JP3810330B2 - 耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料およびその製造方法 - Google Patents
耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料およびその製造方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐高温腐食性に優れた皮膜により耐久性を改善した耐熱合金材料およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
ターボチャージャー、ジエットエンジン、ガスタービン、スペースプレイン等の高温雰囲気に曝される構造材料には、TiAl系金属間化合物[Ti3Al系(α2相)とTiAl系(γ相)]、耐熱チタン材料[α+β型:Ti−6Al−4V合金、Ti−6Al−4Mo−4Cr(その他、Zn、Sn)合金、near α型:Ti−6Al−4Zr−2.8Sn合金、near β型:Ti−5Al−3Mo−3Cr−4Zr−2Sn合金]等の耐熱性Ti合金、超合金等のNi基、Co基、Fe基耐熱合金、Nb基、Ir基、Re基等のその他の耐熱合金、炭素材料、各種金属間化合物が使用されている。
【0003】
耐熱合金材料が曝される高温雰囲気は、酸素、水蒸気等の酸化性、腐食性成分を含むことがある。腐食性の高温雰囲気に耐熱合金材料が曝されると、雰囲気中の腐食性成分との反応によって酸化や高温腐食が進行しやすい。雰囲気中から耐熱合金材料に浸透したO、N、S、Cl、C等によって耐熱合金材料表面に内部腐食が発生し、材料強度が低下する場合もある。
【0004】
高温腐食は、環境遮断能に優れた保護皮膜で耐熱合金材料の表面を被覆することにより防止できる。代表的な保護皮膜にAl2O3、SiO2、Cr2O3等があり、酸化性雰囲気中で耐熱合金材料の基材から表層にAl、Si、またはCrを拡散する方法、CVD、溶射、反応性スパッタリング等によってAl2O3、SiO2、またはCr2O3層を耐熱合金材料表面に形成する方法が採用されている。Al2O3、SiO2、Cr2O3の皮膜は、雰囲気中の酸化性成分と耐熱合金材料の金属成分との反応を抑制し、耐熱合金の有する本来の優れた高温特性を持続させる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
耐熱合金基材からAlを表層に拡散させてAl2O3皮膜を形成する場合、耐熱合金基材の表面のAlが皮膜形成に消費されるため、Al2O3皮膜の直下の耐熱合金基材の表層にAl濃度が低下した層(Al欠乏層)が生成する。
【0006】
Al欠乏層は、Al2O3被覆形成に必要なAlソースとして働かない。そのため、耐熱合金材料の表面のAl2O3皮膜に亀裂、剥離等の欠陥が生じると、十分な量のAlが耐熱合金基材から供給されず、欠陥部を起点にする腐食、酸化が急速に進展して表面全体に広がる。
【0007】
Al2O3皮膜の環境遮断能を長期にわたって維持するために、Al欠乏層の生成に起因する耐熱合金材料表層のAl濃度低下を考慮し、耐熱合金基材のAl含有量を予め高く設定することが考えられる。しかし、Al含有量の増加に伴い耐熱合金基材が脆化し、鍛造、成形加工等が困難になる。耐熱合金基材の種類によっては、Al含有量を増加させると高温強度が低下するものもある。
【0008】
前記した耐熱性Ti合金では、保護的Al2O3スケールを形成するためには、酸素ガス雰囲気ではAl濃度は約50原子%以上必要であるのに対して、空気中では55原子%以上のAl濃度が必要であると言われている。特に、実用環境で遭遇する雰囲気には酸素の他に、窒素、水蒸気、亜硫酸ガス等の腐食性ガス等が含まれており、チタン酸化物の形成を阻止することが重要である。すなわち、Al濃度の増大とともに、Ti濃度の低下が必要である。同様のことは、CrまたはSiを拡散させてSiO2やCr2O3の皮膜を形成する場合にも言える。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、酸化物皮膜に及ぼす下地金属層の特異な拡散浸透現象を利用することにより、酸化物皮膜の環境遮断機能を長期に亘って良好に維持し、耐熱合金の有する本来の優れた高温特性を十分に発現させることができ、上記の課題を解決できることを見出した。
【0010】
すなわち、本発明は、耐熱合金基材にAl,Cr,Siの群から選ばれる金属を拡散浸透処理することにより生成した金属間化合物からなる内層および外層の複層構造をもつ皮膜が形成されている耐熱合金材料であって、内層と外層の金属間化合物の相の違いによりAl,Cr,Siの群から選ばれる金属元素の濃度が外層より高い内層が形成されていることを特徴とする耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料である。
【0011】
また、本発明は、内層および外層の複層構造は耐熱合金基材に形成されたアップヒル拡散を生ぜしめる金属めっき層を介してAl , Cr,Siの群から選ばれる表面被覆金属層を拡散浸透処理することにより生成したものであることを特徴とする上記の耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料である。
【0012】
また、本発明は、耐熱合金基材、金属めっき層、Al,Cr,Siの群から選ばれる表面被覆金属層の組み合わせが、
Fe合金/Ni/Al、Co合金/Ni/Al、Mo合金/Ni/Al、Mo合金/Cr/Al、Zr合金/Cr/Al、Ti合金/Ni/Al、Ti合金/Ni/Cr、TiAl系金属間化合物/Ni/Al、Fe合金/Mn/Cr、
Mo合金/Pd/Si、Fe合金/Mn/Si、
のいずれかであることを特徴とする上記の耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料である。
【0013】
また、本発明は、耐熱合金基材にアップヒル拡散を生ぜしめる金属めっき層を形成した後、高活量の蒸気拡散処理を行うことにより金属間化合物からなる内層および外層の複層構造を形成することを特徴とする上記の耐熱合金材料の製造方法である。
【0014】
また、本発明は、耐熱合金基材にAl,Cr,Siの群から選ばれる金属を拡散浸透処理することにより生成した内層および外層の複層構造をもつ皮膜が形成されている耐熱合金材料であって、Al,Cr,Siの群から選ばれる金属元素の濃度が外層より高い内層が該拡散浸透処理により形成されていること特徴とする耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料において、内層および外層の複層構造は耐熱合金基材にAl,Cr,Siの群から選ばれる金属とアップヒル拡散を生ぜしめ金属との合金を溶融塩めっきすることにより生成したものであることを特徴とする上記の耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料である。
【0015】
また、本発明は、 耐熱合金基材に直接、Al,Cr,Siの群から選ばれる金属とアップヒル拡散を生ぜしめる金属との合金を溶融塩を用いてめっきすることにより金属間化合物からなる内層および外層の複層構造を形成することを特徴とする上記の耐熱合金材料の製造方法である。
【0016】
NiめっきしたTi−Al合金基材を、たとえば、高温(1000℃)でAl蒸気拡散処理すると、図1に模式的に示すとおり、基材1の表面にTiAl3、TiAl2、Ti(A1、Ni)3等からなるAl濃度:約75原子%の内層2およびNi2Al3を主成分とするAl濃度:約60原子%の外層3が生成される。外層3より内層2でAl濃度がより高くなることはアップヒル拡散(up-hill diffusion)によるものであり、めっきにより形成したNiはアップヒル拡散を生ぜしめる作用をし、Ti−Al−Niの三元状態図(図2)を用いて次のように説明できる。
【0017】
Alは、Al蒸気拡散温度(1000℃)で液相を呈し、Ni−Al系ではNi2Al3相と共存し、Ti−Al系ではTiAl3相と共存する。したがって、NiめっきしたTi−Al合金をAl蒸気拡散すると、Niめっき層は、Alと反応してγ−Ni(Al)→γ´−Ni3Al→β−NiAl→Ni2Al3と変化し、最終的にはNiめっき層全体がNi2Al3となった外層3が生成する。また、Al蒸気拡散の初期には、Niめっき層とTiAlが反応する。図2のAlの頂点から延びる4本の直線は、Al蒸気と平衡して存在できる各相を示している、
【0018】
Niめっき層が完全にNi2Al3相に変化した後では、Niと基材のTi−Al合金の拡散領域にAlが侵入し、Al−Ni−Tiの化合物層(内層2)が生成される。Alの拡散侵入が更に進行すると、基材1のTi−Al合金がTiAl2、更にはTiAl3に変化する。
【0019】
このように、外層3の基材側にAl濃度が外層より高い内層2が生成するため、Alが外層から基材側へ拡散するのを阻止し、かつ、外層のAlが酸化物の形成によって消費されるとき、内層2からAlが供給されるため、保護的Al2O3スケールの形成・維持と剥離の際には再生する能力を長時間に亘って維持できる。
【0020】
高Al濃度の内層2、低Al濃度の外層3は、高活量のAl蒸気拡散で生成される。図2において、Ni-Al系のNi2Al3相からAl-Ti系のTiAl3相を破線で結んでいる。この破線の中に、2種類の化合物A,Bが存在する。この2種類の化合物A,Bは、TiAl3相に近接しているAがTi(Al,Ni)3 相であり、また、中心部にある化合物BはAl2TiNi相である。
これらNi2Al3相、TiAl3相、Ti(Al,Ni)3 相とAl2TiNi相にAl相より矢印で結ばれている線がタイライン(共役線)であり、両者が共存できることを意味する。すなわち、両者のAl活量は等しいことになる。
【0021】
図2に示した破線はAl拡散処理した時のコ−ティング皮膜の層構造の順番を示している。すなわち、外側から、Ni2Al3 → Al2TiNi →Ti(Al,Ni)3 → TiAl3 → TiAl2 → 基材(TiAl)となる。これは、図3に示すAl拡散処理した耐熱合金材料の表層部断面の構造と一致している。
【0022】
図6も、図2同様の状態図であるが、2本の破線が引かれている。この中で、Al相に近い方の破線は酸化時間36時間のときのもので、図4に示した結果(層の相対的厚さは変化している)に対応して、皮膜の構造は図2に示したものと同じ破線で与えられる。一方、Al相から離れたもう1本の線は、900℃で長時間(1000時間)酸化した図5の結果に対応する。この結果から、NiAl→ Al2TiNi →TiAl2 → 基材となり、この場合も、また アップヒル拡散となっている。すなわち、1000時間の酸化後も、Al濃度は低下するが、アップヒル拡散を維持している。
【0023】
上記のとおり、図2と図6の状態図に示すように、Al濃度の最も高い合金相はAl相と共存する相である。Al−Ni系では、処理温度が900〜1133℃ではNi2Al3相、Al−Ti系では、処理温度が1387℃以下では、TiAl3相である。したがって、この最もAl濃度の高いNi2Al3、TiAl3相を生成できるのを「高活量」と定義する。図8のSi−Mo系ではMoSi2相、Si−PdではPdSi2相がそれぞれに対応し、図10のAl−Fe系ではAl3Fe相、Al−Ni系ではNi2Al3相がそれぞれに対応する。
【0024】
一方、低活量は、例えば、Al−Ni系では、Ni2Al3より低Al濃度のβNiAl相、γ’−Ni3Al相が、また、Al−Ti系では、TiAl3より低濃度のTiAl2相、TiAl相を生成する場合である。
【0025】
高活量のAl蒸気拡散をするには、Al蒸気源として、純Al粉末+NH4Cl粉末+Al2O3粉末の混合粉にNiめっきした基材を埋没させて、真空または不活性ガス雰囲気で加熱する。または、純Al皮膜を施して、高温に加熱する。Ni−Ti−Al系の状態図で、Al相(660℃以上では液相であり、蒸気拡散ではAl蒸気相となる)とタイライン(共役線)を結ぶ皮膜を形成することが必要である。このタイラインで結ばれている相は、濃度は異なるが、互いに等しい活量を有している。
【0026】
他方、低Al活量の蒸気拡散では、外層3がβ−NiAlになり、外層3から内部に向けてγ’−Ni3(Al,Ti)、Ni2AlTiの内層2を経て基材のTiAlに至るが、内層2のAl濃度は55原子%以下に過ぎず、アップヒル拡散が生じない。そのため、外層のAlは内層を経て基材に拡散し、外層3のAl濃度は急速に低下する。すなわち、保護的Al2O3スケールの維持、再生能力が失われる。
【0027】
外層3に比較してAl濃度がより高い内層2は、アップヒル拡散が生じる系である限り、Ti−Al合金に特定されるものではない。Ti−Al合金以外に例えば、Fe合金、Co合金、Mo合金、Zr合金、Ti合金、TiAl系金属間化合物等を基材1に使用した場合でも生成する。
【0028】
通常、元素の拡散は濃度の高い方から低い方へ進行する。しかし、見掛け上、濃度の低い方から高い方へ拡散する、逆拡散の現象が生じることがある。このように濃度の低い方から高い方への拡散であることから、アップヒル拡散と呼ばれている。この現象は、3元素以上を含むいわゆる多元系拡散の時に現れる。
【0029】
現在、このアップヒル拡散が生じる理由としては、次のように考えられている。まず、拡散の駆動力は、濃度勾配ではなく、厳密には活量勾配であるということに起因する。従って、アップヒル拡散の場合でも、濃度ではなく、活量で考えると、活量の高いほうから低い方へ拡散は生じている。濃度が高いにもかかわらず、活量が低いのは熱力学的には合金を構成する元素同士の結合が強く、元素が互いに拘束しあっている場合に発生する。熱力学的には、活量係数として表現される。すなわち、濃度は高いが活量が低い場合は、活量係数が小さいことになる。
【0030】
Ti−Al−Ni系では、図2の矢印で示すように、Al蒸気源と同じAl活量を有する合金は、Ni2Al3相とTiAl3相の他に2種類のAlNiTi相がある。すなわち、これら各相のAl濃度は異なるが、Al活量はほとんど等しい。
【0031】
複層構造の皮膜内の各相の順番は次のように説明される。今、Niめっき層を施したTi−Al合金に対してAl蒸気拡散すると、AlはNi側から順に拡散浸透することになり、Alの活量はNi側から順に上昇することになる。すなわち、Al蒸気源側から、Ni2Al3相、2種類のAlNiTi相、TiAl3相、TiAl2相の順に生成されることになる。
【0032】
Alの濃度が外層より高い内層という場合の、「より高い」というのは、原理的には少しでも高ければよいということであるが、高活量処理では、上記の説明から分かるように、生成される層がNi2Al3、TiAl3等の組成が定比である金属間化合物である場合が多いので、外層がNi2Al3の場合、内層はTiAl3、TiAl2が対応する関係になり、階段状の濃度変化でより高いということになる。
【0033】
また、Al蒸気拡散に代えてCrやSi等を高活量で蒸気拡散することによっても、同様なメカニズムで内層2のCr濃度やSi濃度は外層3よりも高くなる。Cr濃度やSi濃度の高い内層2は、Alの場合と同じ原理により、外層から基材側へのCrやSiの拡散を阻止し、同時に、外層へのCrやSiのサプライヤーとしての機能を有する。その結果、外層3は、長時間に亘り、保護的なCr2O3やSiO2スケールを形成・維持し、剥離の際には再生する能力を保持することができる。したがって、耐熱合金材料の高温腐食が抑制され、耐熱合金の有する本来の優れた高温特性が発現される。
【0034】
【発明の実施の形態】
本発明で使用される耐熱合金基材には、TiAl系金属間化合物[Ti3Al系(α2相)とTiAl系(γ相)]、耐熱チタン材料[α+β型:Ti−6Al−4V合金、Ti−6Al−4Mo−4Cr(その他、Zn、Sn)合金、near α型:Ti−6Al−4Zr−2.8Sn合金、near β型:Ti−5Al−3Mo−3Cr−4Zr−2Sn合金]等の耐熱性Ti合金、Fe基、Ni基、Co基耐熱合金や超合金、その他のMo基、Zr基、Nb基、Ir基、Re基耐熱合金等がある。
【0035】
これらの合金基材にアップヒル拡散を生ぜしめる金属めっき層を形成して拡散浸透処理することにより上記のとおりの外層および内層を生成させることができる。具体的な耐熱合金基材、金属めっき層、Al,Cr,Siの群から選ばれる表面被覆金属層の組み合わせとしては、
Fe合金/Ni/Al、Co合金/Ni/Al、Mo合金/Ni/Al、Mo合金/Cr/Al、Zr合金/Cr/Al、Ti合金/Ni/Al、Ti合金/Ni/Cr、TiAl系金属間化合物/Ni/Al、Fe合金/Mn/Cr、Mo合金/Pd/Si、Fe合金/Mn/Si等が挙げられる。
以下、具体例として、耐熱合金基材に、Niめっき層を形成する場合について説明する。
【0036】
Niめっき層の形成は特段の制約を受けるものではない。めっき前には、汚れ、酸化物皮膜の除去等を耐水研磨紙による研磨、サンドブラスト等により適宜行う。Niめっき層は、電気めっき、無電解めっき、溶射、PVD、CVD、スパッタリング等、適宜の方法が採用される。Niめっき層は、Al、Cr、Si等の蒸気拡散で高Al、Cr、Si濃度の内層2を生成するために必要な膜厚で設けられるものであり、Al、Cr、Si等の蒸気拡散量にもよるが通常は10〜20μmの膜厚に調整される。
【0037】
Niめっき層を形成した後、Al、Cr、Si等の層を形成し、合金基材方向へのこれらの金属の拡散処理をする。温度600〜1100℃(AlとSiは低めの温度、Crは高めの温度)、望ましくは温度800〜1000℃の範囲での溶融塩浴や高温スパッタリングでは、Al、Cr、Si層の形成と同時に合金基材方向へのこれらの金属の拡散が進行する。
【0038】
Al層の形成には、パックセメンテーシヨン法、電気めっき法、スパッタリング法等が採用される。パックセメンテーション法では、Niめっきした耐熱合金基材をAl+NH4Cl+Al2O3の混合粉末に埋没させ、真空、不活性ガス、水素等の非酸化性雰囲気中で800〜1000℃に加熱することによりAl層を形成する。電気めっき法では、Niめっきした耐熱合金基材を溶融塩浴または非水系の電気めっき浴に浸漬し、電気めっきすることによりAl層またはAl−Ni層を形成する。スパッタリング法では、AlまたはAl−Ni合金をターゲットとしてスパッタリングすることによりAl層またはAl−Ni層を形成する。
【0039】
CrやSi等の層も同様に形成される。たとえば、Cr粉末+NH4Cl粉末+Al2O3の混合粉末、800〜1000℃、1〜10時間の条件での処理、Si粉末+NH4Cl粉末+Al2O3の混合粉末、800〜1000℃、1〜10時間の条件での処理、または水溶液からのCr電気めっき等の手段を採用できる。
【0040】
温度600〜1100℃(AlとSiは低めの温度、Crは高めの温度)、望ましくは温度800〜1000℃の範囲での溶融塩浴中でAl、Cr、Si等を析出させる場合、析出したAl、Cr、Si等はNi層に直接拡散浸透する。他方、析出温度が低い非水系電気めっき浴やスパッタリング法でAl、Cr、Si等をめっきさせる場合、めっき皮膜を施した基材を高温の不活性ガス雰囲気で加熱処理することによって、めっき皮膜と基材がNiめっきを介して相互拡散する。高温めっき、低温めっきのいずれも高活量型の皮膜が形成される。
【0041】
純Al、純Cr、または純Si等を蒸気源として、NH4Cl+Al2O3粉末の混合粉を用いて、800〜1000℃の温度範囲で、不活性ガス雰囲気で加熱することで、高活量型となる。なお、低活量型は、純金属粉に代えて、合金粉末を使用するとよい。
【0042】
このようにして、外層3に比較して内層2でAl、Cr、Si等の濃度がより高い複層構造の皮膜が耐熱合金基材表面に形成される。使用環境下でAl、Cr、Si濃度の高い内層2は外層3に対するAl、Cr、Si等の供給源となる。そのため、使用環境下で外層3がダメージを受けても、内層2から供給されるAl、Cr、またはSi等で外層3の欠陥部が修復され、異常酸化、高温腐食等のトラブルを発生させることなく耐熱合金の有する本来の高温特性が活用される。しかも、従来の保護皮膜で生じがちであった皮膜直下のAl欠乏層等に起因する欠陥も解消される。
【0043】
上記のとおり、耐熱合金基材に水溶液によるNiめっきをして溶融塩を用いてAlをめっきする方法について具体的に説明したが、この方法に代えて、耐熱合金基材に直接溶融塩を用いてAl−Niの合金めっきを行うことにより内層および外層を生成することも可能である。この場合、水溶液からNiをめっきする工程を省くことができる。この場合のAl−Ni合金のNi含有量は、Al+Ni2Al3の間で、望ましくは25〜38原子%Niである。さらに、NiおよびNi−Al合金の微粒子を含む溶融塩を用いてAlめっき(すなわち、複合めっき)を行ってもよい。このめっきの後に800〜1000℃程度で、1〜5時間程度の加熱処理を行うことが望ましい。
すなわち、耐熱合金基材に直接、Al,Cr,Siの群から選ばれる金属とアップヒル拡散を生ぜしめる金属との合金を溶融塩を用いてめっきすることにより内層および外層の複層構造を形成する方法でも、Al,Cr,Siの群から選ばれる金属元素の濃度が外層より高い内層を形成した耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料を製造することができる。
【0044】
【実施例】
実施例1
Ti−50原子%Al合金を基材1に使用し、ワット浴(組成:NiSO4・6H2Oを330g、NiCl2・6H2Oを45g、H3BO3を40g、を1リットルの水に溶解した浴)を用いて電気めっきし、膜厚10〜20μmのNiめっき層を形成した後、60mol%のAlCl3、25mol%のKCl、15mol%のNaClの混合溶融塩浴に該Ti−Al合金を浸漬した。溶融塩浴を160℃に維持し、該Ti−Al合金を陰極として電流密度0.02A/cm2で電気めっきすることにより、付着量50g/m2でAlを該Ti−Al合金のNiめっき層表面に析出させた。
【0045】
Alめっき皮膜を施した基材は、不活性ガス雰囲気、1000℃の温度で、5時間、加熱処理した。なお、昇温過程で、600℃から700℃の間はAl皮膜層が溶融落下しないように、比較的ゆっくりと昇温した方が良い。加熱処理後、該Ti−Al合金の断面をEPMAで観察したところ、該Ti−Al合金の表面に内層、外層の複層構造をもつ皮膜が形成されていた(図3a)。X−線回折による結果では、内層はTiAl3、TiAl2、Al2TiNi、Ti(Al,Ni)3等からなり、外層がNi2Al3からなっていた。皮膜の濃度分布をEPMAで元素分析したところ、図3(b)に示すように、Al濃度は内層で約75原子%、外層で約60原子%となっていた。Ni濃度は内層よりも外層が高く、Ti濃度は内層から外層に向けて低下していた。この濃度分布は、X−線の回折結果と良く一致している。
【0046】
次いで、Al拡散処理したTi−Al合金を耐熱試験に供し、表面皮膜の有効性を調査した。耐熱試験では、大気中で室温〜900℃の加熱・冷却を繰り返した。耐熱試験36時間後に表層断面を観察すると共に、EPMAにより表層部の厚み方向の濃度分布を測定した。図4の測定結果にみられるように、内層にあるTiAl3の一部がTiAl2に変化していることを除き、保護皮膜の構造および各元素の厚み方向の濃度分布は耐熱試験前に比較して本質的な相違が検出されなかった。
【0047】
各元素の厚み方向の濃度分布は、1000時間の耐熱試験後も同様に維持されていた(図5)。図5を図3と比較すると、1000時間の耐熱試験後に外層はNi2Al3からβ−NiAlに変化し、内層はTiAl3が消失してAl2TiNiの中間層とTiAl2に変化している。しかし、Al濃度は、内層で63原子%、中間層で56原子%、外層で54原子%と、依然として外層よりも内層のAl濃度が高かった。
【0048】
耐熱試験後においても、外層に対するTiの侵入が非常に少なく、Ni2Al3とNiAl(50原子%以上のAlを含む)へのTiの固溶が0.5原子%以下であることが確認され、Ti侵入の抑制により、保護皮膜を形成・維持および再生させる顕著な作用が奏されることが分かった。
【0049】
外層(Ni2Al3)/内層(Al2TiNi+TiAl3+TiAl2)/基材において、高温(900℃)に加熱すると、内層からAlが基材側へ、基材側からTiが内層側に拡散する結果、先ず、最初に内層のTiAl3がTiAl2相に変化する。続いて、外層のAlが内層側へ拡散して、Ni2Al3からNiAlへ変化する。前述のように、外層と内層ではAl濃度に逆差があるが、活量は外層より内層でほんの少しであるが低下するので、外層のAlは基材側に拡散することになる。
【0050】
しかし、図6に示す様に、NiAl、NiTiAl、TiAl2の中のAl活量(Al濃度は異なるが)は互いに近いと推定されることから、外層から内層、さらに、基材側へのAlの拡散は非常にゆっくりと進行することになる。この状態でも、アップヒル拡散が行われていることになる。
【0051】
更に、Al拡散処理したTi−Al合金を大気中で900℃に保持し、酸化増量の時間依存性を調査した。図7の調査結果にみられるように、Niめっき後にAl拡散処理した本発明例では、長時間加熱後にも酸化増量が極僅かであった。これに対し、無処理のTi−Al合金では加熱時間が長くなるに応じて酸化増量が急激に増加し、硫化処理やCr/Alで蒸気拡散したTi−Al合金でも大きな酸化増量を示した。図7の対比から、本発明の耐熱合金材料の保護皮膜は、Ti−Al合金の高温腐食や異常酸化を防止し、耐熱合金の有する本来の高温特性維持に有効なことが確認された。
【0052】
実施例2
Mo−40原子%Si合金を基材1に使用し、電気めっきで膜厚10μmのPd(パラジウム)めっき層を形成した後、40原子%Siを含むPd−Si合金粉末:NH4Cl:Al2O3の各粉末を13:2:85の重量割合で混合した粉末中に、埋没し、不活性ガス雰囲気中で、1200℃で10時間加熱処理した。その結果、付着量200g/m2でSiを基材表面に析出させた。Siは高活量の蒸気となって、Pd層に浸透した。
【0053】
蒸気拡散処理後、Mo−Si合金の断面をEPMAで観察したところ、合金の表面に内層と外層の複層構造をもつ皮膜が形成されていた。X−線回折による結果では、内層がMo(Pd)Si2相であり、外層はPd(Mo)2Si相であった。皮膜の濃度分布をEPMAで測定した結果を表1に示す。
【0054】
【表1】
【0055】
Si濃度は内層で66原子%、外層は34原子%となっていた。Pd濃度は内層よりも外層が高く、Moは内層から外層に向かって低下していた。この濃度分布はX線回折の結果と一致している。
【0056】
図8にMo−Pd−Si系の状態図を示す。これより、Si相とタイラインを結ぶ相はMoSi2相とPd2Si相であり、X線回折とEPMA分析の結果と一致する。なお、PdSi相は融点が1100℃以下であることから、皮膜層には現れない。続いて、Si拡散処理したPdめっき/Mo−Si合金を耐熱試験に供し、表面皮膜の有効性を調査した。耐熱試験では、大気中、600℃、1300℃で行い、表層断面を観察するとともに、EPMAにより外層と内層の濃度を測定した。600℃で240時間加熱試験した際の、外層と内層の濃度分析の結果を表2に示す。
【0057】
【表2】
【0058】
表2と表1を比較することによって、600℃では外層および内層の濃度には殆ど変化がないことが明らかとなった。1300℃で24時間および240時間加熱処理した結果を表3に示す。
【0059】
【表3】
【0060】
表3の結果から、外層のSi濃度は24時間の酸化で33原子%、240時間の酸化では32原子%となるが、内層は66原子%であり、依然として、外層よりも内層のSi濃度が高かった。酸化増量の結果を表4に示す。なお、比較のために、Mo−40原子%Si合金を用意し、その酸化増量を測定した。
【0061】
【表4】
【0062】
表4に見られるように、Mo−40原子%Si合金は、600℃付近の比較的低温で異常腐食が認められ、ぺストコロージョンと言われている。本発明の耐熱合金材料では、薄いSiO2スケールが形成するのみで、異常腐食は観察されない。また、1300℃においても、Pdめっき後にSi蒸気拡散処理した本発明例では、長時間加熱後にも酸化増量は極わずかであった。これに対して、通常のMo−40原子%Si合金は、高温になると、MoO3が形成されてガスとして蒸発し、質量増加は小さいが苛酷な酸化が生じ、長時間では、質量減少に至る。
【0063】
本発明の耐熱合金材料の保護被膜は、Mo−Si系合金の高温腐食や異常酸化を防止し、耐熱合金の有する本来の高温特性の維持に有効であることが確認された。
【0064】
実施例3
Fe−40原子%Al合金を基材1に使用し、電気めっきで膜厚10μmのNiめっき層を形成した後、Al粉末:NH4Cl:Al2O3の各粉末を13:2:85の重量割合で混合した粉末中に、埋没し、不活性ガス雰囲気中、800℃で10時間加熱処理した。その結果、付着量100g/m2でAlを基材表面に析出させた。Alは高活量の蒸気となって、Ni層に浸透した。
Al拡散処理後、Fe−Al合金の断面をEPMAで観察したところ、合金の断面には内層と外層の複層構造をもつ皮膜が形成されていた。その結果を図9に示す。
【0065】
X−線回折による結果では、内層がFeAl3相(75原子%Al)であり、外層はNi2Al3相(60原子%Al)であった。皮膜の濃度分布をEPMAで測定した結果を図9に示す。
【0066】
Al濃度は内層で75原子%、外層は60原子%となっていた。Ni濃度は内層よりも外層が高く、Feは外層には殆ど含まれていない。この濃度分布はX線回折の結果と一致している。
【0067】
図10に、Fe−Al−Ni系の状態図を示す。これより、Al拡散処理が800℃であることから、FeとNiの拡散が無視できるほど小さく、Alの一方的拡散が行われたことが分かる。
続いて、Al拡散処理したNiめっき/Fe−Al合金を耐熱試験に供し、表面皮膜の有効性を調査した。耐熱試験では、大気中、1000℃で、100時間行い、表層断面を観察するとともに、EPMAにより外層と内層の濃度を測定した。
【0068】
1000℃で100時間加熱試験した際の皮膜は、外層と内層の間(中間層)、および内層と基材の間(遷移層)にそれぞれ新しい相、中間層が生成していた。この皮膜の断面構造とEPMAによる各元素の分布を図11に示す。
【0069】
図9と図11を比較することによって、1000℃で100時間加熱すると、Fe、Ni、Alの相互拡散が多少進行している。しかし、内層、中間層、遷移層のいずれの層も外層よりも高いAl濃度を維持している。
【0070】
1000℃、大気中、100時間酸化した時の酸化増量の結果を表5に示す。なお、比較のために、Fe−40原子%Al合金を用意し、その酸化増量を測定した。
【0071】
【表5】
【0072】
表5見られるように、通常のFe−Al合金では、Al2O3スケールの剥離のため、質量減少が観察されるのに対して、本明の耐熱合金材料では、保護的な密着性のAl2O3スケールが形成した。
【0073】
本発明の耐熱合金材料の保護被膜は、Fe−Al系合金の高温腐食を抑制し、耐熱合金の有する本来の高温特性の維持に有効であることが確認された。
【0074】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の耐熱合金材料は、環境遮断能の大きなAl2O3、SiO2、またはCr2O3等の供給源となるAl、Cr、またはSi等の濃度を外層よりも内層で高くしているので、使用環境下で外層がダメージを受けた場合にあっても内層から供給されるAl、Cr、またはSi等でAl2O3、SiO2、またはCr2O3等の保護皮膜が形成される。そのため、耐熱合金材料は、高温腐食や異常酸化を起こすことなく、耐熱合金の有する本来の優れた高温特性を長期間にわたって維持する。
【図面の簡単な説明】
【図1】基材1の上に内層2、外層3からなる保護皮膜が形成された本発明の耐熱合金材料の表層部断面を示す模式図である。
【図2】アッピヒル拡散が生じる理由を説明するためのAl−Ti−Ni三元状態図である。
【図3】実施例1において、NiめっきしたTi−Al合金をAl拡散処理した耐熱合金材料の表層部断面の構造を示す図面代用顕微鏡写真(a)および表層部の厚み方向に沿った各元素の濃度分布を示すグラフ(b)である。
【図4】実施例1において、耐熱合金材料を900℃に36時間加熱した後の表層部断面の構造を示す図面代用顕微鏡写真(a)および表層部の厚み方向に沿った各元素の濃度分布を示すグラフ(b)である。
【図5】実施例1において、耐熱合金材料を900℃に1000時間加熱した後の表層部断面の構造を示す図面代用顕微鏡写真(a)および表層部の厚み方向に沿った各元素の濃度分布を示すグラフ(b)である。
【図6】高温雰囲気に長時間加熱したときに保護皮膜が長時間に亘って維持される理由を説明するためのAl−Ti−Ni三元状態図である。
【図7】実施例1において、NiめっきしたTi−Al合金をAl拡散処理した耐熱合金材料の酸化増量を無処理のTi−Al合金、硫化処理したTi−Al合金、Cr/Alで蒸気拡散したTi−Al合金と比較したグラフである。
【図8】アッピヒル拡散が生じる理由を説明するためのMo−Pd−Si三元状態図である。
【図9】実施例3において、NiめっきしたFe−Al合金をAl拡散処理した耐熱合金材料の表層部断面の構造を示す図面代用顕微鏡写真(a)および表層部の厚み方向に沿った各元素の濃度分布を示すグラフ(b)である。
【図10】アッピヒル拡散が生じる理由を説明するためのFe−Al−Ni三元状態図である。
【図11】実施例3において、耐熱合金材料を1000℃に100時間加熱した後の表層部断面の構造を示す図面代用顕微鏡写真(a)および表層部の厚み方向に沿った各元素の濃度分布を示すグラフ(b)である。
Claims (9)
- 耐熱合金基材にAl,Cr,Siの群から選ばれる金属を拡散浸透処理することにより生成した金属間化合物からなる内層および外層の複層構造をもつ皮膜が形成されている耐熱合金材料であって、内層と外層の金属間化合物の相の違いによりAl,Cr,Siの群から選ばれる金属元素の濃度が外層より高い内層が形成されていることを特徴とする耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料。
- 内層および外層の複層構造は耐熱合金基材に形成されたアップヒル拡散を生ぜしめる金属めっき層を介してAl , Cr,Siの群から選ばれる表面被覆金属層を拡散浸透処理することにより生成したものであることを特徴とする請求項1記載の耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料。
- 耐熱合金基材、金属めっき層、Al,Cr,Siの群から選ばれる表面被覆金属層の組み合わせが、Fe合金/Ni/Al、Co合金/Ni/Al、Mo合金/Ni/Al、Mo合金/Cr/Al、Zr合金/Cr/Al、Ti合金/Ni/Al、Ti合金/Ni/Cr、TiAl系金属間化合物/Ni/Al、Fe合金/Mn/Cr、Mo合金/Pd/Si、Fe合金/Mn/Si、のいずれかであることを特徴とする請求項2記載の耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料。
- 耐熱合金基材、金属めっき層、Al , Cr,Siの群から選ばれる表面被覆金属層の組み合わせが、Ti合金/Ni/Alであり、内層がTiAl 3 ,TiAl 2 ,Al 2 TiNi,Ti(Al,Ni) 3 の混合相であり、外層がNi 2 Al 3 相であることを特徴とする請求項2記載の耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料。
- 耐熱合金基材、金属めっき層、Al , Cr,Siの群から選ばれる表面被覆金属層の組み合わせが、Mo合金/Pd/Siであり、内層がMo(Pd)Si 2 相であり、外層がPd(Mo) 2 Si相であることを特徴とする請求項2記載の耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料。
- 耐熱合金基材、金属めっき層、Al , Cr,Siの群から選ばれる表面被覆金属層の組み合わせが、Fe合金/Ni/Alであり、内層がFeAl 3 相であり、外層がNi 2 Al 3 相であることを特徴とする請求項2記載の耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料。
- 内層および外層の複層構造は耐熱合金基材にAl,Cr,Siの群から選ばれる金属とアップヒル拡散を生ぜしめ金属との合金を溶融塩めっきすることにより生成したものであることを特徴とする請求項1記載の耐高温腐食性に優れた耐熱合金材料。
- 耐熱合金基材にアップヒル拡散を生ぜしめる金属めっき層を形成した後、高活量の蒸気拡散処理を行うことにより金属間化合物からなる内層および外層の複層構造を形成することを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の耐熱合金材料の製造方法。
- 耐熱合金基材に直接、Al,Cr,Siの群から選ばれる金属とアップヒル拡散を生ぜしめる金属との合金を溶融塩を用いてめっきすることにより金属間化合物からなる内層および外層の複層構造を形成することを特徴とする請求項7記載の耐熱合金材料の製造方法。
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