JP3858801B2 - 車載ミリ波レーダ装置,ミリ波レーダモジュールおよびその製造方法 - Google Patents

車載ミリ波レーダ装置,ミリ波レーダモジュールおよびその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP3858801B2
JP3858801B2 JP2002296872A JP2002296872A JP3858801B2 JP 3858801 B2 JP3858801 B2 JP 3858801B2 JP 2002296872 A JP2002296872 A JP 2002296872A JP 2002296872 A JP2002296872 A JP 2002296872A JP 3858801 B2 JP3858801 B2 JP 3858801B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
millimeter wave
millimeter
substrate
wave radar
radar module
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2002296872A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004134541A (ja
Inventor
照美 仲沢
義幸 笹田
四郎 大内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2002296872A priority Critical patent/JP3858801B2/ja
Priority to US10/681,246 priority patent/US7098842B2/en
Priority to EP03022982A priority patent/EP1422534A1/en
Publication of JP2004134541A publication Critical patent/JP2004134541A/ja
Priority to US11/482,056 priority patent/US7355547B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3858801B2 publication Critical patent/JP3858801B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/02Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S13/00
    • G01S7/03Details of HF subsystems specially adapted therefor, e.g. common to transmitter and receiver
    • G01S7/032Constructional details for solid-state radar subsystems
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S13/00Systems using the reflection or reradiation of radio waves, e.g. radar systems; Analogous systems using reflection or reradiation of waves whose nature or wavelength is irrelevant or unspecified
    • G01S13/88Radar or analogous systems specially adapted for specific applications
    • G01S13/93Radar or analogous systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes
    • G01S13/931Radar or analogous systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes of land vehicles
    • G01S2013/9327Sensor installation details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16152Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar Systems Or Details Thereof (AREA)
  • Variable-Direction Aerials And Aerial Arrays (AREA)
  • Details Of Aerials (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、車載ミリ波レーダ装置,ミリ波レーダモジュールおよび製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
特許文献1ではIC部を中空構造とするために、その外側にキャップを設けて、ICが樹脂封止による熱応力により、ボンデキングワイヤが切断することを防止している。
【0003】
【特許文献1】
特開平7−273237号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記の従来技術は、高周波などのミリ波レーダ用RFモジュールにおいてミリ波電気特性の低下防止のための中空構造を成立させ、かつ耐湿性とを両立に配慮がされておらず、安価なミリ波レーダ用RFモジュールが提供できない問題があった。
【0005】
本発明の目的は、中空構造と耐湿性とを両立させたミリ波レーダ装置およびモジュールを実現することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的は車載ミリ波レーダ装置において、ミリ波を発生するミリ波発生手段と、前記ミリ波発生手段が設置される基板と、前記基板に接合され、前記基板と共に前記ミリ波発生手段を収容する中空部を形成する囲いを成す部材と、前記接合部を覆うゲル状耐湿性レジンとを備えることによって達成される。
【0007】
ミリ波用MMICが搭載される多層基板と中空を形成するためのキャップとを接着剤などの有機部材で接合して高周波特性を確保し、その全体を収納するケース中に耐湿性のゲル状の有機レジンで覆う構造として、気密性を有しない構造として、安価な部材の使用と生産性向上を実現するものである。
【0008】
また、上記目的は、MMICにより発生したレーダ波をアンテナパターンを介して発信するミリ波レーダモジュールの製造方法であって、(a)配線を有する基板に前記MMICを設置し、(b)中空部を有するキャップを、前記MMICが前記中空部に位置するように、前記基板に接合して前記MMICを囲い、(c)ゲルにより前記接合された部分を覆ったことによって達成される。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図1により説明する。
【0010】
アンテナパターン2と一体に形成された多層基板1上にMMIC10,11やパッド13をはんだ接合,ワイヤボンディングされて回路を形成している。
【0011】
本回路をキャップ50を有機接着剤60で接合して、前記MMIC10,11の回路部を中空構造としている。
【0012】
本中空構造の形成においては、前記キャップ50の接合工程を窒素ガス中で行い窒素ガスなどの封止ガス100を封止しても良い。
【0013】
また、中空構造部に湿度吸収部剤(図示せず)を収納して、前記MMICを湿度から保護するようにしても良い。
【0014】
前記の多層基板1は、金属端子30がインサートされたプラスチックケース40に有機接着剤60で接合し、前記パッド15と前記金属端子30とワイヤ20で接続した後に、シリコーン系などのゲル70を充填している。
【0015】
本構造の実施例によれば、MMIC部の簡易気密封止の中空構造により、ミリ波などの高周波電気特性を確保し、湿度についてはゲル剤で保護できる効果がある。
【0016】
図2は他の実施例であるが、図1に比べてプラスチックカバー80をプラスチックケース40と有機接着剤60で接合することにより、実施例の図1に比べて耐湿性が高い効果がある。
【0017】
図3の実施例は図1に対して、金属製ケース41を用いるために金属端子30を絶縁するためにガラスなどの絶縁物45を用いたものである。このような構成とすることにより、多層基板1と金属製ケース41の熱線膨張係数の差を少なくでき、この結果、温度サイクルなどの熱ストレスにより、多層基板1と金属製ケース41間にクラックの発生がなく、耐湿性が向上する効果がある。
【0018】
図4は、図1から図3の実施例が、多層基板1とケース40,41が分離構造なのに対して、一体化42したものである。
【0019】
このようにすることにより、安価にできる効果がある。
【0020】
一体化構造42の形成は、コストの点から有機材料が望ましいが、無機材料での形成でも良い。
【0021】
図5の実施例は図4に対して、アンテナパターン2の分離構造である。このようにすることにより、アンテナ特性の自由度が増す効果がある。
【0022】
図6の実施例は、無機質の多層基板3を構成する製法上の部材を多層基板1A,その部材1Bで構成し、金属カバー51をはんだ等のろう材65で封止することにより、中空部の気密性が確保できる効果がある。
【0023】
図7は、多層基板1の一実施例を示すもので、MMICチップ15,マイコンチップ16,クロック発振子17,フィルタコンデンサ18を搭載し、アナログ信号グランド6やデジタル信号グランド5など信号分離を施してある。多層基板1の半対面にはアンテナパターン2を形成してある。
【0024】
このような構成によれば、ミリ波レーダ全体をモジュール化することができる効果がある。
【0025】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、ミリ波用MMICが搭載された多層基板を中空構造とすることができるために、ミリ波電気特性を確保でき、その全体を収納するケース中に耐湿性のゲル状の有機レジンでで覆う構造のため、気密性を有しなくてもミリ波電気特性を確保しつつ、生産性をも向上した安価なミリ波レーダ用RFモジュールが提供できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の断面構造図である。
【図2】本発明の他の実施例である。
【図3】本発明の他の実施例である。
【図4】本発明の他の実施例である。
【図5】本発明の他の実施例である。
【図6】本発明の他の実施例である。
【図7】本発明の構造に用いた多層基板の実施例である。
【符号の説明】
1…多層基板、2…アンテナパターン、10,11…MMIC、13…パッド、20…ワイヤ、30…金属端子、40…プラスチックケース、50…キャップ、70…ゲル、100…封止ガス。

Claims (26)

  1. ミリ波を発生するミリ波発生手段と
    前記ミリ波発生手段が設置される基板と、
    前記基板に接合され、前記基板と共に前記ミリ波発生手段を収容する中空部を形成する囲いを成す部材と、
    前記基板と前記囲いを成す部材との接合部を覆うゲル状耐湿性レジンとを備えた車載ミリ波レーダ装置。
  2. 請求項1において、
    前記基板に取り付けられ、前記接合部を収容する凹部を形成するケースを備え、
    前記ゲル状耐湿性レジンは、前記凹部に充填されることを特徴とする車載ミリ波レーダ装置。
  3. 請求項1又は2において、
    前記基板は、前記ミリ波発生手段が設置された面と反対側の面に、前記ミリ波を送信するアンテナ手段を備えることを特徴とする車載ミリ波レーダ装置。
  4. 請求項1乃至3のいずれか一項において、
    前記中空部には、不活性ガスが充填されことを特徴とする車載ミリ波レーダ装置。
  5. 請求項1乃至3のいずれか一項において、
    前記中空部には、湿気を吸収する手段を備えことを特徴とする車載ミリ波レ
    ーダ装置。
  6. ミリ波用MMICと、
    一方の面に前記ミリ波用MMICが搭載され、ミリ波用回路が形成された基板と、
    前記基板の前記ミリ波用MMICが搭載される面と反対側の面に形成され、ミリ波電波を送受信するアンテナ回路と、
    前記基板に接合され、前記ミリ波用MMICを収納する収納部を形成するキャップとを備え、
    前記キャップの外側をゲル状耐湿レジンで保護したミリ波レーダモジュール。
  7. 請求項6において、
    前記基板は、入出力信号端子が設けられたケースに収納され、
    前記ゲル状耐湿性レジンは、前記ケースと前記基板とにより構成される凹部に充填されることを特徴とするミリ波レーダモジュール。
  8. 請求項6において、
    前記ケースは、入出力信号端子がインサートされたプラスチックケースであることを特徴とするミリ波レーダモジュール。
  9. 請求項において、
    前記ケースは、入出力信号端子の周りに絶縁性材料を設けた導電性ケースであることを特徴とするミリ波レーダモジュール。
  10. 請求項において、
    前記基板と前記プラスチックケースの形成を一体としたミリ波レーダモジュール。
  11. 請求項6乃至10のいずれか一項において、
    前記ゲル状耐湿レジンの上に更に別部材のカバーを接合したミリ波レーダモジュール。
  12. 請求項において、
    前記基板は、前記ミリ波用MMICを収納する空間を有する形状とし、
    前記基板に平坦のカバーを接合して、前記ミリ波用MMICの収納部を中空とするミリ波レーダモジュール。
  13. 請求項6乃至12のいずれか一項において、
    前記基板には前記ミリ波用回路を形成して、前記アンテナ回路は前記ミリ波用回路とは別部材で形成したミリ波レーダモジュール。
  14. 請求項6乃至12のいずれか一項において、
    前記ミリ波用MMICの収納部には、湿度吸収部材を収納したミリ波レーダモジュール。
  15. 請求項6乃至12のいずれか一項において、
    前記ミリ波用MMICの収納部は、不活性ガスを充填したミリ波レーダモジュール。
  16. 請求項6乃至12のいずれか一項において、
    前記基板は無機質材か有機質材のいずれかで形成された多層基板であるミリ波レーダモジュール。
  17. 請求項6乃至12のいずれか一項において、
    前記キャップと前記基板とを有機部材で接合したミリ波レーダモジュール。
  18. MMICにより発生したレーダ波をアンテナパターンを介して発信するミリ波レーダモジュールの製造方法であって、
    (a)配線を有する基板に前記MMICを設置し、
    (b)中空部を有するキャップを、前記MMICが前記中空部に位置するように、前記基板に接合して前記MMICを囲い、
    (c)ゲル状耐湿性レジンにより前記接合された部分を覆うことを特徴とするミリ波レーダモジュールの製造方法。
  19. 請求項18において、
    前記接合は、窒素ガス雰囲気中で行われことを特徴とするミリ波レーダモジュールの製造方法。
  20. 請求項18において、
    前記基板には囲いを成す壁が設けられ、
    前記接合後に、前記ゲル状耐湿性レジンが前記囲いの中に注がれることを特徴とするミリ波レーダモジュールの製造方法。
  21. 多層基板にミリ波用MMICを搭載したミリ波レーダ用モジュールにおいて、
    前記多層基板は、ミリ波電波を送受信するパッチアンテナ回路が形成され、他の面には、ミリ波用MMICの回路が形成され、かつ前記多層基板は入出力信号端子がインサートされたプラスチックケースに収納され、かつ前記多層基板は平面形状ではなく、空間を有する形状とし、前記多層基板に平坦状のカバーを接合して、前記ミリ波用MMICを収納する中空の収納部を形成し、前記カバーの上を耐湿レジンで保護したミリ波レーダモジュール。
  22. 請求項21において、
    前記多層基板には前記ミリ波用回路を形成して、前記アンテナ回路は前記ミリ波用回路とは別部材で形成したミリ波レーダモジュール。
  23. 請求項21において、
    前記ミリ波用MMICの収納部には、湿度吸収部材を収納したミリ波レーダモジュール。
  24. 請求項21において、
    前記ミリ波用MMICの収納部は、不活性ガスを充填したミリ波レーダモジュール。
  25. 請求項21において、
    前記多層基板は無機質材か有機質材のいずれかで形成されるミリ波レーダモジュール。
  26. 請求項21において、
    前記カバーと前記多層基板とを有機部材で接合したミリ波レーダモジュール。
JP2002296872A 2002-10-10 2002-10-10 車載ミリ波レーダ装置,ミリ波レーダモジュールおよびその製造方法 Expired - Fee Related JP3858801B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002296872A JP3858801B2 (ja) 2002-10-10 2002-10-10 車載ミリ波レーダ装置,ミリ波レーダモジュールおよびその製造方法
US10/681,246 US7098842B2 (en) 2002-10-10 2003-10-09 Vehicle-mounted millimeter wave radar device, millimeter wave radar module, and manufacturing method thereof
EP03022982A EP1422534A1 (en) 2002-10-10 2003-10-10 Vehicle-mounted millimeter wave radar device, millimeter wave radar module, and manufacturing method thereof
US11/482,056 US7355547B2 (en) 2002-10-10 2006-07-07 Vehicle-mounted millimeter wave radar device, millimeter wave radar module, and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002296872A JP3858801B2 (ja) 2002-10-10 2002-10-10 車載ミリ波レーダ装置,ミリ波レーダモジュールおよびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004134541A JP2004134541A (ja) 2004-04-30
JP3858801B2 true JP3858801B2 (ja) 2006-12-20

Family

ID=32089248

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002296872A Expired - Fee Related JP3858801B2 (ja) 2002-10-10 2002-10-10 車載ミリ波レーダ装置,ミリ波レーダモジュールおよびその製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (2) US7098842B2 (ja)
EP (1) EP1422534A1 (ja)
JP (1) JP3858801B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100051270A (ko) * 2008-11-07 2010-05-17 시빔, 인코퍼레이티드 표면 장착가능한 집적회로 패키징 수단

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004029440A1 (de) * 2004-06-18 2006-01-12 Infineon Technologies Ag Sende-/Empfangs-Einrichtung
JP4189970B2 (ja) * 2004-11-05 2008-12-03 株式会社日立製作所 アンテナ装置
JPWO2007086525A1 (ja) * 2006-01-26 2009-06-25 パナソニック株式会社 基板構造および電子機器
IL173941A0 (en) * 2006-02-26 2007-03-08 Haim Goldberger Monolithic modules for high frequecney applications
JP4286855B2 (ja) * 2006-09-07 2009-07-01 株式会社日立製作所 レーダ装置
US7492313B1 (en) * 2006-10-31 2009-02-17 Lockheed Martin Corporation Digital processing radar system
US7675465B2 (en) * 2007-05-22 2010-03-09 Sibeam, Inc. Surface mountable integrated circuit packaging scheme
US8345716B1 (en) 2007-06-26 2013-01-01 Lockheed Martin Corporation Polarization diverse antenna array arrangement
US7705761B2 (en) * 2007-11-07 2010-04-27 Lockheed Martin Corporation System and method for wideband direct sampling and beamforming using complex analog to digital converter
US7733265B2 (en) * 2008-04-04 2010-06-08 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Three dimensional integrated automotive radars and methods of manufacturing the same
US8022861B2 (en) 2008-04-04 2011-09-20 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Dual-band antenna array and RF front-end for mm-wave imager and radar
US7830301B2 (en) * 2008-04-04 2010-11-09 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Dual-band antenna array and RF front-end for automotive radars
US7990237B2 (en) * 2009-01-16 2011-08-02 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. System and method for improving performance of coplanar waveguide bends at mm-wave frequencies
US8786496B2 (en) 2010-07-28 2014-07-22 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Three-dimensional array antenna on a substrate with enhanced backlobe suppression for mm-wave automotive applications
US8279100B2 (en) 2010-09-30 2012-10-02 Lockheed Martin Corporation Complex analog to digital converter (CADC) system on chip double rate architecture
US8854255B1 (en) 2011-03-28 2014-10-07 Lockheed Martin Corporation Ground moving target indicating radar
MY166727A (en) * 2012-10-03 2018-07-18 Shindengen Electric Mfg Electronic device
DE102014109120B4 (de) 2014-06-30 2017-04-06 Krohne Messtechnik Gmbh Mikrowellenmodul
US10411329B2 (en) 2016-01-20 2019-09-10 Apple Inc. Packaged devices with antennas
WO2018092922A1 (ko) * 2016-11-15 2018-05-24 인지니어스 주식회사 차폐기판을 포함하는 레이더 모듈
US10910706B2 (en) * 2018-01-19 2021-02-02 Mediatek Inc. Radar sensor housing design
US12113300B2 (en) * 2018-05-10 2024-10-08 Richwave Technology Corp. Doppler motion sensor device with high isolation between antennas
JP7211333B2 (ja) * 2019-10-30 2023-01-24 株式会社デンソー 電子機器

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2710207B2 (ja) 1994-03-30 1998-02-10 日本電気株式会社 半導体装置およびその製造方法
JP3308734B2 (ja) * 1994-10-13 2002-07-29 本田技研工業株式会社 レーダーモジュール
DE69729344T8 (de) * 1996-04-03 2005-02-17 Honda Giken Kogyo K.K. Radarmodul und MMIC-Anordnung dafür
US5943558A (en) * 1996-09-23 1999-08-24 Communications Technology, Inc. Method of making an assembly package having an air tight cavity and a product made by the method
JP3786497B2 (ja) * 1997-06-13 2006-06-14 富士通株式会社 アンテナ素子を内蔵する半導体モジュール
EP0978729A3 (en) * 1998-08-07 2002-03-20 Hitachi, Ltd. High-frequency transmitter-receiving apparatus for such an application as vehicle-onboard radar system
JP2000114413A (ja) * 1998-09-29 2000-04-21 Sony Corp 半導体装置、その製造方法および部品の実装方法
DE19904303A1 (de) * 1999-01-28 2000-08-24 Bosch Gmbh Robert Gehäuse für ein elektronisches Gerät in der Mikrowellentechnik
WO2003040754A1 (fr) 2001-11-09 2003-05-15 Hitachi, Ltd. Radar mobile a onde millimetrique
JP2004031651A (ja) * 2002-06-26 2004-01-29 Sony Corp 素子実装基板及びその製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100051270A (ko) * 2008-11-07 2010-05-17 시빔, 인코퍼레이티드 표면 장착가능한 집적회로 패키징 수단

Also Published As

Publication number Publication date
US20040075604A1 (en) 2004-04-22
JP2004134541A (ja) 2004-04-30
US7098842B2 (en) 2006-08-29
EP1422534A1 (en) 2004-05-26
US7355547B2 (en) 2008-04-08
US20060250298A1 (en) 2006-11-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3858801B2 (ja) 車載ミリ波レーダ装置,ミリ波レーダモジュールおよびその製造方法
US6852926B2 (en) Packaging microelectromechanical structures
US6114635A (en) Chip-scale electronic component package
EP1458086B1 (en) Piezoelectric Oscillator
WO2000035015A1 (fr) Module de circuit rf
JP2002511664A (ja) カプセル詰めパッケージ、および電子回路モジュールをパッケージングする方法
TW200818725A (en) Electronic apparatus
CN212991092U (zh) 封装模组、模组载板和电子设备
US5932927A (en) High-frequency device package
JPH0818390A (ja) 弾性表面波装置
JP2004511087A (ja) 気密封止した部品組立体パッケージ
US11349203B2 (en) Automotive radar sensor packaging methods and related assemblies
JP2007201616A (ja) 表面実装型圧電発振器、及びその製造方法
US20060238274A1 (en) Surface acoustic wave device
JP2004140134A (ja) ハイブリッド半導体装置
JP3319583B2 (ja) 車両用電子機器
JP2621722B2 (ja) 半導体装置
JPH01231415A (ja) 弾性表面波装置
JP2583698Y2 (ja) 複合半導体装置
JPH07326685A (ja) 半導体装置とその製造方法
JP2004064651A (ja) 表面実装型圧電発振器
JPH07321243A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JPH0682855U (ja) 半導体装置用パッケージ
JPH06112348A (ja) ハイブリッド回路
JPH11307664A (ja) 電子パッケージ部品の製造方法とこの製造方法による電子パッケージ部品

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050712

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060228

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060427

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20060427

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060829

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060911

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees