JP3860670B2

JP3860670B2 - 光ディスク原盤露光機における合焦位置合わせ方法

Info

Publication number: JP3860670B2
Application number: JP30170398A
Authority: JP
Inventors: 弘幸宮田
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1998-10-08
Filing date: 1998-10-08
Publication date: 2006-12-20
Anticipated expiration: 2018-10-08
Also published as: JP2000113476A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク原盤露光機における合焦位置合わせ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図８は光ディスク原盤露光機の一般的な構成図である。
この図に基づいて、光ディスク原盤露光機の一般的な構成を説明する。光ディスク原盤露光機では、原盤露光時に、対物レンズ（露光対物レンズ）１とガラス原盤２表面との距離が一定（＝対物レンズの露光波長に対する焦点距離）になるように、後述するフォーカスエラー信号に基づき、対物レンズアクチュエータ３をサーボ制御する。ガラス原盤２表面には、露光波長λ１に感光するフォトレジストが塗布されるので、フォーカスエラー信号生成用のフォーカス光源波長λ２は、露光波長λ１と異なり、一般的には露光波長λ１より長波長となる。
【０００３】
対物レンズ１には、露光波長λ１の露光光源（図示は省略）からの光が、ビーム成形光学系（図示は省略）、ビーム変調・偏向光学系（図示は省略）などを経た後、ダイクロイックミラー４を経て、対物レンズ１下に露光スポットが形成される。
同時に対物レンズ１には、波長λ２のフォーカス光源５からの光が、コリメータ６、ビームスプリッタ７、ダイクロイックミラー４を経て導かれ、対物レンズ１下にフォーカス光スポットが形成される。原盤露光時には、ガラス原盤２からの反射光が、対物レンズ１、ダイクロイックミラー４、ビームスプリッタ７へと戻り、ビームスプリッタ７で反射されて、検出光学系８、受光素子９へ導かれる。
【０００４】
検出光学系８及び受光素子９の具体的構成は、非点収差法、ビームサイズ法、ナイフエッジ法、臨界角法、斜め入射法などの公知フォーカスエラー検出法により異なる。受光素子９への戻り光量を多くするため、ビームスプリッタ７として偏向ビームスプリッタを利用する場合、さらに波長λ２の１／４波長板１０が追加される。
【０００５】
フォーカス光源５からダイクロイックミラー４（もしくは１／４波長板１０）まで総称して、フォーカス検出光学系１１と呼ぶ（説明の都合上、ダイクロイックミラー４、ビームスプリッタ７はキューブ型としたが、プレート型の場合もある。また、ダイクロイックミラー４は、波長λ２を反射するとしたが、逆に波長λ１を反射する場合もある）。
【０００６】
受光素子９の出力を適当に演算し、いわゆるフォーカスエラー信号を生成する。フォーカスエラー信号は、フォーカス光合焦点からの対物レンズ変位量を表し、合焦点（図９のＰ０）における出力がゼロのＳ字形状になるが、このうちフォーカスエラーの検出に使える領域は、Ｓ字の谷（図９のＰｂ）から山（図９のＰｔ）領域であり、通常の光ディスク原盤露光機では、たかだか±３ミクロン程度のレンジになる。
【０００７】
ところで前述のように、光ディスク原盤露光機では、一般に露光光源波長λ１とフォーカス光源波長λ２が異なるため、対物レンズ１の色収差により、波長λ１と波長λ２の合焦位置が光軸方向で異なる（図１０のΔ）。λ１≒４００ｎｍ、λ２≒８００ｎｍの典型例の場合、２ミクロン程度のずれが生じる。
【０００８】
フォーカスエラー検出及び補正技術として、例えば特開平５−２１７１７３号公報に記載の技術がある。
この技術は、光ディスク面上の光ビームのフォーカス、トラック状態を直接観察するためのものである。光ピックアップ自身が持っている駆動機構（対物レンズアクチュエータ）により、光ビームを光ディスク面上の所定位置にフォーカシング・トラッキングさせ、そのときの光ビームスポットを直接観察することで、光ピックアップを高精度に調整する。
【０００９】
また、図１１に示すフォーカス光学系調整装置も知られている。
フォーカス光源５の光を、コリメートレンズ６で平行光にして対物レンズ１に入射させ、ミラーもしくはガラス原盤２上に集光し、その反射光を拡大してカメラ１２上に結像させると共にモニタ１３上に写し出す。
ミラーあるいはガラス原盤２をＺ方向に動かして、対物レンズ１との距離を連続的に変え、モニタ１３上の光スポット径が最小となる位置を目視で判断し、フォーカス光の合焦位置と見做す。続いて、この状態を保ったまま受光素子（図示せず）の位置を調整し、合焦状態でフォーカスエラー信号がゼロとなるように合わせ込む。
【００１０】
さらに、光ディスク原盤露光機の露光対物レンズによる集光スポットの状態を直接観察するための先願技術もある。
フォーカス調整可能な顕微鏡対物レンズを露光対物レンズに対向させて、光スポットの状態を観察し、合わせてスポット径測定も行う（光ディスクドライブ装置に比べ、光ディスク原盤露光機のフォーカスアクチュエータは大型になり、定電流印加時に熱の影響でクリープを起こし易いため、上記公報のようにフォーカスアクチュエータ駆動ではなく顕微鏡対物レンズ駆動で光スポットへフォーカシングを行う）。スポット径測定が可能なため、露光スポット合焦位置とフォーカススポット合焦位置の、光軸方向のずれ量を検出できる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記公報による従来技術では、対物レンズアクチュエータを駆動してフォーカシングを行う場合、定電流を流して対物レンズ位置を合焦位置に固定する必要がある。原盤露光機の対物レンズは、ドライブ装置と比較して大きく重たいので、アクチュエータも大型化される。
そのため、コイル発熱により生じる抵抗変化により、一定電流を流しても対物レンズ位置が徐々に動く（クリープ）場合がある。すなわち、この従来技術では、光ビームの観察中にフォーカス状態が微妙に変化し、合焦状態の光スポットを安定して観察できないという問題がある。
【００１２】
また、図１１に示す例では、波長λ２の合焦位置のみを検出するため、当然ながら波長λ１，λ２の合焦点位置ずれを解消できない。そのため、フォーカスエラー信号上の合焦位置（図９のＰ０）と、波長λ１の合焦位置（図９のＰ１）が異なってしまうが、実験的に求めたオフセット値を加算し、λ１の合焦位置を中心にフォーカスサーボを掛けている。
【００１３】
ところが、焦点位置ずれが２ミクロンで、フォーカスエラー信号検出レンジが±３ミクロンの場合、実際にフォーカスエラー検出に使用できる領域は、波長λ１の合焦位置に対し、遠方−５ミクロンから近方＋１ミクロンと非対称となるため、サーボ引き込みに失敗する場合があることや、一方向（この場合、近方側）に対するサーボ余裕度が少ないという問題がある。
また、上記先願技術では、波長λ１，λ２の合焦位置ずれを検知することは可能だが、そのずれを解消するための方法は開示されていない。
【００１４】
本発明の目的は、露光光源波長とフォーカス光源波長が異なる光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系において、前記２波長間の合焦位置ずれを解消する技術を提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、露光光源と、該露光光源とは波長が異なるフォーカス光源と、前記露光光源からの露光光およびフォーカス光源からのフォーカス光を光ディスク原盤上に集光する露光対物レンズと、該露光対物レンズによって形成される光スポット光束を集光する顕微鏡対物レンズと、該顕微鏡対物レンズを介して光スポットを観測するモニタ装置と、該モニタ装置で観測された光スポットの強度ピーク値から光スポット径を算出するスポット径計測手段とを備えた光ディスク原盤露光機における合焦位置合わせ方法であって、前記スポット径計測手段により露光光の合焦位置を検出し、当該合焦状態を保持する合焦位置検出工程と、前記フォーカス光源をフォーカス光軸方向に移動させることにより、フォーカス光の合焦位置を移動させる合焦位置移動工程と、前記スポット径計測手段により前記フォーカス光の合焦位置を前記保持された露光光の合焦位置に一致させる合焦位置一致工程と、を含むことを特徴とするものである。
【００１６】
また上記目的を達成するために、請求項２記載の発明は、請求項１記載の合焦位置合わせ方法において、前記光ディスク原盤露光機は、フォーカス光のコリメーションを調整するフォーカスコリメートレンズをさらに備え、前記合焦位置移動工程に代えて、前記フォーカスコリメートレンズをフォーカス光軸方向に移動させることにより、フォーカス光の合焦位置を移動させる第２の合焦位置移動工程を備えたえたことを特徴とするものである。
【００１７】
また上記目的を達成するために、請求項３記載の発明は、請求項１又は請求項２記載の合焦位置合わせ方法において、前記光ディスク原盤露光機は、前記顕微鏡対物レンズの傾きを調整する２軸あおり調整手段をさらに備え、前記２軸あおり調整手段により前記顕微鏡対物レンズの光軸を前記露光対物レンズの光軸を一致させる光軸一致工程を備えたことを特徴とするものである。
【００１８】
また上記目的を達成するために、請求項４記載の発明は、請求項３記載の光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置において、
前記スポット径計測手段に、前記光スポット強度ピーク値の位置検出手段を備えたことを特徴とするものである。
【００１９】
また上記目的を達成するために、請求項５記載の発明は、請求項１ないし請求項４記載の光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置において、
複数の顕微鏡対物レンズを搭載し、任意の１つの顕微鏡対物レンズを選択する選択手段を備えたことを特徴とするものである。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照しながら説明する。まず、請求項１記載の発明の内容を説明する。図１は本発明の実施の形態に係る光ディスク原盤露光機の全体構成図である。図８と同一個所には同一符号を付して、その部分の説明は重複することになるので省略する。
【００２１】
光ディスク原盤露光機の露光対物レンズ１に対向して、顕微鏡対物レンズ２１を配置する。顕微鏡対物レンズ２１の後段には、リレーレンズ２２、カメラ２３、表示装置２４で構成されるモニタ装置を配置する。また、カメラ２３の出力信号は、スポット径計測手段２５へ供給する。
【００２２】
露光対物レンズ１と顕微鏡対物レンズ２１の光軸は、光ディスクガラス原盤２（露光時に原盤露光機のターンテーブルにセッティングされる）と直交する軸（Ｚ軸）と一致させる。Ｘ・Ｙ軸は光ディスクガラス原盤２面内で直交する２方向である。Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸はそれぞれが直交する。
露光対物レンズ１により形成される光スポット２６の光束を、顕微鏡対物レンズ２１で集光し、折り曲げミラー２７、リレーレンズ２２を介してカメラ２３上に結像させ、カメラ２３上に結像した光スポット２６の像を表示装置２４上に写し出す。
【００２３】
顕微鏡対物レンズ２１は、Ｚ方向駆動手段によりＺ方向に任意量変位できるようになっている。また、顕微鏡対物レンズ２１は、Ｘ・Ｙ方向駆動手段によりＸ・Ｙ方向に任意量変位できるようになっている。Ｘ・Ｙ・Ｚ方向駆動手段は、顕微鏡対物レンズ２１をホルダー２８で受け、ホルダー２８をＸ・Ｙ・Ｚステージ２９，３０，３１に固定するなどで実現する。
【００２４】
露光対物レンズ１と顕微鏡対物レンズ２１の焦点位置が丁度一致するように、顕微鏡対物レンズ２１をＺ方向に駆動して位置決めすると共に、モニタ装置の視野に光スポット２６の像が写るように、顕微鏡対物レンズ２１をＸ・Ｙ方向に駆動して位置決めする。
【００２５】
図２はスポット径計測手段の処理内容を示す図である。
光ディスク原盤露光用のレーザビームはガウス分布と考えてよく、スポット径計測手段２５は光スポット像を写すカメラ２３の出力信号から強度ピーク値４１を検出し、検出された光スポット像の強度ピーク値に対し、強度相対値が０．５、もしくは１／ｅ²となる２点間の距離４２（カメラ２３上の画素数単位）を光スポット径として算出する。ピーク値及びスポット径はそれぞれ相対値で表現されるが、大小が判ればよいので十分である。
【００２６】
図３はフォーカス光のコリメーション調整の様子を示す図である。
フォーカス光源５をフォーカス光の光軸方向（図１のＸＸ方向）に移動可能とし、露光対物レンズ１に入射するフォーカス光のコリメーションを調整できるようにする。コリメーション調整により、収束・発散状態を変え、フォーカス光スポットの集光位置（合焦位置）を調整する。
【００２７】
フォーカス光源５がＨｅ−Ｎｅレーザのように比較的大型の場合には、ＸＸ方向に移動する１軸ステージ上にフォーカス光源５を配置することで、フォーカス光源５の移動機構を実現できる。フォーカス光源５が半導体レーザ（ＬＤ）のように小型の場合は、一例として図４の構成で移動機構を実現できる。
即ち、ベース板５１のガイド溝５２に、フォーカス光源（ＬＤ）５のホルダー５３に設けたピン５４を嵌合し、このピン５４を動かすことでＬＤ５を移動させることができる。
【００２８】
以上の構成に次の操作を行い、フォーカス光の合焦点を露光光の合焦点に一致させる。
（１）光スポット径計測手段２５によって、露光光源の合焦位置を見つける（合焦位置検出工程）。合焦状態にある光スポット２６は、スポット径が最小になり、かつ、光強度ピーク値が最大になるので、顕微鏡対物レンズ２１をＺ方向に連続的に駆動し、最小スポット径位置を見つけるか、ピーク値が最大値となる位置を見つける。この位置が露光光源の合焦位置であり、ここで光スポット径計測手段２５を（Ｚ方向に）保持する。
（２）フォーカス光源位置を微動させ、フォーカス光のコリメーションを調整し、フォーカス光の合焦位置を調整する（合焦位置検出工程）。
（３）スポット径測定により、この位置でフォーカス光の合焦点が得られるまで（２）を逐次繰り返す（合焦位置一致工程）。
【００２９】
次に請求項２記載の発明の内容を説明する。上記の構成でフォーカス光源５は固定とし、フォーカスコリメートレンズ（コリメータ）６をフォーカス光の光軸方向（図１のＸＸ方向）に移動可能とし、露光対物レンズ１に入射するフォーカス光のコリメーションを調整できるようにする（第２の合焦位置移動工程）。フォーカスコリメートレンズ６が比較的大型の場合には、ＸＸ方向に移動する１軸ステージ上にフォーカス光源５を配置することで、移動機構を実現できる。フォーカスコリメートレンズ６が小型の場合、一例として図５の構成で移動機構を実現できる。即ち、ベース板６１に設けたガイド板６２と押さえばね６３の間に、コリメートレンズホルダー６５を挟み、ガイド板６２に形成したガイド溝６４に、ホルダー６５に設けたピン６６を嵌合し、ピン６６を摘んでホルダー６５を移動させるようにしたものである。
【００３０】
次に請求項３記載の発明の内容を説明する。図６は顕微鏡対物レンズの傾き調整の様子を示す図である。図６に示すように、２軸あおり調整手段により顕微鏡対物レンズ傾きを調整し、顕微鏡対物レンズ光軸を露光対物レンズ光軸と一致させる（光軸一致工程）。２軸あおり調整手段は、図１の顕微鏡対物レンズホルダー２８を、２軸ゴニオステージ３２，３３に固定することなどで実現する。
【００３１】
次に請求項４記載の発明の内容を説明する。スポット径計測手段２５に、光スポット像を写すカメラ２３の出力信号から強度ピーク４３の画素位置を検出する手段を付加する。強度ピーク位置がカメラ視野先頭からＭ画素目の場合、カメラ水平方向の画素数をＮとして、強度ピーク位置はカメラ２３上の２次元座標位置（〔Ｍ／Ｎ〕、ＭｍｏｄＮ）となる（〔〕は割り算の整数部、ｍｏｄは割り算の余り）。合焦状態を変化させたときの強度ピーク位置ずれは、露光対物レンズ１と顕微鏡対物レンズ２１の光軸傾きの存在を示すので、ピーク位置ずれが無くなるように、顕微鏡対物レンズ２１の傾きを調整する（傾き調整工程、図２参照）。
【００３２】
次に請求項５記載の発明の内容を説明する。図７は複数の顕微鏡対物レンズを切り替える様子を示す図である。図７に示すように、顕微鏡対物レンズホルダー７１を回転ダイヤル状にし、ホルダー７１上の一定半径円周上に複数の顕微鏡対物レンズ２１を配置することで、複数の顕微鏡対物レンズ２１の搭載と、その選択手段を実現する。始めに低倍率の顕微鏡対物レンズ２１ａで、モニタ装置に光スポット像を写し出すＸ・Ｙ方向位置決めを行い（観測位置決定工程）、続いて高倍率の顕微鏡対物レンズ２１ｂに切り替えて、光スポットを観察する（Ｘ・Ｙ・Ｚステージ、２軸ゴニオステージなどは省略）。
【００３３】
以下、具体的な内容を説明する。
（実施例１）
λ１＝４１３ｎｍ（Ａｒレーザ）、λ２＝７８０ｎｍ（ＬＤ）で、ＮＡ＝０．９の露光対物レンズを有する光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系の調整に本発明を適用した。２０倍の顕微鏡対物レンズ（１）と２００倍の顕微鏡対物レンズ（２）と、１０倍のリレーレンズ、ＣＣＤカメラ、ビデオモニタからなるモニタ装置を用い、スポット径計測には画像処理装置を用いた。
光スポット光軸方向（Ｚ方向）への駆動手段には、位置サーボ付きのピエゾＺステージを用い、ピエゾへの供給電圧を制御して、顕微鏡対物レンズとホルダーが光スポット光軸方向に微動できるようにした。
また、光スポット光軸と直交する２方向への駆動手段には、モータ付きＸＹステージを用いた。
さらに、２軸あおり調整手段にαβゴニオステージを用いた。
一方、顕微鏡対物レンズ（１）と（２）は、回転ダイヤル式のレンズホルダーにマウントし、ホルダーを回転して任意選択できるようにした。
【００３４】
この構成で、まず顕微鏡対物レンズ（１）を使ってモニタ装置（視野は約１００ミクロン平方）の中央に光スポット像が写し出されるように、ＸＹステージを調整し、続いて顕微鏡対物レンズ（２）に切り替えて、モニタ装置（視野は約１０ミクロン平方）の中央に光スポットが写し出されるように、ＸＹステージを微調整した。
【００３５】
画像処理装置は、ＣＣＤカメラとモニタの間に配置され、ＣＣＤカメラからのビデオ信号から、輝度ピーク値とカメラ上の輝度ピーク画素位置を検出する機能を有する。また、輝度ピーク値と輝度ピーク画素位置は、ビデオモニタ上に光スポット像とオーバーラップして表示される。
露光対物レンズと顕微鏡対物レンズの光軸ずれは、ピエゾＺステージを駆動して合焦状態をずらし、輝度ピーク画素位置がずれないように、顕微鏡対物レンズの傾きをαβゴニオステージで調整した。
【００３６】
画像処理装置により、輝度ピーク値から２直交方向のスポット径（ピーク値の０．５及び１／ｅ²）をカメラ上の画素数で計測でき、実移動量と画素移動量の換算係数を指定すると、光スポット径を実寸法で計測できる。予め、ＸＹステージで光スポット像を一定量移動させて移動画素数を計測し、実寸法への換算係数を求めて設定しておき、光スポット径を０．０１ミクロン精度の実寸法で計測した。
【００３７】
フォーカス光学系調整前に、上記構成で原盤露光機の露光ビームとフォーカスビームの合焦位置ずれを計測したところ、約１．５ミクロンのずれがあった（フォーカスエラー信号オフセットで約１００ｍＶ）。ピエゾＺステージを駆動して顕微鏡対物レンズを露光光の合焦位置に保持し、図４の機構で止めねじを弛めてピンを動かし、ＬＤホルダーをスライドさせ、フォーカス光源をコリメートレンズから遠ざけてビームを収束させることで、フォーカス光の合焦位置を露光光の合焦位置に合わせ込んだ。
この結果、フォーカスエラー信号のオフセット電圧を略ゼロとでき、安定したサーボ引き込みが可能となった。
また、フォーカスサーボの余裕度も向上した。
【００３８】
（実施例２）
実施例１と同じ構成で、コリメーション調整のみ、図５の機構によりコリメートレンズの位置調整で行った。ピンにより、コリメートレンズを光源から遠ざけるように動かしてビームを収束させ、フォーカス光の合焦位置を露光光の合焦位置に合わせた。実施例１と同様に、フォーカスエラー信号のオフセット電圧を略ゼロとでき、安定したサーボ引き込みが可能となり、フォーカスサーボの余裕度も向上した。
【００３９】
【発明の効果】
請求項１及び請求項２記載の発明によれば、露光光とフォーカス光のスポット径計測を行う際に顕微鏡対物レンズを駆動するので、露光対物レンズアクチュエータを駆動する場合に比べて安定した状態で精度よく光スポット径を計測できる上、コリメーション調整によりフォーカス光の合焦位置を露光光の合焦位置に合わせるので、フォーカスエラー信号のゼロ点と露光光の合焦位置を一致させることができる。
【００４０】
請求項３記載の発明によれば、請求項１，２の効果に加え、顕微鏡対物レンズ光軸の露光対物レンズ光軸に対する傾きを除去できるので、光軸傾きによる顕微鏡対物レンズ収差が原因となる光スポット径測定精度低下への影響を抑える効果がある。
【００４１】
請求項４記載の発明によれば、請求項３の効果に加え、光スポットのピーク位置を検出しているで、容易に顕微鏡対物レンズ光軸の露光対物レンズ光軸に対する傾きを除去できる効果がある。
【００４２】
請求項５記載の発明によれば、請求項１〜４の効果に加え、低倍率、高倍率の顕微鏡対物レンズを切り替えて使用できるので、光スポット径測定に先立ち、モニタ視野に光スポット像を写し出す際の位置決めを容易に行える効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を示す光ディスク原盤露光機の全体構成図である。
【図２】スポット径計測手段の処理内容を示す図である。
【図３】フォーカス光のコリメーション調整の様子を示す図である。
【図４】小型のフォーカス光源の移動機構を示す図である。
【図５】小型のフォーカスコリメートレンズの移動機構を示す図である。
【図６】顕微鏡対物レンズの傾き調整の様子を示す図である。
【図７】複数の顕微鏡対物レンズを切り替える様子を示す図である。
【図８】光ディスク原盤露光機の一般的な構成図である。
【図９】フォーカスエラー信号特性図である。
【図１０】光源波長λ１とλ２の合焦位置がΔずれる様子を示す模式図である。
【図１１】従来例による光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置の構成図である。
【符号の説明】
１露光対物レンズ
２１顕微鏡対物レンズ
２２リレーレンズ
２３カメラ
２４表示装置
２５スポット径計測手段
２６光スポット
２７折り曲げミラー
２８ホルダー
２９Ｘステージ
３０Ｙステージ
３１Ｚステージ
３２，３３２軸ゴニオステージ

Claims

露光光源と、該露光光源とは波長が異なるフォーカス光源と、前記露光光源からの露光光およびフォーカス光源からのフォーカス光を光ディスク原盤上に集光する露光対物レンズと、該露光対物レンズによって形成される光スポット光束を集光する顕微鏡対物レンズと、該顕微鏡対物レンズを介して光スポットを観測するモニタ装置と、該モニタ装置で観測された光スポットの強度ピーク値から光スポット径を算出するスポット径計測手段とを備えた光ディスク原盤露光機における合焦位置合わせ方法であって、
前記スポット径計測手段により露光光の合焦位置を検出し、当該合焦状態を保持する合焦位置検出工程と、
前記フォーカス光源をフォーカス光軸方向に移動させることにより、フォーカス光の合焦位置を移動させる合焦位置移動工程と、
前記スポット径計測手段により前記フォーカス光の合焦位置を前記保持された露光光の合焦位置に一致させる合焦位置一致工程と、
を含むことを特徴とする合焦位置合わせ方法。
前記光ディスク原盤露光機は、フォーカス光のコリメーションを調整するフォーカスコリメートレンズをさらに備え、
前記合焦位置移動工程に代えて、前記フォーカスコリメートレンズをフォーカス光軸方向に移動させることにより、フォーカス光の合焦位置を移動させる第２の合焦位置移動工程を備えた請求項１記載の合焦位置合わせ方法。
前記光ディスク原盤露光機は、前記顕微鏡対物レンズの傾きを調整する２軸あおり調整手段をさらに備え、
前記２軸あおり調整手段により前記顕微鏡対物レンズの光軸を前記露光対物レンズの光軸を一致させる光軸一致工程を備えた請求項１又は２記載の合焦位置合わせ方法。
前記スポット径計測手段は、前記光スポットの強度ピーク値の位置を検出する手段をさらに有し、
前記光スポットの強度ピーク値の位置ずれを無くすように前記顕微鏡対物レンズの傾きを調整する傾き調整工程を備えた請求項３記載の合焦位置合わせ方法。
前記光ディスク原盤露光機は、倍率の異なる複数の顕微鏡対物レンズと、前記複数の顕微鏡対物レンズを前記光スポット光軸方向に駆動する第１の駆動手段と、前記複数の顕微鏡対物レンズを前記光スポット光軸に垂直な平面内の２方向に駆動する第２の駆動手段とをさらに有し、
前記複数の顕微鏡対物レンズのうちの一つの顕微鏡対物レンズで前記モニタ装置による光スポットの観測位置を決定する観測位置決定工程と、
該観測位置決定工程を実行後、該観測位置決定工程で用いた顕微鏡対物レンズより高倍率の顕微鏡対物レンズに切換えて光スポットを観測する工程とを備えた請求項１ないし４のいずれかに記載の合焦位置合わせ方法。