JP2000113476A - 光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 露光光源波長とフォーカス光源波長が異なる
光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系において、前
記２波長間の合焦位置ずれを解消する技術を提供する。 【解決手段】 フォーカス光学系調整装置として、光デ
ィスク原盤露光機の露光対物レンズ１に対向して、顕微
鏡対物レンズ２１を配置する。顕微鏡対物レンズ２１の
後段には、リレーレンズ２２、カメラ２３、表示装置２
４で構成されるモニタ装置を配置する。また、カメラ２
３の出力信号は、スポット径計測手段２５へ供給する。
そして、スポット径計測手段２５により露光光の合焦位
置を検出すると共に、フォーカス光源５、あるいはフォ
ーカスコリメートレンズ６の位置調整によりフォーカス
光のコリメーションを調整し、フォーカス光の合焦位置
を露光光の合焦位置に一致させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク原盤露
光機のフォーカス光学系調整装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８は光ディスク原盤露光機の一般的な
構成図である。この図に基づいて、光ディスク原盤露光
機の一般的な構成を説明する。光ディスク原盤露光機で
は、原盤露光時に、対物レンズ（露光対物レンズ）１と
ガラス原盤２表面との距離が一定（＝対物レンズの露光
波長に対する焦点距離）になるように、後述するフォー
カスエラー信号に基づき、対物レンズアクチュエータ３
をサーボ制御する。 ガラス原盤２表面には、露光波長
λ１に感光するフォトレジストが塗布されるので、フォ
ーカスエラー信号生成用のフォーカス光源波長λ２は、
露光波長λ１と異なり、一般的には露光波長λ１より長
波長となる。

【０００３】対物レンズ１には、露光波長λ１の露光光
源（図示は省略）からの光が、ビーム成形光学系（図示
は省略）、ビーム変調・偏向光学系（図示は省略）など
を経た後、ダイクロイックミラー４を経て、対物レンズ
１下に露光スポットが形成される。同時に対物レンズ１
には、波長λ２のフォーカス光源５からの光が、コリメ
ータ６、ビームスプリッタ７、ダイクロイックミラー４
を経て導かれ、対物レンズ１下にフォーカス光スポット
が形成される。原盤露光時には、ガラス原盤２からの反
射光が、対物レンズ１、ダイクロイックミラー４、ビー
ムスプリッタ７へと戻り、ビームスプリッタ７で反射さ
れて、検出光学系８、受光素子９へ導かれる。

【０００４】検出光学系８及び受光素子９の具体的構成
は、非点収差法、ビームサイズ法、ナイフエッジ法、臨
界角法、斜め入射法などの公知フォーカスエラー検出法
により異なる。受光素子９への戻り光量を多くするた
め、ビームスプリッタ７として偏向ビームスプリッタを
利用する場合、さらに波長λ２の１／４波長板１０が追
加される。

【０００５】フォーカス光源５からダイクロイックミラ
ー４（もしくは１／４波長板１０）まで総称して、フォ
ーカス検出光学系１１と呼ぶ（説明の都合上、ダイクロ
イックミラー４、ビームスプリッタ７はキューブ型とし
たが、プレート型の場合もある。また、ダイクロイック
ミラー４は、波長λ２を反射するとしたが、逆に波長λ
１を反射する場合もある）。

【０００６】受光素子９の出力を適当に演算し、いわゆ
るフォーカスエラー信号を生成する。フォーカスエラー
信号は、フォーカス光合焦点からの対物レンズ変位量を
表し、合焦点（図９のＰ０）における出力がゼロのＳ字
形状になるが、このうちフォーカスエラーの検出に使え
る領域は、Ｓ字の谷（図９のＰｂ）から山（図９のＰ
ｔ）領域であり、通常の光ディスク原盤露光機では、た
かだか±３ミクロン程度のレンジになる。

【０００７】ところで前述のように、光ディスク原盤露
光機では、一般に露光光源波長λ１とフォーカス光源波
長λ２が異なるため、対物レンズ１の色収差により、波
長λ１と波長λ２の合焦位置が光軸方向で異なる（図１
０のΔ）。λ１≒４００ｎｍ、λ２≒８００ｎｍの典型
例の場合、２ミクロン程度のずれが生じる。

【０００８】フォーカスエラー検出及び補正技術とし
て、例えば特開平５−２１７１７３号公報に記載の技術
がある。この技術は、光ディスク面上の光ビームのフォ
ーカス、トラック状態を直接観察するためのものであ
る。光ピックアップ自身が持っている駆動機構（対物レ
ンズアクチュエータ）により、光ビームを光ディスク面
上の所定位置にフォーカシング・トラッキングさせ、そ
のときの光ビームスポットを直接観察することで、光ピ
ックアップを高精度に調整する。

【０００９】また、図１１に示すフォーカス光学系調整
装置も知られている。フォーカス光源５の光を、コリメ
ートレンズ６で平行光にして対物レンズ１に入射させ、
ミラーもしくはガラス原盤２上に集光し、その反射光を
拡大してカメラ１２上に結像させると共にモニタ１３上
に写し出す。ミラーあるいはガラス原盤２をＺ方向に動
かして、対物レンズ１との距離を連続的に変え、モニタ
１３上の光スポット径が最小となる位置を目視で判断
し、フォーカス光の合焦位置と見做す。続いて、この状
態を保ったまま受光素子（図示せず）の位置を調整し、
合焦状態でフォーカスエラー信号がゼロとなるように合
わせ込む。

【００１０】さらに、光ディスク原盤露光機の露光対物
レンズによる集光スポットの状態を直接観察するための
先願技術もある。フォーカス調整可能な顕微鏡対物レン
ズを露光対物レンズに対向させて、光スポットの状態を
観察し、合わせてスポット径測定も行う（光ディスクド
ライブ装置に比べ、光ディスク原盤露光機のフォーカス
アクチュエータは大型になり、定電流印加時に熱の影響
でクリープを起こし易いため、上記公報のようにフォー
カスアクチュエータ駆動ではなく顕微鏡対物レンズ駆動
で光スポットへフォーカシングを行う）。スポット径測
定が可能なため、露光スポット合焦位置とフォーカスス
ポット合焦位置の、光軸方向のずれ量を検出できる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記公報によ
る従来技術では、対物レンズアクチュエータを駆動して
フォーカシングを行う場合、定電流を流して対物レンズ
位置を合焦位置に固定する必要がある。原盤露光機の対
物レンズは、ドライブ装置と比較して大きく重たいの
で、アクチュエータも大型化される。そのため、コイル
発熱により生じる抵抗変化により、一定電流を流しても
対物レンズ位置が徐々に動く（クリープ）場合がある。
すなわち、この従来技術では、光ビームの観察中にフォ
ーカス状態が微妙に変化し、合焦状態の光スポットを安
定して観察できないという問題がある。

【００１２】また、図１１に示す例では、波長λ２の合
焦位置のみを検出するため、当然ながら波長λ１，λ２
の合焦点位置ずれを解消できない。そのため、フォーカ
スエラー信号上の合焦位置（図９のＰ０）と、波長λ１
の合焦位置（図９のＰ１）が異なってしまうが、実験的
に求めたオフセット値を加算し、λ１の合焦位置を中心
にフォーカスサーボを掛けている。

【００１３】ところが、焦点位置ずれが２ミクロンで、
フォーカスエラー信号検出レンジが±３ミクロンの場
合、実際にフォーカスエラー検出に使用できる領域は、
波長λ１の合焦位置に対し、遠方−５ミクロンから近方
＋１ミクロンと非対称となるため、サーボ引き込みに失
敗する場合があることや、一方向（この場合、近方側）
に対するサーボ余裕度が少ないという問題がある。ま
た、上記先願技術では、波長λ１，λ２の合焦位置ずれ
を検知することは可能だが、そのずれを解消するための
方法は開示されていない。

【００１４】本発明の目的は、露光光源波長とフォーカ
ス光源波長が異なる光ディスク原盤露光機のフォーカス
光学系において、前記２波長間の合焦位置ずれを解消す
る技術を提供することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、露光光源とフォーカス光源
を別波長とする光ディスク原盤露光機のフォーカス光学
系調整装置において、フォーカス光軸方向に移動可能な
フォーカス光源と、露光対物レンズによって形成される
光スポット光束を集光する顕微鏡対物レンズと、前記顕
微鏡対物レンズを介して光スポットを観測するモニタ装
置と、前記顕微鏡対物レンズを前記光スポット光軸方向
に駆動する第１の駆動手段及び前記光スポット光軸に垂
直な平面内の２方向に駆動する第２の駆動手段と、前記
光スポットの強度ピーク値から光スポット径を算出する
スポット径計測手段とを備え、前記スポット径計測手段
により露光光の合焦位置を検出すると共に、前記フォー
カス光源の位置調整によりフォーカス光のコリメーショ
ンを調整し、フォーカス光の合焦位置を露光光の合焦位
置に一致させることを特徴とするものである。

【００１６】また上記目的を達成するために、請求項２
記載の発明は、露光光源とフォーカス光源を別波長とす
る光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置に
おいて、フォーカス光軸方向に移動可能なフォーカスコ
リメートレンズと、露光対物レンズによって形成される
光スポット光束を集光する顕微鏡対物レンズと、前記顕
微鏡対物レンズを介して光スポットを観測するモニタ装
置と、前記顕微鏡対物レンズを前記光スポット光軸方向
に駆動する第１の駆動手段及び前記光スポット光軸に垂
直な平面内の２方向に駆動する第２の駆動手段と、前記
光スポットの強度ピーク値から光スポット径を算出する
スポット径計測手段とを備え、前記スポット径計測手段
により露光光の合焦位置を検出すると共に、前記フォー
カスコリメートレンズの位置調整によりフォーカス光の
コリメーションを調整し、フォーカス光の合焦位置を露
光光の合焦位置に一致させることを特徴とするものであ
る。

【００１７】また上記目的を達成するために、請求項３
記載の発明は、請求項１及び請求項２記載の光ディスク
原盤露光機のフォーカス光学系調整装置において、前記
顕微鏡対物レンズ光軸の２軸あおり手段を備えたことを
特徴とするものである。

【００１８】また上記目的を達成するために、請求項４
記載の発明は、請求項３記載の光ディスク原盤露光機の
フォーカス光学系調整装置において、前記スポット径計
測手段に、前記光スポット強度ピーク値の位置検出手段
を備えたことを特徴とするものである。

【００１９】また上記目的を達成するために、請求項５
記載の発明は、請求項１ないし請求項４記載の光ディス
ク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置において、複
数の顕微鏡対物レンズを搭載し、任意の１つの顕微鏡対
物レンズを選択する選択手段を備えたことを特徴とする
ものである。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照しながら説明する。まず、請求項１記載の発
明の内容を説明する。図１は本発明の実施の形態を示す
光ディスク原盤露光機の全体構成図である。図８と同一
個所には同一符号を付して、その部分の説明は重複する
ことになるので省略する。

【００２１】光ディスク原盤露光機の露光対物レンズ１
に対向して、顕微鏡対物レンズ２１を配置する。顕微鏡
対物レンズ２１の後段には、リレーレンズ２２、カメラ
２３、表示装置２４で構成されるモニタ装置を配置す
る。また、カメラ２３の出力信号は、スポット径計測手
段２５へ供給する。

【００２２】露光対物レンズ１と顕微鏡対物レンズ２１
の光軸は、光ディスクガラス原盤２（露光時に原盤露光
機のターンテーブルにセッティングされる）と直交する
軸（Ｚ軸）と一致させる。Ｘ・Ｙ軸は光ディスクガラス
原盤２面内で直交する２方向である。Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸
はそれぞれが直交する。露光対物レンズ１により形成さ
れる光スポット２６の光束を、顕微鏡対物レンズ２１で
集光し、折り曲げミラー２７、リレーレンズ２２を介し
てカメラ２３上に結像させ、カメラ２３上に結像した光
スポット２６の像を表示装置２４上に写し出す。

【００２３】顕微鏡対物レンズ２１は、Ｚ方向駆動手段
によりＺ方向に任意量変位できるようになっている。ま
た、顕微鏡対物レンズ２１は、Ｘ・Ｙ方向駆動手段によ
りＸ・Ｙ方向に任意量変位できるようになっている。Ｘ
・Ｙ・Ｚ方向駆動手段は、顕微鏡対物レンズ２１をホル
ダー２８で受け、ホルダー２８をＸ・Ｙ・Ｚステージ２
９，３０，３１に固定するなどで実現する。

【００２４】露光対物レンズ１と顕微鏡対物レンズ２１
の焦点位置が丁度一致するように、顕微鏡対物レンズ２
１をＺ方向に駆動して位置決めすると共に、モニタ装置
の視野に光スポット２６の像が写るように、顕微鏡対物
レンズ２１をＸ・Ｙ方向に駆動して位置決めする。

【００２５】図２はスポット径計測手段の処理内容を示
す図である。光ディスク原盤露光用のレーザビームはガ
ウス分布と考えてよく、スポット径計測手段２５は光ス
ポット像を写すカメラ２３の出力信号から強度ピーク値
４１を検出し、検出された光スポット像の強度ピーク値
に対し、強度相対値が０．５、もしくは１／ｅ² となる
２点間の距離４２（カメラ２３上の画素数単位）を光ス
ポット径として算出する。ピーク値及びスポット径はそ
れぞれ相対値で表現されるが、大小が判ればよいので十
分である。

【００２６】図３はフォーカス光のコリメーション調整
の様子を示す図である。フォーカス光源５をフォーカス
光の光軸方向（図１のＸＸ方向）に移動可能とし、露光
対物レンズ１に入射するフォーカス光のコリメーション
を調整できるようにする。コリメーション調整により、
収束・発散状態を変え、フォーカス光スポットの集光位
置（合焦位置）を調整する。

【００２７】フォーカス光源５がＨｅ−Ｎｅレーザのよ
うに比較的大型の場合には、ＸＸ方向に移動する１軸ス
テージ上にフォーカス光源５を配置することで、フォー
カス光源５の移動機構を実現できる。フォーカス光源５
が半導体レーザ（ＬＤ）のように小型の場合は、一例と
して図４の構成で移動機構を実現できる。即ち、ベース
板５１のガイド溝５２に、フォーカス光源（ＬＤ）５の
ホルダー５３に設けたピン５４を嵌合し、このピン５４
を動かすことでＬＤ５を移動させることができる。

【００２８】以上の構成に次の操作を行い、フォーカス
光の合焦点を露光光の合焦点に一致させる。 （１）光スポット径計測手段２５によって、露光光源の
合焦位置を見つける。合焦状態にある光スポット２６
は、スポット径が最小になり、かつ、光強度ピーク値が
最大になるので、顕微鏡対物レンズ２１をＺ方向に連続
的に駆動し、最小スポット径位置を見つけるか、ピーク
値が最大値となる位置を見つける。この位置が露光光源
の合焦位置であり、ここで光スポット径計測手段２５を
（Ｚ方向に）保持する。 （２）フォーカス光源位置を微動させ、フォーカス光の
コリメーションを調整し、フォーカス光の合焦位置を調
整する。 （３）スポット径測定により、この位置でフォーカス光
の合焦点が得られるまで（２）を逐次繰り返す。

【００２９】次に請求項２記載の発明の内容を説明す
る。上記の構成でフォーカス光源５は固定とし、フォー
カスコリメートレンズ（コリメータ）６をフォーカス光
の光軸方向（図１のＸＸ方向）に移動可能とし、露光対
物レンズ１に入射するフォーカス光のコリメーションを
調整できるようにする。フォーカスコリメートレンズ６
が比較的大型の場合には、ＸＸ方向に移動する１軸ステ
ージ上にフォーカス光源５を配置することで、移動機構
を実現できる。フォーカスコリメートレンズ６が小型の
場合、一例として図５の構成で移動機構を実現できる。
即ち、ベース板６１に設けたガイド板６２と押さえばね
６３の間に、コリメートレンズホルダー６５を挟み、ガ
イド板６２に形成したガイド溝６４に、ホルダー６５に
設けたピン６６を嵌合し、ピン６６を摘んでホルダー６
５を移動させるようにしたものである。

【００３０】次に請求項３記載の発明の内容を説明す
る。図６は顕微鏡対物レンズの傾き調整の様子を示す図
である。図６に示すように、２軸あおり調整手段により
顕微鏡対物レンズ傾きを調整し、顕微鏡対物レンズ光軸
を露光対物レンズ光軸と一致させる。２軸あおり調整手
段は、図１の顕微鏡対物レンズホルダー２８を、２軸ゴ
ニオステージ３２，３３に固定することなどで実現す
る。

【００３１】次に請求項４記載の発明の内容を説明す
る。スポット径計測手段２５に、光スポット像を写すカ
メラ２３の出力信号から強度ピーク４３の画素位置を検
出する手段を付加する。強度ピーク位置がカメラ視野先
頭からＭ画素目の場合、カメラ水平方向の画素数をＮと
して、強度ピーク位置はカメラ２３上の２次元座標位置
（〔Ｍ／Ｎ〕、ＭｍｏｄＮ）となる（〔〕は割り算の整
数部、ｍｏｄは割り算の余り）。合焦状態を変化させた
ときの強度ピーク位置ずれは、露光対物レンズ１と顕微
鏡対物レンズ２１の光軸傾きの存在を示すので、ピーク
位置ずれが無くなるように、顕微鏡対物レンズ２１の傾
きを調整する（図２参照）。

【００３２】次に請求項５記載の発明の内容を説明す
る。図７は複数の顕微鏡対物レンズを切り替える様子を
示す図である。図７に示すように、顕微鏡対物レンズホ
ルダー７１を回転ダイヤル状にし、ホルダー７１上の一
定半径円周上に複数の顕微鏡対物レンズ２１を配置する
ことで、複数の顕微鏡対物レンズ２１の搭載と、その選
択手段を実現する。始めに低倍率の顕微鏡対物レンズ２
１ａで、モニタ装置に光スポット像を写し出すＸ・Ｙ方
向位置決めを行い、続いて高倍率の顕微鏡対物レンズ２
１ｂに切り替えて、光スポットを観察する（Ｘ・Ｙ・Ｚ
ステージ、２軸ゴニオステージなどは省略）。

【００３３】以下、具体的な内容を説明する。 （実施例１）λ１＝４１３ｎｍ（Ａｒレーザ）、λ２＝
７８０ｎｍ（ＬＤ）で、ＮＡ＝０．９の露光対物レンズ
を有する光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系の調
整に本発明を適用した。２０倍の顕微鏡対物レンズ
（１）と２００倍の顕微鏡対物レンズ（２）と、１０倍
のリレーレンズ、ＣＣＤカメラ、ビデオモニタからなる
モニタ装置を用い、スポット径計測には画像処理装置を
用いた。光スポット光軸方向（Ｚ方向）への駆動手段に
は、位置サーボ付きのピエゾＺステージを用い、ピエゾ
への供給電圧を制御して、顕微鏡対物レンズとホルダー
が光スポット光軸方向に微動できるようにした。また、
光スポット光軸と直交する２方向への駆動手段には、モ
ータ付きＸＹステージを用いた。さらに、２軸あおり調
整手段にαβゴニオステージを用いた。一方、顕微鏡対
物レンズ（１）と（２）は、回転ダイヤル式のレンズホ
ルダーにマウントし、ホルダーを回転して任意選択でき
るようにした。

【００３４】この構成で、まず顕微鏡対物レンズ（１）
を使ってモニタ装置（視野は約１００ミクロン平方）の
中央に光スポット像が写し出されるように、ＸＹステー
ジを調整し、続いて顕微鏡対物レンズ（２）に切り替え
て、モニタ装置（視野は約１０ミクロン平方）の中央に
光スポットが写し出されるように、ＸＹステージを微調
整した。

【００３５】画像処理装置は、ＣＣＤカメラとモニタの
間に配置され、ＣＣＤカメラからのビデオ信号から、輝
度ピーク値とカメラ上の輝度ピーク画素位置を検出する
機能を有する。また、輝度ピーク値と輝度ピーク画素位
置は、ビデオモニタ上に光スポット像とオーバーラップ
して表示される。露光対物レンズと顕微鏡対物レンズの
光軸ずれは、ピエゾＺステージを駆動して合焦状態をず
らし、輝度ピーク画素位置がずれないように、顕微鏡対
物レンズの傾きをαβゴニオステージで調整した。

【００３６】画像処理装置により、輝度ピーク値から２
直交方向のスポット径（ピーク値の０．５及び１／
ｅ² ）をカメラ上の画素数で計測でき、実移動量と画素
移動量の換算係数を指定すると、光スポット径を実寸法
で計測できる。予め、ＸＹステージで光スポット像を一
定量移動させて移動画素数を計測し、実寸法への換算係
数を求めて設定しておき、光スポット径を０．０１ミク
ロン精度の実寸法で計測した。

【００３７】フォーカス光学系調整前に、上記構成で原
盤露光機の露光ビームとフォーカスビームの合焦位置ず
れを計測したところ、約１．５ミクロンのずれがあった
（フォーカスエラー信号オフセットで約１００ｍＶ）。
ピエゾＺステージを駆動して顕微鏡対物レンズを露光光
の合焦位置に保持し、図４の機構で止めねじを弛めてピ
ンを動かし、ＬＤホルダーをスライドさせ、フォーカス
光源をコリメートレンズから遠ざけてビームを収束させ
ることで、フォーカス光の合焦位置を露光光の合焦位置
に合わせ込んだ。この結果、フォーカスエラー信号のオ
フセット電圧を略ゼロとでき、安定したサーボ引き込み
が可能となった。また、フォーカスサーボの余裕度も向
上した。

【００３８】（実施例２）実施例１と同じ構成で、コリ
メーション調整のみ、図５の機構によりコリメートレン
ズの位置調整で行った。ピンにより、コリメートレンズ
を光源から遠ざけるように動かしてビームを収束させ、
フォーカス光の合焦位置を露光光の合焦位置に合わせ
た。実施例１と同様に、フォーカスエラー信号のオフセ
ット電圧を略ゼロとでき、安定したサーボ引き込みが可
能となり、フォーカスサーボの余裕度も向上した。

【００３９】

【発明の効果】請求項１及び請求項２記載の発明によれ
ば、露光光とフォーカス光のスポット径計測を行う際に
顕微鏡対物レンズを駆動するので、露光対物レンズアク
チュエータを駆動する場合に比べて安定した状態で精度
よく光スポット径を計測できる上、コリメーション調整
によりフォーカス光の合焦位置を露光光の合焦位置に合
わせるので、フォーカスエラー信号のゼロ点と露光光の
合焦位置を一致させることができる。

【００４０】請求項３記載の発明によれば、請求項１，
２の効果に加え、顕微鏡対物レンズ光軸の露光対物レン
ズ光軸に対する傾きを除去できるので、光軸傾きによる
顕微鏡対物レンズ収差が原因となる光スポット径測定精
度低下への影響を抑える効果がある。

【００４１】請求項４記載の発明によれば、請求項３の
効果に加え、光スポットのピーク位置を検出している
で、容易に顕微鏡対物レンズ光軸の露光対物レンズ光軸
に対する傾きを除去できる効果がある。

【００４２】請求項５記載の発明によれば、請求項１〜
４の効果に加え、低倍率、高倍率の顕微鏡対物レンズを
切り替えて使用できるので、光スポット径測定に先立
ち、モニタ視野に光スポット像を写し出す際の位置決め
を容易に行える効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を示す光ディスク原盤露光機
の全体構成図である。

【図２】スポット径計測手段の処理内容を示す図であ
る。

【図３】フォーカス光のコリメーション調整の様子を示
す図である。

【図４】小型のフォーカス光源の移動機構を示す図であ
る。

【図５】小型のフォーカスコリメートレンズの移動機構
を示す図である。

【図６】顕微鏡対物レンズの傾き調整の様子を示す図で
ある。

【図７】複数の顕微鏡対物レンズを切り替える様子を示
す図である。

【図８】光ディスク原盤露光機の一般的な構成図であ
る。

【図９】フォーカスエラー信号特性図である。

【図１０】光源波長λ１とλ２の合焦位置がΔずれる様
子を示す模式図である。

【図１１】従来例による光ディスク原盤露光機のフォー
カス光学系調整装置の構成図である。

【符号の説明】

１ 露光対物レンズ ２１ 顕微鏡対物レンズ ２２ リレーレンズ ２３ カメラ ２４ 表示装置 ２５ スポット径計測手段 ２６ 光スポット ２７ 折り曲げミラー ２８ ホルダー ２９ Ｘステージ ３０ Ｙステージ ３１ Ｚステージ ３２，３３ ２軸ゴニオステージ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 露光光源とフォーカス光源を別波長とす
   る光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置に
   おいて、 フォーカス光軸方向に移動可能なフォーカス光源と、 露光対物レンズによって形成される光スポット光束を集
   光する顕微鏡対物レンズと、 前記顕微鏡対物レンズを介して光スポットを観測するモ
   ニタ装置と、 前記顕微鏡対物レンズを前記光スポット光軸方向に駆動
   する第１の駆動手段及び前記光スポット光軸に垂直な平
   面内の２方向に駆動する第２の駆動手段と、 前記光スポットの強度ピーク値から光スポット径を算出
   するスポット径計測手段とを備え、 前記スポット径計測手段により露光光の合焦位置を検出
   すると共に、前記フォーカス光源の位置調整によりフォ
   ーカス光のコリメーションを調整し、フォーカス光の合
   焦位置を露光光の合焦位置に一致させることを特徴とす
   る光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置。
2. 【請求項２】 露光光源とフォーカス光源を別波長とす
   る光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置に
   おいて、 フォーカス光軸方向に移動可能なフォーカスコリメート
   レンズと、 露光対物レンズによって形成される光スポット光束を集
   光する顕微鏡対物レンズと、 前記顕微鏡対物レンズを介して光スポットを観測するモ
   ニタ装置と、 前記顕微鏡対物レンズを前記光スポット光軸方向に駆動
   する第１の駆動手段及び前記光スポット光軸に垂直な平
   面内の２方向に駆動する第２の駆動手段と、 前記光スポットの強度ピーク値から光スポット径を算出
   するスポット径計測手段とを備え、 前記スポット径計測手段により露光光の合焦位置を検出
   すると共に、前記フォーカスコリメートレンズの位置調
   整によりフォーカス光のコリメーションを調整し、フォ
   ーカス光の合焦位置を露光光の合焦位置に一致させるこ
   とを特徴とする光ディスク原盤露光機のフォーカス光学
   系調整装置。
3. 【請求項３】 請求項１及び請求項２記載の光ディスク
   原盤露光機のフォーカス光学系調整装置において、 前記顕微鏡対物レンズ光軸の２軸あおり手段を備えたこ
   とを特徴とする光ディスク原盤露光機のフォーカス光学
   系調整装置。
4. 【請求項４】 請求項３記載の光ディスク原盤露光機の
   フォーカス光学系調整装置において、 前記スポット径計測手段に、前記光スポット強度ピーク
   値の位置検出手段を備えたことを特徴とする光ディスク
   原盤露光機のフォーカス光学系調整装置。
5. 【請求項５】 請求項１ないし請求項４記載の光ディス
   ク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置において、 複数の顕微鏡対物レンズを搭載し、任意の１つの顕微鏡
   対物レンズを選択する選択手段を備えたことを特徴とす
   る光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置。