JP3853666B2 - 熱処理炉 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送ローラにて被処理物を搬送しつつ熱処理を行う熱処理炉に関し、更に詳しくは、被処理物を加熱するために処理室内に配設された発熱体に係るものである。
【0002】
【従来の技術】
真空中あるいは不活性ガス雰囲気中で被処理物を熱処理(焼入、焼戻、焼鈍、焼結など)する熱処理炉として、ローラハース式の熱処理炉が知られている。ローラハース式の熱処理炉は、搬送ローラ上に被処理物を直接、あるいは搬送トレイを介して載せて、搬送ローラを回転させることで被処理物を搬送しつつ連続的に熱処理を行う炉である。
【0003】
(第1従来例)
ローラハース式の熱処理炉の一例を図16に示す。
炉床には複数本の搬送ローラ1が設けられている。搬送ローラ1は、被処理物2の搬送方向に対して直交する軸部材1aと、被処理物2を収容する搬送トレイ3の下面に当接し上記軸部材1aに一体的なリング部材1bとを有し、搬送方向に沿って複数本配置され、それぞれ同方向に同速度で回転される。
【0004】
搬送ローラ1の上方には、ドーム型(半球状)の発熱体4が設けられている。発熱体4の材質としてはタングステンやタンタルなどである。
また、発熱体4を覆うようにして、発熱体4からの輻射熱を反射する金属製のリフレクタ5が配設されている。
【0005】
(第2従来例)
ローラハース式の熱処理炉の他の例として、例えば実用新案登録第2541032号に示されているものがある。これを図17に示す。
断熱壁11に囲まれて処理室12が構成され、処理室12の下方に複数本の搬送ローラ13が設けられている。搬送ローラ13は、被処理物2の搬送方向に対して直交する軸部材13aと、被処理物2の下面に当接し上記軸部材13aに一体的なリング部材13bとを有する。軸部材13aの両端は断熱壁11を貫通し、図示しない軸受に回転自在に支持され、そのうちの一端にはモータ(図示せず)が連結されている。このような搬送ローラ13は搬送方向に沿って複数本配置され、それぞれ同方向に同速度で回転される。
処理室12内において、搬送ローラ13の上方には発熱体14aが、下方には発熱体14bが、それぞれ配設されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例1では、発熱体4は搬送ローラ1の上方にしか位置せず、被処理物2の下面側の加熱が十分に行えないという問題がある。搬送ローラ1の近傍及び下方は、搬送ローラ1や搬送トレイ3によって奪われる熱のため、熱損失が処理室の上方に比べて大きく(特に水冷構造の搬送ローラが用いられている場合にはより大きな熱が奪われる)、従来例1の構成では、被処理物2の上面側と下面側とで温度差が大きくなり加熱むらが生じやすい。
更に、発熱体4の形状がドーム型であるため熱変形に弱いという問題もある。
【0007】
一方、従来例2では、搬送ローラ13の下方に発熱体14bが配置されているが、上方に配置された発熱体14aとは分割されて配置されている。図示されているように、搬送ローラ13の付近で発熱体14aと発熱体14bは分割されている。すなわち、上述したように他の箇所に比べて熱損失が大きい搬送ローラ13付近で発熱体が欠けたような構成となっており、炉内においてその発熱体の存在しない箇所の温度が他の箇所よりも低温度となり、被処理物2に対する加熱むらが生じてしまう。
【0008】
また、発熱体を複数に分割して配置すると、各発熱体14a、14bの取り付け機構や、各発熱体14a、14bに電力を供給するための電力供給系(配線や電極など)が、各発熱体14a、14bそれぞれに必要であり、部品点数の増大や構成の複雑化を招く。また、ローラハース式の熱処理炉は、1000℃を越えるような高温で使用されることも多く、発熱体の点検や補修、更には交換が不可欠である。この点でも、処理室12内に分割されて配置された発熱体14a、14bは取り扱い性が悪い。
特に、搬送ローラ13は、炉床付近に設置されることが多く、よって搬送ローラ13の下側は空間的に狭く交換などの作業が行い難い。
【0009】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、その目的とするところは、被処理物に対する加熱むらをなくし、また取り扱い性にも優れた発熱体を有する熱処理炉を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の熱処理炉は、複数の搬送ローラと、該複数の搬送ローラ上を搬送される被処理物を加熱する発熱体とが処理室内に配設された熱処理炉であって、前記発熱体は、前記搬送ローラの下方側で前記搬送ローラの軸間にあり、軸方向に延びる底部と、該底部から前記搬送ローラの上方に延在する側部とが、ひとつながりになって全体としてU字形状に構成されることを特徴とする。
すなわち、発熱体は、処理室内で搬送ローラの下方から上方にかけて連続的に存在する一体的なユニットとして構成されている。これにより、発熱体は、被処理物の全ての面に対して一様に輻射熱を作用させることができ、均一に加熱できる。また、発熱体は、搬送ローラの上方と下方に位置する部分がひとまとまりとなっていることで、交換作業時などの取り扱い性も向上する。
【0011】
また、発熱体の底部の断面積を側部の断面積よりも小さくすることで、単位体積あたりの、底部の発熱量を側部よりも大きくしている。これにより、搬送ローラの上方に比べて熱損失が大きくなる傾向にある搬送ローラ下方の熱量を補うことができる。
【0012】
また、被処理物の搬送方向に沿って複数の発熱体を配置することで、被処理物の大きさが大きなものに対しても均一に加熱できる。
更に、複数の発熱体の発熱量をそれぞれ独立して制御するようにすれば、例えば、搬送方向に関して上流側から下流側にかけて徐々に処理室内の温度領域を変化させる必要があるような場合に柔軟に対応でき、処理室内で所望の温度分布を実現できる。
個々の発熱体の発熱量の制御は、供給する電力を個々の発熱体で変えたり、個々の発熱体の材質を変えたり、個々の発熱体の断面積を変えたりすることで容易に行える。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0014】
(第1の実施の形態)
図1は第1の実施の形態による熱処理炉の断面図を、図2はその要部の側断面図を、図3は要部を模式的に示した斜視図を示す。
水冷ジャケット構造の槽壁21を有する気密性チャンバの内部には、断熱板22に囲まれて処理室23が形成され、この処理室23内は、図示しない真空排気系に接続されている。
【0015】
処理室23内には、被処理物2の搬送方向(図2で矢印Aで示される)に沿って複数本の搬送ローラ24が設けられている。搬送ローラ24は、搬送方向に対して直交する軸部材24aと、被処理物2を収容する搬送トレイ25の下面に当接し上記軸部材24aに一体的なリング部材24bとを有する。軸部材24aの両端は断熱板22及び水冷ジャケット21を貫通し、軸受26に回転自在に支持され、そのうちの一端にはモータMが連結されている。
また、処理室23内には、後述するU字型の発熱体27が、被処理物2の搬送方向に沿って複数設けられている。
【0016】
次に、図4〜7を参照して、発熱体27の詳細について説明する。図4は発熱体27の正面図を、図5は図4における[5]−[5]線方向の断面図を、図6は上面図を、図7は側面図を示す。
【0017】
発熱体27は、主として、湾曲した底部28と、この底部28の両端に連結し直線的に延在する側部29とからなり、全体としてはU字状を呈している。
【0018】
側部29は直線的な帯状を呈し、底部28は半円状に湾曲した帯状を呈する。側部29及び底部28は共に、例えば線径1mmほどのタングステンでなる多数の線材をメッシュ状に組み合わせてなる。
底部28の幅は側部29の幅よりも小さい。
【0019】
側部29と底部28は、それぞれの端部が2枚の連結板30a、30bに狭圧されることで一体的に連結されている。具体的には、2枚の連結板30a、30bを貫通するボルト31の軸部にナット32が締結されることにより2枚の連結板30a、30bは側部29及び底部28それぞれの一端部を狭圧している。
また、側部29の上端はリード部33に取り付けられている。
上記連結板30a、30b、ボルト31、ナット32、リード部33は、全て金属材料でなる。
【0020】
以上のように構成される発熱体27は、図1に示すように、リード部33が断熱板22を貫通して、外部の電極と接続する取付部34に取り付けられている。これによって、発熱体27は、処理室23内で、上方から吊り下げられた状態で配設されている。
【0021】
図2及び図3に示されるように、発熱体27は搬送方向Aに沿って複数配設され、個々の発熱体27は、隣り合う搬送ローラ24間に位置している。各発熱体27の両側部29は搬送ローラ24の上方でほぼ垂直に延在しており、底部28は搬送ローラ24の下方で図3で示すようにローラ24の軸間にあり搬送ローラ24の軸方向とほぼ平行に延びている。
【0022】
以上のように構成される熱処理炉では、真空中または不活性ガス雰囲気とされた処理室23内で、被処理物2を載せた搬送トレイ25が搬送ローラ24上に載置され、搬送ローラ24の回転により搬送トレイ25ごと搬送されながら発熱体27からの加熱を受け、熱処理される。例えば、被処理物2としてタンタルコンデンサの焼結処理が行われる。
モータMは、複数の搬送ローラ24のうち駆動用の例えば1本の搬送ローラ24に連結され、そのモータMにより駆動用の搬送ローラ24が回転されると、他の従動用の搬送ローラ24は図示しない無端チェーンによって、駆動用搬送ローラ24と連動して同方向に同速度で回転される。
発熱体27には、そのリード部33を通じて、外部から電力が供給される。
【0023】
本実施の形態では、発熱体27は上述したような構成及び配置でもって処理室23内に配設されているので、被処理物2の下面側から側面及び上面側にかけてむらなく輻射熱を与えることができる。
また、各発熱体27は帯状を呈しているので、従来例1のドーム型の発熱体4に比べ熱変形もしにくい。
【0024】
図2において、多数の実線で示された矢印は、発熱体27からの輻射熱の伝熱方向を表す。これからわかるように、搬送ローラ24の下方では、搬送トレイ25や搬送ローラ24、更には処理室23の下部に位置し図示しない真空排気系に接続している排気口35などに奪われる熱のため、搬送ローラ24の上方よりも低温になりがちである。
【0025】
そこで、本実施の形態では、発熱体27の底部28の幅(断面積)を側部29の幅(断面積)よりも小さくすることで、底部28の抵抗率を側部29よりも大として、搬送ローラ24の上方に位置する側部29よりも発熱量(単位体積あたり)を大きくしている。これによって、処理室23内における、搬送ローラ24の上方と下方との温度差の広がりを抑制して、被処理物2に対する均熱性を向上させることができる。
【0026】
また、被処理物2の大きさに応じて、発熱体27を搬送方向に沿って複数設けることで、被処理物2の(搬送方向に関しての)前後方向での均熱性を確保できる。
また、各発熱体27の発熱量をそれぞれ独立して制御することで、搬送方向に関して上流側から下流側にかけての温度分布の制御も可能となる。
各発熱体27の発熱量の制御は、各発熱体27に供給する電力や、各発熱体27の材質や断面積に差を出すことで可能となる。
【0027】
また、発熱体27は搬送ローラ24の上方と下方とで分割されずに、ひとつながりとなっているので、材質や断面積の異なる発熱体に交換する作業や、破損したり、使用寿命に達して所望の発熱量が得られなくなった発熱体を新しいものに交換する作業などを容易に行える。特に、材質や断面積の異なる発熱体への交換が容易に行えることは、処理室23内のきめ細かな温度分布に対する要求にも容易に対処できることになり、被処理物2の品質の向上にもつながる。
【0028】
(第2の実施の形態)
次に、第2の実施の形態について説明する。
本実施の形態では、発熱体の構成が上記第1の実施の形態と異なる。
【0029】
以下、図8〜11を参照して、本実施の形態の発熱体37の詳細について説明する。図8は発熱体37の正面図を、図9は図8における[9]−[9]線方向の断面図を、図10は上面図を、図11は側面図を示す。
【0030】
発熱体37は、例えばNi−Cr合金でなる帯板状の部材をU字状に湾曲してなる。
半円状に湾曲した底部38の幅は、直線的に延在する側部39の幅よりも小さい。厚さは、側部39及び底部38共に約1mmである。
側部39の上端は、金属製のリード部43に取り付けられている。
【0031】
以上のように構成される発熱体37は、上記第1の実施の形態と同様に、リード部43が、図1に示す断熱板22を貫通して、外部の電極と接続する取付部34に取り付けられている。これによって、発熱体37は、処理室23内で、上方から吊り下げられた状態で配設される。発熱体37には、そのリード部43を通じて、外部から電力が供給される。
【0032】
そして、発熱体37は搬送方向に沿って複数配設され、個々の発熱体37は隣り合う搬送ローラ24間に位置している。各発熱体37の両側部39は搬送ローラ24の上方でほぼ垂直に延在しており、底部39は搬送ローラ24の下方で搬送ローラ24の軸方向とほぼ平行に延びている。
【0033】
以上のように構成される発熱体37は、上記第1の実施の形態の発熱体27と同様な効果を奏する。
すなわち、発熱体37は搬送ローラ24の下方から上方にかけてひとつながりとなっているので、被処理物2の下面側から側面及び上面側にかけて均一に輻射熱を与えることができ加熱むらを防ぐことができ、取り扱い性にも優れている。
また、各発熱体37は帯板状を呈しているので、従来例1のドーム型の発熱体4に比べ熱変形もしにくい。
また、発熱体37の底部38の幅(断面積)を側部39の幅(断面積)よりも小さくすることで、底部38からの発熱量(単位体積あたり)を側部29よりも大きくしている。これによって、処理室23内で、搬送ローラ24の上方と下方との温度差の広がりを抑制して、被処理物2に対する均熱性を向上させることができる。
更に、各発熱体37の発熱量をそれぞれ独立して制御することで、搬送方向に関して上流側から下流側にかけての温度分布の制御も可能となる。
【0034】
(第3の実施の形態)
次に、第3の実施の形態について説明する。
本実施の形態でも、発熱体の構成が上記第1の実施の形態と異なる。
【0035】
以下、図12〜15を参照して、本実施の形態の発熱体47の詳細について説明する。図12は発熱体47の正面図を、図13は図12における[13]−[13]線方向の断面図を、図14は上面図を、図15は側面図を示す。
【0036】
発熱体47は、主として、底部48と、この底部48の両端部に連結し底部48から上方に直線的に延在する側部49とからなり、全体としては凵字状を呈している。
【0037】
側部49は直線的な帯板状を呈し、底部48と連結される下端部49aは他の部分よりも幅が小さくなっている。底部48は中空円筒状を呈する。
【0038】
側部49と底部48とは互いに直交するように一体的に連結されている。
具体的には、底部48の両端は側部49の下端部49aを貫通しており、更に下端部49aを両側から挟むようにナット55a、55bが底部48の両端に螺着されている。
上記側部49、底部48、ナット55a、55bは、全て炭素系材料(例えばグラファイト)でなる。
側部49の上端には、グラファイト製のリード部53が取り付けられている。
具体的には、側部49の上端にリード部53のねじ部53aが貫通しており、更に側部49の上端を両側から挟むように、グラファイト製のナット54a、54bがリード部53のねじ部53aに螺着されている。
【0039】
以上のように構成される発熱体47は、上記第1の実施の形態と同様に、リード部53が、図1に示す断熱板22を貫通して、外部の電極と接続する取付部34に取り付けられている。これによって、発熱体47は、処理室23内で、上方から吊り下げられた状態で配設されている。発熱体47には、そのリード部53を通じて、外部から電力が供給される。
【0040】
そして、発熱体47は搬送方向に沿って複数配設され、個々の発熱体47は隣り合う搬送ローラ24間に位置している。各発熱体47の両側部49は搬送ローラ24の上方でほぼ垂直に延在しており、底部48は搬送ローラ24の下方で搬送ローラ24の軸方向とほぼ平行に延びている。
【0041】
以上のように構成される発熱体47は、上記第1の実施の形態の発熱体27と同様な効果を奏する。
すなわち、発熱47は搬送ローラ24の下方から上方にかけてひとつながりとなっているので、被処理物2の下面側から側面及び上面側にかけて均一に輻射熱を与えることができ加熱むらを防ぐことができ、取り扱い性にも優れている。
また、従来例1のドーム型の発熱体4に比べて熱変形もしにくい。
また、中空状の底部48の断面積を、帯板状の側部49の断面積よりも小さくしており、底部48からの発熱量(単位体積あたり)を側部49よりも大としている。これによって、処理室23内で、搬送ローラ24の上方と下方との温度差の広がりを抑制して、被処理物2に対する均熱性を向上させることができる。
更に、各発熱体47の発熱量をそれぞれ独立して制御することで、搬送方向に関して上流側から下流側にかけての温度分布の制御も可能となる。
【0042】
発熱体の材質は処理温度に応じて適宜選択される。
例えば、上記第1の実施の形態のタングステンメッシュでなる発熱体27は2000℃の熱処理用に、第2の実施の形態のNi−Cr合金でなる発熱体37は600℃の熱処理用に、第3の実施の形態のグラファイトでなる発熱体47は1800℃の熱処理用に適用される。その他、タンタル、モリブデンなども発熱体材料として用いられる。
なお、断熱板22、搬送ローラ24、搬送トレイ25などの材質も、処理温度や被処理物2の種類などに応じて炭素系材料(例えば、CCM;carbon carbon composite material)や、金属材料が選択される。
【0043】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【0044】
上記各実施の形態の発熱体において、底部の発熱量を側部よりも大としたが、場合によっては、側部(全体又は一部分)の断面積を底部よりも大として側部の発熱量(単位体積あたり)を底部よりも大としてもよい。また、更には、断面積ではなく部分的に材質を変えることで発熱量の調整を行ってもよい。
また、各発熱体において、底部、側部に加えて、両側部間を連結する上部を形成してリング状にしてもよい。
【0045】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、発熱体は、処理室内で搬送ローラの下方から上方にかけてひとつながりとなっているので、被処理物を、むらなく一様に加熱でき、被処理物の品質を向上させることができる。また、発熱体は搬送ローラの上方と下方とで分割されていないので、取り扱い性に優れ、熱処理炉の構造も簡素化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態による、熱処理炉の概略断面図である。
【図2】同熱処理炉の要部の拡大側断面図である。
【図3】同熱処理炉に配設される搬送ローラと発熱体との位置関係を模式的に示す斜視図である。
【図4】同熱処理炉に配設される発熱体の正面図である。
【図5】図4における[5]−[5]線方向の断面図である。
【図6】同発熱体の上面図である。
【図7】同発熱体の側面図である。
【図8】第2の実施の形態による発熱体の正面図である。
【図9】図8における[9]−[9]線方向の断面図である。
【図10】同発熱体の上面図である。
【図11】同発熱体の側面図である。
【図12】第3の実施の形態による発熱体の正面図である。
【図13】図12における[13]−[13]線方向の断面図である。
【図14】同発熱体の上面図である。
【図15】同発熱体の側面図である。
【図16】従来例1の熱処理炉の概略断面図である。
【図17】従来例2の熱処理炉の概略断面図である。
【符号の説明】
2……被処理物、23……処理室、24……搬送ローラ、25……搬送トレイ、27……発熱体、28……底部、29……側部、33……リード部、37……発熱体、38……底部、39……側部、43……リード部、47……発熱体、48……底部、49……側部、53……リード部。
Claims (4)
- 複数の搬送ローラと、該複数の搬送ローラ上を搬送される被処理物を加熱する発熱体とが処理室内に配設された熱処理炉であって、
前記発熱体は、前記搬送ローラの下方側で前記搬送ローラの軸間にあり、軸方向に延びる底部と、該底部から前記搬送ローラの上方に延在する側部とが、ひとつながりになって全体としてU字形状に構成されることを特徴とする熱処理炉。 - 前記発熱体の、前記底部の断面積を前記側部の断面積よりも小さくしたことを特徴とする請求項1に記載の熱処理炉。
- 前記発熱体が帯状であることを特徴とする請求項2に記載の熱処理炉
- 前記被処理物の搬送方向に沿って、複数の前記発熱体を配置したことを特徴とする請求項1から請求項3までのいづれかに記載の熱処理炉。
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