JP3140322U - 加振型接触検出センサ - Google Patents
加振型接触検出センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3140322U JP3140322U JP2008000048U JP2008000048U JP3140322U JP 3140322 U JP3140322 U JP 3140322U JP 2008000048 U JP2008000048 U JP 2008000048U JP 2008000048 U JP2008000048 U JP 2008000048U JP 3140322 U JP3140322 U JP 3140322U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stylus
- holder
- detection sensor
- elastic piece
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
【課題】振動特性を維持でき、接触時の負荷を受ける方向によって生じる剛性の差が測定精度に与える影響を軽減できるとともに、製造中、使用中の取扱いを容易にできる加振型接触検出センサを提供すること。
【解決手段】スタイラス本体21および接触部22を有するスタイラス2と、加振手段31と、検出手段32と、スタイラス2と所定間隔を有して配置されるスタイラスホルダ1と、一端がスタイラスホルダ1に連接され、他端がスタイラス本体21に連接される互いに平行な複数の弾性片4とを備える。スタイラス本体21は、その軸方向が弾性片4の弾性変形可能な方向に略沿う状態で配置される。弾性片4の弾性変形可能な方向に対して直交し、かつ、弾性片4の長手方向に対して直交する方向に沿ったスタイラスホルダ1の厚さ寸法は、弾性片4の厚さ寸法よりも大きく形成されている。
【選択図】図1
【解決手段】スタイラス本体21および接触部22を有するスタイラス2と、加振手段31と、検出手段32と、スタイラス2と所定間隔を有して配置されるスタイラスホルダ1と、一端がスタイラスホルダ1に連接され、他端がスタイラス本体21に連接される互いに平行な複数の弾性片4とを備える。スタイラス本体21は、その軸方向が弾性片4の弾性変形可能な方向に略沿う状態で配置される。弾性片4の弾性変形可能な方向に対して直交し、かつ、弾性片4の長手方向に対して直交する方向に沿ったスタイラスホルダ1の厚さ寸法は、弾性片4の厚さ寸法よりも大きく形成されている。
【選択図】図1
Description
本考案は、加振型接触検出センサに関し、例えば、三次元測定機等によって被測定物の形状等を測定する場合に用いられる。
従来、被測定物の形状や寸法の測定を行う測定機としてハイトゲージ(一次元測定機)、三次元測定機、表面性状測定機や小穴測定機等が知られている。これらの測定機には、測定機本体と被測定物との位置関係を検出するために各種プローブが使用される。これらのプローブは、非接触式プローブと接触式プローブとに、あるいは連続測定プローブとタッチトリガプローブ等に分類される。
上述したような測定機の接触式タッチトリガプローブとしては、図5に示すような加振型接触検出センサ100が知られている(特許文献1参照)。この加振型接触検出センサ100は、スタイラスホルダ101と、スタイラス102と、2枚の圧電素子103を含んで構成される。スタイラスホルダ101は、図示しない測定機の移動軸に取り付けるための固定部111と、一対の腕部112とを備える。スタイラス102は、腕部112との間に配置された弾性片104によって支持される。また、スタイラス102の先端には、被測定物と接触する接触部121が設けられる。
一対の腕部112、弾性片104およびスタイラス102は、同じ厚さ寸法(図中のT1で示す寸法)を有する。厚さ寸法T1は、固定部111の厚さ寸法T2よりも小さくなっている。
圧電素子103は、スタイラス102を跨いだ状態で装着され、スタイラス102を軸方向に共振状態で加振するとともに、接触部121と被測定物との接触に際して生じるスタイラス102の共振状態の変化を検出するためのものである。
圧電素子103は、スタイラス102を跨いだ状態で装着され、スタイラス102を軸方向に共振状態で加振するとともに、接触部121と被測定物との接触に際して生じるスタイラス102の共振状態の変化を検出するためのものである。
このような構成において、圧電素子103でスタイラス102を加振すると、スタイラス102が軸方向に沿って共振状態で振動する。この状態で、接触部121が被測定物に接触すると、スタイラス102の共振状態に変化が生じるため、この変化を圧電素子103で検出することで、接触部121と被測定物との接触を検出できるようになる。
前述の特許文献1に記載の加振型接触検出センサ100では、図5(B)に示すように、腕部112およびスタイラス102が同一の厚さ寸法T1で形成され、この厚さ寸法T1は、固定部111の厚さ寸法T2よりも小さくなっている。すなわち、スタイラスホルダ101は、固定部111に対して腕部112が薄く削られた形状であるため、接触部121に外部負荷が作用した際の弾性片104の長手方向(X方向)と、腕部112の厚さ方向(Y方向)とでセンサ全体の剛性の違いが生じる。
例えば、3次元形状測定機にセンサを取り付けて被測定物を測定する場合、様々な方向から被測定物にアプローチするため、上記センサを用いてタッチ測定(間欠測定)や急傾斜面の測定を行った場合、X方向とY方向とで対称な形状を測定しているにも関わらず、形状の異なった測定結果を得てしまうことがある。
例えば、3次元形状測定機にセンサを取り付けて被測定物を測定する場合、様々な方向から被測定物にアプローチするため、上記センサを用いてタッチ測定(間欠測定)や急傾斜面の測定を行った場合、X方向とY方向とで対称な形状を測定しているにも関わらず、形状の異なった測定結果を得てしまうことがある。
このようなスタイラス102の支持部分の形状による剛性の違いによって、接触部121が被測定物に接触した際の、センサ全体のX方向の撓み量と、Y方向の撓み量とが異なり、検出感度の違い(方向依存性)が生じて、測定精度に影響を与えるという問題があった。
特に、ナノメートルオーダーの測定精度が必要とされる場合には、各方向での撓み量の差による測定精度に与える影響が大きい。
これに対して、センサ全体のY方向の厚さ寸法を大きくして、Y方向の剛性を確保することが考えられるが、圧電素子103によって加振されるスタイラス102および弾性片104の部分に関しては、厚みを変更すると、測定力の検出感度、振動周波数やQ値(共振状態の鋭さを示す指数)が大きく変化し、センサとしての機能を果たさなくなる可能性もある。そのため、センサの基本的な構造部分を変更しないで剛性を確保したいという要求が大きかった。
また、従来の構造では、センサ全体の剛性が十分でなく、製造中、使用中にセンサが破損し易く、取扱いが容易でなかった。
特に、ナノメートルオーダーの測定精度が必要とされる場合には、各方向での撓み量の差による測定精度に与える影響が大きい。
これに対して、センサ全体のY方向の厚さ寸法を大きくして、Y方向の剛性を確保することが考えられるが、圧電素子103によって加振されるスタイラス102および弾性片104の部分に関しては、厚みを変更すると、測定力の検出感度、振動周波数やQ値(共振状態の鋭さを示す指数)が大きく変化し、センサとしての機能を果たさなくなる可能性もある。そのため、センサの基本的な構造部分を変更しないで剛性を確保したいという要求が大きかった。
また、従来の構造では、センサ全体の剛性が十分でなく、製造中、使用中にセンサが破損し易く、取扱いが容易でなかった。
本考案の目的は、振動特性を維持でき、接触時の負荷を受ける方向によって生じる剛性の差が測定精度に与える影響を軽減できるとともに、製造中、使用中の取扱いを容易にできる加振型接触検出センサを提供することである。
本考案の加振型接触検出センサは、略軸状に形成されたスタイラス本体と、このスタイラス本体の先端部に設けられ被測定物に接触する接触部とを有するスタイラスと、前記スタイラスを共振状態で振動させる加振手段と、前記接触部と前記被測定物との接触に際して生じる前記スタイラスの共振状態の変化から当該接触を検出する検出手段と、前記スタイラスに所定間隔隔てて配置されるホルダと、前記スタイラスと前記ホルダとの間に配置され、一端が前記ホルダに連接され、他端が前記スタイラス本体に連接される互いに平行な複数の弾性片と、を備えて構成される加振型接触検出センサであって、前記スタイラス本体は、当該スタイラス本体の軸方向が前記弾性片の弾性変形可能な方向に略沿う状態で配置され、前記弾性片の弾性変形可能な方向に対して直交し、かつ、前記弾性片の長手方向に対して直交する方向に沿った前記ホルダの厚さ寸法は、このホルダの厚さ方向と同方向に沿った前記弾性片の寸法よりも大きいことを特徴とする。
ここで、例えば、従来のセンサにおいて、スタイラスを支持する部分の厚さ方向(Y方向)の寸法を変更せずに、ホルダの厚さ方向(Y方向)の寸法だけを大きくしてもよい。
この構成によれば、ホルダのY方向の寸法が、弾性片のY方向の寸法よりも大きいので、スタイラス、加振手段および検出手段については従来のセンサと同一の構造であっても、センサ全体でのY方向の剛性を従来よりも高めることができ、剛性の方向依存性を低減できる。従って、センサの振動特性を維持したまま、接触時の負荷を受ける方向によって生じる剛性の差が測定精度に与える影響を軽減できる。
この構成によれば、ホルダのY方向の寸法が、弾性片のY方向の寸法よりも大きいので、スタイラス、加振手段および検出手段については従来のセンサと同一の構造であっても、センサ全体でのY方向の剛性を従来よりも高めることができ、剛性の方向依存性を低減できる。従って、センサの振動特性を維持したまま、接触時の負荷を受ける方向によって生じる剛性の差が測定精度に与える影響を軽減できる。
さらに、従来、製造中や使用中に、接触等の外力がセンサに作用してセンサが破損する可能性があったが、ホルダの剛性が向上するので、ホルダがスタイラス部分を防護してセンサの破損を抑制できる。従って、製造中や使用中のセンサの取扱いを容易にすることができる。
本考案のセンサに係る形状を用いて有限要素法による各方向の剛性を算出したところ、図4に示すように、従来のセンサでは、Y方向の剛性がX方向の剛性に対して30%しか得られなかったのに対して、本考案のセンサによれば、センサの振動特性を維持したまま、Y方向の剛性を90%まで向上させることができることが確認できた。
本考案の加振型接触検出センサでは、前記ホルダは、固定部と、この固定部から平行に延設される一対の腕部とを含んで構成され、前記スタイラスは、前記一対の腕部の間に配置され、かつ、前記スタイラス本体の軸方向が前記腕部の延設方向に略沿う状態で配置され、前記弾性片は、前記スタイラス本体と前記一対の各腕部との間にそれぞれ複数設けられることが好ましい。
この構成によれば、ホルダが固定部と一対の腕部とによって略コ字状に形成され、この略コ字状の内部にスタイラスが配置される。そして、スタイラスは、その両側に配置される腕部にそれぞれ複数の弾性片で支持されるので、スタイラスの支持構造が安定し、より高い測定精度を得ることができる。
この構成によれば、ホルダが固定部と一対の腕部とによって略コ字状に形成され、この略コ字状の内部にスタイラスが配置される。そして、スタイラスは、その両側に配置される腕部にそれぞれ複数の弾性片で支持されるので、スタイラスの支持構造が安定し、より高い測定精度を得ることができる。
本考案の加振型接触検出センサでは、前記スタイラス本体と、前記ホルダと、前記弾性片とは、一体で形成されることが好ましい。
この構成によれば、スタイラス本体とホルダと弾性片とを一体構造とすることによって、これらを個別に形成して組立てる場合と比べて、組立てによる測定精度や検出感度、測定力への影響を軽減できる。
この構成によれば、スタイラス本体とホルダと弾性片とを一体構造とすることによって、これらを個別に形成して組立てる場合と比べて、組立てによる測定精度や検出感度、測定力への影響を軽減できる。
本考案の加振型接触検出センサでは、前記ホルダは、低熱膨張材で形成されることが好ましい。
この構成によれば、ホルダの材質を低熱膨張材とすることで、ホルダの熱膨張がほとんど生じなくなるので、温度変化による測定精度への影響を軽減できる。
この構成によれば、ホルダの材質を低熱膨張材とすることで、ホルダの熱膨張がほとんど生じなくなるので、温度変化による測定精度への影響を軽減できる。
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本実施形態の加振型接触検出センサ10の斜視図である。図2(A),(B)は、加振型接触検出センサ10の正面図および側面図であり、図3は、加振型接触検出センサ10の断面図である。
図1,2に示すように、加振型接触検出センサ10は、スタイラスホルダ(ホルダ)1と、スタイラス2と、2枚の圧電素子3を含んで構成される。
図1は、本実施形態の加振型接触検出センサ10の斜視図である。図2(A),(B)は、加振型接触検出センサ10の正面図および側面図であり、図3は、加振型接触検出センサ10の断面図である。
図1,2に示すように、加振型接触検出センサ10は、スタイラスホルダ(ホルダ)1と、スタイラス2と、2枚の圧電素子3を含んで構成される。
スタイラスホルダ1は、図示しない測定機の移動軸に取り付けるための固定部11と、この固定部11から平行に延びた一対の腕部12とを備える。
スタイラス2は、略軸状に形成されるスタイラス本体21と、このスタイラス本体21の先端に設けられ被測定物と接触する接触部22とから構成される。
スタイラス本体21は、スタイラスホルダ1の一対の腕部12の間に配置され、4枚の弾性片4を介して腕部12に支持される。ここで、スタイラス2の軸方向は、腕部12が固定部11から平行に延びる方向に沿うように配置される。
スタイラス2は、略軸状に形成されるスタイラス本体21と、このスタイラス本体21の先端に設けられ被測定物と接触する接触部22とから構成される。
スタイラス本体21は、スタイラスホルダ1の一対の腕部12の間に配置され、4枚の弾性片4を介して腕部12に支持される。ここで、スタイラス2の軸方向は、腕部12が固定部11から平行に延びる方向に沿うように配置される。
4枚の弾性片4は、その長手方向がスタイラス2の軸方向と略直交して配置され、一端が腕部12に連接され、他端がスタイラス2の長手方向の中央位置から等間隔の位置に連接される。このうち2枚の弾性片4は、一方の腕部12とスタイラス2との間に互いに平行に設けられ、他の2枚の弾性片4は、他方の腕部12とスタイラス2との間に同様に設けられ、4枚の弾性片4は、スタイラス本体21の軸を中心に線対称となるように配置される。各弾性片4は、スタイラス2の軸方向へ弾性変形可能となっている。
スタイラスホルダ1とスタイラス2と弾性片4とは、低熱膨張材を素材として一体に形成される。これらのうちの、スタイラス2および4枚の弾性片4は、同じ厚さ寸法(図3中のT1で示す寸法)を有する。一方、スタイラスホルダ1を構成する固定部11および一対の腕部12は、厚さ寸法T1よりも大きい厚さ寸法T2を有する。ここで厚さ寸法T1,T2とは、スタイラス2の軸方向と弾性片4の長手方向とから形成される平面の直交方向に沿った寸法、すなわち、弾性片4の弾性変形可能な方向に対して直交し、かつ、弾性片4の長手方向に対して直交する方向に沿った寸法を示す。
圧電素子3は、4枚の弾性片4によって支持される。すわなち、圧電素子3は、スタイラス2を跨いだ状態で4枚の弾性片4に装着される。2枚の圧電素子3は、スタイラス2および弾性片4で形成される平面の両側の面にそれぞれ取り付けられる。
圧電素子3は、スタイラス2を軸方向に共振状態で加振するとともに、接触部22と被測定物との接触に際して生じるスタイラス2の共振状態の変化を検出するためのものである。
圧電素子3は、スタイラス2を軸方向に共振状態で加振するとともに、接触部22と被測定物との接触に際して生じるスタイラス2の共振状態の変化を検出するためのものである。
図1に示される表側に配置される圧電素子3には、図示しない共通電極が形成される。また、圧電素子3は、スタイラス2の軸を中心に加振手段31および検出手段32に二分される。裏側に配置される圧電素子3も同様に二分される。
このような構成において、加振手段31でスタイラス2を加振すると、スタイラス2が軸方向に沿って共振状態で振動する。この状態で、接触部22が被測定物に接触すると、スタイラス2の共振状態に変化が生じるため、この変化を検出手段32で検出することで、接触部22と被測定物との接触を検出できるようになる。
[本実施形態による効果]
本実施形態によれば、次のような効果を奏することができる。
(1)スタイラスホルダ1のY方向の寸法T2が、弾性片4のY方向の寸法T1よりも大きいので、スタイラス2、弾性片4、圧電素子3については従来のセンサと同一の構造であっても、センサ全体でのY方向の剛性を従来よりも高めることができ、剛性の方向依存性を低減できる。従って、加振型接触検出センサ10の振動特性を維持したまま、接触時の負荷を受ける方向によって生じる剛性の差が測定精度に与える影響を軽減できる。
本実施形態によれば、次のような効果を奏することができる。
(1)スタイラスホルダ1のY方向の寸法T2が、弾性片4のY方向の寸法T1よりも大きいので、スタイラス2、弾性片4、圧電素子3については従来のセンサと同一の構造であっても、センサ全体でのY方向の剛性を従来よりも高めることができ、剛性の方向依存性を低減できる。従って、加振型接触検出センサ10の振動特性を維持したまま、接触時の負荷を受ける方向によって生じる剛性の差が測定精度に与える影響を軽減できる。
(2)従来、製造中や使用中に、接触等の外力が加振型接触検出センサ10に作用して加振型接触検出センサ10が破損する可能性があったが、腕部12の剛性が向上するので、腕部12がスタイラス2を防護してスタイラス2の破損を抑制できる。従って、製造中や使用中の加振型接触検出センサ10の取扱いを容易にすることができる。
(3)スタイラスホルダ1が固定部11と一対の腕部12とによって略コ字状に形成され、この略コ字状の内部にスタイラス2が配置される。そして、スタイラス2は、その両側に配置される腕部12にそれぞれ複数の弾性片4で支持されるので、スタイラス2の支持構造が安定し、より高い測定精度を得ることができる。
(4)スタイラス本体21と腕部12と弾性片4とを一体構造とすることによって、これらを個別に形成して組立てる場合と比べて、組立てによる測定精度や検出感度、測定力への影響を軽減できる。
(5)スタイラスホルダ1の材質を低熱膨張材とすることで、腕部12の熱膨張がほとんど生じなくなるので、温度変化による測定精度への影響を軽減できる。
[本考案の変形例]
なお、本考案は前述の実施形態に限定されるものではなく、本考案の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本考案に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、スタイラスホルダ1が一対の腕部12を備えて略コ字状に形成されているが、スタイラスホルダとしてはスタイラスを片持ち支持する構成であってもよい。この場合、センサは、固定部および固定部から延設される1本の腕部を備えるスタイラスホルダと、この腕部に略平行となるように配置されるスタイラスと、腕部とスタイラスとの間に配置されスタイラスを支持する複数の弾性片とを含んで構成されてもよい。
なお、本考案は前述の実施形態に限定されるものではなく、本考案の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本考案に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、スタイラスホルダ1が一対の腕部12を備えて略コ字状に形成されているが、スタイラスホルダとしてはスタイラスを片持ち支持する構成であってもよい。この場合、センサは、固定部および固定部から延設される1本の腕部を備えるスタイラスホルダと、この腕部に略平行となるように配置されるスタイラスと、腕部とスタイラスとの間に配置されスタイラスを支持する複数の弾性片とを含んで構成されてもよい。
以下、本考案の実施例について説明する。本実施例では、前記実施形態で述べた構成と略同様の構成である加振型接触検出センサを用いて、以下の評価を行う。
〔1.評価項目〕
設計モデルを用いた剛性FEM解析を実施した。ここでは、実際の測定条件下と略同じ状態となるように、スタイラス先端の接触部に各方向に沿って負荷を作用させ、各方向の剛性を算出する。
〔2.測定条件〕
スタイラスの接触部に10μNの力を各方向(X、Y、Z方向)へ作用させ、撓み量を解析し、各方向の剛性を算出する。
設計モデルを用いた剛性FEM解析を実施した。ここでは、実際の測定条件下と略同じ状態となるように、スタイラス先端の接触部に各方向に沿って負荷を作用させ、各方向の剛性を算出する。
〔2.測定条件〕
スタイラスの接触部に10μNの力を各方向(X、Y、Z方向)へ作用させ、撓み量を解析し、各方向の剛性を算出する。
〔3.結果・考察〕
図4には、加振型接触検出センサの剛性FEM解析の結果を示す。なお、従来のセンサの設計モデルでの結果を用いて、そのX方向の剛性を100として、Y、Z方向における剛性比をそれぞれ示す。
この剛性FEM解析により、まず、従来のセンサでは、Y方向の剛性がX方向の剛性の約30%であった。これに対して、本考案の加振型接触検出センサでは、Y方向の剛性がX方向の剛性の約90%となった。Z方向の剛性は従来と同程度であった。
このことから、ホルダの厚さ寸法を大きくすることで、X,Z方向の剛性を維持しつつ、Y方向の剛性のみを向上させ得ることが確認できた。
図4には、加振型接触検出センサの剛性FEM解析の結果を示す。なお、従来のセンサの設計モデルでの結果を用いて、そのX方向の剛性を100として、Y、Z方向における剛性比をそれぞれ示す。
この剛性FEM解析により、まず、従来のセンサでは、Y方向の剛性がX方向の剛性の約30%であった。これに対して、本考案の加振型接触検出センサでは、Y方向の剛性がX方向の剛性の約90%となった。Z方向の剛性は従来と同程度であった。
このことから、ホルダの厚さ寸法を大きくすることで、X,Z方向の剛性を維持しつつ、Y方向の剛性のみを向上させ得ることが確認できた。
本考案は、表面性状測定装置の加振型接触式センサに利用できる他、原子間力顕微鏡等の走査型顕微鏡の触針にも利用することができる。
1…スタイラスホルダ(ホルダ)
2…スタイラス
3…圧電素子
4…弾性片
10…加振型接触検出センサ
11…固定部
12…腕部
21…スタイラス本体
22…接触部
31…加振手段
32…検出手段
T1…弾性片の厚さ寸法
T2…ホルダの厚さ寸法
2…スタイラス
3…圧電素子
4…弾性片
10…加振型接触検出センサ
11…固定部
12…腕部
21…スタイラス本体
22…接触部
31…加振手段
32…検出手段
T1…弾性片の厚さ寸法
T2…ホルダの厚さ寸法
Claims (4)
- 略軸状に形成されたスタイラス本体と、このスタイラス本体の先端部に設けられ被測定物に接触する接触部とを有するスタイラスと、
前記スタイラスを共振状態で振動させる加振手段と、
前記接触部と前記被測定物との接触に際して生じる前記スタイラスの共振状態の変化から当該接触を検出する検出手段と、
前記スタイラスに所定間隔隔てて配置されるホルダと、
前記スタイラスと前記ホルダとの間に配置され、一端が前記ホルダに連接され、他端が前記スタイラス本体に連接される互いに平行な複数の弾性片と、を備えて構成される加振型接触検出センサであって、
前記スタイラス本体は、当該スタイラス本体の軸方向が前記弾性片の弾性変形可能な方向に略沿う状態で配置され、
前記弾性片の弾性変形可能な方向に対して直交し、かつ、前記弾性片の長手方向に対して直交する方向に沿った前記ホルダの厚さ寸法は、このホルダの厚さ方向と同方向に沿った前記弾性片の寸法よりも大きいことを特徴とする加振型接触検出センサ。 - 請求項1に記載の加振型接触検出センサにおいて、
前記ホルダは、固定部と、この固定部から平行に延設される一対の腕部とを含んで構成され、
前記スタイラスは、前記一対の腕部の間に配置され、かつ、前記スタイラス本体の軸方向が前記腕部の延設方向に略沿う状態で配置され、
前記弾性片は、前記スタイラス本体と前記一対の各腕部との間にそれぞれ複数設けられることを特徴とする加振型接触検出センサ。 - 請求項1または請求項2に記載の加振型接触検出センサにおいて、
前記スタイラス本体と、前記ホルダと、前記弾性片とは、一体で形成されることを特徴とする加振型接触検出センサ。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の加振型接触検出センサにおいて、
前記ホルダは、低熱膨張材で形成されることを特徴とする加振型接触検出センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008000048U JP3140322U (ja) | 2008-01-09 | 2008-01-09 | 加振型接触検出センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008000048U JP3140322U (ja) | 2008-01-09 | 2008-01-09 | 加振型接触検出センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3140322U true JP3140322U (ja) | 2008-03-21 |
Family
ID=43290451
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008000048U Expired - Fee Related JP3140322U (ja) | 2008-01-09 | 2008-01-09 | 加振型接触検出センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3140322U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7058030B1 (ja) | 2021-08-10 | 2022-04-21 | 国立大学法人京都大学 | ワイヤレス加振装置および圧電素子の駆動回路 |
-
2008
- 2008-01-09 JP JP2008000048U patent/JP3140322U/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7058030B1 (ja) | 2021-08-10 | 2022-04-21 | 国立大学法人京都大学 | ワイヤレス加振装置および圧電素子の駆動回路 |
JP2023025614A (ja) * | 2021-08-10 | 2023-02-22 | 国立大学法人京都大学 | ワイヤレス加振装置および圧電素子の駆動回路 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3863168B2 (ja) | 加振型接触検出センサ | |
JP4486682B2 (ja) | 座標測定器に使用するための測定用探針 | |
JP5611297B2 (ja) | 測定プローブ | |
WO2014169540A1 (zh) | 非等截面悬臂梁压电式加速度传感器 | |
CN109828123B (zh) | 一种基于长周期光纤光栅弯曲特性的二维加速度传感器及测量方法 | |
US20110100125A1 (en) | Acceleration sensor | |
JP3140476U (ja) | 加振型接触検出センサ | |
JP3140322U (ja) | 加振型接触検出センサ | |
JP3130289B2 (ja) | タッチ信号プローブ | |
JP4764638B2 (ja) | 測定装置 | |
JP3650555B2 (ja) | タッチセンサ | |
US7535158B2 (en) | Stress sensitive element | |
CN113043071B (zh) | 可感测低频力与高频力的力感测装置 | |
JP3587915B2 (ja) | タッチ信号プローブ | |
JP3818881B2 (ja) | 接触型センサ | |
JP2011064651A (ja) | 加速度検出器 | |
JP3650496B2 (ja) | タッチ信号プローブ | |
JP4913467B2 (ja) | 電位センサ | |
JP2000258332A (ja) | 原子間力顕微鏡のための垂直力検出用カンチレバー | |
JP5410048B2 (ja) | 測定機、及びフィルタ装置 | |
JP3650556B2 (ja) | タッチセンサ | |
JPH1047941A (ja) | タッチ信号プローブ | |
WO2020085277A1 (ja) | 触覚センサ | |
JPH1073430A (ja) | タッチ信号プローブ | |
JP2007085823A (ja) | 硬さ計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110227 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140227 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |