JP3856846B2 - Pi3装置および方法 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、浅い接合デバイスという特定の応用例に関して、イオン注入により半導体材をドーピングする方法および装置に関する。
【0002】
【従来技術および発明が解決しようとする課題】
現代の電子装置は半導体材料に基づいている。半導体材料は電子がほとんど移動できない結晶構造をもち、そのため本来の伝導性は非常に低く電子デバイスとして使用できない。電流担体を与えるためには微量なある種のタイプの不純物を結晶格子に加える必要があることは知られている。これら不純物を加える工程は“ドーピング”として知られている。初期のドーピング技術は、半導体ウェーハをドーパントから成るガスで取り囲み、不純物原子が格子構造内に拡散するように高温を十分に上げることにより達成された。
【0003】
ドーパントの空間的な一様性および濃度をより正確に制御する必要性が増大し、イオン注入器として知られる装置が必要な不純物を結晶に加えるための有用な機器となった。これら注入器は、ドーパントイオンビームのエネルギー、位置及び走査速度を非常に正確に制御する、大きくて複雑な装置である。最近、浅い接合の形成のために、ラスター走査イオン注入器が、10kV以下といった低エネルギービームの条件の下で、特にドーズ量および生産率、すなわちウェーハスループットの条件が高いときに制限を受ける。PI3(プラズマイマーションイオン注入)として知られる他の方法は、ドーズ量率がより低いエネルギーで高く、装置が高価でないために研究されている。従来のPI3は真空チェンバー内で連続プラズマを使用する方法である。
【0004】
発明者が共同発明者の一人であり、本出願人に譲渡された1992年3月3日に出願されたアメリカ出願第844,353号の出願において、PI3の概念がプラズマチェンバー壁に取り付けられた円筒状のターゲットと関連して動作周期を変えることのできるイオン加速パルスを使用することで改良されている。この出願は浅い接合、低エネルギー高電流注入において改良をなしているが、このアプローチにはいくつかの問題がある。ウェーハの背後の電極がイオンの打ち込みから本質的に完全にシールドされたときでさえ、プラズマエッチングのために思いがけない不純物がチェンバー内に存在し、注入される。また、大きな粒子がプラズマ内に形成され、ウェーハ表面に付着する。
【0005】
本発明の目的は、従来技術のPI3の汚染および粒子の問題を解消し、同時にどの薄い誘電体も破壊することなく浅い接合注入を高い生産率で行うことである。
【0006】
本発明の他の目的は、十分な一様性をもち注入ドーズ量が制御された、高価でなく、高いスループットをもつ、半導体PI3のための装置を提供することである。
【0007】
【発明の要約】
PI3を達成する方法は、一対の電源、ウェーハを支える第1の電極に印加される非常に短い負のイオン化パルス、およびこれに続いて、電子の中性化を行うために第1の(ウェーハ)電極に向いている第2の電極に印加される短いイオン化パルスを利用する。
【0008】
第1の電極のイオン化パルスのオンタイムおよび動作周期は、粒子がBF3プラズマ内で成長することのないように十分に短いものにされている。
【0009】
【実施例】
アメリカ特許第4,764,394号(Cornad)に説明されたような、従来技術のP13装置および方法はホット陰極プロセスといわれ、正のイオンを生成するためにプラズマを連続して維持し、イオンをワークピースへと加速するために負の電圧パルスを印加する。バークレーでのチェングによる初期のP13の研究、バリアン研究所での研究ではまた、連続電子サイクロトロン共鳴(ECR)が操作され、BF3ガス内でプラズマ放電が形成され、正のイオンをウェーハへと加速するためにウェーハの背後にある第1の陰極に負の高パルスが加えられた。連続して形成されるプラズマの使用は、(1)チャンバーからエッチされ、ウェーハ内に注入される不純物を著しく集中させ、(2)ウェーハ表面上に付着される粒子を大きなものに形成することが発見された。実験により、連続BF3プラズマ放電がウェーハと同様にチャンバーの露出面をエッチする非常に活性化した種を含むことを示す。また、(ほとんどはシリコンの)粒子はその表面で連続して成長し、付着する。
【0010】
所望のインプランテーションを得るが、これらの問題の両方を避けるために、コールド陰極放電と知られるプロセスを使用し得ることを見いだした。コールド陰極プロセスガスをイオン化するために二次放出電子に依存する。特に、チャンバー内で連続したプラズマはなく、負の高パルスを使用することで、パルスが加えられたときに、きまった場所にのみプラズマが生成される。
【0011】
6インチのウェーハに対し、第1のパルスは低動作周期で10マイクロ秒のオーダーのもの、すなわち1%のものが望ましい。しかし、第1のパルス幅が15ミリ秒のオーダー以下であるならば、顕著な粒子の形成が生じないことがわかった。より小さい直径のウェーハに対してはより短い幅のパルスが本発明の効果を奏する。連続プラズマに対しては、15ミリ秒の後、粒子は臨界的な直径に達し、非常に集中して表面上に形成され、付着する。
【0012】
また、電子源に対し第2のコールド陰極に非常に短い高電圧パルスを加え、酸化物の破壊を防止するために、ワークピースへと流れる電子を中性化することが採用されている。
【0013】
図1において、アルミニウム合金のチェンバー9がポンプ12により排気され、1ミリトルのオーダーの圧力にされ、BF3がボトル11から質量流コントローラ10を経てチェンバーに導入される。ウェーハ6がチェンバー9の壁に電気的に接続された環状の円筒状壁5により電気的にシールドされている。PS1、すなわち負の5kVのオーダーのパルスを与えるための高電圧源(電源)3が導線14を介して電極4に接続されている。電流センサー13が導線14にある。チェンバー内に、電子源7が電極4に関し中心を揃えるが電極4から離れて配置され、一様流の電子が第2の電源PS2から電極7に印加される大きな負のパルス、すなわち負の2kVのオーダーのパルスに応答してウェーハに加えられる。2つの電源PS1およびPS2は、それらが正確に同調したパスルをもち得るように、一つのトリガー1源に関してタイミングがそれぞれ取られている。
【0014】
ガスが前以てイオン化されることがないので、電極4への5kVのオーダーのパスル化された負の電圧が、電極4から等電位のチェンバー壁へと電気力線を形成する。
【0015】
電子は軽く、非常に移動性があり、電気力線のすべてが電極4の表面に収束しているので、ウェーハ6の近傍の電子が、パルスが印加されたときにガスがら剥ぎ取られる。これがその領域に形成され、より移動の遅い正のイオンが取り残される。これらのイオンは次に加速され、ウェーハ内に注入される。ドーズ量の注入の一様性は、一シグマ分布に対し、6インチのウェーハにわたって2%のオーダーである。
【0016】
幅の短いイオン化パルスはチェンバー壁のエッチングを完全に除去することはなく、パルスが印加されているときのみであるが不純物が形成される。
【0017】
図3(a)および図3(b)において、PS1からの電圧パルス(列)30の後に直ぐにPS2からの電圧パルス31が続く。パルス列30のパルス幅Wは好適に1〜30マイクロ秒で、パルス周期は100Wのオーダーである。PS2のパルス幅W′は同じオーダーである。パルス30および31の両方は図示上の便宜から正の形にして描かれている。良いデバイス/全デバイスの再現割合の観点から見た最良の製造収量はパルス30の終わりの直後にパルス31が続いたときに得られる。しかし、図3(c)および図3(d)に示されているように、パルス30′および31′は、電子がイオンの注入と同時に誘電体を中性化するように重ね合わせることができる。理由は分からないが、本発明の利点のいくつかが得られるものの、許容できるデバイスの収量はこのような重なるパルスではそれほど高くなく、再現性もよくない。
【0018】
コールド陰極7は、汚染を与えない材料から選択され、またはこのような材料で被覆されている。高純度のアモルファスカーボンが好適であるが、フッ素プラズマのもとで不活性であるためNiもまた利用可能である。電極7の表面の幾何形状はまた重要である。粗面化方法により電子放出効率が電子フラッディング(flooding)密度を増加させるために有用であることがわかった。ほぼ凹状の外面は平坦なデバイスの場合よりもより広い表面領域を与え、ウェーハ表面で一様な電気力線を形成する。
【0019】
注入されたウェーハをアニールした後、シート抵抗が130〜1Kオーム/□で、好適には150オーム/□で、結合深さが約900Åであることが証明された。また、粒子の総計はノンクリーンルームの環境(粒子の直径が0.3→2.5μm)で、1粒子/cm2以下である。BF3ECRプロセスと比較すると、BF3ECRでは数オーダー大きい。
【0020】
図2において、電流センサー13がドーズ量コントローラ25に接続されていることが示されている。この実施例のおいて、ドーズ量セレクション29に応答するドーズ量コントローラは注入の間にその進行状態を測定でき、所望のドーズ量が達成されたとき電源2および3が切られる。
【0021】
PS1およびPS2が誘導性電源であるから、パルス電流を瞬時に切ることは不可能である。このことは、ドーズ量コントローラが注入されたイオンドーズ量を決定することを複雑にする。イオン注入電圧パルスが10kV以下である限り、シリコンのウェーハ表面で生成される二次電子は3%以下である。したがって、PS1を切ったとき、センサー13により測定された電流パルス波形は図4(a)に図示する形をもつ。この波形の領域41は、電流がPS2からのパルスに応答するウェーハ6の表面に流れる正のイオン流を表す。図4(a)に示されているように、領域42に表される電流の波形は、電源からの誘導電流のため電流が瞬時に停止しないことによる。正のイオンのドーズ量を測定するために、正のイオン電流によらない波形40の部分42を除去することが必要である。検知された電流波形40を波形44(パルス41の立ち上がりおよび立ち下がり時をたどるが、領域43に示されるように、反対極の部分42が完全に除去されている)に変換する回路を提供する。波形44を形成すると、全イオン注入の測定、すなわち時間の関数でドーズ量を測定するために各パルスを積分することが可能である。
【0022】
図5のブロック図はドーズ量制御回路素子を示す。入力信号59はゼロ電位に関し2つの極を有する電流波形をもつ。信号59は電子シャッター50により受信される。
【0023】
電子シャッターにはまた、手動のパルス幅アジャスタ51′を有するパルス幅セレクタ51が接続されている。パルス幅セレクタ51に、トリガー発生器からの基準トリガーが接続される。所望のパルスシャッター機能を達成し得る多くのいろいろな回路がある。以下で説明する回路は置き換え可能なものであり、多くの他の回路もまた置き換え可能である。
【0024】
パルス幅セレクタ51からのパルスの幅が図4(a)の正の部分41と正確に同じ幅であるとき、シャッター50の出力は接地に切り替わり、負の部分42が除去され、積分器52への信号55は図4(b)に示されているようになる。積分器52の出力64はドーズ量の指標として利用可能で、比較器54に与えられる。比較器54は選択調節53を受け、基準レベルとして安定な電圧ドーズ量の調節を成し遂げる。積分されたアナログ電圧64が基準53を越えると、比較器58は信号58を送り、電源3を切り、ワークピースの注入を終える。
【0025】
図6において、図5に示すブロック図の機能を成し遂げ得る回路の詳細が示されている。トリガー回路51はナショナル・セミコンダクタ・コーポレイション社製の3905Nチップに基づいている。ピン2とピン3の間に接続された、調節可能な500オームの抵抗は30巻の正確な抵抗である。この回路はRC時定数がそのオンタイムを決定するタイマー回路である。標準的なワンショットマルチバイブレータ回路のような他の回路がこの条件を満たす。
【0026】
3905Nチップのピン6のパルスがハリスコーポレイション社製HI−301チップのピン6に接続される。そのHI−301チップは高速スイッチ回路である。その高速スイッチ回路はピン6の入力が“ハイ”である限り、ピン2の入力信号を出力ピン4へと通過させ、ピン6が“ロー”になると、ピン4の出力が接地されたピン7に信号を進める。タイマー回路(セレクタ)51の“オンタイム”を手動で調節するためにオシロスコープを使用して、シャッタースイッチング時間が、1.0マイクロ秒のパルサ電圧のパルスオフタイム以内に極めて容易に調節された。
【0027】
HI−301のピン4からの出力は、アナログ・デバイス社製のOP−AMP827をまたぐように接続された積分器(回路)52に接続される。手動パルスイッチSWIが時定数を選択できるようにフィードバックにして接続されている。その積分器は図8により詳細に示されている。
【0028】
増幅器60は図7(a)により詳細に示され、ナショナル・セミコンダクタ・コーポレイション社製の一つの444チップの電圧フォロアである。増幅器60の出力は比較器54に接続され、比較器54は二つの入力ピン5および4のレベルに依存して5Vとゼロとの間を切り替える、モトローラ社製の3302チップのピン2に出力を与える。ピン4の電圧はピン4に接続された200オーム電位ディバイダーを調節することにより選択可能なので、利用者は比較器の出力が切り替えるドーズ量のレベルを調節できる。比較器54の出力は電圧フォロアに接続されている。その電圧フォロアは制御回路を駆動し、所望に次から次ぎへと高電圧パルス発生器を停止することができる。図6に詳細に示されている電源駆動回路62が一例である。電源駆動回路62は図9に詳細に示されているパルスコントローラ100に接続されている。タイマー81がオプトアイソレータ84を介してパルス発生器83を駆動するために、ナショナル・セミコンダクタ・コーポレイション社製のDM74L5109ANに接続されている。パルス発生器83はヴェロニクス・インク社(カリフォルニア州サンディエゴ)製のModel350である。
【0029】
本発明はここで説明した特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲での変形例を含む。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本PI3装置の略示ブロック図である。
【図2】 自動ドーズ量コントローラを含む、本PI3装置の詳細なブロック図である。
【図3】 図3aおよび図3bは陽極パルスと陰極パルスとの好適な関係を示すタイミング図である。
【図4】 図4aは陽極回路の一連の電流センサーで測定された電流を示し、図4bは図4aの負の部分を除去した後の陽極電流を示す。
【図5】 ドーズ量コントローラの略示ブロック図である。
【図6】 好適なドーズ量コントローラの略示図である。
【図7】 図7(a)は図6の図示の増幅器の略示図で、図7(b)は図6の他の増幅器の略示図で、図7(c)は図6の高電圧パルスコントローラの略示図である。
【図8】 図6の集積回路の略示図である。
【図9】 図6のパルスコントローラの略示図である。
【符号の説明】
1 トリガー 2 電源
3 電源 4 電極
5 円筒状壁 6 ウェーハ
7 電子源 9 チェンバー
10 質量流コントローラ 11 ボトル
13 センサー 14 導線
25 ドーズ量コントローラ 29 ドーズ量セレクション
50 電子シャッター 51 パルス幅セレクタ
52 積分器 54 比較器
62 電源駆動回路
Claims (21)
- 半導体ウェーハにイオンを注入するプラズマエイマーションイオン注入(PI3)方法であって、
イオン化可能なガスを含む、低圧のチェンバー内の第1の電極上に前記ウェーハを支持する工程と、
第1の短い持続期間の高電圧パルスを前記第1の電極に与え、少なくとも前記ウェーハの極近傍で前記各パルスに応答して短い持続期間のコールド陰極プラズマを誘導する工程と、
から成り、
前記第1のパルス持続期間が、前記ガスのコールド陰極イオン化を開始し、かつ前記極近傍の前記プラズマから前記ウェーハに向けて正のイオンを加速するのに十分に長く、前記ウェーハ上に付着する粒子を形成する反応時間に対し十分に短く、1から30マイクロ秒の範囲にある、ところの方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記プラズマが前記第1の短い持続期間の高電圧パルスを適用した直後に、二次放出電子により、BF3のガス分子から電子を剥ぎ取ることにより形成され、
負のシース電圧が前記第1の電極の極近傍に形成される、ところの方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記第1の短い持続期間のパルスが10マイクロ秒である、ところの方法。 - 請求項3に記載の方法であって、
前記第1の短い持続期間のパルスが動作周期の1パーセントである、ところの方法。 - 半導体ウェーハにイオンを注入するプラズマエイマーションイオン注入(PI3)方法であって、
排気されたチェンバー内の第1の電極上に前記ウェーハを支持する工程と、
第1の短い持続期間の高電圧パルスを前記第1の電極に与え、少なくとも前記ウェーハの極近傍で前記各パルスに応答して短い持続期間のDCプラズマを誘導する工程と、
前記ウェーハの表面に形成される正電荷を、その電荷形成が、電場誘導による前記ウェーハ表面上の誘電体の破壊を生じさせるのに十分大きくなる前に、中性化するために、表面電荷の中性化電子流を前記ウェーハに与える工程と、
から成り、
前記第1のパルス持続期間が、前記極近傍の前記プラズマから前記ウェーハに向けて正のイオンを加速するのに十分に長く、前記ウェーハ上に付着する粒子を形成する反応時間に対し十分に短く、1から30マイクロ秒の範囲内にあるところの方法。 - 請求項5に記載の方法であって、
表面電荷に中性化電子流を与える工程が、
前記排気されたチェンバー内にコールド陰極電子源を備える工程と、
前記コールド陰極電子源に第2の高電圧パルスを繰り返して送る工程と、
から成り、
前記電子源にパルスを送ることが前記第1の高電圧パルスと同期してタイミングが合わせられる、ところの方法。 - 請求項6に記載の方法であって、
前記第2の高電圧パルスが、前記第1の高電圧パルスが切られた瞬間に入れられる、ところの方法。 - 請求項5に記載の方法であって、
前記プラズマが、前記短い持続期間の高電圧パルスによりBF3ガス分子から電子を剥ぎ取ることで形成され、負のシース電圧が前記第1の電極の極近傍に形成され、そのシース電圧は正のプラズマイオンを前記第1の電極に向けて加速させる、ところの方法。 - 請求項8に記載の方法であって、
動作中、最適の濃度をもつ前記BF3ガスを含む排気されたチェンバーの圧力が1ミリトルである、ところの方法。 - 請求項6に記載の方法であって、
負のバイアス電圧が、負に帯電した粒子が前記ウェーハ表面上に到達することを防止するために、前記ウェーハに印加する、ところの方法。 - 非ラスター走査の注入装置であって、
壁を有する真空チェンバーであって、前記壁のひとつに電極が設けられ、前記電極がウェーハ内に正のイオンを注入するために、ウェーハを支持する、少なくとも一つの平坦面を有するところの真空チェンバーと、
前記電極の前記平坦面に向かって大きな断面領域をもつ電子流を与えるために前記チェンバー内に取り付けられる、前記ウェーハの正電荷を中性化する電子源と、
前記チェンバーに、前記ウェーハに流入する所望のドーパントを含む、イオン化可能なガス源を与える手段と、
第1および第2の高電圧パルスを与える手段であって、前記第1の高電圧パルスが、前記ドーパントの前記イオン化可能なガスから正イオンを生成するためのコールド陰極イオン化電場を形成し、かつ前記ドーパントを前記電極に加速するために、前記電極と前記チェンバーとの間に加えられ、前記第2の高電圧パルスが、前記第2のパルスに応答して前記電子源から電子を生じさせるために、前記電子源と前記チェンバーとの間に加えられる、ところの高電圧を与える手段と、
前記第1および第2の高電圧パルスとの間の同調関係を可能にするために、前記第1および第2の高電圧パルスを与える手段に接続される同調トリガー手段と、から成る装置。 - 請求項11に記載の装置であって、
前記電極電流検知手段を含み、
該電極電流検知手段が、前記第1の高電圧パルスに応答するウェーハへの注入イオン電流に応答して前記電極電流を示す出力信号を与えるために、前記電極と前記第1および第2の高電圧パルスとの間に接続される、ところの装置。 - 請求項12に記載の装置であって、
前記電極電流検知手段の前記出力信号に接続され、かつ前記同調トリガー手段に接続されるドーズ量コントローラを含み、
前記ドーズ量コントローラが、前記ウェーハに注入されるドーパントのドーズ量を表す信号を決定するために、前記注入イオン電流の時間積分を計算する手段を含む、ところの装置。 - 請求項13に記載の装置であって、
前記ドーズ量コントローラが
前記ドーズ量を表す前記信号を選択されたドーズ量の終止点信号と比較するための手段、および
前記ドーズ量終止に達したとき、前記比較に応答して前記第1および第2の高電圧パルスを与える前記手段により与えられるパルスを停止する手段、
を含む、ところの装置。 - 請求項11に記載の装置であって、
前記電子源がプラズマ種に化学的に不活性な電気的伝導材である、ところの装置。 - 請求項11に記載の装置であって、
前記電子源がアモルファス炭素材または純粋炭素である、ところの装置。 - 請求項11に記載の装置であって、
前記電子源がNiまたはNi被覆材である、ところの装置。 - 請求項11に記載の装置であって、
前記電子源が、電子放出効率を改良するために粗面を有する、ところの装置。 - 請求項18に記載の装置であって、
前記粗面には前記表面に微細な放出先端が与えられる、ところの装置。 - 請求項11に記載の装置であって、
前記電極が、負に帯電した低速の粒子を前記ウェーハへの到着からそらすために、負の低電圧バイアス電源にさらに接続される、ところの装置。 - 請求項11に記載の装置であって、
第1および第2の高電圧パルスを与える前記手段が第1の電源および第2の電源から成る、ところの装置。
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