JP3860422B2 - 耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材とその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、高温酸化性環境中でアルミナ層またはクロミヤ層を形成、再生するAlまたはCrの供給層が表面に形成されてなる耐高温酸化性、または耐高温酸化性と高温耐摩耗性に優れた耐熱性Ti合金部材とその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
ジェットエンジン、ガスタービンのブレードは高温で強度を有することの他に使用条件下で耐酸化性、耐食性、耐磨耗性が求められる。これらの部材としてはNi基超合金が主に用いられているが、自動車のターボチャージャ等の汎用品には耐熱Ti合金、TiAl金属間化合物等の耐熱性Ti合金部材の使用が検討されている。
【0003】
耐熱性Ti合金部材は、一般の金属材料に比べると靭性に劣るものの、セラミックスに比べると一桁高い靭性値を有する。更に、比重が小さいこと、高温での強度に優れることから、主として、高温、高速で回転するガスタービン、ターボチャージャ等のタービン材を始めとして高温構造材料として極めて有望である。しかし、耐熱性Ti合金部材は、耐酸化性、耐食性、耐磨耗性に難があり、高温で使用したときに酸化層が厚く生成し、高温の大気中では実用に耐えないので、部材表面に皮膜を付け、これらの特性を改善する研究が行われている。
【0004】
一般に、金属材料は酸化雰囲気中で用いた場合、表面に酸化物層が生成する。多くの場合、この酸化物層が時間と共に成長し、母材を侵食する。すなわち、酸化腐食である。ところが、場合によっては、表面に薄い酸化物層が生成してこれが保護皮膜として作用し、母材の耐酸化性を高めることがある。
【0005】
保護皮膜として作用するものは、例えば、Niを母材に含有する場合のNiO、Alを母材に含有する場合のAl2 O3 等である。Ti−Al合金部材の場合、酸化雰囲気中にあっては、部材表面にTiO2 (ルチル)層が生成し、その後TiO2 +Al2 O3 混合層が生成されることが知られている。このルチル層は保護皮膜としては作用しないため、Ti−Al合金部材の耐酸化性を低下させる原因となっていた。
【0006】
Ti−Al合金部材は耐酸化性に劣るため、近年、表層に耐酸化性の優れた皮膜を形成する種々の方法が開発されている。例えば、表層に耐酸化性の優れたMCr型またはMCrAlY(MはNi,Co,Fe)被覆を形成する方法(日本金属学会誌、第57巻、第7号、781〜789頁、1993年)、TiAl3層を被覆する方法(特開平1−111858号公報)、TiAlCrTa層を形成する方法(特公平7−74407号公報)、PtAl2 拡散層上にPtメッキ−アルミナイジング層を形成する方法(特開平9−268366号公報)、母材の表面に表面から深さ方向にMoやWの濃化層を設ける方法(特開平5−78817号公報)、Cr,Nb,Ta,Wの少なくとも1種以上からなる酸化物皮膜等を形成する方法(WO97/37050)等が開発されている。
【0007】
さらに、これらの皮膜形成製品において酸化性ガス雰囲気の酸素が母材に拡散し有害な酸化物を形成しないようにNb,Ta,V,W,Hf等の高融点金属からなる厚さ5〜10μm程度の拡散バリヤー層を設け、その上に銅等の高融点金属と相溶性の金属の層と、その上の中間の耐酸化性皮膜層と、その上の被酸化性金属の外側の耐酸化性皮膜層からなるコーティング膜を設けたもの(特開平4−268082号公報、特許第3079116号)や拡散バリヤー層としてPtAl2 、TiAl等の厚さ0.1〜10μm程度の金属間化合物層を用いたもの(特表平8−506383号公報)も知られている。
【0008】
なお、Ni,Co,Feの1種以上を主成分とする耐熱合金にMCrAlY(M=Ni,Co,Fe)の耐酸化性皮膜を被覆する際に酸素や窒素を固溶する耐熱金属層を拡散バリヤ層として用いることも知られている(特開平9−104987号公報)。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
耐熱Ti合金やTiAl金属間化合物は軽量で高温強度、クリープ強度が優れており、耐熱材料としての実用化が進められている。しかし、一般にTi合金は酸化性雰囲気中では500℃以下の温度では酸素の拡散侵入による脆化の問題があり、より高温では酸化反応が進行して脆いTiO2 が形成され耐酸化性が著しく低下してしまう問題がある。
【0010】
耐熱性Ti合金、特に、TiAl金属間化合物部材の実用化が期待されているジェットエンジン、自動車用ターボチャージャ翼は、起動−停止の繰り返しによる過酷な熱サイクル下で使用され、耐久性はもとより、高温の燃焼ガスによる高温腐食と微粒子衝突による摩耗対策が重要な課題となっている。このため、耐熱Ti合金の母材組成の改良や、耐熱Ti合金やTiAl金属間化合物部材への各種の皮膜の形成等の耐酸化性改善手段が開発されている。
【0011】
しかし、上記の特開平4−268082号公報記載の発明では、相溶性皮膜層は高温(800℃、長時間では700℃)では隣り合う層との反応により合金化が進行してその機能を失う。特表平8−506383号公報記載の発明では、拡散バリヤ層が金属や合金であるため、安定な暴露条件は、700℃で100時間、1150℃で40分程度と大変レベルの低いものである。特開平9−104987号公報記載の発明では、熱応力の軽減を狙ってバリヤ層を多孔質にすることを必須要件としており、比較的耐酸化性に優れたNi基超合金には有効であるが、本質的に耐酸化性に乏しい耐熱性Ti合金部材には適用できない。
【0012】
上記の通り、従来の拡散バリヤ層はいずれも金属系であり、高温では、母材と表面層がバリヤ層も含めて互いに拡散して、合金化してしまうから長時間に亘ってバリヤ特性を維持することができず、皮膜の組成が変化し、耐酸化性に優れたアルミナまたはクロミヤ層の再生、維持が困難であるという欠点を有する。さらに、摩耗を伴う環境下では全く使用できない。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記のような課題を解決し、耐熱性Ti合金部材が使用される過酷な環境に耐える新規な皮膜構造を有する耐熱性Ti合金部材を提供するものである。
【0014】
すなわち、本発明は、耐熱性Ti合金部材の表面に形成された炭化チタン(TiC)、硼化チタン(TiB)、炭硼化チタン(TiBC)の群からなる少なくとも1種の不活性皮膜層(層I)を介して、高温酸化性環境中でアルミナ層またはクロミヤ層を形成、再生するAlまたはCrの供給層(層II)が形成されてなることを特徴とする耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材である。
【0015】
また、本発明は、AlまたはCrの供給層(層II)は、Ni−Al合金、Ni−Cr合金、Fe−Al合金、Fe−Cr合金、Fe−Cr−Al合金、MCrAlY(M=Ni,Co,Fe)合金の群からなる1種であることを特徴とする上記の耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材である。
また、本発明は、不活性皮膜層(層I)の厚みが0.1〜5μmであることを特徴とする上記の耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材である。
【0016】
また、本発明は、AlまたはCrの供給層(層II)は、W,Mo,Nb,Ta,Vの群からなる少なくとも1種の高融点金属またはその合金の硬質粒子および/または炭化物、硼化物、炭硼化物の群からなる少なくとも1種の硬質粒子を含有する粒子分散合金からなることを特徴とする上記の耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材である。
【0017】
また、本発明は、耐熱性Ti合金部材の表面に形成した応力緩和層(層III)を介して不活性皮膜層(層I)が形成されてなることを特徴とする上記の耐熱性Ti合金部材である。
また、本発明は、耐熱性Ti合金部材の表面にスパッタリング、CVD、PVD、またはMEBPVDにより炭化チタン(TiC)、硼化チタン(TiB)、炭硼化チタン(TiBC)の群からなる少なくとも1種の不活性皮膜層(層I)を形成し、次いで、AlまたはCrの供給層(層II)を層I上に形成することを特徴とする上記の耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材の製造方法である。
【0018】
また、本発明は、耐熱性Ti合金部材の表面に硼素(B)および/または炭素(C)を含有するNiまたはCr皮膜を形成し、次いで、加熱により耐熱性Ti合金部材と硼素(B)および/または炭素(C)含有皮膜を反応させることにより不活性皮膜層(層I)を形成し、次いで、AlまたはCrの供給層(層II)を層I上に形成することを特徴とする上記の耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材の製造方法である。
また、本発明は、耐熱性Ti合金部材の表面に硼素(B)および/または炭素(C)を含有するNiまたはCr皮膜を形成し、次いで、AlまたはCrの蒸発拡散処理によりAlまたはCrの供給層(層II)を形成すると同時にAlまたはCrの蒸発拡散処理の加熱により耐熱性Ti合金部材と硼素(B)および/または炭素(C)含有皮膜を反応させることにより不活性皮膜層(層I)を形成することを特徴とする上記の耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材の製造方法である。
【0019】
【作用】
本発明の耐熱性Ti合金部材の層構造において、AlまたはCrの供給層(層II)は保護的アルミナ層またはクロミヤ層を形成、再生、維持する能力を与えるものであり、耐熱性Ti合金部材の表面層にこのような保護的アルミナ層またはクロミヤ層を用いる手段自体は公知のことである。
【0020】
このような層構造において基材との拡散バリヤとして高融点金属等の層を用いた場合は、短時間であれば拡散防止の効果があるものの、この拡散バリヤと隣り合う層との反応性が大きく、長時間の拡散防止効果が得られない。
【0021】
本発明の耐熱性Ti合金部材の層構造において、特徴的な事項は、不活性皮膜(層I)を介在させることである。本発明の耐熱性Ti合金部材の層構造においては、AlまたはCrの供給層(層II)と耐熱性Ti合金部材との間に両者を構成する元素の相互拡散を抑制する機能を有するのみならず、かつ隣り合う層と反応せずに層自体の安定性を保つ機能が大きい皮膜を介在させる。本発明で「不活性皮膜」とは、このような機能を有する皮膜を言う。
【0022】
不活性皮膜のこのような機能は、耐熱性Ti合金部材の主成分であるTiと炭素(C)および/または硼素(B)との無機化合物であるTiC、TiB、またはTiBCによって奏される。TiAl金属間化合物やその他のTi−Al合金部材の場合は、その成分であるAlと硼素(B)との無機化合物であるAlBも同様の作用を呈する。
【0023】
これらの無機化合物の緻密な不活性皮膜(層I)は、表層のAlまたはCrの供給層(層II)、好ましくは、Ni−Al,Ni−Cr−Al,Fe−Al,Fe−Cr,Fe−Cr−Al,MCrAlY(M=Ni,Co,Fe)等と反応しにくく、また、Al2 O3 またはCr2 O3 との密着性に優れている。さらに、耐熱性Ti合金部材とも反応せず、高温においても安定に存在できる。この不活性皮膜(層I)は、酸素、窒素等のガス成分も、通常の結晶内拡散として、また、ボイド等の物理的欠陥をガス体として通過するのを完全に遮断することができる。
【0024】
さらに、AlまたはCrの供給層(層II)を、耐酸化性を付与するAl(rich)合金またはCr富化(rich)合金相に耐摩耗性を付与する無機化合物(炭化物、硼化物、炭硼化物)粒子または高融点金属またはその合金の硬質微粒子を分散させた層とすることによって、高温酸化と飛来粒子による激しい摩耗が重畳する環境に対して優れた耐高温酸化と耐摩耗性が得られる。
【0025】
応力緩和層(層III)を耐熱性Ti合金部材と不活性皮膜(層I)との間に必要に応じて介在させることによって、耐熱性Ti合金部材と層Iおよび/または層IIとの間に発生する応力を低減することができる。
【0026】
本発明の耐熱性Ti合金部材としては、「耐熱チタン合金」の用語で定義される稠密六方晶のα相と体心立方晶のβ相との混合組織を持ち高温強度の優れたTi合金であって、軽量高強度の特性も有し、300〜600℃で使用される航空機のエンジン部材に適する合金およびTi3 Al、TiAl、TiAl2、TiAl3の何れかで示される25at%Al〜75at%Alの定比組成の合金であるTiAl金属間化合物およびこれに各種元素を1種以上添加したものを代表的なものとして挙げることができるが、これらに限定されず、主成分としてTiを含有する合金、例えば15at%Al〜67at%Al、残部Tiからなる合金等であって耐熱材料として用いられるものであれば特にその組成は限定されない。
【0027】
耐熱チタン合金の代表的なものとしては、Ti−5.5%Al−4%Sn系合金、Ti−6%Al−4%V系合金が挙げられる。通常、約500℃までの温度領域で使用されている耐熱Ti合金の場合には、本発明の皮膜構造を有する部材とすることによって耐酸化性を800℃に上昇させることができる。なお、この限界温度は耐熱Ti合金自体の強度に由来するもので、耐酸化性自体は1100℃に達する。また、TiAl金属間化合物の場合には、1000℃〜1100℃の高温における耐酸化性に優れた部材を提供することができる。
【0028】
【発明の実施の形態】
本発明の耐熱性Ti合金部材の皮膜構造は、耐熱性Ti合金部材の表面に不活性皮膜層(層I)を介してアルミナ層またはクロミヤ層を形成、再生するAlまたはCrの供給層(層II)が形成されている積層構造をなしていることを特徴とする。
【0029】
不活性皮膜層(層I)は、耐熱性Ti合金部材とAlまたはCrの供給層(層II)との中間に介在し、不活性皮膜層(層I)を構成する元素が耐熱性Ti合金部材中に、および、耐熱性Ti合金部材の元素が不活性皮膜層(層I)に、それぞれ拡散移動するのを抑制する機能を有する。不活性皮膜層(層I)は、小さい拡散係数を有する無機化合物が適し、特に、TiC、TiB、AlB、TiBCが適する。耐熱性Ti合金に酸素と窒素は高温で多量に固溶するので、酸化物と窒化物は高温では不安定となり、分解するので不適当である。
【0030】
不活性皮膜層(層I)は、スパッタリング、CVD、PVD、MEBPVD等公知の汎用的方法を採用して形成することができる。皮膜を形成する前に耐熱性Ti合金部材表面を機械的研磨または化学研磨液で前処理して清浄にする。
【0031】
これらの方法で形成した皮膜は、通常、耐熱性Ti合金部材への密着性が悪いが、本発明では耐熱性Ti合金部材の表面にBおよび/またはC含有のNiまたはCr皮膜を形成し、次いで、加熱により耐熱性Ti合金部材とBおよび/またはC含有皮膜を反応させることにより密着性に優れたTiC、TiB、またはTiBCの皮膜を形成することができる。また、加熱はAlまたはCrの供給層(層 II )を層 I 上に形成する際のAlまたはCrの蒸発拡散処理の加熱を利用することにより行うことができる。
【0032】
例えば、硼化物の皮膜をAlまたはCrの蒸発拡散処理の加熱を利用して形成するには、耐熱性Ti合金部材表面にNi−Bを無電解メッキし、Bを0.5〜10体積%程度含有するNi皮膜を形成し、その後Ni皮膜の上からAlまたはCr拡散処理し、この際の加熱反応によってBはTi合金部材のTiまたはTi+Alと反応して硼化物の皮膜を形成することができる。炭化物は、Ni電気メッキ液に炭素の微粉末を懸濁させて炭素微粉末を1〜10体積%程度含有するNi複合メッキ皮膜を形成し、その後Ni複合メッキ皮膜の上から高温でAlまたはCrを蒸発拡散処理し、この際の加熱反応によってCをTi合金部材のTiまたはTi+Alと反応させて炭化物の皮膜を形成させることができる。炭硼化物は、Ni電気メッキ液に炭素と硼素の微粉末を懸濁させて炭素および硼素の微粉末を含むNi複合メッキ皮膜を形成する方法によって、同様に形成することができる。
【0033】
不活性皮膜層(層I)の厚みの好ましい範囲は0.1μm〜5μmであり、特に、連続層でかつ薄いほどよい。厚いと剥離しやすくなるので、密着性の観点からは、さらに好ましくは0.1μm〜2μmである。
【0034】
AlまたはCrの供給層(層II)は、アルミナ層またはクロミヤ層を形成、再生して耐酸化性を長期間に亘って維持する機能を有する材料組成であればよく、AlまたはCrを比較的多く含む合金、例えば、Al含有量が3〜30重量%のNi−Al合金やFe−Al合金、Cr含有量が15〜50重量%のNi−Cr合金やFe−Cr合金またはMCrAlY(M=Ni,Co,Fe)合金が適する。
【0035】
AlまたはCrの供給層(層II)は、スパッタリング、CVD、PVD、MEBPVD等公知の汎用的方法を採用して形成することができる。また、Ni−AlまたはNi−Crを溶融塩から合金メッキした後高温で熱処理することにより形成することもできる。上記の方法により不活性皮膜層(層I)の上に、前処理することなく直接皮膜を形成することができる。
【0036】
また、予めNiの皮膜を形成し、この皮膜の上からAlまたはCr蒸気拡散を行うことによって形成することもできる。例えば、Ni−Al合金は、水溶液から電気メッキによりNi皮膜を形成した後、Ni皮膜の上から高温でAl蒸気拡散を行うことにより形成することができる。Ni−Cr合金は、水溶液から電気メッキによりNi皮膜を形成した後、Ni皮膜の上から高温でCr蒸気拡散を行うを行うことにより形成することができる。
【0037】
AlまたはCr蒸気拡散処理自体は公知の手段を採用できる。Al蒸気拡散処理は、例えば、Al粉末またはNi−Al合金粉末+NH4Cl粉末+AlO3粉末中で水素またはアルゴンなどの不活性ガス雰囲気中で、800〜1000℃で2〜5時間加熱する。同様に、Cr蒸気拡散処理も粉末をAl系からCrまたはNi−Cr合金の粉末に変更することによって形成できる。Al蒸気拡散処理は、例えば、塩化アルミニウムガス(AlCl3 )+水素ガス(H2 )の雰囲気中で、800〜1000℃で2〜5時間加熱することによって行うことがもきる。
【0038】
AlまたはCrの供給層(層II)の厚みの好ましい範囲は5μm〜30μmである。厚みは30μm程度あれば十分であり、皮膜層は強度的に弱いので薄い方が有利であるが、5μmより薄いと、不活性皮膜層が直接雰囲気にさらされる危険性がある。
【0039】
AlまたはCrの供給層(層II)をAlまたはCrを比較的多く含む合金と硬質の粒子分散皮膜とすることにより耐摩耗性を付与することができる。硬質の粒子としては、高融点金属(W,Mo,Nb,Ta,V)またはその合金の粒子または、炭化物(TiC)、硼化物(AlB,TiB)、炭硼化物(TiBC)等の無機化合物の粒子が挙げられる。
【0040】
粒子分散皮膜は、例えば、電気メッキ液にこれらの微粒子を懸濁させて複合メッキすることにより形成することができる。粒子分散皮膜の厚みの好ましい範囲は10〜50μmである。厚みは50μm程度あれば十分であり、皮膜層は強度的に弱いので薄い方が有利であるが、10μmより薄いと、不活性皮膜層が直接雰囲気にさらされる危険性がある。
【0041】
さらに、耐熱性Ti合金部材の表面に応力緩和層(層III)を介して不活性皮膜層を形成してもよい。応力緩和層は、不活性皮膜層(層I)および/またはAlまたはCrの供給層(層II)とTi合金部材との間に発生する応力を緩和させる機能を有する。応力緩和層は、Ti合金部材と不活性皮膜層(層I)およびAlまたはCrの供給層(層II)の中間の熱膨張係数を有する合金、例えば、TiAlCrのβ相、ラーベス相、または軟質系の金属、合金、例えば、高温で強度を失って大変軟らかくなるNi、Fe、またはFe−Ni合金、耐熱性Ti合金部材と不活性皮膜層(層I)との複合材料、例えば、TiAl+無機化合物粒子が望ましい。
【0042】
応力緩和層(層III)は、スパッタリング、CVD、PVD、MEBPVD等公知の汎用的方法を採用して形成することができる。さらに、TiAlCrのβ相、ラーベス相は溶融塩からの合金メッキにより形成することもできる。Ni、Fe、またはFe−Ni合金は水溶液からの電気メッキにより形成することもできる。耐熱性Ti合金部材と応力緩和層(層III)と不活性皮膜層(層I)との複合材料の応力緩和層(層III)は、加熱反応により形成される不活性皮膜層と同時にその下地層として形成することもできる。
【0043】
TiAl+無機化合物粒子の層は、無機化合物の微粉末を懸濁させた溶融塩中でメッキすることにより形成することもできる。応力緩和層(層III)の厚みの好ましい範囲は1〜10μm程度である。1μmより薄いと、不活性皮膜層としての性能を十分発揮できない。厚すぎると発生する熱応力が大きくなり、皮膜の剥離、亀裂発生に有害である。応力緩和層(層III)を設けた場合は、不活性皮膜層(層I)は、応力緩和層(層III)を構成する元素が拡散移動するのを抑制する機能も有する。
【0044】
【実施例】
実施例1
鋳造により製造したTiAl金属間化合物からなる合金板材(2cm×2cm×0.5cm)からなる基板の表面をフッ酸で化学研磨して清浄にした後、マグネトロンスパッタリング装置にセットしB粉末とTi粉末を混合して作成した焼結体をターゲットとしてスパッタリングし、板材表面に約4μmのTiBからなる不活性皮膜を形成した。合金板材を取り出し、約15μmのNi皮膜を電気メッキし、真空蒸気拡散装置を用いてAl蒸気拡散を1000℃、4時間、真空中で行った。これにより、基板表面に基板側からTiAlとTiBの混合層からなる応力緩和層(層III、約5μm)とTiBからなる不活性皮膜層(層I、約3μm)とNiAlからなるAlの供給層(層II、約20μm)が形成された。
【0045】
TiAlとTiBの混合層からなる応力緩和層は、TiAlの母相の中に径約3μm程度のTiB粒子が体積%で10%程度分散したものであり、NiAlからなるAlの供給層は、Alを約25重量%含有する合金であった。
【0046】
皮膜を形成した後、自記式熱天秤装置を用いて、空気中、100時間、温度900℃で酸化試験をした。表面にはAl2 O3 層が形成された。酸化腐食量は、1mg/cm2 であった。比較例として、不活性皮膜層を形成していないTiAl金属間化合物部材を用いた場合は、表面にはTiO2 とAl2 O3 の混合層が形成され、酸化腐食量は100mg/cm2 であった。
【0047】
実施例2
Al拡散処理に代えてCr蒸気拡散を900℃、5時間、真空中で行ってCrの供給層(層II)としてNi−Cr層(20μm)を形成した他は、実施例1と同様の皮膜構造を形成した。実施例1と同様の酸化試験により、表面にはCr2 O3 層が形成された。酸化腐食量は、2〜3mg/cm2 であった。比較例として、不活性皮膜層を形成していないTiAl金属間化合物部材を用いた場合は、表面にはTiO2 とCr2O3 の混合層が形成され、酸化腐食量は100mg/cm2 であった。
【0048】
実施例3
実施例1のNiメッキに代えて、Niメッキ液に粒径1〜5μmのTiC微粉末25g/lを懸濁させて電気メッキすることによって複合Ni−TiC(TiC:20体積%)皮膜を形成した。次いで、真空中、900℃、4時間、Al蒸気拡散処理を行った。これにより、Alの供給層(層II)としてNiAlにTiCを約10vol%分散させた層(40μm)とした他は、実施例1と同様の皮膜構造を形成した。
【0049】
皮膜を形成した後、尾越式摩擦試験機を用いて、室温、無潤滑、相手部材SKD11Rc58−62、荷重1.5kg/cm2 、周速度:0.5m/secでピンディスク摩耗試験をした。実施例1のものについても同様に摩耗試験を行った。結果を下記表1に示す。実施例1に比べて摩耗量は大幅に低下した。
【0050】
【表1】
【0051】
また、皮膜を形成した後、試験片を700℃と900℃に加熱した電気炉中に45度の傾斜で設置し、平均粒サイズ0.5mmの砂を1.5mの高さから5分間自由落下させて、高温酸化環境での摩耗試験を行った。結果を下記表2に示す。実施例1に比べて摩耗量は大幅に低下した。
【0052】
【表2】
【0053】
実施例4
実施例1のマグネトロンスパッタリングによるTiBの形成に代えて、約1μmのTiCからなる不活性皮膜を形成した後、約10μmのNi皮膜を電気メッキし、900℃、3時間、真空中でAl蒸気拡散処理した。この試料と比較のため無処理のTiAl金属間化合物部材について、自記式熱天秤で酸化温度1000℃、酸化時間100時間、大気中の条件で酸化腐食量を測定した。
【0054】
実施例4では、表面にAl2 O3 のみの層が形成され、酸化腐食量は3mg/cm2 にすぎなかったが、比較例ではAl2 O3 とTiO2 の皮膜が形成され酸化腐食量は150mg/cm2 と大きかった。
【0055】
【発明の効果】
本発明は、高温腐食、摩耗、熱サイクルのいずれにも対応できる皮膜構造を提供するものであり、耐熱性Ti合金部材の実用化が革新的に進展することが期待される。
Claims (8)
- 耐熱性Ti合金部材の表面に形成された炭化チタン(TiC)、硼化チタン(TiB)、炭硼化チタン(TiBC)の群からなる少なくとも1種の不活性皮膜層(層I)を介して、高温酸化性環境中でアルミナ層またはクロミヤ層を形成、再生するAlまたはCrの供給層(層II)が形成されてなることを特徴とする耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材。
- AlまたはCrの供給層(層II)は、Ni−Al合金、Ni−Cr合金、Fe−Al合金、Fe−Cr合金、Fe−Cr−Al合金、MCrAlY(M=Ni,Co,Fe)合金の群からなる1種であることを特徴とする請求項1記載の耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材。
- 不活性皮膜層(層I)の厚みが0.1〜5μmであることを特徴とする請求項1または2記載の耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材。
- AlまたはCrの供給層(層II)は、W,Mo,Nb,Ta,Vの群からなる少なくとも1種の高融点金属またはその合金の硬質粒子および/または炭化物、硼化物、炭硼化物の群からなる少なくとも1種の硬質粒子を含有する粒子分散合金からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材。
- 耐熱性Ti合金部材の表面に形成した応力緩和層(層III)を介して不活性皮膜層(層I)が形成されてなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の耐熱性Ti合金部材。
- 耐熱性Ti合金部材の表面にスパッタリング、CVD、PVD、またはMEBPVDにより炭化チタン(TiC)、硼化チタン(TiB)、炭硼化チタン(TiBC)の群からなる少なくとも1種の不活性皮膜層(層I)を形成し、次いで、AlまたはCrの供給層(層II)を層I上に形成することを特徴とする請求項1に記載の耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材の製造方法。
- 耐熱性Ti合金部材の表面に硼素(B)および/または炭素(C)を含有するNiまたはCr皮膜を形成し、次いで、加熱により耐熱性Ti合金部材と硼素(B)および/または炭素(C)含有皮膜を反応させることにより不活性皮膜層(層I)を形成し、次いで、AlまたはCrの供給層(層II)を層I上に形成することを特徴とする請求項1に記載の耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材の製造方法。
- 耐熱性Ti合金部材の表面に硼素(B)および/または炭素(C)を含有するNiまたはCr皮膜を形成し、次いで、AlまたはCrの蒸発拡散処理によりAlまたはCrの供給層(層II)を形成すると同時にAlまたはCrの蒸発拡散処理の加熱により耐熱性Ti合金部材と硼素(B)および/または炭素(C)含有皮膜を反応させることにより不活性皮膜層(層I)を形成することを特徴とする請求項1に記載の耐高温酸化性に優れた耐熱性Ti合金部材の製造方法。
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