないから、接触部の接触点が被測定物に接触した場合、外力が、スタイラスの軸方向からオフセットされた方向にかかることとなり、スタイラスが湾曲(弾性変形)しやすくなる。従って、スタイラスと被測定物との相対移動にオーバーランが生じても、オーバーランをスタイラスの湾曲変形によって許容することができるから、スタイラスの塑性変形や折損等を防止することができる。
[第1実施形態]
図1には、本発明の第1実施形態に係る加振型接触検出センサ1が示されている。この加振型接触検出センサ1は、ベリリウム銅から形成されたホルダ10と、スタイラス20と、固体素子としての圧電素子30とを備えている。ここで、スタイラス20と圧電素子30は加振型接触検出手段を構成している。
ホルダ10は、図示しない三次元測定機等の移動軸に取り付けるための固定部11と、この固定部11から平行に延びた一対の腕部12と、これら腕部12と略直交して一対の腕部12の先端の間に配置された平行板ばねとしての平行板ばね部14とを備えている。
平行板ばね部(圧電素子支持部)14は、スタイラス20の軸方向と略直交する方向に沿って配列されかつ各々がスタイラス20の軸方向へ弾性変形可能な一対の板ばね141から構成されている。これら一対の板ばね141の両端は、ばね支持部13を介して、それぞれ一対の腕部12の先端で支持されている。また、各板ばね141の略中央では、スタイラス20および圧電素子30からなる加振型接触検出手段を支持している。
ここで、ホルダ10を構成する固定部11、一対の腕部12、ばね支持部13、および平行板ばね部14は、一体に形成されている。
この圧電素子30は、平行板ばね部(圧電素子支持部)14の一対の板ばね141に跨った状態で、接着、はんだ付け等により平行板ばね部14に装着されている。圧電素子30の平行板ばね部14との装着面(図中下側の面)には、図示しない共通電極が形成され、装着面と反対側の面(図中上側の面)には、その中央で分割された2つ電極31A,32Aが形成されている。
一方、接触部21と被測定物との接触に際して生じるスタイラス20の共振状態の変化を検出する検出手段32は、圧電素子30に検出用電極32Aを形成し、この検出用電極32Aに検出信号を取り出すためのリード線(図示せず)を設けることで構成されている。
また、スタイラス20は、2つの電極31A,32A間に位置しており、かつ、その重心位置が圧電素子30の略中心上に位置している。
具体的には、加振手段31によってスタイラス20が軸方向に沿って共振状態で振動する。この状態において、被測定物と加振型接触検出センサ1とを相対移動させ、接触部21が被測定物に接触すると、スタイラス20の振動が拘束され、スタイラス20の共振状態(振動)に変化が生じる。この共振状態の変化を検出手段32によって検出することで、スタイラス20と被測定物との接触を検出できるようになる。
スタイラス20の軸方向がZ軸方向に略沿った状態で、加振型接触検出センサ1をZ軸スライダに取付け、この後に、Z軸スライダをZ軸方向へ移動させて、被測定物に略垂直にスタイラス20を接触させれば、Z軸方向の座標を測定することが可能であるが、この場合、スタイラス20の接触部21が被測定物に接触した瞬間にZ軸スライダを停止させる必要がある。
ところが、実際には、Z軸スライダには一定の慣性があることと、制御遅れのため、余程の低速でスタイラス20を移動させない限り、接触部21が接触した瞬間にZ軸スライダを停止させることは困難である。具体的には、数mm/s程度の速度でZ軸スライダを移動させてスタイラス20を被測定物に接触させた場合、数μm程度のオーバーラン(オーバートラベル)が発生する。
この時、スタイラス20は軸方向にオーバーラン量だけ被測定物に押込まれることになり、スタイラス20の形状、材質によっては塑性変形や折損等の損傷の原因となる。
この結果、スタイラス20の軸方向に無理な力が加わることを防止でき、スタイラス20と被測定物との相対移動でオーバーラン(オーバートラベル)が発生してもスタイラス20の塑性変形や折損などによる損傷を防止することが出来る。
(1)検出手段32に直接スタイラス20を装着し、圧電素子30の加振手段31および検出手段32のうち、少なくとも加振手段31をホルダ10の平行板ばね部14に装着することで、ホルダ10とスタイラス20とを互いに非接触の状態で加振型接触検出センサ1を構成している。なお、本実施形態では、圧電素子30の加振手段31および検出手段32の両方をホルダ10の平行板ばね部14に装着している。
ホルダ10の平行板ばね部14とスタイラス20とが互いに非接触の状態にあるため、ホルダ10によるスタイラス20の振動および状態変化(振動変化)の減衰を回避でき、検出手段32によるスタイラス20の振動および状態変化の検出を高感度にできる。従って、スタイラス20の接触部21と被測定物との接触に際して生じるスタイラス20の状態変化を高感度にできるので、被測定物との接触を高感度に検出できる。
図3および図4には、本発明の第2実施形態に係る加振型接触検出センサ2が示されている。ここにおいて、本実施形態と前述の第1実施形態とは、圧電素子へのスタイラスの装着位置が異なるのみで、その他の構成および作用は同一であるから、同一符号を付してそれらの説明を省略、または簡略する。
スタイラス20は、圧電素子30の平行板ばね部14への装着面に装着されている。ここで、ホルダ10の平行板ばね部14の各板ばね141には、スタイラス20の軸方向へ沿う溝部13Bが切り欠いて形成されている。圧電素子30は、図4にも示すように、この溝部13Bを跨いだ状態で平行板ばね部14に装着されており、スタイラス20は、圧電素子30と溝部13Bとで形成される空間内に配置されている。ここにおいて、ホルダ10の平行板ばね部14とスタイラス20とが互いに非接触の状態とされ、かつスタイラス20と圧電素子30、すなわち検出手段32とが互いに接触の状態とされている。
(6)ホルダ10の平行板ばね部14には、スタイラス20の軸方向へ沿う溝部13Bが形成されるとともに、この溝部13Bには、圧電素子30の加振手段31および検出手段32のうちの少なくとも加振手段31が跨って設けられ、スタイラス20は、加振手段31および検出手段32のうちの少なくとも検出手段32に装着され、かつ、溝部13Bと加振手段31とで形成される空間内に配置されている。
具体的に、本実施形態では、溝部13Bに圧電素子30が跨って設けられ、スタイラス20は、加振手段31および検出手段32に装着され、かつ、溝部13Bと圧電素子30とで形成される空間内に配置されている。従って、加振型接触検出センサ2において、スタイラス20をホルダ10の平行板ばね部14と加振手段31(圧電素子30)とで挟み込んだ状態で設けても、ホルダ10とスタイラス20とを互いに非接触の状態で構成できる。
図5には、本発明の第3実施形態に係る加振型接触検出センサ3が示されている。ここにおいて、本実施形態と前述の第1実施形態とは、加振手段および検出手段が一つの圧電素子で構成されるかそれぞれ別個の圧電素子で構成されるかが異なるのみで、その他の構成および作用は同一であるから、同一符号を付してそれらの説明を省略、または簡略する。
(7)加振手段31および検出手段32は、それぞれ別個の圧電素子41,42から構成されているので、それらの電極構造を簡素化できる。
図6には、本発明の第4実施形態に係る加振型接触検出センサ4が示されており、この加振型接触検出センサ4は、第1実施形態の加振型接触検出センサ1と、平行板ばね部が3つの板ばねから構成されている点、平行板ばね部を構成する3つの板ばねの各一端がばね支持部を介して一本の腕部で支持されている点、スタイラスが直接平行板ばね部に装着されている点において異なる。
本実施形態のホルダ10では、固定部11から延びた一本の腕部12の先端に、ばね支持部13を介して平行板ばね部14が一体に設けられている。この平行板ばね部14は、スタイラス20の軸方向と略直交する方向に沿って配列されかつ各々がスタイラス20の軸方向へ弾性変形可能な3つの板ばね141から構成されている。
平行板ばね部14の3つの板ばね141によるスタイラス20の支持部位は、スタイラス20の軸方向振動における節20A、および、この振動の節20Aをはさんで略等距離dだけスタイラス20の軸方向に離隔した一対の点20B,20Cの計3個所としている。
このような構成では、加振手段31は平行板ばね部14を加振し、その結果スタイラス20が加振される。スタイラス20の接触部21が被測定物に接触してスタイラス20の振動状態が変化すると、この状態変化は、平行板ばね部14を経由して検出手段32に伝えられる。
(8)すなわち、平行板ばね部14によってスタイラス20を支持するようにし、更にスタイラス20の支持部位を節20Aおよび節20Aを挟んで軸方向に略等距離離隔した一対の点20B,20Cの3個所にしたので、確実な支持が行える上、振動の減衰を軽減することが出来る。又、スタイラス20が被測定物に対してオーバーランした場合でも、平行板ばね部14においてオーバーラン量に応じた変形によってオーバーラン量を許容できるので、スタイラス20に対して無理な力がかからず、スタイラス20の塑性変形や折損などによる損傷を防ぐことが出来る。
たとえば、第2実施形態において、溝部13Bは、ホルダ10の平行板ばね部14に切り欠いて形成されているが、これに限らず、図7の第1変形例に示すような溝部13Cであってもよい。
具体的に、図7(A)に示すように、平行板ばね部14の各板ばね141には、その長手方向へ沿って所定間隔をあけて一対の突部13Dが形成され、これら一対の突部13D間に溝部13Cが形成されている。圧電素子30は、一対の平行板ばね部14に形成された計4つの突部13Dに跨って設けられ、スタイラス20は、圧電素子30と溝部13Cとで形成される空間内に配置されている。これにより、突部13Dを設けることで形成された溝部13Cであっても、図7(B)にも示すように、平行板ばね部14とスタイラス20とを互いに非接触の状態に、つまりホルダ10とスタイラス20とを互いに非接触の状態にできる。
このように用いられる測定機の測定対象に応じて、スタイラスの接触部の形状を適宜決定することで、スタイラスと被測定物とが接触した際のスタイラスの振動の変化がより顕著となり、スタイラスと被測定物との接触をより高感度に検出できる。
また、平行板ばね部の板ばね、2個あるいは3個の場合を示したが、4個以上としても良い。
すなわち、図10(A)のスタイラス50に対して、オーバーランなどによって、その軸方向に過度な力が加わった場合、同図(B)のようにスタイラス50は弾性変形して一定角度方向へ湾曲し、これにより、軸方向の過度な力を許容できるようになる。
この場合、スタイラス50の軸の直交面内において、軸を中心とした一定角度領域(同図(B)の右方向)の剛性を低下させてあるが、スタイラス50の軸の直交面内における、軸を中心とした全周囲に渡る質量は一定となる形状としている。これにより、軸方向に加振した場合でも、振動の偏りがなく、軸方向にのみ振動させることが出来るようにしている。
なお、部分的に剛性が異なる部分が設けられたスタイラスとしては、スタイラス軸方向の略全てに渡って軸非対称形状を有するスタイラス50に限らず、スタイラス軸方向に渡って部分的に軸非対称形状を有するスタイラスであってもよく、要するに、一定の方向へ湾曲(弾性変形)しやすくなるように形成されたものであればよい。
このスタイラス60は、図11(A)にしめすように、スタイラス60の中心軸C上に、接触部21の被測定物と接触する接触点Pが配置されないように構成されている。
このような構成において、図11(A)のスタイラス60が下降して、接触部21の接触点Pが被測定物に接触した場合(図11(B)の状態)、外力が、スタイラス60の軸方向からオフセットされた方向にかかることとなり、スタイラス60が湾曲(弾性変形)しやすくなる。従って、スタイラス60と被測定物との相対移動にオーバーランが生じても、オーバーランをスタイラス60の湾曲変形によって許容することができるから、スタイラス60の塑性変形や折損等を防止することができる。
なお、このようなスタイラス60においても、上述したスタイラス50と同様に、カウンタバランスを必要に応じて設ける等して、軸を中心とした全周囲に渡る質量は一定となる形状としている。これにより、軸方向に加振した場合でも、振動の偏りがなく、軸方向にのみ振動させることが出来るようにしている。
また、上述したようなスタイラス50,60を加振型接触検出センサに採用した場合には、スタイラス自身の弾性変形によって、軸方向にかかる外力を許容できるので、平行板ばねを介してホルダに装着しなくともよく、比較的剛性のある支持部を介してホルダに装着しても良い。
10 ホルダ
13B 溝部
13 ばね支持部
14 平行板ばね
20,50,60 スタイラス
21,21A,21B,21C 接触部
31 加振手段
32 検出手段
30,41,42 固体素子である圧電素子
141 板ばね
Claims (11)
- 略柱状に形成されかつ先端側に被測定物と接触する接触部を有するスタイラスと、このスタイラスを軸方向に直接的もしくは間接的に共振状態で振動させる加振手段と、前記接触部と前記被測定物との接触に際して生じる前記スタイラスの共振状態の変化から当該接触を検出する検出手段とを含んで構成される加振型接触検出手段と、
ホルダとを備えた加振型接触検出センサであって、
前記ホルダには、複数の板ばねを含んで構成される平行板ばねが設けられるとともに、
前記加振型接触検出手段の前記加振手段および検出手段のうちの少なくとも加振手段が前記平行板ばねに支持され、
前記スタイラスは、その軸方向が前記平行板ばねの弾性変形可能な方向に略沿う状態で配置され、かつ、当該スタイラスの振動の節をはさんで前記スタイラスの軸方向に沿って略等距離離隔した少なくとも一対の点において、または、前記少なくとも一対の点および前記節において、前記加振手段および検出手段のうちの少なくとも検出手段により支持され、
前記平行板ばねと前記スタイラスとが互いに非接触な構成とされ、
前記平行板ばねは、前記スタイラスの軸方向振動を許容しつつ、前記スタイラスが被測定物に接触して前記スタイラスに対して軸方向の力がかかった際に弾性変形して前記加振型接触検出手段を前記スタイラスの軸方向へ変位させることを特徴とする加振型接触検出センサ。 - 請求項1に記載の加振型接触検出センサにおいて、
前記ホルダには、前記平行板ばねを支持するばね支持部が設けられ、
前記平行板ばねは、各板ばねの両端が前記ばね支持部に支持されているとともに、
前記加振手段は、前記平行板ばねの各板ばねの略中央で支持されていることを特徴とする加振型接触検出センサ。 - 請求項1に記載の加振型接触検出センサにおいて、
前記ホルダには、前記平行板ばねを支持するばね支持部が設けられ、
前記平行板ばねは、各板ばねの一端が前記ばね支持部に支持されているとともに、
前記加振手段は、前記平行板ばねの各板ばねの他端に支持されていることを特徴とする加振型接触検出センサ。 - 請求項2または請求項3に記載の加振型接触検出センサにおいて、
前記平行板ばねは、前記ばね支持部と同一材質により一体に形成されていることを特徴とする加振型接触検出センサ。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の加振型接触検出センサにおいて、
前記平行板ばねの材質のヤング率は、30000N/mm2〜110000N/mm2であることを特徴とする加振型接触検出センサ。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の加振型接触検出センサにおいて、
前記加振手段および前記検出手段の各々は、圧電素子、磁歪素子、形状記憶素子の何れかにより構成されていることを特徴とする加振型接触検出センサ。 - 請求項1に記載の加振型接触検出センサにおいて、
前記スタイラスは、その軸方向に外力が加わったときに、弾性変形して湾曲することで、前記外力を許容することを特徴とする加振型接触検出センサ。 - 請求項7に記載の加振型接触検出センサにおいて、
前記スタイラスには、部分的に剛性が異なる部分が設けられ、これにより、前記スタイラスが、一定の方向へ湾曲しやすく形成されていることを特徴とする加振型接触検出センサ。 - 請求項8に記載の加振型接触検出センサにおいて、
前記スタイラスの軸方向剛性はこの軸の直交面内において、軸を中心とした一定角度領域の剛性を低下させることにより、前記スタイラスに対してこの軸方向に力が加えられた場合に、前記スタイラスは前記一定角度方向へ湾曲することを特徴とする加振型接触検出センサ。 - 請求項7に記載の加振型接触検出センサにおいて、
当該加振型接触検出センサを、前記ホルダを介して、所定方向へ移動可能な移動部材に装着した場合、前記スタイラスの軸方向は、前記移動部材の移動方向に対して、傾斜して配置されていることを特徴とする加振型接触検出センサ。 - 請求項7に記載の加振型接触検出センサにおいて、
前記スタイラスの中心軸上には、前記接触部における前記被測定物との接触点が配置されないことを特徴とする加振型接触検出センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005256369A JP3863168B2 (ja) | 2000-05-15 | 2005-09-05 | 加振型接触検出センサ |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000141469 | 2000-05-15 | ||
JP2005256369A JP3863168B2 (ja) | 2000-05-15 | 2005-09-05 | 加振型接触検出センサ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001126410A Division JP3819250B2 (ja) | 2000-05-15 | 2001-04-24 | 加振型接触検出センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005345483A JP2005345483A (ja) | 2005-12-15 |
JP3863168B2 true JP3863168B2 (ja) | 2006-12-27 |
Family
ID=18648578
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001126410A Expired - Fee Related JP3819250B2 (ja) | 2000-05-15 | 2001-04-24 | 加振型接触検出センサ |
JP2005256369A Expired - Fee Related JP3863168B2 (ja) | 2000-05-15 | 2005-09-05 | 加振型接触検出センサ |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001126410A Expired - Fee Related JP3819250B2 (ja) | 2000-05-15 | 2001-04-24 | 加振型接触検出センサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6516669B2 (ja) |
JP (2) | JP3819250B2 (ja) |
CN (1) | CN1165747C (ja) |
DE (1) | DE10123499B4 (ja) |
GB (1) | GB2367361B (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3500125B2 (ja) * | 2001-02-14 | 2004-02-23 | 株式会社ミツトヨ | 弾性体の振動検出システム |
US7735358B2 (en) * | 2003-11-17 | 2010-06-15 | Insitutec, Inc. | Self-sensing tweezer devices and associated methods for micro and nano-scale manipulation and assembly |
WO2008045129A2 (en) | 2006-02-09 | 2008-04-17 | Leupold & Stevens, Inc. | Multi-color reticle for ballistic aiming |
NL1031573C2 (nl) * | 2006-04-12 | 2007-10-16 | Univ Eindhoven Tech | Meettastelement voor het aftasten van een meetoppervlak. |
GB0608998D0 (en) | 2006-05-08 | 2006-06-14 | Renishaw Plc | Contact sensing probe |
GB2465919B (en) * | 2006-05-10 | 2010-12-08 | Owen Mumford Ltd | Injection device with cap that can be re-fitted post injection |
JP4918427B2 (ja) | 2007-08-01 | 2012-04-18 | 株式会社ミツトヨ | 共振センサの測定位置検出方法及び装置 |
US8485025B2 (en) * | 2007-12-14 | 2013-07-16 | InSituTec, LLC | Standing wave fibers for the detection of nucleic acids |
KR100996227B1 (ko) * | 2008-08-01 | 2010-11-23 | 한국표준과학연구원 | 에스피엠 나노탐침 및 그 제조방법 |
AU2010273749B2 (en) * | 2009-06-30 | 2015-04-02 | Hexagon Metrology Ab | Coordinate measurement machine with vibration detection |
JP2011143484A (ja) * | 2010-01-13 | 2011-07-28 | Nihon Id System Kk | 位置検出センサ |
DE102012018417B4 (de) * | 2012-09-12 | 2015-04-23 | Hans-Holger Anger | Tasteinrichtung und Messeinrichtung mit einer derartigen Tasteinrichtung |
JP6108757B2 (ja) | 2012-10-19 | 2017-04-05 | 株式会社ミツトヨ | 複円錐型スタイラスの校正方法 |
JP6122312B2 (ja) | 2013-02-28 | 2017-04-26 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機 |
US9377282B2 (en) | 2013-09-03 | 2016-06-28 | Mitutoyo Corporation | Method for validating a workpiece measurement in a dimensional metrology hand tool |
JP6473999B2 (ja) * | 2015-06-01 | 2019-02-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | スタイラス |
JP6212148B2 (ja) * | 2016-02-26 | 2017-10-11 | 株式会社ミツトヨ | 測定プローブ |
JP6216400B2 (ja) * | 2016-02-26 | 2017-10-18 | 株式会社ミツトヨ | 測定プローブ |
CN105937875B (zh) * | 2016-06-30 | 2018-10-19 | 西安交通大学 | 一种动态间隙测量仪及其测量方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2006435B (en) | 1977-10-22 | 1982-09-22 | Renishaw Electrical Ltd | Contact-sensing probe |
SU1095065A2 (ru) * | 1979-11-05 | 1984-05-30 | Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков | Измерительна головка |
DE4243284C2 (de) * | 1992-12-21 | 1996-09-12 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Tastelement für Koordinatenmeßsysteme |
JPH08509299A (ja) * | 1994-02-18 | 1996-10-01 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 測定プローブ |
GB2289759B (en) * | 1994-05-11 | 1996-05-22 | Khaled Karrau | Coupled oscillator scanning imager |
DE19513529A1 (de) * | 1995-04-10 | 1996-10-17 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung zur Erfassung der Topographie einer Oberfläche |
JP3587915B2 (ja) * | 1995-10-13 | 2004-11-10 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プローブ |
US5822877A (en) * | 1996-06-20 | 1998-10-20 | Brown & Sharpe Manufacturing Company | Multi-probe system for dimensional metrology |
JP3197860B2 (ja) * | 1997-12-24 | 2001-08-13 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プローブ |
JP3130289B2 (ja) | 1998-08-04 | 2001-01-31 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プローブ |
JP2000055607A (ja) * | 1998-08-11 | 2000-02-25 | Mitsutoyo Corp | タッチ信号プローブ |
JP3650555B2 (ja) * | 1999-09-27 | 2005-05-18 | 株式会社ミツトヨ | タッチセンサ |
-
2001
- 2001-04-24 JP JP2001126410A patent/JP3819250B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-05-15 CN CNB011212683A patent/CN1165747C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-15 GB GB0111849A patent/GB2367361B/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-15 US US09/855,986 patent/US6516669B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-15 DE DE10123499A patent/DE10123499B4/de not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-09-05 JP JP2005256369A patent/JP3863168B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB0111849D0 (en) | 2001-07-04 |
GB2367361A (en) | 2002-04-03 |
JP2005345483A (ja) | 2005-12-15 |
JP3819250B2 (ja) | 2006-09-06 |
US6516669B2 (en) | 2003-02-11 |
DE10123499A1 (de) | 2002-02-21 |
CN1165747C (zh) | 2004-09-08 |
DE10123499B4 (de) | 2011-03-10 |
US20020005062A1 (en) | 2002-01-17 |
JP2002039737A (ja) | 2002-02-06 |
CN1325018A (zh) | 2001-12-05 |
GB2367361B (en) | 2002-09-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3863168B2 (ja) | 加振型接触検出センサ | |
JP3546057B2 (ja) | 接触プローブ | |
JP5446187B2 (ja) | 振動片および振動型センサ | |
JP2008504555A (ja) | 座標測定器に使用するための測定用探針 | |
CN109828123B (zh) | 一种基于长周期光纤光栅弯曲特性的二维加速度传感器及测量方法 | |
US20110100125A1 (en) | Acceleration sensor | |
JP2625364B2 (ja) | タッチ信号プローブ | |
JP3130289B2 (ja) | タッチ信号プローブ | |
JP3197860B2 (ja) | タッチ信号プローブ | |
JP3650555B2 (ja) | タッチセンサ | |
US6895819B1 (en) | Acceleration sensor | |
JP3140476U (ja) | 加振型接触検出センサ | |
JP5446175B2 (ja) | 振動型センサ | |
JP3587915B2 (ja) | タッチ信号プローブ | |
JP3140322U (ja) | 加振型接触検出センサ | |
JP2000258332A (ja) | 原子間力顕微鏡のための垂直力検出用カンチレバー | |
JP5089807B2 (ja) | 物理量センサ | |
KR101939982B1 (ko) | 1자유도 가진모드를 가지는 멤스 자이로스코프 | |
JP3650556B2 (ja) | タッチセンサ | |
JP3127831U (ja) | プローブ | |
JPH1047941A (ja) | タッチ信号プローブ | |
JP3650496B2 (ja) | タッチ信号プローブ | |
EP4148372A1 (en) | Measurement probe | |
JPH1073430A (ja) | タッチ信号プローブ | |
JP3818881B2 (ja) | 接触型センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050905 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060307 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060501 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060530 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060724 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060912 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060927 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3863168 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091006 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121006 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121006 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151006 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |